JPH01196881A - 封止型ｃｏ↓２レーザ管 - Google Patents
封止型ｃｏ↓２レーザ管Info
- Publication number
- JPH01196881A JPH01196881A JP63022589A JP2258988A JPH01196881A JP H01196881 A JPH01196881 A JP H01196881A JP 63022589 A JP63022589 A JP 63022589A JP 2258988 A JP2258988 A JP 2258988A JP H01196881 A JPH01196881 A JP H01196881A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating cylinder
- sealed
- laser tube
- catalyst
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、耳周波放電励起を行う封止型ＣＯ２レーザ管
に関する。
に関する。
従来の技術
従来の高周波放電励起を行う封止型ＣＯ，レーザ管は、
たとえば第３図に示すような構造であった。
たとえば第３図に示すような構造であった。
第３図において、絶縁筒体ｌはガラスなどで形成され、
内部にＣＯｌ ＊ Ｎ！ 、Ｈｅなどの混合ガスを封入
されている。また、絶縁筒体ｌの両端には全反射鏡２と
出力鏡３の光学部品が配置されており、両者により光学
共振器が構成されている。そして、絶縁筒体ｌをはさむ
ように対向して配置された一対の電極４．５には高周波
電源６が接続されている。そして高周波電源６から供給
され１両電極４゜５の間で放電される高周波により、混
合ガスが励起されてレーザ発振するものである。
内部にＣＯｌ ＊ Ｎ！ 、Ｈｅなどの混合ガスを封入
されている。また、絶縁筒体ｌの両端には全反射鏡２と
出力鏡３の光学部品が配置されており、両者により光学
共振器が構成されている。そして、絶縁筒体ｌをはさむ
ように対向して配置された一対の電極４．５には高周波
電源６が接続されている。そして高周波電源６から供給
され１両電極４゜５の間で放電される高周波により、混
合ガスが励起されてレーザ発振するものである。
発明が解決しようとする課題
しかし、上記した従来の封止型ＣＯ２レーザ管では、放
電により下式（１］のごとく、ＣＯ２がＣＯと０．に解
離され、レーザ出力が低下して平衡状態に達する。
電により下式（１］のごとく、ＣＯ２がＣＯと０．に解
離され、レーザ出力が低下して平衡状態に達する。
Ｃ（ｈ ＃ Ｃｏ ＋ 、 Ｏｘ
・・・（１）さらに、長期的には、生成した０２が、レ
ーザ管の金属部分を酸化し、これらの金属部分に吸着し
て消耗される。このため、（１）式における解離再結合
、ｔｓ ｕｔｔ ’ａ）バランスが崩れ、ＣＯ８かさら
に減少し、レーザ出力がしだいに低下するという問題が
あった。
・・・（１）さらに、長期的には、生成した０２が、レ
ーザ管の金属部分を酸化し、これらの金属部分に吸着し
て消耗される。このため、（１）式における解離再結合
、ｔｓ ｕｔｔ ’ａ）バランスが崩れ、ＣＯ８かさら
に減少し、レーザ出力がしだいに低下するという問題が
あった。
本発明は放電により生ずるＣＯｌの解離、および解離に
よって生じた０１の金属酸化による消耗を抑制してレー
ザ出力の低下を防止する封止型ＣＯ２し゛−ザ管を提供
することを目的とする。
よって生じた０１の金属酸化による消耗を抑制してレー
ザ出力の低下を防止する封止型ＣＯ２し゛−ザ管を提供
することを目的とする。
課題を解決するｉコめの手段
上記間鶴を解決するｔこめに、本発明は、絶縁筒体の外
周側部に絶縁筒体を挾むように対向して一対のｗＬ極が
配置され、この電極間に放電される高周波により、絶縁
筒体内のＣＯ，ガスが励起されてレーザ発振する封止型
ＣＯエレーザ管であって、前記絶縁筒体の内周面で両電
極が相対向する範囲内に、ペロブスカイト形酸化物もし
くは白金を含む触媒を設けｔこ構成としｔこものである
。
周側部に絶縁筒体を挾むように対向して一対のｗＬ極が
配置され、この電極間に放電される高周波により、絶縁
筒体内のＣＯ，ガスが励起されてレーザ発振する封止型
ＣＯエレーザ管であって、前記絶縁筒体の内周面で両電
極が相対向する範囲内に、ペロブスカイト形酸化物もし
くは白金を含む触媒を設けｔこ構成としｔこものである
。
また、触媒をコーティングもしくは蒸着によって設ける
ことにより、さらに良好な構成としたものである。
ことにより、さらに良好な構成としたものである。
作用
上記構成において１両電極間に放電される高周波により
、ＣＯ，ガスが励起されてレーザ発振する。
、ＣＯ，ガスが励起されてレーザ発振する。
このとき、触媒が高周波加熱によって急速に加熱され、
触媒作用を発揮し、ＣＯｌがＣＯと０２に解離すること
を抑制する。このことにより、絶縁筒体内のＣＯｘガス
の減少およびレーザ出力の低下が防止される。
触媒作用を発揮し、ＣＯｌがＣＯと０２に解離すること
を抑制する。このことにより、絶縁筒体内のＣＯｘガス
の減少およびレーザ出力の低下が防止される。
また、コーティングもしくは蒸着によって絶縁筒体の内
周面Ｉζ触媒を設けることにより、触媒の配置が容易な
ものとなって、レーザ管の生産性が向上する。
周面Ｉζ触媒を設けることにより、触媒の配置が容易な
ものとなって、レーザ管の生産性が向上する。
実施例
以下、本発明の一実施碗を図面に基づいて説明する。第
１図において、絶縁筒体１１の内部には、ＣＯ８、Ｎ２
． Ｈｅなどの混合ガスが封入されており、絶縁筒体１
１はガラスなどで形成されている。この絶縁筒体１１の
一端には全反射鏡１２が配置さね、他端には出力１１１
１３が配置されており、両者によって光学共振器が構成
されている。そして、絶縁筒体１１の外周側部には、一
対の電極１４ 、１５が絶縁筒体１１を挾むように対向
して配置されており、両電極１４ 、１５は外部の高周
波電源１６に接続されている。
１図において、絶縁筒体１１の内部には、ＣＯ８、Ｎ２
． Ｈｅなどの混合ガスが封入されており、絶縁筒体１
１はガラスなどで形成されている。この絶縁筒体１１の
一端には全反射鏡１２が配置さね、他端には出力１１１
１３が配置されており、両者によって光学共振器が構成
されている。そして、絶縁筒体１１の外周側部には、一
対の電極１４ 、１５が絶縁筒体１１を挾むように対向
して配置されており、両電極１４ 、１５は外部の高周
波電源１６に接続されている。
そして、絶縁筒体１１の内周面で両電極１４ 、１５が
相対向する範囲内に、酸化作用を促進する触媒１７が配
置されており、この触媒１７は、ペロブスカイト形酸化
物もしくは白金などのセラミック材で形成されている。
相対向する範囲内に、酸化作用を促進する触媒１７が配
置されており、この触媒１７は、ペロブスカイト形酸化
物もしくは白金などのセラミック材で形成されている。
以下、上記構成における作用について説明する。
まず、高周波電源１６から両電極１４ 、１５に印加さ
れた高周波電圧により、両電極１４ 、１５の間に高周
波が放電される。そして、絶縁筒体１１の中に封入され
、ＣＯ２ガスを含んだ混合ガスが高周波に励起されてレ
ーザ発振する。このとき、高周波加熱により触媒１７が
急速に加熱され、触媒作用を発揮する。
れた高周波電圧により、両電極１４ 、１５の間に高周
波が放電される。そして、絶縁筒体１１の中に封入され
、ＣＯ２ガスを含んだ混合ガスが高周波に励起されてレ
ーザ発振する。このとき、高周波加熱により触媒１７が
急速に加熱され、触媒作用を発揮する。
そして、この触媒作用により、ＣＯ２がＣＯとＯＸに解
離することが抑制され、絶縁筒体１１の中のＣＯ□ガス
の減少およびＣＯ２ガスの減少によって生ずるレーザ出
力の低下を防止することができ、長期にわたって安定し
たレーザ出力を維持することができる。
離することが抑制され、絶縁筒体１１の中のＣＯ□ガス
の減少およびＣＯ２ガスの減少によって生ずるレーザ出
力の低下を防止することができ、長期にわたって安定し
たレーザ出力を維持することができる。
そして、第２図に示すように、触媒２１をコーティング
もしくは蒸着によって絶縁筒体１１の内周面Ｃζ設ける
ことにより、触媒２１の配置が容易なものとなって、レ
ーザ管の生産性が向上する。
もしくは蒸着によって絶縁筒体１１の内周面Ｃζ設ける
ことにより、触媒２１の配置が容易なものとなって、レ
ーザ管の生産性が向上する。
発明の効果
以上述べたように、本発明によれば、絶縁筒体の内周面
に触媒を設けることにより、簡単で安価な構成でＣＯ！
の触媒を抑制し、レーザ出力を長期にわたり安定して維
持することができる。
に触媒を設けることにより、簡単で安価な構成でＣＯ！
の触媒を抑制し、レーザ出力を長期にわたり安定して維
持することができる。
また、触媒をコーティングもしくは蒸着によって絶縁筒
体の内周面に設けることにより、触媒の配置が容易なも
のとなって、レーザ管の生産性の向上をはかることがで
きる。
体の内周面に設けることにより、触媒の配置が容易なも
のとなって、レーザ管の生産性の向上をはかることがで
きる。
第１図は本発明の一実施例を示す封止型ＣＯ２レーザ管
の全体構成図、第２図は本発明の他の実施例を示す封止
型Ｃｏ２レーザ管の全体構成図、第３図は従来の封止型
Ｃ０２レーザ管の全体構成図である。 １１・・・絶縁筒体、１２・・・全反射鏡、１３・・・
出力鏡、１４ 、１５・・・［極、１６・・・Ｕ周波電
源、１７ 、２１・・・触媒。
の全体構成図、第２図は本発明の他の実施例を示す封止
型Ｃｏ２レーザ管の全体構成図、第３図は従来の封止型
Ｃ０２レーザ管の全体構成図である。 １１・・・絶縁筒体、１２・・・全反射鏡、１３・・・
出力鏡、１４ 、１５・・・［極、１６・・・Ｕ周波電
源、１７ 、２１・・・触媒。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、絶縁筒体の外周側部に絶縁筒体を挾むように対向し
て一対の電極が配置され、この電極間に放電される高周
波により絶縁筒体内のＣＯ＿２ガスが励起されてレーザ
発振する封止型ＣＯ＿２レーザ管であつて、前記絶縁筒
体の内周面で両電極が相対向する範囲内に、ペロブスカ
イト形酸化物もしくは白金を含む触媒を設けた封止型Ｃ
Ｏ＿２レーザ管。 ２、絶縁筒体の内周面に触媒を、コーティングもしくは
蒸着によつて設けた請求項１記載の封止型ＣＯ＿２レー
ザ管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63022589A JPH01196881A (ja) | 1988-02-01 | 1988-02-01 | 封止型ｃｏ↓２レーザ管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63022589A JPH01196881A (ja) | 1988-02-01 | 1988-02-01 | 封止型ｃｏ↓２レーザ管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01196881A true JPH01196881A (ja) | 1989-08-08 |
Family
ID=12087037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63022589A Pending JPH01196881A (ja) | 1988-02-01 | 1988-02-01 | 封止型ｃｏ↓２レーザ管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01196881A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06152006A (ja) * | 1992-11-10 | 1994-05-31 | Jgc Corp | 炭酸ガスレーザー用ガスの再生方法 |
-
1988
- 1988-02-01 JP JP63022589A patent/JPH01196881A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06152006A (ja) * | 1992-11-10 | 1994-05-31 | Jgc Corp | 炭酸ガスレーザー用ガスの再生方法 |
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