JPH01208000A - 基板位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）　産業上の利用分野 本発明は電子回路基板組立工程等で用いる基板位置決め
装置に関する。

（ロ）従来の技術 電子回路基板組立工程において、基板上の回路パターン
に位置ずれなく電子部品を配置して行くためには、回路
パターンそのものを正しい位置に保持しておくことが肝
要である。そのためには。

基板上の１点を基準として正確に回路パターンを形成し
、その−トでこの基準点を、空間内の正しい位置に置か
ねばならない。基準点を基板上に設定するについては２
通りの方式がある。そり）１は、テレビ用基板のような
比較的大型の基板に広く採用されている方式であるが、
基板に位置決め用の穴を開け、これに基き基準点を定め
るものである。工程の要所ではこの穴に位置決めビンを
挿入して位置を出す。かかる装置の例は、例えば特開昭
５５−５６６８５号公報に見ることができる。その２は
、基板の辺を基準として基準点を定める方式で、位置決
め穴を設けるゆとりのない小型基板に多く採用きれてい
る。特公昭６２−１３８３７号公報や特開昭５８−１３
０５９６号公報にその例がある。

（ハ）発明が解決しようとする課題　　、辺基準で基板
の位置決めを行なう場合、基板の進路中１ご何らかの位
置決め部材を突出させる必要がある。この位置決め部材
は、基板を送り出したり迎え入れたりする場合には基板
進路から退避していなければならない。本発明は、かか
る位置決め部材の出現または退避が、基板の受（Ｊ渡し
動作に関連して自然に行なわれるようにしたものである
。

（ニ）　　課題を解決するための手段 本発明の基板位置決め装置はまず、水平面内で２次元的
に移動するベースを有する。ベースのＬには基板の両側
縁を支持する１対のガイドレール構造が配置きれる。ガ
イドレール構造は、基板を受け渡しするだめのローディ
ングブリッジとアン、ローディングブリッジに一致する
高さと、これら両ブリッジに干渉しない高きのいＶれが
をとるものであり、そのための昇降機構が設けられてい
る。他方ベーストには、ガイドレール構造とは独立して
、押圧部材を配置する。抑圧部材は押圧部材駆動機構に
よって動かされる。

（ホ）作用 ガイドレール構造が上昇してロープづングブリソシ・ア
ンローディングブリッジの高いに揃う時、押圧部拐はベ
ースと共に下に残っており、基板の移動を妨げない。カ
イトレール構造が降下すると基板の前方ないし後方に抑
圧部材が出現することになり、ここで押圧部材駆動機構
により押圧部材に基板を押Ｖ動きを与えれは、基板は所
定の基準位置を獲得するに至る。

くべ）実施例 まず第１図に基き装置のアウトライフ・を説明する。同
図において、（１）は加工すべき基板、（３）は基板く
１）を加工位置に移動きせる基板位置決め装置、（５）
は基板位置決め装置（３）に未加工の基板（１）を送り
込む１コーデイングブリツン、（７）は基板位置決め装
置（３）から加工済基板を受け取るアンローディングブ
リッジである。ローティング＝４− ブリッジ（５）とアンローディングブリッジ（７）は、
基板位置決め装置（３）のはまり込む間隔を置いて、相
互距離不変に設置されている。基板加工作業は、基板位
置決め装置（３）の上部をローディングブリッジ（５）
とアンローディングブリッジ（７）より丁に沈み込ませ
ておいて行なう。作業終了後、基板位置決め装！（３）
の上部は上昇してローディングブリッジ（５）とアンロ
ーディングブリッジ（７）の間を連絡する。この機構に
ついては後述する。

次にローディングブリッジ（５）の構造を説明する。ロ
ーディングブリッジ（５）は、１対の平行する桁構造＜
１０＞（１１）により構成詐れる。一方の桁構造（１１
）は、桁構造（１０）に対し開閉動ｏｌ能、つまり自ら
動い又桁構造（１０〉との間の間隔を変えられるように
なっている。第６図に模型的に示す電動機（１２）が、
間隔変更動力源を構成する。電動機（１２）はねじ軸（
１３）を回転させて桁構造（１１）を動かす。

以下の説明では、桁構造（１１）のことを特に可動桁構
造と呼ぶことにする。

桁構造（１０〉と可動桁構造（１１）の互に向かい合う
縁部には、基板（１）の側縁を落とし込んで支える段部
（１４）が形設されている〈第５図、第１２図）。段部
（１４）の底の部分は、ローディングブリッジ（５〉の
出口に近い僅かな個所を除いて、その殆どを基板搬送ベ
ルト（１５）によって構成されている。桁構造（１０）
と可動桁構造（１１）の間には、基板搬送ベルト＜１５
）によって運んで来た基板（１）のオーバーランを防ぐ
ためのストッパ（１６）を配置する。ストッパ（１６）
は第１６図に示す形状をしたレバー様の部材であって、
桁構造（１０）の外面に水平に支持された回動軸（１７
）に取り付けられ、先端の爪部＜１８）を、回動軸（１
７）の一方向への回動と共に基板係止位置へ進出さ七、
回動軸（１７）の逆方向・＼の回動と共に基板係止位置
から待避許せる。（１９）はストッパ（１６）の進退ア
クチュエータである。進退アクチュエータ（１９〉はエ
アンリンダにより構成され、桁構造（１０）から突出し
たブラケット（２０）に基端を枢支され、ロッド（２１
）の先端を、回動軸＜１７）に固定したクランク（２２
）に連結している。進退アクチュエ−６＝ −タフ１９）がロッド（２１）を出し入れすることによ
り、回動軸（１７）に回動が生しる。回動軸（１７）の
、アンローディングブリッジ゛（７）側の端には出力部
材（２３）を固定する。出力部材（２３）ｌ−１先端に
ｌｊ−ラ（２４）を有するレバー様部材であイ１゜（２
６）は基板（１）を送るためのウオーキングビームで、
３木の爪（２７）（２８）（２９）を下向きに突出許せ
ている。爪（２７）は基板位置決め装置（３）から加工
済基板（１）を押し出すためのもの、爪（２８）（２９
）は、ローディングブリッジ〈５）から基板位置決め装
ｅ（３）へ、未加工の基板（１）を前後から挾Ａ７で送
り込むためのものである。

アンローディングブリツレ（７）も、平行する１対の桁
構造（４０バ４１）からなる。可動桁構造〈１１）と同
し側に位置する桁構造（４１〉は、やはり桁構造（４０
）に対し間隔変更運動可能となっている。そこで、桁構
造（４１）も可動桁構造と呼ぶ。可動桁構造（４１）の
間隔変更動力源は、第６図に模型的に示す電動機（４２
）と、これによって回転せしめられるねし軸（４３）で
ある。電動機（１２）（４２）は、可動桁構造（１１Ｘ
１４）が、同時に、同方向へ、同速度で、同距離だけ移
動するよう、制御装置（４４）により制御される。桁構
造（４０）と可動桁構造（４１）の互に向かい合う縁部
には、基板（１）の側縁を落とし込んで支える段部（４
５）が形設され、段部（４５）の底の部分は、アンロー
ディングブリッジ（７）の入口に近い僅かな個所を除い
て、その殆どを基板撤退ベルト（４６〉によって構成さ
れている。

基板位置決め装置（３）の構造は次の通りである。ベー
ス（５０）はいわゆるＸ　Ｙ−：’−−プルであって、
水平面内で２次元的に移動する。この上にフレーム（５
１）が設置きれ、フレーＡ（５１）の上部には、ローデ
ィングブリッジ（５）及びアンローディングブリッジ（
７）の桁構造と並ぶように、１対のガイドレール構造（
５２）（５３）を設置する。ガイドレール構造（５３）
はガイドレール構造（５２〉に対し間隔変更運動可能で
あり、可動ガイドレール構造と呼ぶことにする。ガイド
レール構造（５２）と可動ガイドレール構造（５３）は
レール板（５４）（５５）を有する。

またレール板（５４）（５５）から−段と低くなって、
向かい合う段部（５６）が形設され、ここで基板（１）
の側縁を支持するようになっている。レール板（５５）
については、段部（５６）のところに多数のローラ（６
１）を配置している。ローラ（６１）は１列に並んで基
板（１）の縁部を誘導するもので、各々が１個つつのス
ライドブロック（６２）に支持されている。各スライド
ブロック（６２）は、第７図に見られるように一定のス
トローク範囲で進退が可能であって、圧縮コイルばね（
６３）により、ローラ（６１）を最大限に突出させる位
置まで押し出されている。

可動ガイドレール構造（５３）について更に詳しく述べ
る。（７０）は可動ガイドレール構造（５３〉の主部を
なすベースプレートで、レール板（５５）はその上に載
置されている。レール板（５５）の両端には基板く１）
の流れ方向と直角の方向に延びる長穴（７１）が形設き
れており、この長大（７１）に、ベースプレーｈ（７０
）から突出した案内ピン（７２）が係合している。ベー
スプレート（７０〉の側面にばばね受け板（７３）を固
定し、このばね受け板（７３）とレール板＜５５）の間
に、第７図に示すように圧縮コイルばね（７４〉を挿入
して、レール板（５５）を１・−ル板（５４）の方へ押
し出している。レール板（５５）の進出を止めるストッ
パ（７５）もまた、ベースプレート（７０）に固定する
（第７図几第４．５．６．８図に示す（７６）は大きく
広がった頭部を有する抜は止めボルトであって、レール
板（５５〉に穿った長穴（長穴（７１）と同方向に延び
る）を通じてベースプレート（７０）にねじ込まれ、レ
ール板（５５）をスライド可能に、且つベースプレート
（７０）から分離しないように保持する。

ベースプレート（７０）の、ローディングブリッジ（５
）及びアンローディングブリッジ（７）の端部に面する
ことになる側面には、１対づ一つの連結ローラ（８０）
が、水乎方向に所定の間隔を置いて装着されている。レ
ール板〈５５）の方には、両側に１個づつのカムフォロ
ワローラ〈８１）を装着する。力１１フォロワローラ（
８１）は通常、すなわちレール板（５５〉がストッパ（
７５）に当たっている状態において、１対の連結ローラ
（８０〉のうちレール板（５４）から遠い側のものより
もややレール板（５４）の方に偏位した位置にある（第
９図）。カムフォロワローラ（８１）は、ローディング
ブリッジ（５）とアンローデイ〉・グブリッジ（７）の
可動桁構造（１１）（４１＞に固定されたくきび状のカ
ム板（８２）と組み合わきって、カム装置り８３）を構
成している。

ガイドレール構造（５２〉及び可動ガイドレール構造（
５３）は昇降機構（９０）によって昇降せしめられる。

（９１）は昇降機構（９０）の主部をなす昇降フレーム
で、フレーム（５１）の上部構造を構成しており、図示
しない軸受にガイドロッド（１０３）を嵌合させて、垂
直に昇降する。昇降動力源となるのはフト一ム（５１）
に取り付けたエアシリンダ（９２）である。

エアシリンダ（９２）のロッド（９３）は真−ヒを向き
、その先端には押し上げヘッド（’９４）が装着されて
いる。押し上げヘッド（９４）は、フし・−ム（５１）
に枢支したレバー（９５）の先端のローラ（９６）を押
し上げる。レバー（９５）の裏側には別のローラ（９７
）が取り付けられており、このローラ（９７〉が、昇降
フレーム（９１）の−側面から張り出した耳片（９８）
を押し上げる。而してレバー（９５）は回動軸（９９〉
の一端に固定されるのであるが、回動軸（９９）の他端
にはもう１本のレバー（１００）が固定されており、こ
のレバー　（１００）の先端のローラ（１０１）が、昇
降フレーム（９１）の他側面から張り出した耳片（１０
２）を押し上げる仕組みになっている。これにより、単
一のエアシリンダ（９２）の力を昇降ル−ム（９１）の
両側に均等に伝えることができる。

上記昇降フレーム（９１）に対し、ガイドレール構造（
５２）は固定されているが、可動ガイドレール構造（５
３）は、直線ガイド機構（ｎｏ）（第２．３図〉により
、スライド可能に支持されている。スライド方向は基板
（１〉の流れ方向と直角である。可動ガイドレール構造
（５３）から垂下したブラケット・（１１１）に、可動
ガイドレール構造（５３）のスライドを止めるブレーキ
機構（１１２）が支持されている。

ブレーキ機構（１１２）はロッドの先端にブレーキパッ
ド（’１１３）を取り付けたエアシリンダ（１１４）に
より構成される。ブレーキパッド（１１３）は常時は圧
縮コイルバネ（１１５）の力により昇降フレーム（９１
）の下面に押し、付けられ、可動ガイドレール構造（５
３）をロックしている。エアシリンダ（１１４）が作動
するとブレーキパッド（１１３）は昇降フレーム（９１
）から引き離され、可動ガイド１〜−ル構造（５３）は
スライドできるようになる。

基板位置決め装置（３）において、基板流れ方向と直角
方向の位置決めはレール板（５５〉が基板（１〉をレー
ル板（５４）に押し付けることによって構成されるが、
基板流れ方向の位置決めについては別途方策を講じなけ
ればならない。以下その機構を説明する。

（１２０）は基板（１）の進行方向前縁（以下単に１前
縁」と呼ぶ）ないし進行方向後縁（以下単に「後縁」と
呼ぶ）を受け止める位置基準部材である。

位置基準部材（１２０）は（・バー＜１２１）の先端に
設（つられており、し／＜　　（１２１）は、ガイドレ
ール構造（５２）と平行する如く昇降フレーム（９１）
に枢支きれた回動軸（１２２）（第１３図）に取り付け
られている。

レバー（１２１）の根元はすり割り部（１２３）となっ
ており、締付ポルｈ（１２４）を緩めれは回動軸（１２
２）の軸線方向にレバー（１２１）をスライドさせるこ
とかできる。レバー（１２１）の取（１角度が狂わない
よう、レバー（１２１）と回動軸（１２２）の間にはキ
ー（１２５）を介在さぜる。回動軸（１２２）は、その
一端に固定したレバー（１２６）を図示しないばねが押
すことにより、レール板＜５４）（５５）の間に位置基
準部材（１２０＞が顔を出す角度位置に常時保持されて
いる。回動軸（１２２＞の他端にはレバー様の動力伝達
部材（１２７）を固定する。この動力伝達部材（１２７
）は、ローディングブリッジ（５）の出力部材（２３）
から動きを伝えられることになる。進退アクチュエータ
（１９）、出力部材（２３）、動力伝達部材（１２７）
の組み合わせにより５位置基準部材駆動機構（１２８＞
が構成される。なお位置基準部材（１２０）の両面から
は図示しないばねで附勢されたバンパ一部材（１２９）
が突出している。ばねの力は弱いものであり、基板（１
）が当たればバンパ一部材（１２９）は容易に位置基準
面の中に引っ込む。

位置基準部材（１２０＞に基板（１）を押し付ける押圧
部材は、昇降フレーム（９１）にではなく、フレーム（
５１〉の非昇降部分に設置芒れる。基板（１）の前縁側
と後縁側とに、第１の抑圧部材（１４０）と第２の押圧
部材（１４１）を対称的に設ける。第１と第２の抑圧部
材（１４０）（１４１）は垂直な回動軸け４２）（１４
３＞に固定されたレバー様部材であって、先端には基板
（１）に接触するローラ（１４４）＜１４５：）を有す
る。これらの抑圧部材（１４０）（１４１）は、次のよ
うに構成きれる抑圧部材駆動機構（１４７）によって動
かされる。すなわち回動軸（１４２）（１４３）には、
互に相手の方に突出するようにレバー（１４８）（１４
９）を固定するく第１５図）。レバー（１４８＞（１４
９）の先端にけローラ（１５０）（１５１＞を固定し、
また引張コイルばね（１５２）（１５３）により、レバ
ー（１４８）は第１５図において反時計まわりに、レバ
ー（１４９）は同しく時計まわりに、それぞれ附勢され
ている。ローラ（１５０）（１５１）はフレーム（５１
）に水平に支持したスライドロッド（１５４）（１５５
）に当たる。スライドロッド（１５４）＜１５５）は圧
縮コイルはね＜１５６）（１５７）により最大進出位置
（抜止リング（１５８）が限界を定める）に押し出され
る。基板位置決め装置（３）がローディングブリッジく
５）とアンローディングブリッジ（７）の間のいわゆる
原点に復帰すると、この位置に設けである不動スト・ツ
バ（１５９）にスライドロッド（１５４）（１５５）が
当たって押され、レバー＜１４８）（１４９）をばね（
１５２）（１５３）に抗して押し、押圧部材（１４０）
（１４１）を位置基準部材（１２０）から遠ざかる方向
に回動させることになる。

図中＜１７０）は接着剤デイスペンサである。

本発明装置は次のように動作する。基板（１）の加工と
は、本実施例の場合、接着剤デイスペンサ（１７０）が
降下して基板表面に接着剤を付着させる作業のことであ
るが、その作業時には昇降フレーム（９１）は降下位置
にあり、ガイドレール構造（５２〉と可動ガイドレール
構造（５３）は、ローディングブリッジ（３）とアンロ
ーティングブリッジ（７）に干渉しない高さに下がって
いる（第２図）。基板加工作業は、ガイドレール構造（
５２）と可動ガイド【・−ル構造（５３）を下げると共
に、不動ストッパ（１５９）から基板位置決め装置（３
）を引き離して行なう。

このため押圧部材駆動機構（１４７）のスライドロッド
（１５４）（１５５）は最大進出位置に移動しており、
押圧部材（１４０）（１４１）は位置基準部材（１２０
）に接近し、基板（１）の位置決めを行なっている。図
示の例では、第２の抑圧部材（１４１）と位置基準部材
（１２０）との間に基板（１〉を挾む設定となっている
。またレール板（５５）はばね（７４）の弾発力により
レール板（５４）に基板（１）を押し付ける。これによ
り、互に直交する２方向に関し基板位置決め装置（３）
と基板（１）の相対位置が決定きれる。

基板加工終了後、基板位置決め装置（３）は原点に復帰
する。原点に復帰すると、スライドロッド（１５４）（
１５５）が不動ストッパ（１５９）に当たって押され、
押圧部材（１４０）（１４１）は位置基準部材（１２０
）から離れる向きに回動し、基板く１）はその流れ方向
において拘束を解かれる。次いでエアシリンダ（９２）
が動作し、荷降フレーム（９１）を上昇させる。

抑圧部材（１４０）＜１４１＞は下に残り、基板（１）
の前後から消える。昇降フレームク９１ンの」二昇に伴
ないガイドレール構造り５２）はローディングブリッジ
（５）とアンローディングブリッジ（７）の桁構造（１
０）（４０）の間にはまり込んで３者−直線に並び、可
動ガイドレール構造（５３）は同しく可動桁構造（１１
）り４１）の間にはまり込んで３者−直線に並ぶ。その
際、レール板（５５）が可動桁構造（１１）（４１）の
間に入フて行くにつれ、第９図から第１１図に示すよう
にカム板（８２）とローラカムフォロワ（８１）との間
に接触が生し、レー１し板（５５）はばね（７４）に抗
し移動せしめられて、基板（１）を釈放する。可動ガイ
ドレール構造（５３）が土羽の頂点に達した第１１図の
状態では、カム板（８２）が連結ローラ（８０＞（８０
）の間に嵌合し、可動ガイドレール構造（５３）そのも
のが可動桁構造（１１）（１４）に連結する形になる。

他方ガイドレール構造（５２）の側においては、レバー
（１２７）が出力部材（２３）に並び、出力部材（２３
）のローラ（２４）が動力伝達部材（１２７）の上面に
対向している。

ここで進退アクチュエータ（１９）の動作が生しる。第
１８図のように進退アクテュエータ（１９）がロッド（
２１）を伸ばすとストッパ（１６）は下向きに回動し、
これに当たって止まっていた基板（１）から離れる。出
力部材（２３）も下向きに回動し、ローラ（２４）で動
力伝達部材（１２７）を押す。そのため回動軸（１２２
）が回動し、位置基準部材（１２０）は基板体正位置か
ら退避する（第６．１５図）。それと共にウオーキング
ビーム（２６）が動き、基板位゛置決め装置（３）から
加工済の基板（１〉をアンローディングブリッジ（７）
へと押し出し、また未加工の基板（１）をローディング
ブリッジ（５）から基板位置決め装置へ移す。ウオーキ
ングビーム（２６）の動作中は、基板搬送ベルト（１５
）は静止している。基板（１〉の受け渡しを終えた後、
進退アクチュエータ（１９）はロッド（２１）を引っ込
め、ストッパ（１６）と位置基準部材（１２０）は旧位
置に復元する。それと同時に基板搬送ベル１−（１５）
の動きが再開し、新たな未加工基板（１）をストッパ（
１６）のところまで運んで来るものである。アンローデ
ィングブリッジ（７）の方の基板搬送ベル１−（４６）
は常時運転しており、加工Ｓ基ｍ（１）の一部がその上
にかかった時点で、摩擦力により引き込んで運び去って
いるものである。

次いでシリンダ（９２）が昇降フレー　ム（９１）ヲ降
Ｔさせる。カム板り８２）からカムフォロワローラフ８
１）が離れることにより、レール板（５５）ばばね（７
４）の力で進出し、基板（１）をし・−ル板（５４）に
押しつける。昇降フレームで９１）が降りきると押圧部
材（１４０）（１４１局（基板（１）の前後に出現する
ことになる。基板位置決め装置（３）が水平に移動し、
不動ストッパ（１５９）から離れて行くと、押圧部材（
１４０）＜１４１）は位置基準部材（１２０）に接近し
、第２の押圧部材（１４１）は基板（１）を後方から押
して位置基準部材＜１２０）に押しつけ、基板（１）に
所定の基準位置を獲得許せる。

基板（１）が後辺を基準辺とする場合は、位置基準部材
（１２０）の前に基板（１）を送り込む。今度は第１の
押圧部材（１４０）が基板（１）の後縁を位置基準部材
（１２０）に押しつけることになる。レバー（１２１）
を回動軸（１２２）に沿って移動させることにより、位
置基準部、ｔ、１（１２０）と押圧部材（１４０）（１
４１）の間隔を基板（１）の前後方向長拵に応して自由
に設定することができる。このように基板く１）の送り
込み深きを変えるため、ウオーキングビーム、（２６）
は、その移動ストロークを変更できるようにしておく。

また爪（２８）（２９）も位置可変であるのが望ましい
。

基板（１）の搬送幅は次のようにして調節する。

基板位置決め装置（３）を原点に置き、昇降フレーム（
９１ンを上昇させると、前述のように連結ローラ（８０
）（８０）がカム板（８２）を挾んで可動桁構造（１１
）（４１）と可動ガイドレール構造（５３）は連結する
。ここでブレーキ機構（１１２）による可動ガイドレー
ル構造（５３）のロックを解除し、電動機（ｔ２）（４
２）を駆動すると、可動桁構造（１１）（４１）と可動
ガイドシ・−爪構造（５３）は一体となって基板搬送幅
を広げる方向または狭まる方向に移動する。所望の搬送
幅が得られたところで電動ＩＩ　（１２）（４２）を停
止し、ブレーキ機構（１１２）により再び可動ガイドレ
ール構造（５３〉をロック寸れば、以後その幅で基板（
１）を受け入れて搬送することになる。

（ト）発明の効果 本発明によれば、基板受け渡しのためガイドレール構造
が昇降する、その動きに基き押圧部材が＝２１一 基板進路に出没することになるため、押圧部材を出没き
せるだめの専用機構が不要となる利点がある。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例を示し、第１図は装置の概略構成
を示す斜視図、第２図及び第３図は基板位置決め装置の
要部断面正面図にし−Ｃ１異なる動作状態を示すもの、
第４図はガイドレール構造の昇降機構を示す斜視図、第
５図及び第６図は異なる動作状態の上面図、第７図及び
第８図は可動ガイドレール構造の断面図及び部分上面図
、第９図乃至第１１図は可動ガイドレール構造とカム板
との相互作用を説明する側面図、第１２図はローディン
グブリッジ側可動桁構造の部分斜視図、第１３図は不動
側のガイドレール構造の斜視図、第１４図は基板位置決
め装置の拡大」−面図、第１５図は同じく基板位置決め
装置の拡大上面図にして、要部を破断したもの、第１６
図は位置基準部材駆動機構の斜視図、第１７図及び第１
８図は位置基準部材駆動機構の動作説明図である。 （１）・・・基板、（３）・・・基板位置決め装置、（
５２）（５３）・・・ガイドレール構造、（５〉・・・
ロープ、ｒングブリソシ、（７）・・・アンローティン
グブリフシ、（９０）・・・昇降機構、（１４０）（１
４１）・・・押圧部材、（１４７＞・・・抑圧部材駆動
機構。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）次の構成要素を備えた基板位置決め装置。 （ａ）水平面内で２次元的に移動するベース（ｂ）前記
   ベース上で基板の両側縁を支持する役割を担う１対のガ
   イドレール構造 （ｃ）前記ガイドレール構造を、基板を受け渡しするた
   めのローディングブリッジとアンローディングブリッジ
   に一致する高さまで上昇させ、あるいはこれら両ブリッ
   ジに干渉しない位置まで降下させる昇降機構 （ｄ）ガイドレール構造とは独立してベース上に設置さ
   れ、ガイドレール構造の降下により基板の前方ないし後
   方に出現するに至る押圧部材（ｅ）前記押圧部材に基板
   を押す動きを与 え、もって基板に所定の基準位置を獲得せしめる押圧部
   材駆動機構。