JPH01203777A - 自動開閉弁 - Google Patents
自動開閉弁Info
- Publication number
- JPH01203777A JPH01203777A JP2616788A JP2616788A JPH01203777A JP H01203777 A JPH01203777 A JP H01203777A JP 2616788 A JP2616788 A JP 2616788A JP 2616788 A JP2616788 A JP 2616788A JP H01203777 A JPH01203777 A JP H01203777A
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- JP
- Japan
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- plunger
- actuator
- valve body
- piezoelectric
- flow path
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- Pending
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 229910003781 PbTiO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 210000003127 knee Anatomy 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(イ)産業上の利用分野
本発明は、流体の流れを制御する自動開閉弁に関する。
(ロ)従来の技術
従来、かかる自動開閉弁としては各種形態ものが知られ
ており、例えば、ソレノイドを用いた電磁開閉弁や、モ
ータ駆動の電動弁等がある。
ており、例えば、ソレノイドを用いた電磁開閉弁や、モ
ータ駆動の電動弁等がある。
そして、かかる自動開閉弁は、センサや各種スイッチを
用いて、自動的に作動させることができる。
用いて、自動的に作動させることができる。
(ハ)発明が解決しようとする問題点
しかし、かかる従来の自動開閉弁は、駆動源がソレノイ
ドやモータであるため、高精度の位置決めを行うことが
できず、流量制御を精密に行うことができなかった。
ドやモータであるため、高精度の位置決めを行うことが
できず、流量制御を精密に行うことができなかった。
本発明は、上記問題点を解決することができる自動開閉
弁を提供することを目的とする。
弁を提供することを目的とする。
(ニ)問題点を解決するための手段
本発明は、ケーシングの一側に一側流路を設けるととも
に、他側に他側流路を設け、一側流路を他側流路と連通
し、同連通部に弁体を開閉自在に取付け、同弁体を微小
距離無段階駆動式アクチュエータによって駆動可能とし
、かつ同アクチュエータのプランジャーの先端に、受圧
面積を小さくした縮径先端部を形成したことを特徴とす
る自動開閉弁に係るものである。
に、他側に他側流路を設け、一側流路を他側流路と連通
し、同連通部に弁体を開閉自在に取付け、同弁体を微小
距離無段階駆動式アクチュエータによって駆動可能とし
、かつ同アクチュエータのプランジャーの先端に、受圧
面積を小さくした縮径先端部を形成したことを特徴とす
る自動開閉弁に係るものである。
なお、ここで、微小距離無段階駆動式アクチュエータと
は、積層式圧電アクチュエータ、圧電バイモルフアクチ
ュエータ、ステンピングリニャモータ、圧電リニヤモー
タ、超音波モータ(回転式)と回転ねじの組み合わせ、
ステッピングモータ(回転式)と回転ねじとの組み合わ
せ等をいう。
は、積層式圧電アクチュエータ、圧電バイモルフアクチ
ュエータ、ステンピングリニャモータ、圧電リニヤモー
タ、超音波モータ(回転式)と回転ねじの組み合わせ、
ステッピングモータ(回転式)と回転ねじとの組み合わ
せ等をいう。
(ホ)作用及び効果
以上述べてきた構成により、本発明は、以下の作用及び
効果を奏する。
効果を奏する。
■微小距離無段階駆動式アクチュエータによって弁体を
駆動可能に構成したので、例えば、μmオーダ或いはサ
ブμmのオーダによって弁体を進退することができ、精
密な流量調整を行うことができる。
駆動可能に構成したので、例えば、μmオーダ或いはサ
ブμmのオーダによって弁体を進退することができ、精
密な流量調整を行うことができる。
■微小距離無段階駆動式アクチュエータによって弁体を
駆動可能に構成したので、アクチュエータと弁体との間
に減速機構を介在させなくてもよく、自動開閉弁の全体
構造を著しくコンパクトにすることができる。
駆動可能に構成したので、アクチュエータと弁体との間
に減速機構を介在させなくてもよく、自動開閉弁の全体
構造を著しくコンパクトにすることができる。
■プランジャの先端に受圧面積を小さくした縮径先端部
を形成したので、プランジャにかかるスラスト力を可及
的に小さくすることができ、プランジャを正確に駆動す
ることができる。従って、自動制御弁の駆動をより正確
かつ精密に行うことができる。
を形成したので、プランジャにかかるスラスト力を可及
的に小さくすることができ、プランジャを正確に駆動す
ることができる。従って、自動制御弁の駆動をより正確
かつ精密に行うことができる。
(へ)実施例
以下、添付図に示す実施例に基づいて、本発明を詳説す
る。
る。
第1図において、lOは自動開閉弁Cの本体を構成する
5字筒形状のケーシングであり、同ケーシング10は、
内部に一側流路11を形成する流入側管12と、内部に
他側流路13を形成する流出側管14とから構成されて
いる。
5字筒形状のケーシングであり、同ケーシング10は、
内部に一側流路11を形成する流入側管12と、内部に
他側流路13を形成する流出側管14とから構成されて
いる。
そして、流入側管12はその上端を端壁12aによって
閉塞するとともに、その一側止部側壁12bに開口15
を設けており、また、同開口15には、ダイヤフラム弁
からなる弁体16が取付けられている。
閉塞するとともに、その一側止部側壁12bに開口15
を設けており、また、同開口15には、ダイヤフラム弁
からなる弁体16が取付けられている。
一方、流出側管14は、その基端側筒状部14aを貫通
して、上記開口15まで伸延しており、その先端を弁体
16に接離自在に当接している。
して、上記開口15まで伸延しており、その先端を弁体
16に接離自在に当接している。
かかる構成によって、後述する圧電アクチュエータAを
駆動して弁体16を開閉することによって、流入側管1
2内に形成した一側流路11と流出側管14内に形成し
た他側流路13とを連通連結したり遮断することができ
る。
駆動して弁体16を開閉することによって、流入側管1
2内に形成した一側流路11と流出側管14内に形成し
た他側流路13とを連通連結したり遮断することができ
る。
なお、一側流路11は、その外側開口端を給水配管17
と連通しており、他側流路13は送水管18と連通して
いる。
と連通しており、他側流路13は送水管18と連通して
いる。
また、ケーシング10の一側側壁12bには、弁体16
と同軸的に、微小距離無段階式アクチュエータの一つで
ある圧電アクチュエータAが取付られており、同アクチ
ュエータAを駆動することによって、弁体16を開閉す
ることができる。
と同軸的に、微小距離無段階式アクチュエータの一つで
ある圧電アクチュエータAが取付られており、同アクチ
ュエータAを駆動することによって、弁体16を開閉す
ることができる。
そして、各圧電アクチュエータAは、本実施例では、第
1図に示すように、前後壁a、bを具備する筒状のアク
チュエータケーシングC内に、同心円的にかつ軸線に沿
って進退自在にプランジャdを取付け、同プランジャd
の先端を弁体16の後部と当接自在となし、さらに、プ
ランジャdの外周面上に、同心円的に、4つの圧電素子
e+Lg+hからなる圧電素子組立体Bを配設すること
によって構成している。
1図に示すように、前後壁a、bを具備する筒状のアク
チュエータケーシングC内に、同心円的にかつ軸線に沿
って進退自在にプランジャdを取付け、同プランジャd
の先端を弁体16の後部と当接自在となし、さらに、プ
ランジャdの外周面上に、同心円的に、4つの圧電素子
e+Lg+hからなる圧電素子組立体Bを配設すること
によって構成している。
また、図示の実施例において、圧電素子g、hは、アク
チュエータケーシングCの中央部に配設されており、ア
クチュエータケーシングCに基端を固定した保持具Hの
先端に固着されている。
チュエータケーシングCの中央部に配設されており、ア
クチュエータケーシングCに基端を固定した保持具Hの
先端に固着されている。
また、i、j はその基端を圧電素子g、hに固着する
とともにその先端を前後壁a、bに向けて伸延する片持
ち梁状の弾性ブリッジである。
とともにその先端を前後壁a、bに向けて伸延する片持
ち梁状の弾性ブリッジである。
そして、同弾性ブリッジi、j の先端は、その外周面
に圧電アクチュエータe、fを取付けるとともに、その
内周面に、ブレーキシューに、lを固着している。
に圧電アクチュエータe、fを取付けるとともに、その
内周面に、ブレーキシューに、lを固着している。
そして、この圧電素子e、f、g、hは、電源をオフし
た際に縮むように構成されている。
た際に縮むように構成されている。
即ち、圧電素子elfは、通電状態では伸びてその内径
を拡径してプランジャdのクランプを解除するとともに
、通電していない状態では縮んで内径を縮径してプラン
ジャdをクランプする。
を拡径してプランジャdのクランプを解除するとともに
、通電していない状態では縮んで内径を縮径してプラン
ジャdをクランプする。
一方、圧電素子g、hは、通電状態ではプランジャd上
を軸線方向に伸びた状態にあり、通電していない状態で
は、プランジャd上を軸線方向に縮み、その軸線方向の
全長を短くすることになる。
を軸線方向に伸びた状態にあり、通電していない状態で
は、プランジャd上を軸線方向に縮み、その軸線方向の
全長を短くすることになる。
そして、プランジャdは、かかる4つの圧電素子e+f
+gJへの電圧印加手順を後述する制御装置Cによって
制御することにより、軸線方向に移動することができる
。
+gJへの電圧印加手順を後述する制御装置Cによって
制御することにより、軸線方向に移動することができる
。
圧電素子e、f、g、hは、第1図及び第2図に示すよ
うに、多数の圧電素子片をプランジャdの軸芯方向に積
層して形成した円筒状の素子で、円筒の両端に電極が設
けられており、この両端に電圧を印加することにより、
伸びるように構成されている。
うに、多数の圧電素子片をプランジャdの軸芯方向に積
層して形成した円筒状の素子で、円筒の両端に電極が設
けられており、この両端に電圧を印加することにより、
伸びるように構成されている。
なお、圧電素子片は、例えば、圧電セラミックスを用い
ることができ、かかる圧電セラミックスとしては、AB
O3ペロブスカイト形の結晶構造をもつ強誘電材料であ
ってPZT (Pb (Zr。
ることができ、かかる圧電セラミックスとしては、AB
O3ペロブスカイト形の結晶構造をもつ強誘電材料であ
ってPZT (Pb (Zr。
Tt)03)系、やPLZT (Pb (Zr、Ti)
03 )、PT (PbTiO3)系、あるいはPZT
を基にした3成分系のものを用いることができる。
03 )、PT (PbTiO3)系、あるいはPZT
を基にした3成分系のものを用いることができる。
また、圧電素子e+ f t L hは、第3図に示す
ように、多数の薄肉リング状の圧電素子片をプランジャ
dの軸芯廻りに軸線方向に積層して形成することもでき
る。この場合、電圧の印加方向を90度変えることにな
る。
ように、多数の薄肉リング状の圧電素子片をプランジャ
dの軸芯廻りに軸線方向に積層して形成することもでき
る。この場合、電圧の印加方向を90度変えることにな
る。
また、第1図において、mはアクチュエータAの水密性
を高めるために設けた摺動抵抗の小さいUパツキンであ
る。
を高めるために設けた摺動抵抗の小さいUパツキンであ
る。
なお、上記構成において、圧電素子”+LgJは、円形
断面のみでなく、例えば、矩形断面等とすることもでき
、また、第4図及び第5図に示す如く、分割片から形成
することもできる。
断面のみでなく、例えば、矩形断面等とすることもでき
、また、第4図及び第5図に示す如く、分割片から形成
することもできる。
また、プランジャdは、ブレーキシューに、lによって
多数回クランプされるものであるため、線膨張係数が小
さく、硬度、強度、耐クリープ性及び耐摩耗性が大きく
、さらに、加工精度が高いものが望ましく、例えば、セ
ラミック素材としたものが考えられる。
多数回クランプされるものであるため、線膨張係数が小
さく、硬度、強度、耐クリープ性及び耐摩耗性が大きく
、さらに、加工精度が高いものが望ましく、例えば、セ
ラミック素材としたものが考えられる。
さらに、本実施例では、圧電アクチュエータAは、その
後壁すの中央であって、プランジャdと対向する個所に
、手動復帰ボタンpを取付けている。そして、同手動復
帰ボタンpは、押圧することによってその前面が前方に
突出してプランジャdの後端に当接し、プランジャdを
圧電素子e、fのクランプ力に抗して前方向に押圧移動
することができる。
後壁すの中央であって、プランジャdと対向する個所に
、手動復帰ボタンpを取付けている。そして、同手動復
帰ボタンpは、押圧することによってその前面が前方に
突出してプランジャdの後端に当接し、プランジャdを
圧電素子e、fのクランプ力に抗して前方向に押圧移動
することができる。
従って、停電時等において、プランジャdが自動開閉弁
Bの弁部を開けた状態で停止した場合には、速やかに手
動復帰ボタンpを押して完全に自動開閉弁Cを閉じるこ
とができる。
Bの弁部を開けた状態で停止した場合には、速やかに手
動復帰ボタンpを押して完全に自動開閉弁Cを閉じるこ
とができる。
また、本実施例では、プランジャdは、その先端に縮径
先端部qを形成しており、同先端部qは、その端面面積
(受圧面積)を、プランジャdの断面積より著しく小さ
いものとしている。
先端部qを形成しており、同先端部qは、その端面面積
(受圧面積)を、プランジャdの断面積より著しく小さ
いものとしている。
なお、縮径先端部qの先端には、弾性体が取付けられて
いる。
いる。
従って、後述するように弁等に用いた場合、受圧面積を
著しく小さくできるので、プランジャdが受けるスラス
ト力を最小にすることができ、プランジャdの駆動への
スラスト力の影響を最小にすることができ、圧電アクチ
ュエータAの正確な駆動が可能となる。
著しく小さくできるので、プランジャdが受けるスラス
ト力を最小にすることができ、プランジャdの駆動への
スラスト力の影響を最小にすることができ、圧電アクチ
ュエータAの正確な駆動が可能となる。
また、プランジャdの段部を、プランジャdが一定距離
前方向に移動した状態(例えば、全閉1或いはそれより
僅かに進んだ位置)で前壁aの後面と当接するようにし
ておけば、プランジャdのそれ以上の前進を規制でき、
過度の前進に起因する開閉弁のダイヤフラム等の損傷を
確実に防止することができる。
前方向に移動した状態(例えば、全閉1或いはそれより
僅かに進んだ位置)で前壁aの後面と当接するようにし
ておけば、プランジャdのそれ以上の前進を規制でき、
過度の前進に起因する開閉弁のダイヤフラム等の損傷を
確実に防止することができる。
また、第6図に、上記圧電アクチュエータAを制御する
ための制御装置Cの構成を示している。
ための制御装置Cの構成を示している。
図示するように、制御装置Cは、マイクロプロセッサr
と、入出力インターフェースs、tと、上記圧電素子e
1f+Lhの駆動順序プログラムを記憶したメモリUと
から構成される。
と、入出力インターフェースs、tと、上記圧電素子e
1f+Lhの駆動順序プログラムを記憶したメモリUと
から構成される。
ついで、かかる構成を有する圧電アクチュエータAによ
るプランジャdの移動について、第7図〜第9図を参照
して説明する。
るプランジャdの移動について、第7図〜第9図を参照
して説明する。
第6図に示すように、アクチュエータ駆動ボタンVを押
すと、制御装置Cが、メモリUから読み出した駆動順序
プログラムに従って、第7図に示すように、圧電素子e
の電圧の印加を解除してその内径を縮径してプランジャ
dをクランプさせるとともに、圧電素子fに電圧を印加
してその内径を拡径してプランジャdのクランプを解除
する。
すと、制御装置Cが、メモリUから読み出した駆動順序
プログラムに従って、第7図に示すように、圧電素子e
の電圧の印加を解除してその内径を縮径してプランジャ
dをクランプさせるとともに、圧電素子fに電圧を印加
してその内径を拡径してプランジャdのクランプを解除
する。
次に、第8図に示すように、圧電素子g、hに電圧を印
加して伸ばすと、圧電素子e、fが矢印方向に移動し、
これに伴って圧電素子eがクランプするプランジャdも
矢印方向に移動する。
加して伸ばすと、圧電素子e、fが矢印方向に移動し、
これに伴って圧電素子eがクランプするプランジャdも
矢印方向に移動する。
その後、第9図に示すように、圧電素子eに電圧を印加
してその内径を拡径してプランジャdのクランプを解除
するととともに、圧電素子g+FlO印加電圧を解除す
ると、圧電素子g+11は矢印方向に縮み、プランジャ
dはさらに矢印方向に伸びる。
してその内径を拡径してプランジャdのクランプを解除
するととともに、圧電素子g+FlO印加電圧を解除す
ると、圧電素子g+11は矢印方向に縮み、プランジャ
dはさらに矢印方向に伸びる。
その後、上記動作を繰り返すことにより、プランジャd
を、μmオーダ或いはサブμmオーダのストロークで尺
とり生状に移動することができ、各種装置や機械等の精
密に動作させることができる。
を、μmオーダ或いはサブμmオーダのストロークで尺
とり生状に移動することができ、各種装置や機械等の精
密に動作させることができる。
しかして、本実施例では、上述したように、圧電アクチ
ュエータAのプランジャdは、その先端に縮径先端部q
を形成しているので、プランジャdが受けるスラスト力
を最小にすることができ、プランジャdの駆動へのスラ
スト力の影響を最小にすることができ、圧電アクチュエ
ータAの正確な駆動が可能となる。
ュエータAのプランジャdは、その先端に縮径先端部q
を形成しているので、プランジャdが受けるスラスト力
を最小にすることができ、プランジャdの駆動へのスラ
スト力の影響を最小にすることができ、圧電アクチュエ
ータAの正確な駆動が可能となる。
ついで、上記構成を有する自動開閉弁りの作動を、第1
図を参照して説明する。
図を参照して説明する。
即ち、所望の制御部または操作部を作動して、自動開閉
弁の圧電アクチュエータAを作動させると、弁体16が
設定開度で開閉して、一側流路11から他側流路13へ
設定流量の流体を流すことになる。
弁の圧電アクチュエータAを作動させると、弁体16が
設定開度で開閉して、一側流路11から他側流路13へ
設定流量の流体を流すことになる。
そして、かかる作用において、本実施例においては、弁
体16は圧電アクチュエータAによって作動するように
しているので、流量制御を確実かつ精密に行うことがで
きる。
体16は圧電アクチュエータAによって作動するように
しているので、流量制御を確実かつ精密に行うことがで
きる。
さらに、本実施例では、上述したように、圧電アクチュ
エータAのプランジャdは、その先端に縮径先端部qを
形成しているので、圧電アクチュエータAの正確な駆動
が可能となり、流量制御をさらに確実かつ精密に行うこ
とができる。
エータAのプランジャdは、その先端に縮径先端部qを
形成しているので、圧電アクチュエータAの正確な駆動
が可能となり、流量制御をさらに確実かつ精密に行うこ
とができる。
以上述べてきた如く、本実施例は、以下の作用及び効果
を奏する。
を奏する。
■圧電アクチュエータAによって弁体20を駆動可能に
構成したので、電圧の印加回数に応じて、μmオーダ或
いはサブμmのオーダによって弁体20を進退すること
ができ、精密な流量調整を行うことができる。
構成したので、電圧の印加回数に応じて、μmオーダ或
いはサブμmのオーダによって弁体20を進退すること
ができ、精密な流量調整を行うことができる。
■圧電アクチュエータAによって弁体20を駆動可能に
構成したので、アクチュエータAと弁体20との間に減
速機構を介在させなくてもよ(、自動開閉弁の全体構造
を著しくゴンパクトにすることができる。
構成したので、アクチュエータAと弁体20との間に減
速機構を介在させなくてもよ(、自動開閉弁の全体構造
を著しくゴンパクトにすることができる。
■圧電アクチュエータAのプランジャdは、その先端に
縮径先端部pを形成しているので、水圧等を受ける受圧
面積を小さくでき、圧電アクチュエータAの正確な駆動
が可能となり、流量制御をさらに確実かつ精密に行うこ
とができる。
縮径先端部pを形成しているので、水圧等を受ける受圧
面積を小さくでき、圧電アクチュエータAの正確な駆動
が可能となり、流量制御をさらに確実かつ精密に行うこ
とができる。
第1図は本発明に係る自動開閉弁の内部構造を示す断面
側面図、第2図は第1図II線による横断面図、第3図
〜第5図は他の実施例に係る圧電素子の横断面図、第6
図は制御装置の構成説明図、第7図〜第9図は圧電アク
チュエータの作動状!:、説明図である。 図中、 A:圧電アクチュエータ B:圧電素子組立体 C:自動開閉弁 10:ケーシング 11ニー側流路13:他側流
路 16:弁体 dニブランジャ q:縮径先端部 特許出願人 東陶機器株式会社
側面図、第2図は第1図II線による横断面図、第3図
〜第5図は他の実施例に係る圧電素子の横断面図、第6
図は制御装置の構成説明図、第7図〜第9図は圧電アク
チュエータの作動状!:、説明図である。 図中、 A:圧電アクチュエータ B:圧電素子組立体 C:自動開閉弁 10:ケーシング 11ニー側流路13:他側流
路 16:弁体 dニブランジャ q:縮径先端部 特許出願人 東陶機器株式会社
Claims (1)
- 1、ケーシング(10)の一側に一側流路(11)を設
けるとともに他側に他側流路(13)を設け、一側流路
(11)を他側流路(13)と連通し、同連通部に弁体
(16)を開閉自在に取付け、同弁体(16)を微小距
離無段階駆動式アクチュエータによって駆動可能とし、
かつ同アクチュエータのプランジャー(d)の先端に、
受圧面積を小さくした縮径先端部(q)を形成したこと
を特徴とする自動開閉弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2616788A JPH01203777A (ja) | 1988-02-06 | 1988-02-06 | 自動開閉弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2616788A JPH01203777A (ja) | 1988-02-06 | 1988-02-06 | 自動開閉弁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01203777A true JPH01203777A (ja) | 1989-08-16 |
Family
ID=12185988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2616788A Pending JPH01203777A (ja) | 1988-02-06 | 1988-02-06 | 自動開閉弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01203777A (ja) |
-
1988
- 1988-02-06 JP JP2616788A patent/JPH01203777A/ja active Pending
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