JPH01199089A - メタルｃリング固定機構付継手 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はガス配管に用いられる継手に関し、特に高清浄
度を要求されるＬＳＩ製造用ガス配管に用いられるメタ
ルＣリング継手に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種のメタルＣリング継手には、メタルＣリン
グを固定、またはその脱落を防止するための治具、機構
は存在しなかった。

〔発明が解決しよう左する問題点〕

上述した従来のメタルＣリング継手は、メタルＣリング
を固定する機能を有していないため、継手の接続、取り
はずしの際にメタルＣリングが脱落し、メタルＣリング
をダスト等で汚染してしまう欠点がある。

また、メタルＣリングが脱落しない場合でも、メタル（
’ｌソング雄ナツト凹部で接続、取りはずしの際の振動
によって踊ってしまい大量のパーティクルを発生させ、
継手のみならず配管内まで汚染してしまうという欠点が
ある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明のメタルＣリング固定機構付継手は、メタルＣリ
ングの外側に、継手中心軸に向けてテーバのつけられた
、メタルＣリングをおさえるためのピンと、メタルＣリ
ングを装脱着する際にピンを格納するための小孔と、継
手を取りはずした際に、ピンを外に押し出すと共に一定
位置に保ち、メタルＣリングをより効果的に固定するた
めのスプリングとを有している。

これにより前記に従来技術の欠点は解消できる。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例の縦断面図である。

メタルＣリング１１はメタルＣリング継手の雄ナツト１
５の凹部に位置し、ピン１３はスプリング１４を介して
小孔１２中に挿入されている。ピンの数はメタルＣリン
グの固定に必要にして十分な数、すなわち、９０℃おき
に４ケ所、あるいは１２０℃おきに３ケ所設けるのが妥
当である。

第２図は本発明の機構を示した縦断面図である。

ａはメタルＣリングを装脱着する際の状態を示している
。メタルＣリングを装脱着するためにはピン１３を小孔
内に格納する必要がある。このため、メタルＣリング装
脱着用治具２１を雄ナツト１５に挿入し、メタルＣリン
グを装脱着する。ｂはメタルＣリングを装着した状態の
図である。継手の中心軸に向けてテーパのつけらｈたピ
ン１３がスプリング１４によって必要量だけ押し出され
、メタルＣリング１１を支持している。Ｃは雌ナツト２
２を雄ナツ）１５に接続、すなわち継手を接続した状態
の図である。ピン１３は雌ナツト２２に押され、小孔１
２内に引っ込む。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、出し入れ可能なテーパの
つけられたピンを有することにより、メタルＣリングの
脱落、及び継手接続、取りはずし時のパーティクルの発
生を防止するとともに、ピンをメタルＣリングの外側に
設けたことで接ガス部の形状が複雑化することがないた
め、ガスの滞留、並びにパーティクルの蓄積を避けるこ
とが可能となり、ガスを清浄に保つ効果がある。

また、ピンは自由に可動するため、継手の接続時にピン
はメタルＣリングのシールに何ら影響を与えず、メタル
Ｃリングのすぐれたシール性能を行かすことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の主要部拡大図、第２図は本発明の機構
を示した縦断面図、第３図は従来のメタルＣリング継手
の縦断面図である。 １１・・・・・・メタルＣリング、１２・・・・・・小
孔、１３・・・・・・ピン、１４・・・・・・スプリン
グ、１５・・・・・・雄ナツト、２１・・・・・・メタ
ルＣリング装着用治具、２２・・・・・・雌ナツト。 代理人　弁理士　　内　原　　　音

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　高清浄配管に用いられるメタルＣリング継手において
   、継手の接続、取りはずしの際にメタルＣリングを固定
   するピン、及びメタルＣリングを装脱着する際にピンを
   格納するための小孔を有し、かつ、該ピンを一定位置に
   保つためのスプリングを有することを特徴とするメタル
   Ｃリング固定機構付継手。