JPH01201068A - セラミツクス系絶縁物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、セラミックス系絶縁物、特にイオンブレーテ
ィング装置における処理物絶縁型治具台車の絶縁物とし
て用いるのに適したセラミックス系絶縁物に関するもの
である。

［従来の技術］ イオングレーティング装置におｃｌる処理物絶縁型治具
台車であって、レール上を走行する車輪を有する台本フ
レームと、該台車フレームに絶縁物を介して取付けられ
る複数個の軸受と、軸受に回転自在に支承される遊び歯
車と、該遊び歯車と噛合う被駆動歯車と、該被駆動歯車
の取付けられる主軸と、該主軸に取付けられ処理物を固
定するための試料取付は用泊具と、該主軸と平行に配置
される長歯車と、該台車フレームの上部で主軸と平行に
配置されるローラー又はラックと、該ローラー又はラッ
クと噛合うスプロケット又はピニオンとを備え、該長歯
車とラック・ピニオン機構により被処理物を回転させな
がら往復運動させることを特徴とする処理物絶縁型治具
台車は周知である（特願昭６２−２９７７５７号）。

ところが、このようなイオンブレーティング装置等にお
いて、処理物は、真空下で、最大６００°Ｃの加熱及び
約１にＶの電圧印加を受ける。そのため、イオングレー
ティング装置に用いられる絶縁物も同様にこの雰囲気下
にさらされる。従って、この絶縁物は■高温絶縁特性に
優れていること、■外観がち密質であること（汚染、不
純物の吸着が少ない）から、従来は工業的に、ステアタ
イト以外のものは使用されていない。

ステアタイトは、高周波の誘ｔｔｉ失か小さいため、−
殻内な高周波絶縁材料として広く用いられているが、イ
オンブレーティング装置に用いる場合、強度が弱く、処
理物の重量の制限があって、大重量物は処理不可能であ
った。

［発明が解決しようとする課題］ ステアタイトは機械的特性に劣るため、処理物の重量に
制限がある上、このステアタイトは経年的に割れか生じ
るため、定期的に交換せねばならず、運転コストが増大
するものであった。

そこで、強度が大きく、割れの生じない絶縁物として、
アルミナを用いたいのであるが、従来のアルミナを使用
した場合、次のような問題点が生じた。

■イオンブレーティング装置の処理物絶縁型治具台車の
絶縁物として、一定の荷重に必要な断面積を持たせたア
ルミナを使用した場合、実際の台本の絶縁抵抗は、５０
０℃中で、ステアタイトではｔ５ＯＫΩ台が維持できる
のに対して、従来のアルミナでは４に０台まで劣化して
しまう。

■４に０台の絶縁抵抗では、約ＩＫＶの印加電圧を加え
て放電をかけようとしても、放電がかからない。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、このような課題を解決することを目的として
いる。このため本発明では、上述の雰囲気条件下で高温
絶縁特性の劣化を生ぜず、また機械的特性の優れたセラ
ミックス系絶縁物を提供せんとするものである。

この目的を達成するため、本発明によるセラミックス系
絶縁物は、アルミナ（八ｆＪ２０３）を１Ｏ−４Ｔｏｏ
ｒ以下で、１３００　℃の雰囲気条件下で、５時間の熱
処理を施して、詩聖Ａ、Ｑ２０３とし、イオンブレーテ
ィング装置の処理物絶縁型治具台車の絶縁物として使用
可能にしたものである。

［実施例］ 本発明は、イオンブレーティング装置における処理物絶
縁型治具台車のセラミックス系絶縁物として、詩聖アル
ミナ（ＡｆＪ２０３）を使用することで、大重量物の処
理をすることかできる。

従来、−殻内なＡ、Ｑ２０３は、ち密質で、機械的特性
には優れているものの、ｓｏｏ’ｃ程度の高温下で比抵
抗が５Ｘ１０５Ω・■となって、絶縁劣化をきたし、耐
電圧性が悪いため、イオンブレーティング装置には使用
不可能であった（第１図参照）。

このＡｊ　２０３を、例えば真空熱処理炉により、１０
−４Ｔｏｏｒ以下”’Ｃ−１３００°Ｃの雰囲気条件下
で、５時間の熱処理を施して、詩聖ＡＪ２０３とする。

この詩聖＾Ｊ２０３は、機械的な特性の劣化がなく、マ
た例えば、５００°Ｃの高温下で比抵抗が５Ｘ１０”Ω
・■となって、高温絶縁性が向上したー第２図参照。（
機械的特性は、一般のステアタイトと比較して、曲げ強
度が２倍、圧縮強度が３倍で、また硬度か２．５倍であ
った）。

本発明の絶縁物は、イオンブレーティング装置に用いる
場合、構造上次のような点を留意して構成されるのが望
ましい。

■イオンブレーティング装置に用いる絶縁物は、蒸発金
属により汚染されないように、防着′！ｆ４造とする。

即ち冊子カバーは、電圧印加側とアース側（台車側）の
両方に設け、またカバーどうし、あるいはカバーと電圧
印加１則もしくはカバーとアース側（台車側）との異常
放電による処理物への電圧印加不安定や短絡を防止する
なめ、それぞれの間隙を３Ｉｎ以上とする９ ■イオンブレーティング装置の台車本体と軸受ブロック
との間の絶縁物は、軸受を水平に取付け、かつその荷重
を均一に分散させるため、平行度と高さ方向の寸法精度
を厳しくする。また絶縁物の角部をＲ仕上げとして、耐
衝撃性を高め、絶縁物破壊を防止する。

■電圧印加される所で横遣的に平行となる所（例えば、
歯車と軸受間、軸受と軸受間）は、中空熱陰極とならな
いよう１１０１Ｉ以上の間隙を収る。

■電圧印加される所でアースに近い踵部は、異常放電が
集中し、処理物への電圧印加か不安定となるため、全て
Ｒ仕上げとして異常放電を防止する。

［発明の効果］ ■ステアタイトを絶縁物として用いた場合の処理重量の
約３倍の重量物の処理か可能となった。

■詩聖Ａｊ２０３の経年的な割れの確率は、ステアタイ
トの１００倍以上となった（コスト面ではステアタイト
の同形品の約３倍となった）。

■そのため、処理数量が約３倍となり、ランニングコス
トが１／３に低減できた。

■そのため、安定した操業が可能となり、品質の安定、
稼働率の上昇が計られるようになった。

【図面の簡単な説明】

第１図は、一般のＡＪ７０３の温度対比抵抗の実際の関
係を示す線図であり、また第２図は詩聖Ａ１゜０３の温
度対比抵抗の関係を示す線図である。 比十騎に（良Ｃ７７Ｌ） 比抵抗（Ω・ｃｒｒＬ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　セラミックス系絶縁物、特にアルミナ（Ａｌ＿２Ｏ＿
   ３）を１０＾−＾４Ｔｏｏｒ以下で、１３００℃の雰囲
   気条件下で、５時間の熱処理を施して、特型Ａｌ＿２Ｏ
   ＿３としたことを特徴とするセラミックス系絶縁物。