JPH01197953A - 走査型電子顕微鏡付材料試験機 - Google Patents
走査型電子顕微鏡付材料試験機Info
- Publication number
- JPH01197953A JPH01197953A JP63020901A JP2090188A JPH01197953A JP H01197953 A JPH01197953 A JP H01197953A JP 63020901 A JP63020901 A JP 63020901A JP 2090188 A JP2090188 A JP 2090188A JP H01197953 A JPH01197953 A JP H01197953A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- load
- recording
- camera
- electron microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Ａ、産業上の利用分野
本発明は走査型電子顕微鏡付材料試験機に関し、特に表
示装置で表示される映像を撮影媒体に記録する際の改良
に関する。
示装置で表示される映像を撮影媒体に記録する際の改良
に関する。
Ｂ、従来の技術
例えば、サーボアクチュエータによって疲労試験を行な
いつつ試験片を走査型電子顕微鏡でとらえ、この走査型
電子顕微鏡と同期走査される表示装置に拡大像を表示す
る走査型電子顕微鏡付疲労試験機が知られている。通常
、この種の装置では、表示装置の表示映像をスチールカ
メラで写真撮影する撮影装置が付設される。表示装置と
して陰極線管（ＣＲＴ）を使用する場合、通常の表示時
は例えば１画面を１／６０秒あるいは１／３０秒で走査
し、写真撮影時は十分な露光を得るため数十秒〜数百秒
で走査される。また、写真撮影に際しては、静止像を得
るためサーボアクチュエータによるサーボをホールド、
すなわち負荷を一定値に保持している。
いつつ試験片を走査型電子顕微鏡でとらえ、この走査型
電子顕微鏡と同期走査される表示装置に拡大像を表示す
る走査型電子顕微鏡付疲労試験機が知られている。通常
、この種の装置では、表示装置の表示映像をスチールカ
メラで写真撮影する撮影装置が付設される。表示装置と
して陰極線管（ＣＲＴ）を使用する場合、通常の表示時
は例えば１画面を１／６０秒あるいは１／３０秒で走査
し、写真撮影時は十分な露光を得るため数十秒〜数百秒
で走査される。また、写真撮影に際しては、静止像を得
るためサーボアクチュエータによるサーボをホールド、
すなわち負荷を一定値に保持している。
Ｃ１発明が解決しようとする間厘点
しかし、従来はサーボホールド後に撮影条件を１設定し
て写真撮影を行うため、サーボホールド時間が上記走査
時間に比べて長くなり、繰返し疲労試験の負荷精度が低
下するおそれがあった。
て写真撮影を行うため、サーボホールド時間が上記走査
時間に比べて長くなり、繰返し疲労試験の負荷精度が低
下するおそれがあった。
本発明の目的は、サーボホールド時間を短縮化して負荷
精度の向上を図り、かつ作業効率を向上させた走査型電
子顕微鏡付材料試験機を提供することにある。
精度の向上を図り、かつ作業効率を向上させた走査型電
子顕微鏡付材料試験機を提供することにある。
Ｄ１問題点を解決するための手段
本発明は、試験片を負荷するアクチュエータと、前記試
験片を所定の負荷パターンで負荷するようアクチュエー
タを制御するサーボ装置と、前記試験片の表面を走査し
て検出出力を得る走査型電子顕微鏡と、この走査型電子
顕微鏡の走査と同期して前記検出出力を走査して拡大像
を表示する表示装置と、この表示装置の表示映像を撮影
媒体に記録するカメラとを備えた走査型電子顕微鏡付材
料試験機に適用される。そして、上述の問題点は、前記
カメラによる記録を指令するのに応答して、前記負荷を
一定値に保持するとともに前記同期走査を観察に適した
高速度から撮影に適した低速度に切換え、１画面の走査
終了時またはカメラによる記録終了時に前記負荷の保持
を解除するとともに前記同期走査を前記低速度から前記
高速度に切換える制御装置を備えることにより解決され
る。
験片を所定の負荷パターンで負荷するようアクチュエー
タを制御するサーボ装置と、前記試験片の表面を走査し
て検出出力を得る走査型電子顕微鏡と、この走査型電子
顕微鏡の走査と同期して前記検出出力を走査して拡大像
を表示する表示装置と、この表示装置の表示映像を撮影
媒体に記録するカメラとを備えた走査型電子顕微鏡付材
料試験機に適用される。そして、上述の問題点は、前記
カメラによる記録を指令するのに応答して、前記負荷を
一定値に保持するとともに前記同期走査を観察に適した
高速度から撮影に適した低速度に切換え、１画面の走査
終了時またはカメラによる記録終了時に前記負荷の保持
を解除するとともに前記同期走査を前記低速度から前記
高速度に切換える制御装置を備えることにより解決され
る。
Ｅ、作用
通常はｗｉ察に適した高速度で走査して拡大像を得る。
カメラに記録する際は、記録指令に応答して、静止像を
得るため負荷を一定値に保持し、かつ記録に十分な時間
を得るため低速度で走査する。
得るため負荷を一定値に保持し、かつ記録に十分な時間
を得るため低速度で走査する。
走査終了時、又は記録終了時には、負荷の保持を解除す
るとともに、走査速度を低速度から高速度に切換で表示
を行う。
るとともに、走査速度を低速度から高速度に切換で表示
を行う。
Ｆ、実施例
第１図および第２図により一実施例を説明する。
全体構成を示す第１図において、１０は走査型電子顕微
鏡であり、電子銃１１、偏向コイル１２、検出部１３、
試験片室１４を有し、試料室１４には、把持具２１．２
２で把持される試験片ＴＰが挿入される。走査型電子顕
微鏡１０でとらえられる試験片ＴＰの拡大像はＣＲＴ５
１で可視化される。すなわち、偏向コイル１２とＣＲＴ
５１の走査は同期走査回路５２により同期がとられてお
り、偏向コイル１２により電子線で試験片ＴＰ上を走査
し、試験片ＴＰの表面から放出されて検出部１３で検出
される２次電子または反射電子の強度変化を、走査型電
子顕微鏡１０の電子線と同期してＣＲＴ５１上で走査し
て拡大像を表示する。またＣＲＴ５１にはスチルカメラ
５３が付設され、表示映像をフィルムやフロッピディス
クなどの記録媒体に記録可能としている。
鏡であり、電子銃１１、偏向コイル１２、検出部１３、
試験片室１４を有し、試料室１４には、把持具２１．２
２で把持される試験片ＴＰが挿入される。走査型電子顕
微鏡１０でとらえられる試験片ＴＰの拡大像はＣＲＴ５
１で可視化される。すなわち、偏向コイル１２とＣＲＴ
５１の走査は同期走査回路５２により同期がとられてお
り、偏向コイル１２により電子線で試験片ＴＰ上を走査
し、試験片ＴＰの表面から放出されて検出部１３で検出
される２次電子または反射電子の強度変化を、走査型電
子顕微鏡１０の電子線と同期してＣＲＴ５１上で走査し
て拡大像を表示する。またＣＲＴ５１にはスチルカメラ
５３が付設され、表示映像をフィルムやフロッピディス
クなどの記録媒体に記録可能としている。
疲労試験機の一方の把持具２１は固定され、他方の把持
具２２は負荷ロッド２３．ロードセル２４を介してサー
ボアクチュエータ２５に接続され、この治具２２を介し
て試験片ＴＰが負荷される。サーボアクチュエータ２５
には油圧源２７から圧油が供給される。
具２２は負荷ロッド２３．ロードセル２４を介してサー
ボアクチュエータ２５に接続され、この治具２２を介し
て試験片ＴＰが負荷される。サーボアクチュエータ２５
には油圧源２７から圧油が供給される。
操作盤３１は、図示せぬ負荷パターン設定部、走査速度
設定部、記録指令部を有し、各部からの信号がコントロ
ーラ３２に入力される。コントローラ３２は負荷パター
ン設定信号を発振回路３３に送り、発振回路３２は制御
設定信号ａを加え合せ点３４に供給する。この加え合せ
点３４にはロードセル２４からロードアンプ２６を介し
て荷重フィードバック信号も供給され１両入力信号の偏
差信号εが増幅器３５を介してサーボアクチュエータ２
５に供給され、サーボアクチュエータ２５は設定された
負荷パターンで試験片ＴＰを負荷する。
設定部、記録指令部を有し、各部からの信号がコントロ
ーラ３２に入力される。コントローラ３２は負荷パター
ン設定信号を発振回路３３に送り、発振回路３２は制御
設定信号ａを加え合せ点３４に供給する。この加え合せ
点３４にはロードセル２４からロードアンプ２６を介し
て荷重フィードバック信号も供給され１両入力信号の偏
差信号εが増幅器３５を介してサーボアクチュエータ２
５に供給され、サーボアクチュエータ２５は設定された
負荷パターンで試験片ＴＰを負荷する。
一方、コントローラ３２は走査速度設定信号を同期走査
回路５２に供給し、走査型電子顕微鏡１０およびＣＲＴ
５１の電子線の走査速度を設定する。例えば、走査速度
は１画面１７６０秒〜数百秒の範囲で設定され、ＣＲＴ
５１で通常の映像を表示する場合は１／６０秒に設定さ
れ、カメラ５３でＣＲＴ５１上の表示映像を撮影する場
合には、映像の明るさなどに応じて十分に露光するに足
りる時間、例えば１００秒に設定される。
回路５２に供給し、走査型電子顕微鏡１０およびＣＲＴ
５１の電子線の走査速度を設定する。例えば、走査速度
は１画面１７６０秒〜数百秒の範囲で設定され、ＣＲＴ
５１で通常の映像を表示する場合は１／６０秒に設定さ
れ、カメラ５３でＣＲＴ５１上の表示映像を撮影する場
合には、映像の明るさなどに応じて十分に露光するに足
りる時間、例えば１００秒に設定される。
またコントローラ３２は、記録指令部から記録指令信号
すが出されるとレリーズ信号をカメラ５３に供給し、カ
メラ５３はシャッタを開閉してフィルムを露光する。そ
して記録指令信号すの立上がりに応答して発振回路３３
にサーボホールド信号が供給され、制御設定信号ａが撮
影中だけホールドされ、また、同期走査回路５２は記録
指令信号すにより撮影中だけスロースキャンモードとな
る。そして、スロースキャン終了によりサーボホールド
解除信号ｄが生起される。
すが出されるとレリーズ信号をカメラ５３に供給し、カ
メラ５３はシャッタを開閉してフィルムを露光する。そ
して記録指令信号すの立上がりに応答して発振回路３３
にサーボホールド信号が供給され、制御設定信号ａが撮
影中だけホールドされ、また、同期走査回路５２は記録
指令信号すにより撮影中だけスロースキャンモードとな
る。そして、スロースキャン終了によりサーボホールド
解除信号ｄが生起される。
つぎに第２図（ａ）〜（ｅ）により動作を説明する。
サーボアクチュエータにより（ａ）に（イ）で示す負荷
パターンにて繰り返し試験が行われているとする。この
とき、操作盤３１から記８指令信号すが出力されると、
コントローラ３２は、サーボホールド信号ｄ１を発振回
路３３に送り、設定信号ａは（ａ）の（ロ）のように一
定値となり、いわゆるサーボがホールドされる。これに
より、試験片ＴＰの負荷が一時的に一定値でホールドさ
れ、走査型電子顕微鏡１０は静止像を形成する。
パターンにて繰り返し試験が行われているとする。この
とき、操作盤３１から記８指令信号すが出力されると、
コントローラ３２は、サーボホールド信号ｄ１を発振回
路３３に送り、設定信号ａは（ａ）の（ロ）のように一
定値となり、いわゆるサーボがホールドされる。これに
より、試験片ＴＰの負荷が一時的に一定値でホールドさ
れ、走査型電子顕微鏡１０は静止像を形成する。
またこのときコントローラ３２は、走査速度設定信号に
より同期走査回路５２を、（ｃ）に（ハ）で示すラピッ
ドスキャンから（ニ）で示すスロースキャンとし、走査
型電子顕微鏡１０およびＣＲＴ５１の垂直同期信号Ｃに
よって例えば］００秒で１画面を走査するようにする。
より同期走査回路５２を、（ｃ）に（ハ）で示すラピッ
ドスキャンから（ニ）で示すスロースキャンとし、走査
型電子顕微鏡１０およびＣＲＴ５１の垂直同期信号Ｃに
よって例えば］００秒で１画面を走査するようにする。
更にこのときコントローラ３２は、カメラ５３に（ｅ）
に示すシャッタ開信号ｅ工を送り、カメラ５３がＣＲＴ
５１の表示映像の撮影を開始する。
に示すシャッタ開信号ｅ工を送り、カメラ５３がＣＲＴ
５１の表示映像の撮影を開始する。
スロースキャン（ニ）が終了すると再びラビットスキャ
ン（ハ）が開始されるが、スロースキャン終了に応答し
てサーボ解除信号ｄ２が立上がり、発振回路３３は（、
）の（イ）に示すように再び発振して制御設定信号ａを
出力する。また、カメラ５３のシャツタ秒時はスロース
キャンの走査時間、例えば１００秒に予め設定されてい
るから、シャツタ開後、１００秒経過するとコントロー
ラ３２からシャツタ閉信号ｅ２が出力され、カメラ５３
のシャッタが閉じ撮影が終了する。
ン（ハ）が開始されるが、スロースキャン終了に応答し
てサーボ解除信号ｄ２が立上がり、発振回路３３は（、
）の（イ）に示すように再び発振して制御設定信号ａを
出力する。また、カメラ５３のシャツタ秒時はスロース
キャンの走査時間、例えば１００秒に予め設定されてい
るから、シャツタ開後、１００秒経過するとコントロー
ラ３２からシャツタ閉信号ｅ２が出力され、カメラ５３
のシャッタが閉じ撮影が終了する。
したがって、■ＣＲＴ５１の表示映像の明るさによって
十分な露光が行なえるシャツタ秒時を予め設定するとと
もに、■スロースキャンの走査時間もそのシャツタ秒時
に対応して予め設定しておけば、操作者が操作盤３１か
ら記録指令の操作を行なうだけで直ちにサーボホールド
による静止像の撮影が行なわれ、撮影終了時にサーボ動
作が再開されどともにラピッドスキャンも再開されるの
で、不必要なサーボホールド時間がなく、精度の高い試
験を行なうことができる。
十分な露光が行なえるシャツタ秒時を予め設定するとと
もに、■スロースキャンの走査時間もそのシャツタ秒時
に対応して予め設定しておけば、操作者が操作盤３１か
ら記録指令の操作を行なうだけで直ちにサーボホールド
による静止像の撮影が行なわれ、撮影終了時にサーボ動
作が再開されどともにラピッドスキャンも再開されるの
で、不必要なサーボホールド時間がなく、精度の高い試
験を行なうことができる。
なお、スロースキャン開始に応答してカメラのシャッタ
を開き、スロースキャン終了に応答してシャッタを閉じ
るように構成してもよい。また、カメラのシャッタの開
閉に応答して、サーボホールド／解除およびスロースキ
ャン／ラピッドスキャンの切換えを行なうように構成し
てもよい。
を開き、スロースキャン終了に応答してシャッタを閉じ
るように構成してもよい。また、カメラのシャッタの開
閉に応答して、サーボホールド／解除およびスロースキ
ャン／ラピッドスキャンの切換えを行なうように構成し
てもよい。
Ｇ０発明の効果
本発明は以上のように構成したから、表示された拡大像
を撮影するときに負荷を一定に保持する時間が記録時間
と路間−となり、繰り返し疲労試験などの精度を低下さ
せるおそれが少なくなる。
を撮影するときに負荷を一定に保持する時間が記録時間
と路間−となり、繰り返し疲労試験などの精度を低下さ
せるおそれが少なくなる。
第１図および第２図は本発明の一実施例を示すもので、
第１図が全体の概略構成を示すブロック図、第２図（ａ
）〜（ｅ）が各部の波形を示すタイムチャートである。 １ｏ：走査型電子顕微鏡 １２：偏向コイル １３：検出部１４：試料室
２１，２２：把持具２５：サーボアクチュエータ ３１：操作盤 ３２：コントローラ３３：発
振回路 ５１：ＣＲＴ５２：同期走査回路
５３：カメラ特許出願人 株式会社島津製作所 代理人弁理士 永 井 冬 紀 第２図
第１図が全体の概略構成を示すブロック図、第２図（ａ
）〜（ｅ）が各部の波形を示すタイムチャートである。 １ｏ：走査型電子顕微鏡 １２：偏向コイル １３：検出部１４：試料室
２１，２２：把持具２５：サーボアクチュエータ ３１：操作盤 ３２：コントローラ３３：発
振回路 ５１：ＣＲＴ５２：同期走査回路
５３：カメラ特許出願人 株式会社島津製作所 代理人弁理士 永 井 冬 紀 第２図
Claims (1)
- 試験片を負荷するアクチュエータと、前記試験片を所
定の負荷パターンで負荷するようアクチュエータを制御
するサーボ装置と、前記試験片の表面を走査して検出出
力を得る走査型電子顕微鏡と、この走査型電子顕微鏡の
電子線走査と同期して前記検出出力を走査して拡大像を
表示する表示装置と、この表示装置の表示映像を撮影媒
体に記録するカメラと、前記カメラによる記録を指令す
るのに応答して、前記負荷を一定値に保持するとともに
前記同期走査を観察に適した高速度から撮影に適した低
速度に切換え、１画面の走査終了時またはカメラによる
記録終了時に前記負荷の保持を解除するとともに前記同
期走査を前記低速度から前記高速度に切換える制御装置
とを備えることを特徴とする走査型電子顕微鏡付材料試
験機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63020901A JPH01197953A (ja) | 1988-01-30 | 1988-01-30 | 走査型電子顕微鏡付材料試験機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63020901A JPH01197953A (ja) | 1988-01-30 | 1988-01-30 | 走査型電子顕微鏡付材料試験機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01197953A true JPH01197953A (ja) | 1989-08-09 |
Family
ID=12040134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63020901A Pending JPH01197953A (ja) | 1988-01-30 | 1988-01-30 | 走査型電子顕微鏡付材料試験機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01197953A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006109371A1 (ja) * | 2005-04-12 | 2006-10-19 | Shigeyuki Toki | 小型面内多軸延伸試験機及び小型面内多軸延伸試験法 |
| JP2023080471A (ja) * | 2021-11-30 | 2023-06-09 | 株式会社Ihi | 試験装置および試験方法 |
| JP2023145286A (ja) * | 2022-03-28 | 2023-10-11 | 株式会社島津製作所 | 材料試験機 |
-
1988
- 1988-01-30 JP JP63020901A patent/JPH01197953A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006109371A1 (ja) * | 2005-04-12 | 2006-10-19 | Shigeyuki Toki | 小型面内多軸延伸試験機及び小型面内多軸延伸試験法 |
| JP2023080471A (ja) * | 2021-11-30 | 2023-06-09 | 株式会社Ihi | 試験装置および試験方法 |
| JP2023145286A (ja) * | 2022-03-28 | 2023-10-11 | 株式会社島津製作所 | 材料試験機 |
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