JPH01198701A

JPH01198701A - 着色反射防止膜

Info

Publication number: JPH01198701A
Application number: JP62284815A
Authority: JP
Inventors: Hideo Fujii; 秀雄藤井
Original assignee: Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
Current assignee: Pentax Corp
Priority date: 1987-10-12
Filing date: 1987-11-11
Publication date: 1989-08-10

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】及束上段机１分災この発明は、波長によらず一定の割合で光強度を減衰さ
せる機能を反射防止膜に付加した着色反射防止膜に関す
るものである。

の　　　びその問題点従来から、レンズやフィルター、プリズム等の光学部品
では表面反射を防止するために単層あるいは多層の反射
防止膜をコーティングしている。

一方、波長によらず一定の割合で光強度を弱めて適当な
光量を得るためには、ＣｏあるいはＮｉを含むガラスか
ら成るグレイ着色基板が利用されている。

これら両者の機能を有する複合的な光学部材としては、
例えば、Ｎ　Ｄ　（Ｎｅｕｔｒａｌ　Ｄｅｎｓｉｔｙ　
：中性）フィルターや、サングラス、ファショングラス
の眼鏡レンズ等がある。これらの光学部材は、所定の濃
度を持つグレイ着色基板に無色透明な反射防止膜をコー
ティングすることによって製造されている。

しかしながら、グレイ着色基板の透過率すなわち濃度の
設定は、一定の着色度を有する基板の肉厚を調整するこ
とによって行われるため、この調整に工数がかかり、コ
ストアップを誘引する。

また、眼鏡レンズ、特に入出射端面の曲率差が大きいレ
ンズでは、肉厚の変化によってレンズ面内に濃度ムラが
生じるという問題もある。

ところで、近時ＣＲＴ　（Ｃａｔｈｏｄｅ　ｒａｙ　ｔ
ｕｂｅ）ディスプレーの注視による眼精疲労を低減させ
るため、周辺光の映り込みや画面のチラッキを防止する
ＣＲＴ用フシフイルター及し始めている。

現在使用されているＣＲＴ用フシフイルターては、表面
に細かい凹凸を設けたノングレアフィルター、繊維製の
メツシュフィルター等があるが、これらは映像の解像度
を低下させるという問題がある。一方、反射防止膜とコ
ントラストを向上させるためのグレイ着色ガラスとを利
用したＣＲＴ用フシフイルター、円偏光板と１／４波長
板とをガラスで挟み込んで構成しており、工数がかかり
、高価であるという問題がある。

見匪豊且攻この発明は、上述した各問題点がグレイ着色基板と無色
透明な反射防止膜との組合せに起因することに鑑みてな
されたものであり、表面反射の防止と光強度の減衰との
両効果を有し、しかも、任意の透過率を容易に選択でき
る着色反射防止膜を提供することを目的とする。

ｐ　占　　　　る二めのこの発明に係る着色反射防止膜は、透明基板上に低屈折
率誘電体層と高屈折率誘電体層とグレイ着色層とを積層
し、全６層のうち光入射媒質側から、第１、第５層を低
屈折率誘電体層とし、第２、第４、第６層を高屈折率誘
電体層とし、第３層をＮｉから成るグレイ着色層とする
ことにより、上記目的の達成を図ったものである。

夾胤舊以下、本発明を図面に基づいて説明する。なお、具体的
な膜厚、高屈折率誘電体層の屈折率を除き第１図及び第
２図の構成は全実施例に共通である。

（第１実施例）まず、参考例として第２図を参照しつつ４層反射防止膜
の構成を説明する。

ここでは、透明基板ＢとしてＢｋ７（屈折率ｎ５＝１．
５２１）を用い、この無色の透明基板Ｂ上に屈折率の異
なる誘電体層を蒸着によって積層している。

各誘電体層は、入射媒質側から第１．第３層■、■が低
屈折率誘電体層、第２．第４層■、■が高屈折率誘電体
層となっている。なお、この例では低屈折率誘電体層と
してＭ　ｇ　Ｆ　言屈折率ｎＬ＝１．３８８）を使用し
、高屈折率誘電体層としてＴａ、Ｏ，を主成分とする材
料（屈折率ｎＭｕ”２．０６９）を使用しており、各層
の膜厚は後掲の第１表に示した通りとなっている。

この構成による分光特性は第３図及び第４図に実線（イ
）で示されている。この図からも理解できるように可視
域における反射率は約０．５％、同透過率は略１００％
となる。

次に、この発明の第１実施例に係る着色反射防止膜の構
成を第１図によって説明する。

図示した６層構成の着色反射防止膜は、１第２図に示し
た４層反射防止膜の反射防止効果を保ちつつ、透過光量
を波長によらず一定の割合で弱めようとするものであり
、第２図の第３層■を二分してその中間にグレイ着色層
を割り込ませたような構成となっている。すなわち、全
６層のうち光入射媒質側から、第１．第５層■、■が低
屈折率誘電体層、第２．第４．第６層■、■、■が高屈
折率誘電体層、第３Ｍ■がグレイ着色層とされている。

なお、誘電体層の材料は上記第２図の反射防止膜と同一
であり、グレイ着色層はＮｉ（屈折率ｎｉｌ：１．１８
０、吸収係数ｋｍ＝１．２７０）を材料としている。

Ｎｉは他の金属膜、例えばＡｇ、Ａ　Ｑ　、Ｃｒ、Ｔｉ
等と異なり、２５０°で真空蒸着を行ったとしても、ま
た１８０°で大気に露しても低温コートの場合と吸収特
性や電気伝導性が殆ど変化しない。従って、誘電体層を
高温で加熱コートすることができるために、誘電体層の
経時劣化を招来せず、この点でグレイ着色層として他の
金属より適している。

上記構成による着色反射防止膜の透過率は、グレイ着色
層の膜厚を選択することにより任意の値に設定すること
ができる。

膜厚の具体的な数値は第２表〜第４表に示している。第
２表の構成による反射率と透過率とは第３図及び第４図
に点線（ロ）で示されており、同様に第３表の構成によ
る分光特性は二点鎖線（ハ）、第４表の構成による分光
特性は一点鎖線に）で示されている。ちなみに、波長５
００ｎｍの入射光に対する透過率は、第２表の構成で７
６．１％、第３表の構成で５７．５％、第４表の構成で
４５．５％となっている。

このことから、グレイ着色層（第３層■）の蒸着膜厚を
０〜３１．７８ｎｍの範囲で任意に選択することにより
波長５００ｒｏ＋＋の入射光に対する透過率を１００〜
４５．５％の間で任意に設定できることが理解できる。

なお、第３図及び第４図に示される通り、上記いずれの
構成をとった場合にも可視域における反射率を０．５％
程度に抑えることができ、透過率についても可視域で波
長によらない平坦な特性を得ることができる。

（第２実施例）次に、この発明の第２実施例を参考例と共に第５、第６
表及び第し、第６図に従って説明する。

ここで示した例では、高屈折率誘電体層としてＴ　ｉ　
Ｏａ　（屈折率ｎ　Ｈ２＝　２．４６６）を使用し、他
の基板、低屈折率誘電体層としては第１実施例に示した
ものと同様Ｂｋ７、ＭｇＦ、をそれぞれ使用している。

まず、参考例として４層反射防止膜の構成を説明する。

基本的な積層順序は第２図に示した第１実施例と同様で
あり、各層の膜厚は後掲の第５表に示した通りとなって
いる。

この構成による分光特性は第５図及び第６図に実線（イ
）で示されている。この図からも理解できるように５０
０〜６００ｎ−の範囲における反射率は略０％、可視域
における透過率は略１００％となる。

続いてこの発明の６層着色反射防止膜の第２実施例を説
明する。基本的な積層順序は第１図に示した第１実施例
と同様であり第２図の第３層■を二分してその中間にグ
レイ着色層を割り込ませたような構成となっている。各
層の膜厚は後掲の第６表に示した通りである。

第６表の構成による反射率と透過率とは第５図及び第６
図に点線（ロ）で示されている０図からも理解できるよ
うに、可視域における反射率を０．７％以内に抑え、同
じく可視域で波長によらない平坦な透過率特性が得られ
る。ちなみに、波長５００ｎｍの入射光に対する透過率
は４５．５％である。

（第３実施例）次に、この発明の第３実施例を参考例と共に第７、第８
表及び第７、第８図に従って説明する。

ここで示した例では、高屈折率誘電体層としてＺ　ｒ　
Ｏｚ　（屈折率ｎ　８３　＝　１．９１８）を使用し、
他の基板、低屈折率誘電体層としては第１実施例に示し
たものと同様Ｂｋ７、ＭｇＦ、をそれぞれ使用している
。

まず、参考例として４層反射防止膜の構成を説明する。

基本的な積層順序は第２図に示した第１実施例と同様で
あり、各層の膜厚は後掲の第７表に示した通りとなって
いる。

この構成による分光特性は第７図及び第８図に実線（イ
）で示されている。この図からも理解できるように可視
域における反射率は１％以内、同透過率は略１００％と
なる。

続いてこの発明の６層着色反射防止膜の第３実施例を説
明する。基本的な積層順序は第１図に示した第１実施例
と同様であり第２図の第３層■を二分してその中間にグ
レイ着色層を割り込ませたような構成となっている。各
層の膜厚は後掲の第８表に示した通りである。

第８表の構成による反射率と透過率とは第７図及び第８
図に点線（ロ）で示されている０図からも理解できるよ
うに、可視域における反射率を０．４％以内に抑え、同
じく可視域で波長によらない平坦な透過率特性が得られ
る。ちなみに、波長５００ｎｍの入射光に対する透過率
は４９．５％である。

以上、説明してきたようにこの発明の着色反射防止膜に
よれば、コーティングされる光学部材の形状に拘らずＮ
ｉ層の膜厚調整によって透過率を変化させることができ
るため、従来のような着色基板の肉厚調整によるよりも
容易、かつ、安価に透過率の設定ができ、しかも光学部
材の肉厚の変化に起因する濃度ムラも生じさせない。

また、Ｎ１の利用によって可視域における透過率をほぼ
平坦なものとできるため、透過色調を損うことなく光量
を減衰させることができ、無色の透明基板にこの発明の
着色反射防止膜を形成することによってＮＤフ゛イルタ
ーを構成することができる。

更に、この構成をＣＲＴ用フィルターに適用した場合に
は、グレイ着色効果や反射防止効果に加え、Ｎｉ層の静
電防止効果をも期待でき、安価で有用な製品を提供する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係る着色反射防止膜の構成を示す説
明図、第２図は４層反射防止膜の構成を示す説明図であ
る。第３図は第１実施例で示した膜厚構成による反射率を示
すグラフ、第４図は同様の透過率を示したグラフである
。第５図は第２実施例で示した膜厚構成による反射率を示
すグラフ、第６図は同様の透過率を示したグラフである
。第７図は第３実施例で示した膜厚構成による反射率を示
すグラフ、第８図は同様の透過率を示したグラフである
。Ｂ・・・透明基板 ■〜■・・・第１〜第６層第１図第２図第３図第４ズ剤　５　図第　６　面

Claims

【特許請求の範囲】透明基板上に低屈折率誘電体層と高屈折率誘電体層とグ
レイ着色層とを積層して成る着色反射防止膜であって、全６層のうち光入射媒質側から、第１、第５層を前記低
屈折率誘電体層とし、第２、第４、第６層を前記高屈折
率誘電体層とし、第３層をＮｉから成る前記グレイ着色
層としたことを特徴とする着色反射防止膜。