JPH01210267A

JPH01210267A - 内周刃のドレッシング装置

Info

Publication number: JPH01210267A
Application number: JP3208788A
Authority: JP
Inventors: Katsuo Honda; 本田　勝男; Masato Inamura; 稲村　真郷
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 1988-02-15
Filing date: 1988-02-15
Publication date: 1989-08-23

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】く利用分野〉この発明は半導体製造の工程において、シリコン等のイ
ンゴットを薄いウェハに切断するスライシング機におい
て、これに使用される内周刃ブレードの刃先をドレッシ
ングする装置に係る。

〈従来技術〉スライシング機のブレードにはその内円の周にダイヤモ
ンド粉末を固着させて刃を形成し、ブレードを回転して
、刃にインゴットを押し付けてウェハな切断する。この
とき刃は消耗し、目詰りして、その切れ味が部分的に劣
化する。

第５図は刃を断面において拡大して示すものであるが、
ブレードを構成する金属の薄板１の内円の周にダイヤモ
ンド粉末をもって刃２を形成する。

ここで刃の上、下部分を別個に考えると、上に対して下
の切れ味が劣化すると、切削時にブレードの刃が上方に
湾曲して、ウェハの面は山形（凸形）に変形する。また
、その逆の現象も発生する。そこで刃の上下を選択的に
ドレッシングして、切れ味を揃える必要がある。なお、
刃のドレッシングとは、ドレッシングスティック（以下
単にスティックとする）と言われ・る密な砥石を刃に押
し付けで、刃によりスティックを削ることによる修正で
ある。

そこで従来は手でスティックを持って回転している刃に
押し付けていたが、これは経験と熟練を要し、かつ危険
を伴う作業であって、必ずしも適切な効果を期待できな
かった。

また例えば特開昭６１−７９５６８号公報の如く、ステ
ィックを機械的に保持して刃に押し付ける方式で、ステ
ィックを傾斜保持することもなされているが、未だ改良
の余地を存しているものであった。

〈本発明の概要〉従来はスティックを押し付けるだけであったが、スティ
ックを丸棒として、これを回転しながら長手方向に移動
させて、刃の上・下部分に選択的に接触させて、ドレッ
シング範囲を限定、特定して、機械的操作によってドレ
ッシングを行なう。

〈実施例〉第１図に示すように、本発明のドレッシング装置は先端
に２本のスティック３，１３を有する。

そしてこのスティックを第２，３　図のように、スティ
ック　１３では刃の上部、３では下部に接触するように
、全体を位置調整可能の取付機構によって固定部にセッ
トする。なお、２本のスティックは上・下片面づつを選
択的にドレッシングするように、以下の機構を有する。

スティック３は左端にスティック用チャック５を有する
軸４によって保持され、軸４の右端はねじ６が切ってあ
って、円筒７の中に滑動可能に保持される。そして円筒
７の内側にはキー８を取付け、軸４にはこのキー８のキ
ー溝を刻む。また、円筒７は軸受けによって適宜支持さ
れる。またねじ６には２つに割っためねし１７．１７’
を開閉可能に設ける。その開閉機構は別に示す。円筒７
には一方向クラッチ９を介して歯車１０を取付け、可逆
回転減速モータ１１の回転を歯車１２によって円筒７に
伝える。

第１図の上のスティック１３は第２図に示す機能を有す
るもので、下のスティック３とほぼ平行の軸１４に保持
され、その保持機構は上記と同様である。ただし、円筒
と歯車１９との間の一方向クラッチ１５は上記のクラッ
チ９と逆方向に機能するものを取付ける。そして軸１４
のねじ１６は前記同様に２つ割りのめねし１８，１８’
をもって挟む。

第４図に軸のねじ６，１６と　２つ割りのめねじの開閉
機構を示す。ここでめねじの半分１８，１７′及び１８
’、１７とは一体に作られ、支点　２゜によって中間で
支持され、四つのスプリング２２によりねじ６，１６の
方向に押しつけられている。

そして図の上部の２本のっまみ２１をつまむことにより
、２つのめねじの間は開いて、ねじ６，１６は自由にな
る。またつまみを放すと、スプリング２２によりねしと
めねじとは喰いつく。

なお、歯車１０と１９の開には伝達の歯車２３を関係さ
せる。

く機能〉ここでモータは可逆回転であって、その回転方向がクラ
ッチ９と一致すると、スティック３が回転しながら図の
右方向に長手方向移動する。そしてスティックの出入り
の位置はっまみ２１を開いて、自由状態として、手で調
整する。なお、この間（スティック３が機能している開
）は、上のスティック１３は一方向クラッチ１５がアイ
ドル方向であるので、回転しない。そしてモータ１１の
４一回転を逆に入れると、上記と反対にスティック３は休止
し、１３が回転並びに長手方向の前進移動を行なう。

く効果〉本発明は、単にスティックを刃に押し付けるのではなく
、丸棒形スティックを使用し、これを回転すると共に長
手方向に移動した状態において刃に押し付けるので、ド
レッシングの効果が上るだけでなく、刃の上下の特定範
囲を限定してドレッシングすることができる。また、ド
レッシングする方向、接触角度、押付圧力等を一定にす
ることができるために、その効果は定量的に管理できる
特徴を有する。

また、本発明に示される２本のスティックを並設するも
のでは、刃の上下位置を連続して、能率的に作業可能で
、合理的に短時間に作業を完了して、稼動時間を長くす
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す構成図、第２　。３図はスティックと刃との関係を示す説明図、第＝６＝４図は第１図Ｘ線の断面図、第５図はブレードの刃の断
面図である。２・・・刃　　　３・１３・・・スティック５・・・チ
ャック　　　６・１６・・・ねじ　　８・・・キー９・
１５・・・一方向クラッチ　　１０・１２・１９・２３
・・・歯車　　１１・・・モータ　　１７・１７′・１
８・１８′・・・めねじ　　２２・・・スプリング特許
出願人　　株式会社　東京精密旬　　Ｎ手続補正書昭和６３年５月２６日特願昭６３−３２０８７号２　発明の名称内周刃のドレッシング装置３　補正をする者事件との関係　特許出願人〒１８１東京都三鷹市下連雀九丁目７番１号４　補正命
令の日付「自発」５　補正により増加する発明の数６　補正の対象明細書の「発明の詳細な説明」の欄７　補正の内容

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ウェハ切断用のブレードをドレッシングする装置
において、丸棒状ドレッシングスティックを刃に対して
傾斜して接触させる取付機構と、スティックを回転させ
ると共に長手方向に移動させる駆動機構とからなる内周
刃のドレッシング装置。
（２）請求項１において、ほぼ平行に設けられた２本の
スティック軸と、モータの正逆転により、作動状態の長
手方向移動、並びに回転が２本のスティックのうちの１
本のみに伝達させる機構とからなる内周刃のドレッシン
グ装置。