JPH01207996A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ〉　産業上の利用分野 本発明は電子回路基板等の基板を加工するユニ程で用い
る基板搬送装置に関する。

（ロ）　従来の技術 基板加工工程、例えば電子回路基板に電子部品を装着す
るといった工程においては、ＸＹテーブルのような基板
位置決め装置に基板を固定して、゛基板の任意の位置を
加工用工具（例えば電子部品装着用真空チャック）に相
対させる、という構成をとることが多い。基板位置決め
装置に基板を取り付けたり、あるいはそこから基板を取
り外したりする作業も最近では殆ど自動化されている。

この作業に関連してローディングブリッジとアンローデ
ィングブリッジが用いられる。基板位置決め装置、ロー
ディングブリッジ、アンローディングブリフシは一直線
に並んで基板の受け渡しを行なう。かかる装置の例は、
例えは特公昭５９−１２５６５号公報、特公昭６２−１
３８３７写公報に見ることができる。

−に記の如き基板搬送装置において、基板位置決め装置
に乗り移った基板は、基板位置決め装置に対し一定の位
置を保つよう固定きれる。かかる位置決めと固定には、
特開昭５５−５６６８５号公報の例のように、基板の位
置決め穴にピンを挿入するという手法によることもあり
、また特公昭６２−１３８３７号公報の装置のように、
前後左右から基板を挾みつけるという手法によることも
ある。後者の手法は、位置決め用穴を設けるスペースの
ない小型基板に多く適用される。

（ハ）発明が解決しようとする課題 ３一 基板位置決め装置に送り込まれた基板を挾めつけて固定
するに際しては、基板の両側縁を案内−４るレール板そ
れ自体を挾みっけ手段として利用することが多い。この
場合、可動側となったレール板を開閉動させるのはエア
シリンダであ−）た。しかしｌがら、基板位置決め装置
は限られた領域内ではあるが自在な、且つ敏速な動きを
要求されるものであり、配管・配線を要するアクチユエ
ータの類は搭載しないにこしたことはない。そこで本発
明は、内蔵アクナユ：〔、−夕によらずして基板位置決
め装置の可動レール板を動作させることのできる装置を
提供しようとするものである。

（ニ）課題を解決するための手段 本発明においては、ローディングブリッジとアンローデ
ィングブリッジを、基板位置決め装置のはまり込む間隔
を置いて相互距離不変に設置する。基板位置決め装置の
レール板は、基板受け渡し時のみローディングブリッジ
・アンローディングブリッジと一直線に並び、それ以外
の時点では両ブリンジの間から抜け出して、両ブリッン
に干渉することなく水平方向に移動させられるようにす
る。レール板の内可動側となったものをはねにより基板
挾みつけ方向に附勢すると共に、このレール板とローデ
ィングブリッジ及びアンローディングブリッジの一方又
は双方との間には、はねによる附勢と反対方向の動きを
レール板に生ぜしめるカム装置を設ける。

（ホ）作用 レーＬ板がローディングブリッジとアンロープインクブ
リッジの間にはまり込む過程において、カム装置のカム
が接触を生じ、可動側のｔ・−ル板をばねによる附勢力
に抗して移動させる。このため、今」；でし・−ル板間
に挾みつけられていた基板は釈放きれ、アンローディン
グブリッジへの乗り移りが可能になる。基板の受け渡し
を終わり、レール板が両ブリッジの間から抜け出すと力
ｌ、の接触が解消し、可動側のレール板は新しく受け取
った基板を挾みつける。

くべ）　実施例 まず第１図に基き装置のアウトラインを説明する。同図
において、く１）は加工ず−き基板、（３）は基板（１
）を加工位置に移動させる基板位置決め装置、（５〉は
基板位置決め装置（３）に未加工の基板〈１〉を送り込
むローディングブリッジ、（７）は基板位置決め装置（
３）から加工済基板を受け取？）アンローディングブリ
ッジである。ローディングブリッジ（５）とアンローデ
ィングブリッジ（７）は、基板位置決め装置（３）のは
まり込む間隔を置いて、相互距離不変に設置されている
。基板加工作業は、基板位置決め装置（３）の上部をロ
ーディングブリッジ（５）とアンローディングブリッジ
（７）より下に沈み込ませておいて行なう。作業終了後
、基板位置決め装置（３）の上部は上昇しでローディン
グブリッジ（５）とアンローディングブリッジく７）の
間を連絡する。この機構につい−Ｃは後述する。

次にローディングブリッジく５）の構造を説明する。ロ
ーディングブリッジ（５）は、１対の平行する桁構造（
１０）（１１）により構成される。−づｊの桁構造（１
１）は、桁構造（１０）に対し開閉動可能、つまり自ら
動いて桁構造（１０）との間の間隔を変えられるように
なっている。第６図に模型的に示す電動機（１２）か、
間隔変更動力源を構成する。電動機〈１２）はねじ軸（
］３）を回転させて桁構造（１１）を動かす。

以下の説明では、桁構造（１１）のことを特に可動桁構
造と呼ぶことにする。

桁構造〈１０）と囲動桁構造り１１）の互に向かい合う
縁部にＣＪ、基板（１）の側縁を落とし込んで支える段
部（１４）が形設されている（第５図、第１２図）。段
部（１４）の底の部分は、ローディングブリッジ（５）
の出口に近い僅かな個所を除いて、その殆とを基板搬送
ヘルド（１５）によって構成されている。桁構造（１０
）と可動桁構造（１１）の間には、基板搬送ヘルｈ（１
５）によ−）て運んで来た基板（１）のオーバーランを
防ぐためのストッパ（１６）を配置する。ストッパ（１
６）は第１６図に示す形状をしたレバー様の部材であっ
−て、桁構造（１０）の外面に水平に支持された回動軸
（１７）に取り付（つられ、先端の爪部（１８）を、回
動軸（１７）の一方向への回動と共に基板係止位置へ進
出許せ、回動軸（１７）の逆方向への回動と共に基板係
止位置から待避させる。〈１９）はストッパ＜１６）の
進退アクチュエータである。進退アクチュＪ、−り（１
９）はエアシリンダにより構成され、桁構造（１０）か
ら突出［、たブラケットク２０）に基端を枢支され、Ｉ
：Ｉラド（２１）の先端を、回動軸（］７）に固定し。

たクランク〈２２）に連結している。進退アクチュエー
タ（１９）がロソ）：（２１）を出し入れすることによ
り、回動軸（１７〉に回動が生じる。回動軸（１７）＋
７ン、アンローディングブリッジ（７）側の端には出力
部材（２３）を固定する。出力部材（２３ンは先端にロ
ーラ（２４）を有するレバー様部材である。

（２６）は基板く１）を送るためのつオーキングビーム
で、３４の爪（２７）（２８）（２９）を下向きに突出
させてい乙。爪（２７丹ま基板位置決め装置（３〉から
加工済基板（１）を押し出すだめのもの、爪＜２８）（
２９）は、ローディングブリッジ（５）から基板位置決
め装置（３）へ、未加］−の基板（１）を前後から挾ん
で送り込むためのものである。

アンローディングブリフジ（７）も、平行する１対の桁
構造（４０）（４１）からなる。可動桁構造＜１１）と
同し側に位置する桁構造（４１）は、やはり桁構造（４
０）に対し間隔変更運動可能となっている。そこで、桁
構造（４１）も可動桁構造と呼ぶ。可動桁構造（４１）
の間隔変更動力源は、第６図に模型的に示す電動機（４
２）と、これによって回転せしめられるねし軸（４３）
である。電動機（１２）（４２）は、可動桁構造（１１
）（１４）が、同時に、同方向へ、同速度で、同距離た
け移動するよう、制御装置（４４）により制御される。

桁構造（４０）と可動桁構造（４１）の互に向かい合う
縁部には、基板（１）の側縁を落とし込んで支える段部
（４５）が形設きれ、段部（４５）の底の部分は、アン
ローディングブリッジ（７）の入口に近い僅かな個所を
除いて、その殆どを基板搬送ベルト（４６）によって構
成きれている。

基板位置決め装置（３）の構造は次の通りである。ベー
ス（５０）はいわゆるＸＹテーブルであって、水平面内
で２次元的に移動する。この上にフレーム（５１）が設
置され、フレーム（５１）の上部には、ローディングブ
リッジ（５）及びアンローディングブリッジ（７）の桁
構造と並ぶように、１対のガイドレール構造（５２）（
５３）を設置する。ガイドし・−ル構造（５３）はガイ
ドレール構造（５２）に対し間隔変更運動可能であり、
可動ガイドレール構造と呼ぶことにする。ガイドレール
構造（５２）と可動ガイドレール構造（５３）はレール
板（５４）（５５）を有する。

またレール板（５４）（５５）から−段と低くなっ−Ｃ
１向かい合う段部（５６）が形設され、ここで基板（１
）の側縁を支持するようになっている。レール板（５５
）については、段部（５６）のところに多数のローラク
ロ１）を配置している。ローラ（６１）は１列に並んで
基板（１）の縁部を誘導するもので、各々が１個つつの
スライドブロック（６２）に支持されている。各スライ
ドブロック（６２）は、第７図に見られるように一定の
ストローク範囲で進退が可能であって、圧縮コイルばね
（６３）により、ローラ（６１）を最大限に突出させる
位置まで押し出され−Ｃいる。

可動ガイドレール構造り５３）について更に詳しく述へ
る。（７０）は可動ガイドレール構造（５３）の主部を
なすベースプレートで、レール板（５５）はその上に載
置されている。レール板（５５）の両端には基板（１）
の流れ方向と直角の方向に延びる長穴（７１）が形設さ
れており、この長大（７１）に、ベースプレート（７０
）から突出した案内ピン（７２）が係合している。ベー
スプレート（７０）の側面にばばね受け板（７３〉を固
定し、このはね受け板（７３）とレール板（５５）の間
に、第７図に示すように圧縮コイルばね（７４）を挿入
して、レール板（５５）をレール板（５４）の方へ押し
出している。レール板（５５）の進出を止めるストッパ
（７５）もまた、ベースプレート（７０）に固定する（
第７図）。第４．５．６．８図に示す（７６）は大きく
広がった頭部を有する抜け止めボルトであって、レール
板（５５）に穿った長穴（長穴（７１〉と同方向に延び
る）を通じてベースプレート（７０）にねじ込まれ、レ
ール板（５５）をスライド可能に、且つベースプレー１
−（７０）から分離しないように保持する。

へ−スプレート（７０）の、ローディングブリッジく５
）及びアンローディングブリッジ（７）の端部に面する
ことになる側面には、１対つつの連結ローラフ８０）が
、水平方向に所定の間隔を置いて装着されている。レー
ル板（５５〉の方には、両側に１個うつのカムフォロワ
ローラ（８１）を装着する。カムフすロワローラ（８１
）は通常、すなわちレール板（５５）がストッパ（７５
）に当たっている状態において、１対の連結ローラ（８
０）のうちレール板（５４ンから遠い側のものよりもや
やレール板（５４）の方に偏位した位置にあろく第９図
）。カムフォロワローラ（８１〉は、ローディングブリ
ッジ（５）とアンローディングブリッジ（７）の可動桁
構造（１１）（４１）に固定されたくさび状のカム板（
８２）と組み合わさって、カム装置（８３）を構成して
いる。

ガイドレール構造（５２）及び可動ガイドレール構造（
５３）は昇降機構（９０）によって眉降せしめられる。

（９１〉は昇降機構（９０）の主部をなす昇降フレーム
で、フレーム（５１）の上部構造を構成しており、図示
しない軸受にガイドロッド（１０３）を嵌合させて、垂
直に昇降する。昇降動力源となるのはフレーム（５１）
に取り付けたエアシリンダ（９２）である。

エアシリンダ（９２）のロッド（９３）は真上を向き、
その先端には押し上げヘッド（９４〉が装着されている
。押し上げヘッド（９４）は、フレーム〈５１）に枢支
したレバー（９５）の先端のローラ（９６）を押し上げ
る。レバー（９５〉の裏側には別のローラ（９７〉が取
り付けられており、このローラ（９７）が、昇降ル−ム
（９１〉の−側面から張り出した耳片（９８）を押し上
げる。而してレバー（９５〉は回動＠（９９）の一端に
固定されるのであるが、回動軸（９９）の他端にはもう
１本のレバー（１００）が固定されており、このレバー
　＜１００）の先端のローラ（Ｌｏｔ）が、昇降フレー
ム（９１）の他側面から張り出した耳片（１０２）を押
し上げる仕組みになっている。これにより、単一のエア
シリンダ（９２〉の力を昇降フレーム（９１）の両側ニ
均等に伝えることができる。

上記昇降フレーム（９１）に対し、ガイドレール構造（
５２）は固定されているが、可動ガイドレール構造（５
３）は、直線ガイド機構（ｎｏ＞（第２．３図〉により
、スライド可能に支持きれている。スライド方向は基板
（１）の流れ方向と直角である。可動ガイドレール構造
（５３）から垂下したプラゲント（１１１）に、可動ガ
イドレール構造（５３）のスライドを止めるブレーキ機
構（１１２）が支持されている。

ブレーキ機構（１１２）はロッドの先端にブレーキパッ
ド（１１３）を取り付けたエアシリンダ（１１４）によ
り構成される。ブレーキパッド（１１３）は常時は圧縮
ジイルバネ（１１５）の力により昇降フレーム（９１）
の下面に押し付けられ、可動ガイドレール構造（５３）
をロックしている。エアシリンダ（１１４）が作動する
とブレーキパッド（１１３）は昇降フレーム（９１）か
ら引き離きれ、可動ガイドし・−ル構造＜５３）はスラ
イドできるようになる。

基板位置決め装ｅ（３）において、基板流れ方向と直角
方向の位置決めはレール板（５５）が基板（１）をレー
ル板（５４）に押し付けることによって構成されるが、
基板流れ方向の位置決めについては別途′ｈ策を講しな
ければならない。以下その機構を説明する。

（１２０）は基板（１）の進行方向前縁ぐ以下単に「前
縁」と呼ぶ）ないし進行方向後縁（以下彫に１後縁」と
呼ぶ）を受け止める位置基準部材である。

位置基準部材（１２０）はレバー（１２１）の先端に設
げられており、レバ〜（１２１）は、ガイドレール構造
（５２）と平行する如く昇降フレーム（９１）に枢支さ
れた回動軸（１２２）（第１３図）に取り付けられてい
る。

レバー（１２１，１１の根元はすり割り部（１２３）と
なっており、締付ポル１べ１２４）を緩めれは回動軸（
１２２）の軸線方向にレバー（１２１）をスライドさ七
ることができる。レバー（１２１＞の取付角度が狂わな
いよう、レバー（１２１）と回動軸（１２２＞の間には
キー（１２５）を介在させる。回動軸（１２２）は、そ
の一端に固定したＩ・バー（１２６）を図示しないばね
が押すことにより、レール板（５４Ｈ５５）の間に位置
基準部材（１２０＞が顔を出す角度位置に常時保持きれ
ている。回動軸（１２２）の他端にはレバー様の動力伝
達部材（１２７＞を固定する。この動力伝達部材（１２
７）は、ローディングブリッジ（５）の出力部材（２３
）から動きを伝えられること（こなる。進退アクチュエ
ータ（１９）、出力部材（２３）、動力伝達部材（１２
７）の組み合わせにより、位置基準部材駆動機構（１２
８）が構成きれる。なお位置基準部材（１２０）の両面
からは図示しないばねで附勢されたバンパ一部材（１２
９）が突出している。ばねの力は弱いものであり、基板
（１）が当たれば／ペンバ一部材（１２９）は容易に位
置基準面の中に引っ込む。

位置基準部材＜１２０）に基板（１）を押し付ける抑圧
部材は、昇降フレーム（９１）にではなく、フレーム（
５１）の非昇降部分に設置される。基板（１）の前縁側
と後縁側とに、第１の抑圧部材（１４０）と第２の押圧
部材（１４１）を対称的に設ける。第１と第２の抑圧部
材（１４０）（１４１）は垂直な回動軸（１４２）（１
４３）に固定されたレバー様部材であって、先端には基
板（１）に接触するローラ（１４４）（１４５）を有す
る。これらの抑圧部材（１４０）（１４１）は、次のよ
うに構成される抑圧部材駆動機構（１４７）によって動
かされる。ずなわち回動軸（１４２）（１４３）には、
互に相千の方に突出するようにレバー（１４８）（１４
９）を固定する（第１５図）。レバー（１４８）（１４
９）の先端にはローラ（１５０）（１５１）を固定し、
また引張コイルばね（１５２）（１５３）により、レバ
ー（１４８）は第１５図において反時計まわりに、レバ
ー（１４９）は同じく時計まわりに、それぞれ附勢きれ
ている。ローラ（１５０）（１５１）はフレーム（５１
〉に水平に支持したスライドロッド（１５４）（１５５
）に当たる。フライドロッド（１５４）（１５５）は圧
縮フィルはね（１５６）（１５７）により最大進出位置
（抜止リング（１５８）が限界を定める）に押し出され
る。基板位置決め装置（３）がローディングブリッジ（
５辰アンローデイングブリツジ（７）の間のいわゆる原
点に復帰すると、この位置に設けである不動ストッパ（
１５９）にスライドロッド（１５４）（１５５）が当た
って押され、レバー（１４８）（１４９）をばね（１５
２）（１５３）に抗して押し、抑圧部材（１４０）（１
４１）を位置基準部材（１２０）から遠ざかる方向に回
動させることになる。

図中（１７０）は接着剤デイスペンサである。

本発明装置は次のように動作する。基板（１）の加工と
は、本実施例の場合、接着剤デイスペンサ（１７０）が
降下して基板表面に接着剤を付着させる作業のことであ
るが、その作業時には昇降フレーム（９１）は降下位置
にあり、ガイドレール構造（５２）と可動ガイドレール
構造（５３〉は、ローディングブリッジ（３）とアンロ
ーディングブリッジ（７）に干渉しない高さに下がって
いる（第２図）。基板加工作業は、ガイドレール構造（
５２）と可動ガイドレール構造（５３）を下げると共に
、不動ストッパ（１５９）から基板位置決め装置（３）
を引き離して行なう。

このため押圧部材駆動機構（１４７）のスライドロッド
（１５４）（１５５）は最大進出位置に移動しており、
押圧部材（１４０）（１４１）は位置基準部材（１２０
）に接近し、基板（１）の位置決めを行なっている。図
示の例では、第２の抑圧部材（１４１）と位置基準部材
（１２０＞との間に基板（１）を挾む設定となっている
。”またレール板（５５）はばね（７４）の弾発力によ
りレール板り５４〉に基板（１）を押し付ける。これに
より、互に直交する２方向に関し基板位置決め装置（３
）と基板（１）の相対位置が決定される。

基板加工終了後、基板位置決め装置（３〉は原点に復帰
する。原点に復帰すると、スライドロッド（１５４）（
１５５）が不動ストッパ（１５９）に当たって押され、
抑圧部材（１４０）＜１４１）は位置基準部材（１２ｏ
）カら離れる向きに回動し、基板（１）はその流れ方向
において拘束を解かれる。次いでエアシリンダ（９２）
が動作し、昇降フレーム（９１）を上昇させる。

抑圧部材（１４０）（１４１）は下に残り、基板（１）
の前後から消える。昇降ノし・−ム（９１）の上昇に伴
ないガイドレール構造（５２）はローディングブリッジ
（５）とアンローディングブリッジ（７）の桁構造（１
０）（４０）の間にはまり込Ａ７で３者−直線に並び、
可動ガイドレール構造（５３）は同しく可動桁構造（１
１）（４１）の間にはまり込んで３者−直線に並ぶ。そ
の際、レール板（５５）が可動桁構造（１１）＜４１）
の間に入って行くにつれ、第９図から第１１図に示すよ
うにカム板（８２）とローラカムフ材ロワ（８１）との
間に接触が生じ、レール板（５５）はばねり７４）に抗
し移動せしめられて、基板（１）を釈放する。可動ガイ
ドレール構造（５３）が上昇の頂点に達した第１１図の
状態では、カム板（８２）が連結ローラ（８０）（８０
）の間に嵌合し、可動ガイドレール構造（５３〉そのも
のが可動桁構造ｍＸ１４）に連結する形になる。他方ガ
イドレール構造（５２）の側においては、レバー（１２
７）が出力部材（２３）に並び、出力部材（２３）のロ
ーラ（２４）が動力伝達部材（１２７）の上面に対向し
ている。

ここで進退アクチュエータ（１９）の動作が生しる。第
１８図のように進退アクチュエータ（１９）がロッド（
２１）を伸ばすとスト／層（１６丹ま下向きに回動し、
これに当たって止まっていた基板（１）から離れる。出
力部材（２３）も下向きに回動し、ローラ（２４）で動
力伝達部材（１２７）を押す。そのため回動軸（１２２
＞が回動し１、位置基準部材（１２０＞は基板係止位置
から退避する（第６．１５図）。それと共にウオーキン
グビーム（２６）が動き、基板位置決め装置（３）から
加工済の基板（１）をアンローディングブリッジ（７）
−＼と押し出し、また未加工の基板（１）をローディン
グブリッジ（５〉から基板位置決め装置へ移す。ウオー
キ〉・グビーム（２６）の動作中は、基板搬送ベルト（
１５〉は静止している。基板（１）の受（づ渡しを終え
た後、進退アクチュエータ（１９）はロッド（２１）を
引っ込め、ストッパ（１６）と位置基準部材（１２０）
は旧位置に復元する。それと同時に基板搬送ベルト＜１
５）の動きが再開し、新たな未加工基板（１）をストッ
パ（１６）のところまで運んで来るものである。アンロ
ーディングブリッジ（７）の方の基板搬送・＼ル１−（
４６＞は常時運転しており、加工済基板く１）の一部が
その上にかかった時点で、摩擦力により引き込んで運び
去っているものである。

次いでシリンダ（９２〉が昇降フレーム（９１）を降下
させる。カム板（８２〉からカムフォロワローラ（８１
）が離れることにより、レール板（５５）ばばね（７４
）の力で進出し、基板（１〉をレール板（５４）に押し
つける。昇降フレーム（９１）が降りきると押圧部材（
１４０）（１４１）が基板（１）の前後に出現すること
になる。基板位置決め装置く３）が水平に移動し、不動
ストッパ（１５９）から離れて行くと、押圧部材（１４
０）（１４１）は位置基準部材（１２０＞に接近し、第
２の押圧部材（１４１）は基板（１）を後方から押して
位置基準部材（１２０）に押しっけ、基板（１）に所定
の基準位置を獲得さ七る。

基板（１）が後辺を基準辺とする場合は、位置基準部材
＜１２０）の前に基板（１〉を送り込む。今度は第１の
押圧部材＜１４０）か基板（１）の後縁を位置基半部材
（１２０）に押しつけることになる。ｔ−バー（１２１
）ヲ回動軸（１２２）に沿って移動させることにより、
位置基準部材（１２０）ト抑圧部材（１４０）（１４１
）（１７）間隔を基板（１〉の前後方向長さに応じて自
由に設定することができる。このように基板（１〉の送
り込み深さを変えるため、ウオーキングビーム（２６）
は、その移動ストロークを変更できるようにしておく。

また爪（２８）＜２９＞も位置可変であるのが望ましい
。

基板〈１）の搬送幅は次のようにして調節する。

基板位置決め装置（３）を原点に置き、昇降フレーム（
９１）を上昇させると、前述のようにＪ結ｏ−ラ（８０
）（８０）がカム板（８２）を挾んで可動桁構造（１１
）（４１）と可動ガイドレール構造（５３）は連結する
。ここでブレーキ機構（１１２）による可動ガイドレー
ル構造（５３）のロックを解除し、電動機（１２＞（４
２）を駆動すると、可動桁構造（１１）（４１）と可動
ガイドレール構造（５３）は一体となって基板搬送幅を
広げる方向または狭まる方向に移動する。所望の搬送幅
が得られたところで電動機（１２）（４２）を停止し、
プレ−キ機構（１１２）により再び可動ガイドレール構
造（５３）をロングずれは、以後その幅で基板（１）を
受け入れで搬送することになる。

（ト）発明の効果 本発明によれは、基板位置決め装置の１・−ル板がロー
ディングブリッジ・アンローティ〉グブリソンの間には
まり込み、またはそこから抜け出す動きに伴なって可動
側のレール板が動きを得、基板を拘束したり、または釈
放するようにしたから、レール板に動きを与えるための
アクチュコーータを基板位置決め装置に設（りすとも良
く、基板位置決め装置に対する配線・配管をイれたけ少
なくでき、基板位−１決め装置の故障頻度を低下許せら
れるものである。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例を示し、第１図は装置の概略構成
を示ず剥視図、第２図及び第３図は基板位置決め装置の
要部断１面正面図にし工、異なる動作状態をポリ−もの
、第４図はガイ１゛レール構造の昇降機構を示す斜視図
、第５図及び第６図は異なる動作状態の上面図、第７図
及び第８図は可動ガイドレール構造の断面図及び部分上
面図、第９図乃至第１１図は可動ガイドレール構造とカ
ム板との相互作用を説明する側面図、第１２図はローテ
ィングブリラン側可動桁構造の部分斜視図４．第１３図
は不動側のガイドレール構造の斜視図、第１４図は基板
位置決め装置の拡大上面図、第１５図は同じく基板位置
決め装置の拡大上面図にして、要部を破断したもの、第
１６図は位置基準部材駆動機構の斜視図、第１７図及び
第１８図は位置基準部材駆動機構の動作説明図である。 く１）・・・基板、（３）・・・基板位置決め装置、（
５）・・・ローディングブリッジ、（７）・・・アンロ
ーディングブリッジ、（５４）（５５）・・・レール板
、（９２）・・・エアシリンダ（動力源〉、（７４）・
・・ばね、り８３〉・・・カム装置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）次の構成要素を備えた基板搬送装置。 （ａ）基板を支持した状態で水平方向に移動することに
   より、基板面の所望個所を加工位置に置く基板位置決め
   装置 （ｂ）前記基板位置決め装置に未加工の基板を送り込む
   ローディングブリッジ （ｃ）前記ローディングブリッジに対し基板位置決め装
   置のはまり込む間隔を置いて相互距離不変に設置され、
   基板位置決め装置から加工済基板を受け取るアンローデ
   ィングブリッジ （ｄ）基板位置決め装置において基板の両側縁を案内す
   る役割を担う一対のレール板 （ｅ）前記レール板とローディングブリッジ・アンロー
   ディングブリッジとが、基板受け渡し時のみ一直線に並
   び、それ以外の時点ではレール板が両ブリッジの間から
   抜け出して相互干渉を回避することになるよう、これら
   の相対位置を変化させる動力源 （ｆ）前記レール板の一方を他方に対し附勢して、基板
   挾みつけ力を生じさせるばね （ｇ）前記ばねで附勢されたレール板と、ローディング
   ブリッジ及びアンローディングブリッジの一方又は双方
   との間に設けられ、レール板が両ブリッジの間にはまり
   込む過程においてカムの接触を生じ、このレール板を前
   記ばねに抗し基板釈放方向に移動させるカム装置。