JPH02288265A - 固体撮像素子用色分解フィルタの製造方法 - Google Patents
固体撮像素子用色分解フィルタの製造方法Info
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- JPH02288265A JPH02288265A JP1110234A JP11023489A JPH02288265A JP H02288265 A JPH02288265 A JP H02288265A JP 1110234 A JP1110234 A JP 1110234A JP 11023489 A JP11023489 A JP 11023489A JP H02288265 A JPH02288265 A JP H02288265A
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Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、色分解フィルタの製造方法に関し、特にＣＯ
Ｄ、ＭＯＳ等による固体撮像素子上に形成される色分解
フィルタの製造方法に関する。
Ｄ、ＭＯＳ等による固体撮像素子上に形成される色分解
フィルタの製造方法に関する。
第３図に従来の色分解フィルタの断面図を示す。
通常色分解フィルタのグリーン色は、ブルーとイエロー
の被染色層を、重ね合わせて形成する。
の被染色層を、重ね合わせて形成する。
つまり、フォトダイオード２−１．２−２・・・・・・
をアレイ状に配置した半導体チップ１上に第１の透明防
染層３を被覆し、その上に第１の被染色層４（イエロー
）を選択的に形成し、次に第２の透明防染層５を被覆し
たのち、第２の被染色層６ａ、６ｂ・・・・・・（ブル
ー用）を選択的に形成する。したがって、下の被染色層
（第１の被染色層４）があるフォトダイオード２−２の
上と、被染色層がないフォトダイオード２．−１．２−
３・・・・・・の上は第２の透明防染層５の表面に段差
が生じる。ここで第２の被染色層６ａと６ｂを単一の塗
布、露光、現像で形成するので、塗布の際に下地に段差
があるため第２の被染色層６ａと６ｂの膜厚が異なった
ものが得られる。次に、同じく単一の染色工程でブルー
に染色する。染色後の分光透過率は膜厚に依存する。
をアレイ状に配置した半導体チップ１上に第１の透明防
染層３を被覆し、その上に第１の被染色層４（イエロー
）を選択的に形成し、次に第２の透明防染層５を被覆し
たのち、第２の被染色層６ａ、６ｂ・・・・・・（ブル
ー用）を選択的に形成する。したがって、下の被染色層
（第１の被染色層４）があるフォトダイオード２−２の
上と、被染色層がないフォトダイオード２．−１．２−
３・・・・・・の上は第２の透明防染層５の表面に段差
が生じる。ここで第２の被染色層６ａと６ｂを単一の塗
布、露光、現像で形成するので、塗布の際に下地に段差
があるため第２の被染色層６ａと６ｂの膜厚が異なった
ものが得られる。次に、同じく単一の染色工程でブルー
に染色する。染色後の分光透過率は膜厚に依存する。
上述した従来の固体撮像素子用色分解フィルタの製造方
法は、段差のある下地上に被染色層を単一工程で形成す
るので膜厚及び分光透過率が不均一となり、色純度や透
過率といった特性の良い色分解フィルタを得るのが困難
であるという欠点がある。
法は、段差のある下地上に被染色層を単一工程で形成す
るので膜厚及び分光透過率が不均一となり、色純度や透
過率といった特性の良い色分解フィルタを得るのが困難
であるという欠点がある。
本発明は、フォトダイオードをアレイ状に配置して有す
る半導体チップ上に第１の透明防染層を介して第１の被
染色層を選択的に形成する工程と、第２の透明防染層を
被覆したのち第２の被染色層を前記第１の被染色層のあ
る部分及びない部分上にそれぞれ選択的に形成する工程
とを有する固体撮像素子用色分解フィルタの製造方法に
おいて、前記第２の被染色層を前記第１の被染色層のあ
る（又はない）部分上にのみ選択的に形成する第１工程
と、第３の透明防染層を被覆し第１の被染色層のない（
またはある）部分上にのみ選択的に形成する第２工程と
に分けて形成するというものである。
る半導体チップ上に第１の透明防染層を介して第１の被
染色層を選択的に形成する工程と、第２の透明防染層を
被覆したのち第２の被染色層を前記第１の被染色層のあ
る部分及びない部分上にそれぞれ選択的に形成する工程
とを有する固体撮像素子用色分解フィルタの製造方法に
おいて、前記第２の被染色層を前記第１の被染色層のあ
る（又はない）部分上にのみ選択的に形成する第１工程
と、第３の透明防染層を被覆し第１の被染色層のない（
またはある）部分上にのみ選択的に形成する第２工程と
に分けて形成するというものである。
次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の第１の実施例を説明するための断面図
である。
である。
第２の透明防染色５を形成するところまでは従来例と同
じである。
じである。
次に、まず第１の被染色層４（厳密にはイエローに染色
した染色層）の上にブルー用の第２の被染色層６ａを選
択的に形成後、ブルーに染色し、第３の透明防染層７（
第２の透明防染層と同様にＰＭＭＡのようなレジスト膜
）を形成後、フォトダイオード２−１．２−３の上方に
第２の被染色層６ｂを選択的に形成しブルーに染色する
。
した染色層）の上にブルー用の第２の被染色層６ａを選
択的に形成後、ブルーに染色し、第３の透明防染層７（
第２の透明防染層と同様にＰＭＭＡのようなレジスト膜
）を形成後、フォトダイオード２−１．２−３の上方に
第２の被染色層６ｂを選択的に形成しブルーに染色する
。
第２の被染色層６ａと６ｂの形成をそれぞれ別工程で形
成するのでブルー用とグリーン用とでそれぞれ独立に厚
さ及び分光透過率を制御することができる。間に第３の
透明防染層があるので混染の恐れもない。
成するのでブルー用とグリーン用とでそれぞれ独立に厚
さ及び分光透過率を制御することができる。間に第３の
透明防染層があるので混染の恐れもない。
第２図は本発明の第２の実施例を説明するための断面図
である。
である。
本実施例では、第２の透明防染層２表面の低い方の面上
に第２の被染色層６ｂを先に形成し、そのあとで第２の
被染色層６ａを形成する。
に第２の被染色層６ｂを先に形成し、そのあとで第２の
被染色層６ａを形成する。
この実施例では、第２の被染色層６ｂを形成したあと、
第３の透明防染層７表面の段差が少なくなるので第２の
被染色層６ａの塗布の際に膜厚を各フォトダイオード上
で均一にし易くより均一な色分解フィルタを形成できる
という利点がある。
第３の透明防染層７表面の段差が少なくなるので第２の
被染色層６ａの塗布の際に膜厚を各フォトダイオード上
で均一にし易くより均一な色分解フィルタを形成できる
という利点がある。
以上説明したように本発明は、下層に染色層のある部分
とない部分上にそれぞれ同一色用の被染色層を選択的に
形成する場合、間に透明防染層被覆工程を入れて、それ
ぞれ別工程で形成することにより、色分解特性のよい色
分解フィルタを形成できる効果がある。
とない部分上にそれぞれ同一色用の被染色層を選択的に
形成する場合、間に透明防染層被覆工程を入れて、それ
ぞれ別工程で形成することにより、色分解特性のよい色
分解フィルタを形成できる効果がある。
第１図、第２図及び第３図はそれぞれ本発明の第１の実
施例、第２の実施例及び従来例を説明するための固体撮
像素子チップの断面図である。 １・・・半導体チップ、２−１．２−２．２−３・・・
フォトダイオード、３・・・第１の透明防染層、４・・
・第１の被染色層（又は染色層）５・・・第２の透明防
染層、６ａ、６ｂ・・・第２の被染色層（又は染色層）
、７・・・第３の透明防染層。
施例、第２の実施例及び従来例を説明するための固体撮
像素子チップの断面図である。 １・・・半導体チップ、２−１．２−２．２−３・・・
フォトダイオード、３・・・第１の透明防染層、４・・
・第１の被染色層（又は染色層）５・・・第２の透明防
染層、６ａ、６ｂ・・・第２の被染色層（又は染色層）
、７・・・第３の透明防染層。
Claims (1)
- フォトダイオードをアレイ状に配置して有する半導体チ
ップ上に第１の透明防染層を介して第１の被染色層を選
択的に形成する工程と、第２の透明防染層を被覆したの
ち第２の被染色層を前記第１の被染色層のある部分及び
ない部分上にそれぞれ選択的に形成する工程とを有する
固体撮像素子用色分解フィルタの製造方法において、前
記第２の被染色層を前記第１の被染色層のある（又はな
い）部分上にのみ選択的に形成する第１工程と、第３の
透明防染層を被覆し第１の被染色層のない（またはある
）部分上にのみ選択的に形成する第２工程とに分けて形
成することを特徴とする固体撮像素子用色分解フィルタ
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1110234A JPH02288265A (ja) | 1989-04-27 | 1989-04-27 | 固体撮像素子用色分解フィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1110234A JPH02288265A (ja) | 1989-04-27 | 1989-04-27 | 固体撮像素子用色分解フィルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02288265A true JPH02288265A (ja) | 1990-11-28 |
Family
ID=14530499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1110234A Pending JPH02288265A (ja) | 1989-04-27 | 1989-04-27 | 固体撮像素子用色分解フィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02288265A (ja) |
-
1989
- 1989-04-27 JP JP1110234A patent/JPH02288265A/ja active Pending
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