JPH062201Y2 - 電子顕微鏡における撮影装置 - Google Patents
電子顕微鏡における撮影装置Info
- Publication number
- JPH062201Y2 JPH062201Y2 JP14747888U JP14747888U JPH062201Y2 JP H062201 Y2 JPH062201 Y2 JP H062201Y2 JP 14747888 U JP14747888 U JP 14747888U JP 14747888 U JP14747888 U JP 14747888U JP H062201 Y2 JPH062201 Y2 JP H062201Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- shutter
- electron microscope
- electron
- fluorescent plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、電子顕微鏡における撮影装置に関し、特に撮
影行程における試料の電子線損傷を低減することのでき
る撮影装置に関する。
影行程における試料の電子線損傷を低減することのでき
る撮影装置に関する。
［従来の技術］ 従来、電子顕微鏡における撮影装置として第３図に示す
ような構成の装置が知られている。第３図において１は
電子顕微鏡筐体、２は投影レンズ、３は電子顕微鏡像観
察用蛍光板、４は電子顕微鏡像記録媒体、５はシャッタ
ー、６はシャッター駆動機構、７は電流計である。この
ような構成の装置において電子顕微鏡像の撮影を行う場
合、第４図に示すような行程により撮影が行われる。第
４図において（ａ）は蛍光板３の開閉のタイミング、
（ｂ）はシャッター５の開閉のタイミングを示してい
る。
ような構成の装置が知られている。第３図において１は
電子顕微鏡筐体、２は投影レンズ、３は電子顕微鏡像観
察用蛍光板、４は電子顕微鏡像記録媒体、５はシャッタ
ー、６はシャッター駆動機構、７は電流計である。この
ような構成の装置において電子顕微鏡像の撮影を行う場
合、第４図に示すような行程により撮影が行われる。第
４図において（ａ）は蛍光板３の開閉のタイミング、
（ｂ）はシャッター５の開閉のタイミングを示してい
る。
行程Ａ：操作者は、まず、所望の撮影位置（像）を電子
顕微鏡像観察用蛍光板３に投影して焦点合わせ等を行
う。
顕微鏡像観察用蛍光板３に投影して焦点合わせ等を行
う。
行程Ｂ：その後、像記録媒体４の感度に対して最適な電
子線の露光量を与えるための露光時間を決定するため
に、前記蛍光板３に接続された電流計７によって該蛍光
板に照射されている電子線電流を測定する。そして、該
電子線電流の測定値に基づいて適切な電子線の露光時間
ｔが求められ、前記シャッター駆動機構６に露光時間ｔ
（シャッタースピード）が設定される。
子線の露光量を与えるための露光時間を決定するため
に、前記蛍光板３に接続された電流計７によって該蛍光
板に照射されている電子線電流を測定する。そして、該
電子線電流の測定値に基づいて適切な電子線の露光時間
ｔが求められ、前記シャッター駆動機構６に露光時間ｔ
（シャッタースピード）が設定される。
行程Ｃ：次に、前記シャッター５をシャッター駆動機構
６により一時的に閉じ、 行程Ｄ：該シャッター５により電子線が遮断されている
間に、蛍光板３は軸Ｑを軸として回転されて電子線通路
から外される。
６により一時的に閉じ、 行程Ｄ：該シャッター５により電子線が遮断されている
間に、蛍光板３は軸Ｑを軸として回転されて電子線通路
から外される。
行程Ｅ：そして、前記シャッター駆動機構６により前記
設定された露光時間ｔにわたってシャッター５が開放さ
れて、電子線が電子顕微鏡像記録媒体に露光され、露光
完了後該シャッター５が閉じられる。
設定された露光時間ｔにわたってシャッター５が開放さ
れて、電子線が電子顕微鏡像記録媒体に露光され、露光
完了後該シャッター５が閉じられる。
行程Ｆ：前記シャッター５が閉じられると、蛍光板３が
前とは逆向きに回転されて電子線通路に挿入され、 行程Ｇ：前記閉じられていたシャッター５が再び開かれ
て電子顕微鏡像は再び蛍光板３に投影される。
前とは逆向きに回転されて電子線通路に挿入され、 行程Ｇ：前記閉じられていたシャッター５が再び開かれ
て電子顕微鏡像は再び蛍光板３に投影される。
また、電子顕微鏡像を連続的に撮影する場合には、上記
撮影行程Ａ〜Ｇを第４図（ａ），（ｂ）示すように繰り
返して行なうようにしている。
撮影行程Ａ〜Ｇを第４図（ａ），（ｂ）示すように繰り
返して行なうようにしている。
［考案が解決しようとする課題］ ところで、電子顕微鏡像の観察においては観察試料が電
子線の照射により損傷を受ける場合がある。該電子線損
傷の程度は試料への電子線の照射量によって変化するこ
とが知られており、従って、試料への電子線照射時間を
できるだけ短縮することが望まれている。
子線の照射により損傷を受ける場合がある。該電子線損
傷の程度は試料への電子線の照射量によって変化するこ
とが知られており、従って、試料への電子線照射時間を
できるだけ短縮することが望まれている。
さて、上記電子顕微鏡像の撮影行程においては終始試料
へ電子線照射が行われているが、該撮影行程における試
料への電子線の照射量について考察すると、第４図
（ａ），（ｂ）に示すような全撮影行程のうち、主要な
像記録媒体への電子線露光時間（行程Ｅ）はわずかな時
間で済むものの、その他の焦点合せ及び視野合せ（行程
Ａ）や電子線電流の測定（行程Ｂ）、蛍光板３の開閉行
程（開行程Ｄ，閉行程Ｆ）において比較的長い時間電子
線が試料に照射されている。特に、該蛍光板３は拡大さ
れた電子顕微鏡像全体を投影できるような面積の広いも
のであるため、高速で電子線通路に挿脱することが難し
く、開閉行程には最も時間を要する。そのため、該開閉
行程中に試料が最も電子線による損傷を受けることにな
る。
へ電子線照射が行われているが、該撮影行程における試
料への電子線の照射量について考察すると、第４図
（ａ），（ｂ）に示すような全撮影行程のうち、主要な
像記録媒体への電子線露光時間（行程Ｅ）はわずかな時
間で済むものの、その他の焦点合せ及び視野合せ（行程
Ａ）や電子線電流の測定（行程Ｂ）、蛍光板３の開閉行
程（開行程Ｄ，閉行程Ｆ）において比較的長い時間電子
線が試料に照射されている。特に、該蛍光板３は拡大さ
れた電子顕微鏡像全体を投影できるような面積の広いも
のであるため、高速で電子線通路に挿脱することが難し
く、開閉行程には最も時間を要する。そのため、該開閉
行程中に試料が最も電子線による損傷を受けることにな
る。
本考案は、上記問題点を考慮し、撮影行程における試料
の電子線損傷を低減することのできる撮影装置を提供す
ることを目的としている。
の電子線損傷を低減することのできる撮影装置を提供す
ることを目的としている。
［課題を解決するための手段］ 本考案は、電子顕微鏡像を投影するための蛍光板と、投
影レンズのクロスオーバー点の近傍において電子線通路
に挿脱可能に配置されたシャッターと、電子顕微鏡像を
記録するため前記蛍光板の下方に配置される電子顕微鏡
像記録媒体を備えた電子顕微鏡における撮影装置におい
て、前記シャッターに電子線を検出して電気信号に変換
するセンサーが取り付けられており、該取り付け位置は
電子線遮断時における前記シャッターへの電子線照射位
置となっており、前記センサーの検出信号に基づいて前
記像記録媒体への電子線露光時間を演算する演算手段
と、該演算手段の出力信号に基づいて前記シャッターの
開放時間を制御する手段を設けたことを特徴とする。
影レンズのクロスオーバー点の近傍において電子線通路
に挿脱可能に配置されたシャッターと、電子顕微鏡像を
記録するため前記蛍光板の下方に配置される電子顕微鏡
像記録媒体を備えた電子顕微鏡における撮影装置におい
て、前記シャッターに電子線を検出して電気信号に変換
するセンサーが取り付けられており、該取り付け位置は
電子線遮断時における前記シャッターへの電子線照射位
置となっており、前記センサーの検出信号に基づいて前
記像記録媒体への電子線露光時間を演算する演算手段
と、該演算手段の出力信号に基づいて前記シャッターの
開放時間を制御する手段を設けたことを特徴とする。
［作用］ 本考案は、シャッターに電子線を検出して電気信号に変
換するセンサーが取り付けられており、該取り付け位置
は電子線遮断時における前記シャッターへの電子線照射
位置となっており、前記センサーの検出信号に基づいて
前記像記録媒体への電子線露光時間を演算する演算手段
と、該演算手段の出力信号に基づいて前記シャッターの
開放時間を制御する手段を設けたことにより、撮影行程
が短縮され、試料への電子線損傷が低減される。
換するセンサーが取り付けられており、該取り付け位置
は電子線遮断時における前記シャッターへの電子線照射
位置となっており、前記センサーの検出信号に基づいて
前記像記録媒体への電子線露光時間を演算する演算手段
と、該演算手段の出力信号に基づいて前記シャッターの
開放時間を制御する手段を設けたことにより、撮影行程
が短縮され、試料への電子線損傷が低減される。
［実施例］ 以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図は本考案の一実施例を説明するための装置構成図、第
２図（ａ）及び（ｂ）は蛍光板の開閉のタイミング及び
シャッターの開閉のタイミングを説明するための図であ
る。第１図において第３図と同一の構成要素には同一番
号を付すと共に説明を省略する。第１図において、１０
は電子線を検出して電気信号に変換するセンサーであ
り、該センサー１０はシャッター５が電子線を遮断する
際に該シャッターが電子線の照射を受ける位置に取り付
けられている。１１は該センサー１０の検出信号に基づ
いて像記録媒体４への電子線露光時間を演算するプロセ
ッサであり、該プロセッサ１１の出力信号に基づいて前
記シャッターの開放時間を制御するシャッタ駆動機構１
２が制御される。
図は本考案の一実施例を説明するための装置構成図、第
２図（ａ）及び（ｂ）は蛍光板の開閉のタイミング及び
シャッターの開閉のタイミングを説明するための図であ
る。第１図において第３図と同一の構成要素には同一番
号を付すと共に説明を省略する。第１図において、１０
は電子線を検出して電気信号に変換するセンサーであ
り、該センサー１０はシャッター５が電子線を遮断する
際に該シャッターが電子線の照射を受ける位置に取り付
けられている。１１は該センサー１０の検出信号に基づ
いて像記録媒体４への電子線露光時間を演算するプロセ
ッサであり、該プロセッサ１１の出力信号に基づいて前
記シャッターの開放時間を制御するシャッタ駆動機構１
２が制御される。
このような構成の装置において電子顕微鏡像の撮影を行
う場合、次のような行程により撮影が行われる。
う場合、次のような行程により撮影が行われる。
行程Ｉ：まず、所望の撮影位置（像）を電子顕微鏡像観
察用蛍光板３に投影して焦点合わせ等が行なわれる。
察用蛍光板３に投影して焦点合わせ等が行なわれる。
行程Ｊ：次に、シャッター５がシャッター駆動機構１２
により閉じられて電子線が遮断される。このとき、該シ
ャッターに設けられたセンサー１０によって電子線が検
出されて電気信号に変換される。該信号はプロセッサ１
１に供給され、像記録媒体４の感度に対して最適な電子
線の露光量を与えるための露光時間ｔが演算される。そ
して、該プロセッサ１１の出力信号がシャッタ駆動機構
１２に供給されて、該駆動機構に露光時間が設定され
る。
により閉じられて電子線が遮断される。このとき、該シ
ャッターに設けられたセンサー１０によって電子線が検
出されて電気信号に変換される。該信号はプロセッサ１
１に供給され、像記録媒体４の感度に対して最適な電子
線の露光量を与えるための露光時間ｔが演算される。そ
して、該プロセッサ１１の出力信号がシャッタ駆動機構
１２に供給されて、該駆動機構に露光時間が設定され
る。
行程Ｊ′：前記シャッター５により電子線が遮断されて
いる間に、蛍光板３は軸Ｑの周りで回転されて電子線通
路から外される。
いる間に、蛍光板３は軸Ｑの周りで回転されて電子線通
路から外される。
行程Ｋ：そして、前記シャッター駆動機構１２により前
記設定された露光時間ｔ（シャッタースピード）にわた
ってシャッター５が開放されて、電子線が電子顕微鏡像
記録媒体に露光され、露光完了後該シャッター５が閉じ
られて一連の撮影行程が完了する。
記設定された露光時間ｔ（シャッタースピード）にわた
ってシャッター５が開放されて、電子線が電子顕微鏡像
記録媒体に露光され、露光完了後該シャッター５が閉じ
られて一連の撮影行程が完了する。
ここで、電子顕微鏡像を連続的に撮影する場合には、第
２図（ａ），（ｂ）示すように上記一連の撮影行程完了
後、行程Ｊ及び行程Ｋを繰返して行なう。即ち、前記露
光完了後該シャッター５が閉じらると、該シャッターに
設けられたセンサー１０によって電子線が検出され、次
の撮影に必要な電子線の露光量ｔ１が演算され、駆動機
構に露光時間が設定される（行程Ｊ）。そして、前記シ
ャッター駆動機構６により前記設定された露光時間ｔ１
にわたってシャッター５が開放されて、電子線が電子顕
微鏡像記録媒体に露光され、露光完了後該シャッター５
が閉じられて撮影行程が完了する（行程Ｋ）。
２図（ａ），（ｂ）示すように上記一連の撮影行程完了
後、行程Ｊ及び行程Ｋを繰返して行なう。即ち、前記露
光完了後該シャッター５が閉じらると、該シャッターに
設けられたセンサー１０によって電子線が検出され、次
の撮影に必要な電子線の露光量ｔ１が演算され、駆動機
構に露光時間が設定される（行程Ｊ）。そして、前記シ
ャッター駆動機構６により前記設定された露光時間ｔ１
にわたってシャッター５が開放されて、電子線が電子顕
微鏡像記録媒体に露光され、露光完了後該シャッター５
が閉じられて撮影行程が完了する（行程Ｋ）。
このようにすれば、従来のように一撮影毎に蛍光板を挿
脱して電子線電流を測定する必要がなくなるため、全撮
影行程を極めて短くすることができる。
脱して電子線電流を測定する必要がなくなるため、全撮
影行程を極めて短くすることができる。
尚、上述した実施例は本考案の一実施例に過ぎず本考案
は変形して実施することができる。例えば、上述した実
施例においてシャッターに設けられたセンサーとして二
次元センサーを用いることにより、該二次元センサーの
検出信号に基づいて電子線露光時間を演算すると共に、
該検出信号に基づいて輝度設定して電子顕微鏡像を画像
表示装置などに表示することもできる。
は変形して実施することができる。例えば、上述した実
施例においてシャッターに設けられたセンサーとして二
次元センサーを用いることにより、該二次元センサーの
検出信号に基づいて電子線露光時間を演算すると共に、
該検出信号に基づいて輝度設定して電子顕微鏡像を画像
表示装置などに表示することもできる。
［考案の効果］ 以上の説明から明らかなように、本考案によれば、シャ
ッターに電子線を検出して電気信号に変換するセンサー
が取り付けられており、該取り付け位置は電子線遮断時
における前記シャッターへの電子線照射位置となってお
り、前記センサーの検出信号に基づいて前記像記録媒体
への電子線露光時間を演算する演算手段と、該演算手段
の出力信号に基づいて前記シャッターの開放時間を制御
する手段を設けたことにより、従来のように撮影毎に蛍
光板を挿脱して電子線電流を測定する必要がなくなり、
撮影行程を短縮することができる。そのため、撮影行程
における試料の電子線損傷を低減することのできる電子
顕微鏡における撮影装置が実現できる。
ッターに電子線を検出して電気信号に変換するセンサー
が取り付けられており、該取り付け位置は電子線遮断時
における前記シャッターへの電子線照射位置となってお
り、前記センサーの検出信号に基づいて前記像記録媒体
への電子線露光時間を演算する演算手段と、該演算手段
の出力信号に基づいて前記シャッターの開放時間を制御
する手段を設けたことにより、従来のように撮影毎に蛍
光板を挿脱して電子線電流を測定する必要がなくなり、
撮影行程を短縮することができる。そのため、撮影行程
における試料の電子線損傷を低減することのできる電子
顕微鏡における撮影装置が実現できる。
第１図は本考案の一実施例を説明するための装置構成
図、第２図（ａ）及び（ｂ）は本考案の一実施例による
装置における蛍光板の開閉のタイミング及びシャッター
の開閉のタイミングを示す図、第３図は従来例を説明す
るための図、第４図（ａ）及び（ｂ）は従来装置におけ
る蛍光板３の開閉のタイミング及びシャッター５の開閉
のタイミングを示す図である。 １：電子顕微鏡筐体 ２：投影レンズ ３：電子顕微鏡像観察用蛍光板 ４：電子顕微鏡像記録媒体 ５：シャッター １０：センサー １１：プロセッサ １２：駆動機構
図、第２図（ａ）及び（ｂ）は本考案の一実施例による
装置における蛍光板の開閉のタイミング及びシャッター
の開閉のタイミングを示す図、第３図は従来例を説明す
るための図、第４図（ａ）及び（ｂ）は従来装置におけ
る蛍光板３の開閉のタイミング及びシャッター５の開閉
のタイミングを示す図である。 １：電子顕微鏡筐体 ２：投影レンズ ３：電子顕微鏡像観察用蛍光板 ４：電子顕微鏡像記録媒体 ５：シャッター １０：センサー １１：プロセッサ １２：駆動機構
Claims (1)
- 【請求項１】電子顕微鏡像を投影するための蛍光板と、
投影レンズのクロスオーバー点の近傍において電子線通
路に挿脱可能に配置されたシャッターと、電子顕微鏡を
記録するため前記蛍光板の下方に配置される電子顕微鏡
像記録媒体を備えた電子顕微鏡における撮影装置におい
て、前記シャッターに電子線を検出して電気信号に変換
するセンサーが取り付けられており、該取り付け位置は
電子線遮断時における前記シャッターへの電子線照射位
置となっており、前記センサーの検出信号に基づいて前
記像記録媒体への電子線露光時間を演算する演算手段
と、該演算手段の出力信号に基づいて前記シャッターの
開放時間を制御する手段を設けたことを特徴とする電子
顕微鏡における撮影装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14747888U JPH062201Y2 (ja) | 1988-11-11 | 1988-11-11 | 電子顕微鏡における撮影装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14747888U JPH062201Y2 (ja) | 1988-11-11 | 1988-11-11 | 電子顕微鏡における撮影装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0267552U JPH0267552U (ja) | 1990-05-22 |
| JPH062201Y2 true JPH062201Y2 (ja) | 1994-01-19 |
Family
ID=31417914
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14747888U Expired - Lifetime JPH062201Y2 (ja) | 1988-11-11 | 1988-11-11 | 電子顕微鏡における撮影装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH062201Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-11-11 JP JP14747888U patent/JPH062201Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0267552U (ja) | 1990-05-22 |
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