JPH01203906A - 光ファイバセンサ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、光送受信部と光センサヘッド部との間におい
て光を伝送するために光ファイバを用いる形式の光ファ
イバセンサ装置に関するものである。

従来技術 参照光および計測光を発生させるための光源と、長さ、
角度、圧力などの物理量を計測するためにそれら参照光
および計測光を受ける受光部とを有する光送受信部と、
この光送受信部から送られた参照光および計測光の少な
くとも一方の伝送パラメータを外部条件に関連して変化
させる光センサヘッド部とを備え、高い精度にて長さ、
角度、圧力などの物理量を計測する光計測装置が考えら
れている。

たとえば、第１０図に示す装置では、レーザ同調回路６
９によってフィードバック制御される波長安定化型のＨ
ｅ−Ｎｅレーザ７０から出力された、偏波面が互いに直
交し且つ２種類の周波数ｆＩおよびｆ２を有する直線偏
光成分を含むレーザビームは、基準ビームスプリッタ７
１により分割され、この基準ビームスプリッタ７１によ
り反射された光はビームスプリッタ６６により分割され
て一方がフィードハック用光センサ、６７により検出さ
れるとともに他方がミラー６８を経て基準光センサ７２
により検出される。基準ビームスプリンタ７１を透過し
た光は、偏光ビームスプリッタ７３により、周波数がｒ
２の参照光と周波数がｆｌの計測光とに分割される。そ
して、参照光は固定鏡７４により反射させられるととも
に計測光が移動鏡７５により反射させられた後、それら
が上記偏光ビームスプリッタ７３において合成されて第
１光センサ７６により検出される。この第１光センサ７
６により合成光のビート周波数が検出されるのであるが
、計測光には移動鏡７５の移動に伴うドツプラシフトに
よる周波数変化Δ「１が含まれているから、実際には周
波数ｆｚ　　　（ｆ＋　　±Δｒ、）が検出される。一
方、前記基準光センサ７２にはビート周波数ｒ、−ｒ、
の光が検出される。

上記第１センサ７６および基準光センサ７２により検出
された周波数の差Δｆ１が出力装置７７内のパルスコン
バータにより移動鏡７５のπ／２に相当する移動毎に１
パルスを発生させ且つそれをカウンタに計数させるので
、このパルスの計数値に基づいて移動距離が正確に求め
られるのである。

すなわち、本装置では偏光ビームスプリッタ７３、固定
鏡７４、および移動鏡７５を除いた部分が光送受信部を
構成し、この光送受信部から所定距離離隔した位置に光
センサヘッド部に相当する偏光ビームスプリッタ７３、
固定鏡７４、移動鏡７５が配設される。

発明が解決すべき問題点 しかし、上記従来の光計測装置では、光送受信部と光セ
ンサヘッド部との間において、光が空間を伝送させられ
る形式であったため、それら光送受信部と光センサヘッ
ド部との間の空間を遮ることができず、また、光路にお
ける空気のゆらぎのために安定した計測を行うことがで
きず、これに対処するために上記光路にカバーを設けた
場合には、装置が大型かつ高価となる欠点があった。

問題点を解決するための手段゛ 本発明は以上の事情を背景として為されたものであり、
その目的とするところは、光送受信部と光センサヘッド
部とを光ファイバにて連結し、且つ光送受信部において
参照光と計測光とに基づいて光センサヘッド部において
付与されてきた伝送パラメータの変化を高い精度にて検
、出するようにし、小型且つ安価な光ファイバセンサ装
置を提供することにある。

斯る目的を達成するため、本発明の要旨とするところは
、＋ａｌ偏波面が互いに直交する２伝送モードにて光を
伝送する伝送用定偏波光ファイバと、（ｂｌ偏波面が互
いに直交し且つ周波数が異なる２種類の直線偏光を含む
レーザ光を前記定偏波光ファイバへ出力し、その２種類
の直線偏光を定偏波光ファイバ内において前記２伝送モ
ードにて伝送させるとともに、その定偏波光ファイバを
通して戻されたレーザ光に含まれる直線偏光をそれぞれ
検出する光送受信部と、（Ｃ）前記光送受信部から前記
定偏波光ファイバを通して伝送された２種類の直線偏光
を含むレーザ光を参照光および計測光に分離した後、そ
れら参照光および計測光を合波して上記定偏波光ファイ
バへ戻すとともに、被測定量の変化に関連して少なくと
もその計測光の伝送パラメータを変化させる光センサヘ
ッド部と、（ｄｌその光センサヘッド部に設けられ、前
記参照光および計測光の一方に含まれる２種類の直線偏
光の偏波面をそれぞれ９０°反対方向に回転させる偏波
面変更手段とを、含むことにある。

作用 このようにすれば、定偏波光ファイバを通して伝送され
た偏波面が直交し且つ波長が異なる２種類の直線偏光を
含むレーザ光が光センサヘッド部において分割されるこ
とにより、それら２種類の直線偏光をそれぞれ含む参照
光および計測光とされるとともに、それら参照光および
計測光の一方における一対の偏波面が偏波面変更手段に
よりそれぞれ９０°反対方向に回転させられる。このた
め、参照光および計測光が合波され且つ伝送用定偏波光
ファイバにより光送受信部へ伝送されたレーザ光に含ま
れる各直線偏光には、往路のレーザ光を構成する２種類
の直線偏光成分がそれぞれ含まれる。この結果、その２
種類の直線偏光の周波数をｆ、＋およびｆ２　“とし、
２種類の直線偏光成分が伝送用定偏波光ファイバ内の往
路伝送中においてそれぞれ受ける周波数シフトをΔｆ、
ｌおよびΔｆ、ｌとし、参照光および計測光として伝播
中にそれらを構成する直線偏光がそれぞれ受ける周波数
シフトをΔｒ、およびΔｆ、とすると、復路のレーザ光
を構成する各直線偏光の相互のビート信号では、ｆｌ、
、ｆｌ□、ΔｆｌｌｓΔｆ°２がそれぞれ消去され、光
センサヘッド部において受けた周波数シフト（Δｆ、−
Δｒｂ）成分によって構成される。そして、そのビート
周波数の差動を計数することにより、計測光が受けた周
波数シフト、換言すれば計測光が照射される被測定物の
変位量、回転角度や、計測光が通過させられる屈折率の
変化などが高精度に測定され得る。

発明の効果 したがって、本発明によれば、定偏波光ファイバによっ
て光送受信部と光センサ部とが接続されているので、空
気のゆらぎに影響されることがなく、カバーなどが不要
となるので装置が小型かつ安価となる。

また、その定偏波光ファイバによって往路を伝送された
後において計測光あるいは参照光を構成する直線偏光の
偏波面が互いに反対方向へ９０゜回転させられることか
ら、その後において計測光および参照光が合波されるこ
とにより、その合波光を構成する直線偏光を表す信号の
ビート信号から、定偏波光ファイバによって往路を伝送
される過程でうける周波数シフトが除去されるのである
。

実施例 以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。

第１図において、横ゼーマンＨｅ−Ｎｅレーザなどの直
交２周波レーザ光源１０からは、互いに偏波面が直交し
且つ周波数が異なる２種類の直線偏光を含むレーザ光が
出力されるようになっている。このレーザ光は、直交２
周波レーザ光源１０のレーザ発振が戻り光に起因して不
安定となることを防止するための超音波変調器１２、無
偏光ビームスプリッタ１４、および集光レンズ１６を通
して定偏波光ファイバ１８の端面に入射させられる。上
記無偏光ビームスプリッタ１２は、上記レーザ光の一部
を反射により分割し、集光レンズ２０を通してモニタ用
光センサ２２へ入射させる。

また、上記超音波変調器１２は、たとえば、二酸化テル
ルやモリブデン酸塩などの単結晶またはガラスから成る
音響光学効果を有する基板と、この基板に弾性表面波を
発生させる圧電素子とを備えており、圧電素子により基
板表面に発生させられる表面弾性波によって周期的な屈
折率変化により透過光がたとえばラマン−ナス回折など
により回折させられるとともに、回折光が超音波による
一種のドツプラ効果を受けて超音波の周波数の整数倍だ
け周波数シフトさせられるようになっている。

したがって、上記超音波変調器１２を一旦通過したレー
ザ光が戻されて再び超音波変調器１２を通過して直交２
周波レーザ光源１０へ到達したレーザ光の周波数は直交
２周波レーザ光源１０におけるレーザ光の発振周波数と
大幅に異なっているので、直交２周波レーザ光源１０に
おける発振が不安定となることが解消される。

定偏波光ファイバ１８から戻されたレーザ光（合成光）
は、集光レンズ１６により平行光とされるとともに無偏
光ビームスプリッタ１４により反射された後、偏光ビー
ムスプリッタ２４によって偏波面毎に分割され、一方の
偏光が集光レンズ２６を通して第１光センサ２８によっ
て受けられるとともに、他方の偏光が集光レンズ３０を
通して第２光センサ３２によって受けられるようになっ
ている。本節例では、以上の光学素子および光センサが
、光送受信部１００を構成しており、この光送受信部１
００の図示しない機枠に定偏波光ファイバ１８の一端部
が固定されている。

上記定偏波光ファイバ１Ｂは、コア３４とこのコア３４
を挟む一対の応力付与部３６と、それらを覆うクラッド
３８とから構成されており、たとえば互いに直交する偏
波面にて光を伝送するＨＥ１１”モードおよびＨＥ　＋
　＋　’モードの２伝送モードにて偏波面を保存しつつ
偏光を伝送する。前記のように定偏波光ファイバ１８の
一端部に入射させられるレーザ光は互いに直交する偏波
面を有し且つ周波数が異なる直線偏光であるから、定偏
波光ファイバ１８内においては上記ＨＥ、、”モードお
よびＨＥ　＋　＋νモードの２伝送モードにて伝送され
る。

上記定偏波光ファイバ１８の他端部は光センサヘッド部
１０２の図示しない機枠に固定されており、前記２伝送
モードにて伝送され且つ定偏波光ファイバ１Ｂの他端部
から放射された互いに直交する直線偏光は集光レンズ３
９を通って平行光に変換された後、無偏光ビームスプリ
ッタ４０により上記直線偏光をそれぞれ含む参照光と計
測光とに分離される。この無偏光ビームスプリンタ４０
により反射された計測光は、ミラー４２によって反射さ
れた後、往復２回の透過により直線偏光の偏波面を９０
’回転させるλ／４板４４を通過させられて、被測定物
４６上に取り付けられた一対の第１コーナキユーブプリ
ズム４８および第２コーナキユーブプリズム５０のうち
の一方である第１コーナキユーブプリズム４８へ向かっ
て投射される。

無偏光ビームスプリッタ４０を透過した参照先は、計測
光と互いに平行になり、被測定物４６上に取り付けられ
た第２コーナキユーブプリズム５０へ向かって投射され
る。なお、上記第１コーナキユーブプリズム４８および
第２コーナキユーブプリズム５０の反射面は金属コート
されており、反射によって偏光特性が変化させられない
ようになっている。

本実施例では、上記集光レンズ３９、無偏光ビームスプ
リッタ４０、ミラー４２などが光センサヘッド部１０２
に対応する。また、上記λ／４仮４４は、光センサヘッ
ド部１０２に設けられて、計測光を構成する２つの直線
偏光の偏波面をそれまでの往路の偏波面に対して互いに
反対向きに９０°回転させて互いに直交した直線偏光と
することにより、計測光を構成する直線偏光が往路と反
対の伝送モードにて定偏波光フプイバ１８の復路を伝送
されるようにする偏波面変更手段に対応する。

以下、本実施例の作動を説明する。

直交２周波レーザ光源１０から発射されたレーザ光は互
いに偏波面が直交し且つ周波数が異なる直線偏光ｆ、　
、ｆｔから構成されており、超音波変調器１２を通過さ
せられることにより周波数がシフトさせられて直線偏光
ｆＩ　′、ｒｔ　′とされる。直線偏光ｆ、Ｉ、ｒ２　
“は、第２図に示すように、無偏光ビームスプリッタ１
４により一部が反射されてモニタ光センサ２２により検
出される。

このモニタ光センサ２２からの信号は直交２周波レーザ
光源ｌＯの出力を表すものであるから、図示しない出力
制御装置はその信号に基づいて直交２１１波レーザ光源
１０の出力を安定化させる。また、無偏光ビームスプリ
ッタ１４を通過させられた直線偏光ｆ１　°、ｆ２　°
は、集光レンズ１６により集光されて定偏波光ファイバ
１８に入射させられ且つ偏波面が保存されつつ２種類の
ＨＥ　＋　＋　”モードおよびＨＥ＋＋’モードにてそ
れぞれ伝送される。第２図における光の進行方向と直交
する短い矢印は直線偏光の偏波面を示している。

第３図に詳しく示すように、定偏波光ファイバ１８から
出たレーザ光は、集光レンズ３９により平行光とされる
。この状態におけるレーザ光は定偏波光ファイバ１０に
おける伝送中においてコア３４の歪などによる周波数シ
フトΔｆ１　′およびΔｆｔ　ｆを受けるので、そのレ
ーザ光を構成する直線偏光の周波数がそれぞれｆ、％＋
Δｆ、ｌ、ｆ、ｅ＋Δ（ｔ　ｅとなる。このようなレー
ザ光が無偏光ビームスプリッタ４０により２ビームに分
割されると、分割後のレーザ光には、周波数ｆ１１＋Δ
ｒ、’および（、ｖ＋Δｆ、ｌをそれぞれ備えた直線偏
光が含まれる。本実施例では、無偏光ビームスプリッタ
４０により反射されたビームが計測光１ｅであり、無偏
光ビームスプリンタ４０を透過したビームが参照光ＩＣ
であるが、反対であってもよい。

上記計測光１ｅに含まれる２つの直線偏光は、互いに直
交しているので、λ／４板４４を透過させられることに
より進行方向に対して右まわりおよび左まわりの円偏光
に変換された後、第１コーナキユーブプリズム４８によ
り反射される。また、参照光１ｃに含まれる２つの直線
偏光はそのまま第２コーナキユーブプリズム５０により
反射される。

第４図に示すように、第１コーナキユーブプリズム４８
により反射された計測光１ｅは、往路と同様に進行方向
に対して右まわりおよび左まわりの円偏光から構成され
ており、再びλ／４板４４を透過させられることにより
往路の偏波面に対して９０°それぞれ反対方向へ回転し
た２つの直線偏光に変換される。すなわち、λ／４仮４
４を往復透過させられることにより、往路において水平
であった周波数１２　′＋Δｆ２１の直線偏光が復路に
おいて垂直となり、往路において垂直であった周波数ｒ
１　“＋Δｒ１　°の直線偏光が復路において水平とな
るのである。しかし、第２コーナキユーブプリズム５０
により反射された参照光ＩＣは、往路と同様に垂直な直
線偏光と往路と同様に水平な直線偏光とから構成されて
いる。そして、上記参照光１ｃおよび計測光１ｅは、第
１コーナキユーブプリズム４８および第２コーナキユー
ブプリズム５０によりそれぞれ反射されることにより、
被測定物４６の移動や回転に関連して周波数シフトΔｆ
、およびΔｆ、をそれぞれ受ける。このため、λ／４板
４４を透過させられた計測光ｌｅは、周波数ｆ２　°＋
Δｆ２　°＋Δｆ、の垂直な直線偏光と周波数ｆ、ｌ＋
Δｆ１　°＋Δｆ、の水平な直線偏光とから構成される
とともに、第２コーナキユーブプリズム５０により反射
された参照光ＩＣは、周波数ｆ、ｆ＋Δ「、′＋Δｆ□
の垂直な直線偏光と周波数ｆ２　°＋Δ「２　°＋Δｆ
１の水平な直線偏光とから構成される。

したがって、無偏光ビームスプリッタ４０により上記参
照光ＩＣおよび計測光１ｅが合波されると、光波の干渉
により、それら参照光ＩＣおよび計測光１ｅに含まれる
垂直な直線偏光が合波された垂直な直線偏光と、参照光
ＩＣおよび計測光ｌｅに含まれる水平な直線偏光が合波
された水平な直線偏光とから構成される光が合成され、
この合成光が定偏波面光ファイバ１８を通して戻される
。

このような合成光は、伝送用の定偏波光ファイバ１８内
において前記２種類のＨＥｚＸモードおよびＨＥ、、’
モードにてそれぞれ伝送されると、第５図に示すように
、無偏光ビームスプリンタ１４により反射された後、偏
光ビームスプリフタ２４により合成光を構成する垂直な
直線偏光と水平　□な直線偏光とに分割される。それぞ
れの直線偏光は、定偏波光ファイバ１８における復路の
伝送中においてコア３４の歪などによる周波数シフトΔ
ｆ１パおよびΔｆ２″を受けるので、垂直な直線偏光を
構成する２つの直線偏光の周波数がｒ、　　“＋Δｆ、
　　’＋Ａｆ、　　＋Δｆ、ＴＩ、ｆ、ｌ　＋Δ「２　
′＋Δｆｂ＋Δｆ１′′となり、水平な直線偏光を構成
する２つの直線偏光の周波数がｆｌ　°＋Δｆ、ｌ＋Δ
ｆ、トΔｆ！″、「２１＋Δ（ｚ　＋　＋Δｆ、＋Δｆ
２”となる。それらが干渉し、垂直な直線偏光の振幅強
度は次式＋１１に示す周波数で変調されたものとなり、
また水平な直線偏光の振幅強度は次式（２）に示す周波
数で変調されたものとなるので、光の強度変化をそれぞ
れ検出する第１光センサ２８および第２光センサ３２に
よって、（１１式の周波数の第１光信号Ｐｓｉおよび（
２）式の周波数の第２光信号ＰＳ２に変換される。

ｆｌ”＋Δｆ、１＋Δｆ、＋Δｆ１°“−（ｆ２′＋Δ
ｆ２１＋Δｆ、＋Δｆ１′）−（ｆ＋’−ｆｚｏ）＋（
Δ（、ｌ−Δｆｔ’）＋（Δｆ、−Δ「、）・・・（１
１ ｆ、’＋Ａｆ、’＋Ａｆｂ＋Δｆｔ”−（ｆｚ’十Δｆ
２°＋ΔＦ、＋Δｆ２１）＝　（ｆｌ’−ｆ！’）＋（
Δｒ、ｌ−Δｆｚ’Ｌ（Δｆ、−Δｔｂ　）・・・（２
） 測定回路５２においては、上記第１光信号ｐｓ１および
第２光信号ＰＳ２の差動（位相差）が検出されるととも
に、たとえばそれらの差動量に対応した時間だけ開かれ
るゲートを介して一定周波数のクロック信号を計数する
カウンタによりそれら信号の差動量が高分解能に計数さ
れ、第１コーナキユーブプリズム４８および第２コーナ
キユーブプリズム５０の変位量の差、換言すれば被測定
物４６の回転■が上記差動■に基づいて算出される。す
なわち、前記（１１式および（２）式において表された
２周波数の信号の差動量 が変位量差に対応するのである。

以上のように、本実施例によれば、光送受信部１００と
光センサヘッド部１０２との間が１本の定偏波光ファイ
バ１８により接続されるだけでよいので、それらの間の
空間を遮っても差支えなく、また、光路における空気の
ゆらぎのために計測の安定性が損なわれることがないの
で、カバーが不要となって装置が小型かつ安価となるの
である。

また、往路の定偏波光ファイバ１Ｂにおいて発生するコ
ア３４の歪などに起因した周波数シフトΔｆ　、　　Ｉ
およびΔｆ、Ｉが、λ／４板４４によって計測光１ｅを
構成する直線偏光を反対向きに９０°回転させ、且つ計
測光１ｅおよび参照光１ｃの戻り光を無偏光ビームスプ
リッタ４０により合波することにより、第１光信号Ｐｓ
ｉおよび第２光信号ＰＳ２のビート信号において打ち消
される利点がある。

次に、本発明の他の実施例を説明する。なお以下の説明
において前述の実施例と共通する部分には同一の符号を
付して説明を省略する。

第６図の実施例においては、一対の往路用の定偏波光フ
ァイバ１８ａおよび復路用の定偏波光ファイバ１８ｂが
設けられており、周波数ｆ、Ｉおよび（％の直線偏光が
集光レンズ１６ａによって一方の定偏波光ファイバ１８
ａの一方の端面に集光されることによりその定偏波光フ
ァイバ１８ａを通して光センサヘッド部１０２へ伝送さ
れる。

定偏波光ファイバ１８ａの他方の端面から出た光は、前
述の実施例と同様に、集光レンズ３９ａによって平行ビ
ームに変換された後、無偏光ビームスプリッタ４０によ
り計測光１ｅおよび参照光ＩＣに分割される。それら計
測光１ｅおよび参照光１ｃは、第１コーナキユーブプリ
ズム４８および第２コーナキユーブプリズム５０により
反射された後、無偏光ビームスプリッタ４０を透過する
計測光１ｅと無偏光ビームスプリッタ４０により反射さ
れる参照光１ｃとが合波され、その合波光は、ミラー４
２ｂにより反射された後、集光レンズ３９ｂにより他方
の定偏波光ファイバ１８ｂの一方の端面に集光されるこ
とによりその定偏波光ファイバ１８ｂを通して光送受信
部１００へ伝送される。この定偏波光ファイバ１８ｂを
通して伝送された合波光は、前述の実施例と同様に、集
光レンズ１６ｂにより平行ビームに変換された後、それ
を構成する垂直な直線偏光と水平な直線偏光とが偏光ビ
ームスプリンタ２４により分離されるとともに、第１光
センサ２８および第２光センサ３２により検出される。

本実施例においては、光送受信部１００と光センサヘッ
ド部１０２との間におけるレーザ光の伝送が往路専用の
定偏波光ファイバ１８ａと復路専用の定偏波光ファイバ
１８ｂとを用いて行われる点が前述の実施例と異なり、
他の部分の構成および作用は前述の実施例と同様である
ので、前述の実施例と同様の作用効果が得られる。また
、本実施例によれば、前述の実施例における無偏光ビー
ムスプリッタ１４が不要となるとともに、それに起因し
て第１光センサ２８および第２光センサ３２によって検
出される信号光の強度が４倍となる利点がある。

また、第１図の光センサヘッド部１０２において、第７
図に示すように、２個のコーナキューブプリズム４８．
５０を有する被測定物４６を定盤６２上に載置すれば、
測定回路５２では前記カウンタの計数値に基づいて被測
定物４６の回転角度、換言すれば定盤６２の真直度を高
い精度で検出することができる。

また、第８図に示すように、第１コーナキユーブプリズ
ム４８を光センサヘッド部１０２に固定するとともに第
２コーナキユーブプリズム５０を移動テーブル６４上に
固定すれば、測定回路５２における計数値に基づいて移
動テーブル６４の光センサヘッド部１０２に対する変位
量が高い精度で検出される。

また、上記と同様の装置において、第９図に示すように
、第２コーナキユーブプリズム５０を摺動可能に設は且
つノギスやマイクロメータのような接触式の測長器の移
動体と連結すれば、前記測定回路５２における位相差に
対応する計数値により、長さを高い精度にて測定できる
。

以上、本発明の一実施例を説明したが、本発明はその他
の態様においても適用される。

たとえば、前述の実施例における光センサヘッド部１０
２は、被測定物４６或いは光センサヘッド部１０２の図
示しないハウジングに固定された第１コーナキユーブプ
リズム４８および第２コーナキユーブプリズム５０に向
かって計測光および参照光を発射する形式であったが、
一端面に反射膜を備えたセンサ用の定偏波光ファイバを
有する形式であってもよい。この場合には、前述の実施
例と同様の計測光および参照光がセンサ用の定偏波光フ
ァイバ内を往復させられる過程で、このセンサ用の定偏
波光ファイバに加えられる音圧、振動などの外的な刺激
に対応して位相などの伝送パラメータが変化させられ、
この変化が光送受信部ｌＯＯにおいて検出される。

また、前述の実施例では、λ／４板４４が偏波面変更手
段を構成していたが、偏波面を変化させる他の光学部品
により構成されてもよいのである。

なお、上述したのはあくまでも本発明の一実施例であり
、本発明はその精神を逸脱しない範囲において種々変更
が加えられ得るものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の構成を説明する図である。 第２図、第３図、第４図、および第５図は、第１図の実
施例の作動を説明する図である。 第６図は本発明の他の実施例の構成を説明する図である
。第７図、第８図、および第９図は、第１図の実施例の
他の適用例をそれぞれ説明する図であって、第７図は定
盤の真直度の測定、第８図は変位の測定、第９図は長さ
の測定に適用された例を示している。第１０図は従来の
光ファイバセンサ装置の構成を示す図である。 １８．１８ａ、１８ｔｚ定偏波光ファイバ４４：λ／４
板（偏波面変更手段） １００：光送受信部 １０２：光センサヘッド部 出願人　　ブラザー工業株式会社 第１＝ 寸 第６図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 偏波面が互いに直交する２伝送モードにて光を伝送する
   伝送用定偏波光ファイバと、 偏波面が互いに直交し且つ周波数が異なる２種類の直線
   偏光を含むレーザ光を前記定偏波光ファイバへ出力し、
   該２種類の直線偏光を該定偏波光ファイバ内において前
   記２伝送モードにて伝送させるとともに、該定偏波光フ
   ァイバを通して戻されたレーザ光に含まれる直線偏光を
   それぞれ検出する光送受信部と、 前記光送受信部から前記定偏波光ファイバを通して伝送
   された２種類の直線偏光を含むレーザ光を参照光および
   計測光に分離した後、それら参照光および計測光を合波
   して該定偏波光ファイバへ戻すとともに、被測定量の変
   化に関連して少なくとも該計測光の伝送パラメータを変
   化させる光センサヘッド部と、 該光センサヘッド部に設けられ、前記参照光および計測
   光の一方に含まれる２種類の直線偏光の偏波面をそれぞ
   れ９０°反対方向に回転させる偏波面変更手段と、 を含むことを特徴とする光ファイバセンサ装置。