JPH01200204A - 固体撮像素子 - Google Patents
固体撮像素子Info
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- JPH01200204A JPH01200204A JP63025266A JP2526688A JPH01200204A JP H01200204 A JPH01200204 A JP H01200204A JP 63025266 A JP63025266 A JP 63025266A JP 2526688 A JP2526688 A JP 2526688A JP H01200204 A JPH01200204 A JP H01200204A
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- light receiving
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- Pending
Links
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Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は固体撮像素子に関し、特にカラーフィルタを備
えた固体撮像素子に関する。
えた固体撮像素子に関する。
以前には、この種の固体撮像素子は、ウェー７１表面に
作られた複数の素子を各チップに分離した後、別途ガラ
ス板上に形成した色フィルタをチップに貼りつけること
によって製造していた。
作られた複数の素子を各チップに分離した後、別途ガラ
ス板上に形成した色フィルタをチップに貼りつけること
によって製造していた。
しかしながら、この製造方法では、ガラス板上の色フィ
ルタと固体撮像素子とを１チツプごとにるため、現在で
は、ウェーハ状態のままカラーフィルタを作る方法によ
る固体撮像素子が実現している。
ルタと固体撮像素子とを１チツプごとにるため、現在で
は、ウェーハ状態のままカラーフィルタを作る方法によ
る固体撮像素子が実現している。
第２図は従来の固体撮像素子の一例の断面図である。
この例は、半導体基板１表面の素子分離用の絶縁膜３で
仕切られた部分に受光部２ａ’ 、２ｂ’及び２ｃ’を
設け、受光部２ａ’上に例えば赤色の色フィルタ４ａ’
を設け、光透過性の保護膜５″で全面を覆った後受光部
２ｂ’上に例えば緑色の色フィルタ６ｂ’を設け、透過
性の抹護膜７′ で全面を覆った後受光部２ｃ’上に例
えば青色の色フィルタ８ｃ’を設け、更にその上を透過
性の保護膜９′で覆った構造をしている。この例の固体
撮像素子を製造するには、半導体基板１表面の少くとも
素子分離用の絶縁膜３で仕切られた部分に受光部２ａ’
、２ｂ’及び２ｃ’を形成した後、先ず、受光部２ａ
’上にカゼイン、ゼラチン等からなる被染色物質層を形
成し、これを例えば赤色に染色し色フィルタ４ａ’を形
成する。次に、電子線用ホトレジストからなる光透過性
の保護膜５′を回転塗布等で形成した後、受光部２ｂ’
上に選択的に被染色物質層を形成しこれを例えば緑色に
染色して色フィルタ６ｂ’を形成する。次に、同様の方
法で、保護膜７′ を形成した後、受光部２ｃ’上に例
えば青色に染色した色フィルタ８ｃ’を形成し、最後に
、保護膜９′ で葎っている。
仕切られた部分に受光部２ａ’ 、２ｂ’及び２ｃ’を
設け、受光部２ａ’上に例えば赤色の色フィルタ４ａ’
を設け、光透過性の保護膜５″で全面を覆った後受光部
２ｂ’上に例えば緑色の色フィルタ６ｂ’を設け、透過
性の抹護膜７′ で全面を覆った後受光部２ｃ’上に例
えば青色の色フィルタ８ｃ’を設け、更にその上を透過
性の保護膜９′で覆った構造をしている。この例の固体
撮像素子を製造するには、半導体基板１表面の少くとも
素子分離用の絶縁膜３で仕切られた部分に受光部２ａ’
、２ｂ’及び２ｃ’を形成した後、先ず、受光部２ａ
’上にカゼイン、ゼラチン等からなる被染色物質層を形
成し、これを例えば赤色に染色し色フィルタ４ａ’を形
成する。次に、電子線用ホトレジストからなる光透過性
の保護膜５′を回転塗布等で形成した後、受光部２ｂ’
上に選択的に被染色物質層を形成しこれを例えば緑色に
染色して色フィルタ６ｂ’を形成する。次に、同様の方
法で、保護膜７′ を形成した後、受光部２ｃ’上に例
えば青色に染色した色フィルタ８ｃ’を形成し、最後に
、保護膜９′ で葎っている。
上述した従来の固体撮像素子は、色フィルタを透過性の
保護膜を介して形成しているだけなので、色フィルタ上
の保護膜の厚い部分と薄い部分が出来てしまい保護膜の
厚い部分では、その下の色フィルタの段差部分の影響を
受けてちょうど凸レンズ状になり、薄い部分よりも集光
性が高まり、その部分の受光感度が高くなってｌ素子内
の感度の高いところと低いところが出来てしまうという
欠点がある。
保護膜を介して形成しているだけなので、色フィルタ上
の保護膜の厚い部分と薄い部分が出来てしまい保護膜の
厚い部分では、その下の色フィルタの段差部分の影響を
受けてちょうど凸レンズ状になり、薄い部分よりも集光
性が高まり、その部分の受光感度が高くなってｌ素子内
の感度の高いところと低いところが出来てしまうという
欠点がある。
又、従来の固体炸泳系子では、保衰膜の耐薬品性が弱い
ので、最上層の色フィルタの形成に失敗してそこの部分
を作り直す場合にでも、−旦最下層の色フィルタから全
部除去して再形成しなければならず製造工程上の柔軟性
に乏しいという欠点もある。
ので、最上層の色フィルタの形成に失敗してそこの部分
を作り直す場合にでも、−旦最下層の色フィルタから全
部除去して再形成しなければならず製造工程上の柔軟性
に乏しいという欠点もある。
本発明の固体撮像素子は、半導体基板上面の不純物領域
からなる受光部上の所定の位置に色フィルタを有する固
体撮像素子において、前記半導体基板上に表面を平坦に
するための光透過性のバッファ層と耐薬品性の強い保護
膜との積層を少くとも一層設けて成る。
からなる受光部上の所定の位置に色フィルタを有する固
体撮像素子において、前記半導体基板上に表面を平坦に
するための光透過性のバッファ層と耐薬品性の強い保護
膜との積層を少くとも一層設けて成る。
次に１本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の一実施例のｔｒｉ面図である。
この実施例では、素子分離用の絶縁膜３によって仕切ら
れた半導体基板１表面の受光部２ａ 、 ２ｂ及び２Ｃ
上に表面が平坦になるようにそれぞれ赤色の色フィルタ
４ａ、透明な透過７ｍ４ｂ及び４ｃを設け、その上を耐
薬品性の強い保護膜５で橿った後受光部２ｂ上が緑色の
色フィルタ６ｈで他が透過層６からなる平坦な層を設け
、これを耐薬品性の強い保護膜７で覆った後受光部２Ｃ
上が青色の色フィルタ８Ｃで他が週過層８からなる平坦
な層を設け、更にこれを耐薬品性の強い保護膜５で覆っ
ている。
れた半導体基板１表面の受光部２ａ 、 ２ｂ及び２Ｃ
上に表面が平坦になるようにそれぞれ赤色の色フィルタ
４ａ、透明な透過７ｍ４ｂ及び４ｃを設け、その上を耐
薬品性の強い保護膜５で橿った後受光部２ｂ上が緑色の
色フィルタ６ｈで他が透過層６からなる平坦な層を設け
、これを耐薬品性の強い保護膜７で覆った後受光部２Ｃ
上が青色の色フィルタ８Ｃで他が週過層８からなる平坦
な層を設け、更にこれを耐薬品性の強い保護膜５で覆っ
ている。
又、この実施例の製造方法は、先ず、半導体基板１２表
面の素子分離用の絶縁膜３で仕切られた部分に受光部２
ａ、２ｂ及び２ｃを少くとも形成した後、紫外線による
バターニングのだめの重クロム敵を混合したゼラチンを
回転塗布しこれをバターニングして受光部２ａ、２ｂ及
び２Ｃ上に被染色層を形成し、この被染色層の受光部２
ａ上の部分のみ赤色で染色し、受光部２ａ 、 ２ｂ及
び２ｃ上にそれぞれ赤色の色フィルタ４ａ、被染色層か
らなる透過１−４ｂ及び４ｃを表面が平坦になるように
形成する。次に、ニトロセルローズを主成分とする光透
過性で耐薬品性の強い１μｍ程度の膜厚の保護膜５を、
ポリグリシジルメタクリレート（ＰＧｋｉＡ）あるいは
ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）などの電子線用
ホトレジストを回転塗布によって０．２μｍ程度被覆し
た接着剤によって、貼り付ける。
面の素子分離用の絶縁膜３で仕切られた部分に受光部２
ａ、２ｂ及び２ｃを少くとも形成した後、紫外線による
バターニングのだめの重クロム敵を混合したゼラチンを
回転塗布しこれをバターニングして受光部２ａ、２ｂ及
び２Ｃ上に被染色層を形成し、この被染色層の受光部２
ａ上の部分のみ赤色で染色し、受光部２ａ 、 ２ｂ及
び２ｃ上にそれぞれ赤色の色フィルタ４ａ、被染色層か
らなる透過１−４ｂ及び４ｃを表面が平坦になるように
形成する。次に、ニトロセルローズを主成分とする光透
過性で耐薬品性の強い１μｍ程度の膜厚の保護膜５を、
ポリグリシジルメタクリレート（ＰＧｋｉＡ）あるいは
ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）などの電子線用
ホトレジストを回転塗布によって０．２μｍ程度被覆し
た接着剤によって、貼り付ける。
次に、被染色層を形成した後、受光部２ｂ上を選択的に
緑色に染色し、緑色の色フィルタ６ｂ、ｉｆｆを形成す
ると共にその上に同様の方法でニトロセルローズを主成
分とする光透過性で耐薬品性の強い１μｍ程度の膜厚の
保護膜７を形成する。
緑色に染色し、緑色の色フィルタ６ｂ、ｉｆｆを形成す
ると共にその上に同様の方法でニトロセルローズを主成
分とする光透過性で耐薬品性の強い１μｍ程度の膜厚の
保護膜７を形成する。
最後に、同じような方法で青色の色フィルタ８Ｃ及び透
過層８並びに保護膜９を順次形成すれば、耐薬品性に優
れた保護膜に覆われかつ表面が平坦な第１図に示す固体
撮像素子ができる。
過層８並びに保護膜９を順次形成すれば、耐薬品性に優
れた保護膜に覆われかつ表面が平坦な第１図に示す固体
撮像素子ができる。
尚、本実施例では赤、緑、青の３色を使用した固体撮像
素子について説明したが、その他に補色系を用いる寺の
４色系の固体撮像素子についても同様である。
素子について説明したが、その他に補色系を用いる寺の
４色系の固体撮像素子についても同様である。
以上説明したように本発明は、色フィルタと透過層とに
より表面を平坦にすると共に光透過性が良くかつ耐薬品
性に優れた保護膜によってこれを覆っているので、色フ
ィルタ上の保護膜のレンズ効果に伴う感度のばらつきが
防止できると同時に上層の色フィルタの形成に失敗した
場合でも下層のフィルタから作シ直さずに修正可能な柔
軟性のある製造工程による固体撮像素子が実現できると
いう効果がある。
より表面を平坦にすると共に光透過性が良くかつ耐薬品
性に優れた保護膜によってこれを覆っているので、色フ
ィルタ上の保護膜のレンズ効果に伴う感度のばらつきが
防止できると同時に上層の色フィルタの形成に失敗した
場合でも下層のフィルタから作シ直さずに修正可能な柔
軟性のある製造工程による固体撮像素子が実現できると
いう効果がある。
又、本発明では、保護膜・を回転塗布により形成しなく
てすむので、これを−段と均一な膜にすることが可能と
なり感度の場所によるばらつきは一段と改善されるとい
う効果もある。
てすむので、これを−段と均一な膜にすることが可能と
なり感度の場所によるばらつきは一段と改善されるとい
う効果もある。
第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は従来の固
体撮像素子の一例の断面図である。 １ ・−・−半導体基板、２ａ 、 ２ａ″、 ２ｂ
、 ２ｂ″、２ｃ。 ２ ＣＩ・・・・・・受光部、３・・・・・・絶縁膜、
４ａ、４ａ’・・・・・・色フィルタ、４ｂ、４ｃ・・
・・・・透過層、５．５’・・・・・・保護膜、６・・
・・・・透過層、６ｂ 、 ６ｂ’・・・・・・色フィ
ルタ、７．７′・・・・・・保護膜、８・・・・・・透
過層、８ｃ 、 ８ｃ’・・・・・・色フィルタ、９，
９′・・・・・・保護膜。 代理人 弁理士 内 原 晋
体撮像素子の一例の断面図である。 １ ・−・−半導体基板、２ａ 、 ２ａ″、 ２ｂ
、 ２ｂ″、２ｃ。 ２ ＣＩ・・・・・・受光部、３・・・・・・絶縁膜、
４ａ、４ａ’・・・・・・色フィルタ、４ｂ、４ｃ・・
・・・・透過層、５．５’・・・・・・保護膜、６・・
・・・・透過層、６ｂ 、 ６ｂ’・・・・・・色フィ
ルタ、７．７′・・・・・・保護膜、８・・・・・・透
過層、８ｃ 、 ８ｃ’・・・・・・色フィルタ、９，
９′・・・・・・保護膜。 代理人 弁理士 内 原 晋
Claims (1)
- 半導体基板表面の不純物領域からなる受光部上の所定
の位置に色フィルタを有する固体撮像素子において、前
記半導体基板上に表面を平坦にするための光透過性のバ
ッファ層と耐薬品性の強い保護膜との積層を少くとも一
層設けたことを特徴とする固体撮像素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63025266A JPH01200204A (ja) | 1988-02-04 | 1988-02-04 | 固体撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63025266A JPH01200204A (ja) | 1988-02-04 | 1988-02-04 | 固体撮像素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01200204A true JPH01200204A (ja) | 1989-08-11 |
Family
ID=12161224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63025266A Pending JPH01200204A (ja) | 1988-02-04 | 1988-02-04 | 固体撮像素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01200204A (ja) |
-
1988
- 1988-02-04 JP JP63025266A patent/JPH01200204A/ja active Pending
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