JPH01211249A - 光学記録媒体 - Google Patents

光学記録媒体

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JPH01211249A
JPH01211249A JP63032795A JP3279588A JPH01211249A JP H01211249 A JPH01211249 A JP H01211249A JP 63032795 A JP63032795 A JP 63032795A JP 3279588 A JP3279588 A JP 3279588A JP H01211249 A JPH01211249 A JP H01211249A
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recording film
recording
film
optical
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勝 鈴木
Isao Morimoto
勲 森本
Koichi Mori
晃一 森
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は新規な光学記録媒体に関するものである。さら
に詳しくいえば、本発明は、基板上に設けられる光学記
録膜にレーザービームを照射し、照射部分の光学定数の
変化を利用して、例えば画像や音声などのアナログ情報
、あるいは電子計算機などのデータやデジタルオーディ
オ信号などのデジタル情報を高速、高密度に記録し、か
つ高速で消去することのできる光学記録媒体に関するも
のである。
従来の技術 レーザービームの照射によって、記録膜に情報の記録を
行う方法については、種々の方法が知られているが、そ
の中でも記録膜の相変化を利用する方法は、1つのビー
ムによって同時消録できる、いわゆる単一ビームのオー
バライド(重ね書き)が可能であり、かつ磁気記録方式
に比べて高密度記録ができ、記録容量の点でも有利であ
る上に、開孔やバブルなどの形状変化を伴わず、また記
録、消去に際して磁場を用いる必要がなく、さらに2枚
のディスク単板を直接貼り合わせた全面接着型ディスク
が可能であるなど、多くの長所を有している。
このような記録膜の相変化を利用して情報の記録や消去
を行う光学記録媒体においては、その多くが記録膜の非
晶質と結晶の間の相変化を利用するために、該記録膜と
しては、非晶質半導体が多く用いられており、例えばT
e−Ge、Te−Ge−Tl1 、Te−Ge−5e、
In−3e、In−5e−TQ 、Te−Ge−5nな
どのカルコゲン系材料が主流を占めている。
ところで、ディスクの線速度をvル−ザービームの系を
dとした場合、記録膜のある場所がレーザービームに照
射されている時間はd / vであるので、記録膜とし
ては該d / vよりも短い結晶化時間を有することが
重要である。
しかしながら、前記材料から成る従来の記録膜は、いず
れも記録・消去可能な相変化記録膜として用いる場合に
は、結晶化の速度が遅いという問題がある。また、情報
の記録は非晶質を形成することによって行われるため、
記録膜は低融点でかつ非晶質になりやすい材料から成る
ものが有利であるが、従来の材料では、非晶質になりや
すいものは結晶化速度が遅く、かつ耐酸化性が不十分で
あるなどの欠点を有していた。
発明が解決しようとする課題 本発明は、このような従来の記録膜の相変化を利用して
情報の記録や消去を行う光学記録媒体が有する欠点を克
服し、記録膜の結晶化速度が速く、情報を高速、高密度
に記録することができ、かつ記録・消去感度に優れ、非
晶質の安定性の良好な光学記録媒体を提供することを目
的としてなされたものである。
課題を解決するための手段 本発明者らはこのような優れた特徴を有する光学記録媒
体を開発するために鋭意研究を重ねた結果、光学記録膜
に特定の組成を有する材料を用いることにより、前記目
的を達成しうろことを見い出し6、この知見に基づいて
本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は、基板上に、レーザービームを照射
することにより相変化を誘起する材料から成る光学記録
膜を設け、該相変化によって生じる光学定数の変化によ
り情報を記録及び消去する光学記録媒体において、該光
学記録膜がAu、Pd。
Ni、 Pt、 Cu、 Ag、 Co、 Pb及びB
iの中から選ばれた少なくとも1種の元素と、Te、 
Sb及びGeとから成り、かつこれらの元素が、一般式 %式%() (ただし、MはAu、Pd、Ni、Pt、Cu。
Ag、Co、Pb及びBiの中から選ばれた少なくとも
1種の元素を示し、x、y及び2は、それぞれ0.3≦
X≦0.9、O<y≦0.2及び0〈2≦0.2の関係
を満たす値である) で示される組成を有することを特徴とする光学記録媒体
を提供するものである。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明の光学記録媒体における光学記録膜は、Au、P
d、Ni、Pt、Cu、Ag、Co、Pb及びBiの中
から選ばれた少なくとも1種の元素と、Te、Sb及び
Geの3元素とから成っており、これらの組成比は、一
般式 %式%() (ただし、Mは前記と同じ意味をもつ)で表わした場合
、x、y及び2は、それぞれ0.3≦X≦0.9、O<
y≦0.2及びO<z≦0.2の関係を満たす値である
ことが必要である。該組成比がこの範囲を逸脱するもの
では、本発明の目的が十分に達成されない。
前記記録膜に用いられるTeとsbについて説明すると
、5b−Te2元系合金は記録・消去が可能な感材であ
り、第1図にその平衡状態図を示す。この図から、該2
元系合金はTe濃度が29原子数%と89原子数%のと
ころで共晶点を有し、低融点であって、記録感度が高い
ことが分かる。
しかしながら、この5b−Te2元系合金は非晶質の安
定性が悪いという欠点を有している。
このような欠点は、5b−Te2元系合金にGeを添加
することによって克服できる。すなわち、Geは結晶化
温度を上昇させ、非晶質を安定にするという効果を有し
ている。第2図に、このTe。
sb及びGeの3元系の組成図を示す。第2図は、(S
 b +ooT e oG e o)、(S b oT
 e +ooG e o)及び(s b OT e O
G e to。)を頂点とする三角座標図であって、S
 b−Te 2元系合金の共晶点、すなわち(S b 
y+T e zs)及び(S b 1rT e as)
の2点と(S b oT e oG e +oo)の点
を線分A。
B、Cで結んだ三角形の内側の領域で表わされる組成の
ものは、感度がよく、かつ非晶質が安定であると考えら
れる。しかし、Geはそれ自体融点が高い(940°C
)ために、多量に添加すると融点が高くなって感度が低
下するので、感度の点から、Geの添加量は20原子数
%以下であることが必要である。すなわち、Geの含有
量は線分りよりGeが少ない領域で選ばれる。したがっ
て、第2図において、線分A、B、CおよびDで囲まれ
た四角形の領域内の組成のものは、高感度でかつ非晶質
が安定である。
しかしながら、この領域の組成のものは、結晶化速度が
遅く、高速記録や消去が不可能であるという欠点を有し
ている。したがって、前記領域の組成において、結晶化
速度を向上させるために、本発明においては、前記3元
系組成に、さらに第4成分として、Au、Pd、Ni、
Pt、Cu。
Ag+Co、Pb及びBiの中から選ばれた少なくとも
1種の元素が添加される。これらの元素はTeを含む材
料中で、Teの鎖状原子配列の間に割り込むことによっ
て、鎖状配列全体で動くより分子形態で移動するため結
晶化速度が速くなると考えられる。したがって、前記元
素を添加することにより結晶化速度を速めることができ
る。しかし、該元素を多く添加しすぎると、非晶質と結
晶の間の光学定数の変化が小さくなり、十分な信号振幅
が取れなくなるので、その添加量は20W、十数%以下
の範囲で選ぶ必要がある。
以上のことから、前記一般式(I)で示される組成を有
する材料から成る記録膜は、記録・消去感度が高く、か
つ非晶質が安定である上、結晶化速度が速くて、高速記
録や消去が可能である。
本発明の光学記録媒体においては、前記光学記録膜の少
なくとも一方の側に、記録膜の酸化などの経時変化を防
ぐために、保護膜を設けることが好ましい。この保護膜
の材料としては、金属又は半金属の酸化物、フッ化物、
窒化物、硫化物、炭化物、ホウ化物や金属などの無機物
、あるいは有機物、さらにはこれらの混合物や複合材料
などが挙げられる。
また、該光学記録膜には、その光入射側に反射防止膜を
設けてもよいし、光入射の反対側に反射膜を設けてもよ
い。
前記の光学記録膜、保護膜、反射防止膜及び反射膜の形
成方法については特に制限はなく、公知の方法、例えば
真空蒸着、スパッタリング、イオンビームスパッタリン
グ、イオンビーム蒸着、イオンブレーティング、電子ビ
ーム蒸着、プラズム重合などの方法を、目的、材料など
に応じて適宜用いることができる。本発明における光学
記録膜の最適膜厚は、その組成により異なるが、通常3
00〜l5OOAの範囲で十分なコントラストが得られ
る。
本発明の光学記録媒体において、光学記録膜が設けられ
る基板としては、例えばガラス板やガラス板上に光硬化
性樹脂層を設けたもの、あるいはポリカーボネート、ア
クリル系樹脂、エポキシ樹脂、ポリスチレンなどのプラ
スチック基板、アルミニウム合金などの金属板などが用
いられる。
発明の効果 本発明の光学記録媒体は、記録膜の結晶化速度が速く、
情報を高速、高密度に記録することができ、かつ記録、
消去感度に優れる上、非晶質の安定性が良いなどの優れ
た特徴を有している。
実施例 次に、実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、
本発明はこれらの例によってなんら限定されるものでは
ない。
参考例 直径130+nm、厚さ1.2mmのポリカーボネート
基板上に、法要に示す組成の記録膜を真空共蒸着法によ
り形成した。真空蒸着装置としては、3つの蒸着源が配
置され、これらのうちの2つは抵抗加熱法により、残り
1つは電子ビーム法により蒸着が可能なものを用いた。
このようにして形成された基板上の記録膜に、基板が静
止した状態でレーザービームを照射することにより、記
録膜の特性を評価した。評価は、レーザービームの発光
時間を20nsから60μsまで、レーザービームのパ
ワーは、OmWからlOmWまでの範囲内で任意に変え
ることにより行った。
その結果を法要に示す。
該表は、種々の組成の記録膜(Te、Sb+−jl−、
Ge。
の組成と記録パワー及び結晶化速度関係を示したもので
ある。なお、記録パルスのパルス巾は、200nsに固
定しである。
この表から、Ge及びsbの含有量が増えるに伴い、大
きな記録パワーを必要とすることが分かる。したがって
、高感度化の点から、Geの含有量は20原子数%以下
、sbの含有量は70原子数%以下であることが望まし
いことが分かる。
また、Teはその含有量が増加すると共に記録パワーが
小さくなり、高感度化の点では好都合であるが、含有量
が、90原子数%を超えると記録時に開孔しやすいので
、90原子数%以下の含有量が望ましいことが分かる。
さらに、この表から、この領域の組成のものは結晶化速
度が遅いことが分かる。ここで、結晶化速度とは、最初
、非晶質状態にレーザービームの連続光を照射し、完全
に結晶化させたのち、記録パルスを照射することによっ
て、記録ビットを形成し、その記録ピットを完全に消去
できる、すなわち反射率が最初に結晶化させた状態と同
じレベルに戻るのに要する時間のことである。
実施例1 参考例と同様にしてT e 4gS b 33G e 
+sの組成に、さらにAu又はPdを添加した試料を調
製し、その結晶化速度を測定した。第3図は、このよう
にして測定されたAu又はPdの添加量(原子%)と結
晶化速度(μS)との関係を示すグラフであって、Au
の場合を実線、Pdの場合を破線で示す。
この図から明らかなように、Au及びPdの添加量が増
加するとともに結晶化速度は大きくなる。
次に、上記の試料について、その信号振幅の変化を測定
し、その結果をグラフとして第4図に示す。この図から
明らかなように、Au又はPdの添加量が増加するとと
もに信号振幅は小さくなる。
実施例2 参考例と同様にしてT e 、、S b 、、G e 
、、’ の組成に、さらにAu又はPdを添加した試料
を調製し、添加量と結晶化速度の関係を調べた。その結
晶を第5図に示す。実線はAuの場合、破線はPdの場
合で°ある。
この図から明らかなように、Au及びPdの添加量が増
加するとともに結晶化速度が大きくなる。
実施例3 あらかじめ溝及びピットを設けであるポリカーボネート
基板上に、実施例1と同様の作成法により、まず保護膜
として厚さ1100nのSiO□膜を形成したのち、そ
の上に記録膜を形成し、次いでその上に変形防止兼保護
膜である厚さ200 nmの5i02膜を形成した。以
上の層構成をもつ蒸着膜に紫外線効果樹脂膜を約4μm
の厚さに塗布し、紫外光照射により、これを硬化させた
このようにして作成された光学記録媒体を回転させなが
ら、レーザービームを照射することにより、記録膜の評
価を行った。評価は、回転数1800rpm、レーザー
ビームのパワーはOmWから20mWまで変化させて行
った。また、評価した記録膜の組成は、(T e 4!
S b ssG e +5)soA u to及び(T
 e 4!S b 3sG e +a) soP d 
roである。
まず、基板上の線速約8m/sの所で評価を行った。最
初にレーザービームを8mWのパワーで、基板−周分連
続発光させて、完全に結晶化させた。
このようにして結晶化させたのちに、この部分に2MH
zの信号を記録した。第6図は、記録パワーを変えた場
合の再生信号C/Nの変化を示すグラフである。
実線はAuの場合、破線はPdの場合である。
この図から、記録膜は、14mWという低パワーで記録
でき、高感度であることが分かる。次に、ここに8mW
の連続光を照射すると、いずれの記録パワーにおいても
C/Nが約10dB程度により、記録信号が消去されて
いることが確認できた。したがって、該記録膜は、高感
度で、かつ高速消去が可能な特性を有するものである。
以上AuとPdを添加した場合を例として示したがその
外Ni、Pt、Cu、Ag、Go、Pd及びBiについ
てもほぼ同様の結果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は5b−Te2元系合金の平衡状態図、第2図は
、本発明の光学記録媒体の記録膜を構成する元素のうち
、Te、Sb及びGeの組成範囲を示す三角座標図、第
3図は本発明の実施例1におけるAuまたはPdの添加
量と、結晶化速度との関係を示すグラフ、第4図は同じ
例の信号振幅の変化を示すグラフ、第5図は本発明の実
施例2におけるAu又はPdの添加量と結晶化速度との
関係を示すグラフ、第6図は、本発明の実施例3のAu
又はPdを添加した場合のレーザーパワーと信号出力と
の関係を示すグラフである。 特許出願人  旭化成工業株式会社

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 基板上に、レーザービームを照射することにより相
    変化を誘起する材料から成る光学記録膜を設け、該相変
    化によって生じる光学定数の変化により情報を記録及び
    消去する光学記録媒体において、該光学記録膜がAu、
    Pd、Ni、Pt、Cu、Ag、Co、Pb及びBiの
    中から選ばれた少なくとも1種の元素と、Te、Sb及
    びGeとから成り、かつこれらの元素が、一般式 〔(Te_xSb_1_−_x)_1_−_yGe_y
    〕_1_−_zM_z(ただし、MはAu、Pd、Ni
    、Pt、Cu、Ag、Co、Pb及びBiの中から選ば
    れた少なくとも1種の元素を示し、x、y及びzは、そ
    れぞれ0.3≦x≦0.9、0<y≦0.2及び0<z
    ≦0.2の関係を満たす値である) で示される組成を有することを特徴とする光学記録媒体
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