JPH01216242A - 欠陥検査方法 - Google Patents
欠陥検査方法Info
- Publication number
- JPH01216242A JPH01216242A JP4086488A JP4086488A JPH01216242A JP H01216242 A JPH01216242 A JP H01216242A JP 4086488 A JP4086488 A JP 4086488A JP 4086488 A JP4086488 A JP 4086488A JP H01216242 A JPH01216242 A JP H01216242A
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- Japan
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- camera
- image sensor
- linear array
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
- G01N21/8903—Optical details; Scanning details using a multiple detector array
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- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Input (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は横行するシート状物体などに存在する、主とし
て帯状の欠陥を検査する方法に関する。
て帯状の欠陥を検査する方法に関する。
主として帯状の欠陥を検査する従来の方法は検査するシ
ート状物体を横行ではなく横行方向に直角に走行させて
行っていた。またリニアアレーイメージセンサの一単位
素子の縦横形状比が略１：１であるカメラを使用し、−
単位素子の出力信号を走行方向に電子加算するものであ
っだ。
ート状物体を横行ではなく横行方向に直角に走行させて
行っていた。またリニアアレーイメージセンサの一単位
素子の縦横形状比が略１：１であるカメラを使用し、−
単位素子の出力信号を走行方向に電子加算するものであ
っだ。
本発明は前記走行条件に制約されずに横行条件にてシー
ト状物体に存在する帯状欠陥等を検出することを目的と
する。
ト状物体に存在する帯状欠陥等を検出することを目的と
する。
本発明は前記目的を達成するために、−単位素子が１＝
５０以上であるりニアアレーイメージセンサをセンサと
して電子加算ではなく光学加算で主として帯状欠陥の検
出性能を向上させるものである。また閃光光源を使用し
横行しているシートを光学的に静止させて、横行条件下
で帯状欠陥等の検出を可能にさせるものである。
５０以上であるりニアアレーイメージセンサをセンサと
して電子加算ではなく光学加算で主として帯状欠陥の検
出性能を向上させるものである。また閃光光源を使用し
横行しているシートを光学的に静止させて、横行条件下
で帯状欠陥等の検出を可能にさせるものである。
以下、本発明の一実施例を図面を併用して説明する。第
１図に於て１人は一単位素子の縦横形状比が１＝５０以
上であるリニアアレ、−イメ。
１図に於て１人は一単位素子の縦横形状比が１＝５０以
上であるリニアアレ、−イメ。
−ジセンサ、８は撮像レンズ２を介し、て得られるリニ
アアレーイメージセンサの等価視野で、被検査走行シー
ト３上の像である。リニアアレ−イメージセンサＩＡの
一単位素子６Ａの像は従って被検査走行シート上では一
単位素子等価視野７となる。本発明に於て検出しようと
する欠陥とは、主として、帯状欠陥４、線状欠陥５、楕
円状欠陥１０などである。これらの欠陥は走行シートの
走行方向９に沿って長いことが特徴である。欠陥の種類
としては汚れ、カキキズ、７、変色、異物、コートムラ
、ストリーク、ドクターすじ等である。本発明に於ては
、走行方向９の方向で製造されたシート材を横行方向１
１に移動する検査ライン上にて、欠陥検査を適用するも
のである。
アアレーイメージセンサの等価視野で、被検査走行シー
ト３上の像である。リニアアレ−イメージセンサＩＡの
一単位素子６Ａの像は従って被検査走行シート上では一
単位素子等価視野７となる。本発明に於て検出しようと
する欠陥とは、主として、帯状欠陥４、線状欠陥５、楕
円状欠陥１０などである。これらの欠陥は走行シートの
走行方向９に沿って長いことが特徴である。欠陥の種類
としては汚れ、カキキズ、７、変色、異物、コートムラ
、ストリーク、ドクターすじ等である。本発明に於ては
、走行方向９の方向で製造されたシート材を横行方向１
１に移動する検査ライン上にて、欠陥検査を適用するも
のである。
第２図に於てＩＢは一単位素子が略１：１であるリニア
アレーイメージセンナであり、従来は略正方形−単位素
子６Ｂの出力信号を、被検査材の走行方向に電子加算す
る、信号処理方式をとっていた。電子加算する理由は一
般的に検出すべき欠陥の光学的コントラストが低く一視
野のみの判断では安定な欠陥判別ができず走行方向の多
数視野の加算平均で欠陥判別能力を向上させようとする
ものであった。ＩＡは本発明に使う、−単位素子の縦横
形状比が１：５０以上であるリニアアレーイメージセン
サであり、長方形−単位素子６Ａの多数の集合体である
。
アレーイメージセンナであり、従来は略正方形−単位素
子６Ｂの出力信号を、被検査材の走行方向に電子加算す
る、信号処理方式をとっていた。電子加算する理由は一
般的に検出すべき欠陥の光学的コントラストが低く一視
野のみの判断では安定な欠陥判別ができず走行方向の多
数視野の加算平均で欠陥判別能力を向上させようとする
ものであった。ＩＡは本発明に使う、−単位素子の縦横
形状比が１：５０以上であるリニアアレーイメージセン
サであり、長方形−単位素子６Ａの多数の集合体である
。
長方形−単位素子を使う本発明に於ては第１図から明ら
かなように、走行方向に長い欠陥に関しては、光学的に
加算されている。従って電子加算に帰因する誤差累積、
欠陥判別能力低下がない。また一般に一単位素子間の感
度のバラツキは一単位素子の面積が小さい程大きい。理
由は一単位素子の感度は面積に比例するからである。従
って一単位素子の面積が大きいす＝アアレーイメージセ
ンサＩＡが面積が小さいＩＢより感度のバラツキが小さ
く、従って欠陥検出能力が良い。
かなように、走行方向に長い欠陥に関しては、光学的に
加算されている。従って電子加算に帰因する誤差累積、
欠陥判別能力低下がない。また一般に一単位素子間の感
度のバラツキは一単位素子の面積が小さい程大きい。理
由は一単位素子の感度は面積に比例するからである。従
って一単位素子の面積が大きいす＝アアレーイメージセ
ンサＩＡが面積が小さいＩＢより感度のバラツキが小さ
く、従って欠陥検出能力が良い。
一単位素子の縦横形状比が１＝１．１：１０．１ ：２
０．１ ：５０．１ ：１００のリニアアレーイメージ
センサを帯状欠陥に適用してその信号対雑音比、即ち欠
陥信号量と背景地合信号量との比率を測定したところ、
それぞれ、１．０１．１．１．１．１５、ｚ５．２６で
あった。従って一単位素子の縦横形状比が１：５０以上
が有効である。
０．１ ：５０．１ ：１００のリニアアレーイメージ
センサを帯状欠陥に適用してその信号対雑音比、即ち欠
陥信号量と背景地合信号量との比率を測定したところ、
それぞれ、１．０１．１．１．１．１５、ｚ５．２６で
あった。従って一単位素子の縦横形状比が１：５０以上
が有効である。
第１図に於て、被検査シート材は横行方向１１に高速移
動する。従って欠陥４．１１等の儂は横行方向１１の方
向にプレる。（にじむ。）とのプレ（にじみ）現象は欠
陥検出性能の低下をもたらすのは明白であるが、本発明
に於ては閃光光源１２を使用することによりとのプレ（
Ｋじみ）現象の防止が可能になった。閃光光源としては
ＬＥＤパルス点灯方式、パルスレーザ−、キセノンフラ
ッシュランプ、（ストロボランプ）、水銀フラッシェラ
ンプ、その他７ラツシエランプ、螢光灯パルス点灯方式
などがある。
動する。従って欠陥４．１１等の儂は横行方向１１の方
向にプレる。（にじむ。）とのプレ（にじみ）現象は欠
陥検出性能の低下をもたらすのは明白であるが、本発明
に於ては閃光光源１２を使用することによりとのプレ（
Ｋじみ）現象の防止が可能になった。閃光光源としては
ＬＥＤパルス点灯方式、パルスレーザ−、キセノンフラ
ッシュランプ、（ストロボランプ）、水銀フラッシェラ
ンプ、その他７ラツシエランプ、螢光灯パルス点灯方式
などがある。
また照明方式は第１図では反射照明方式であるが、シー
ト材に関してセンサと反対側に照明光源を配置する透過
照明方式でも良い。
ト材に関してセンサと反対側に照明光源を配置する透過
照明方式でも良い。
以上説明したように本発明によれば、横行条件下での主
として帯状欠陥等の検出が可能になる。
として帯状欠陥等の検出が可能になる。
第１図は本発明に係わる欠陥検査方法の一実施例の模式
図、第２図はリニアアレーイメージセンサの比較図であ
る。 １・・・・・・リニアアレーイメージセンサ、２・曲・
撮像レンズ、３・曲・被検査走行シート、４・・曲帯状
欠陥、５・・曲線状欠陥、１２・・曲照明光源。
図、第２図はリニアアレーイメージセンサの比較図であ
る。 １・・・・・・リニアアレーイメージセンサ、２・曲・
撮像レンズ、３・曲・被検査走行シート、４・・曲帯状
欠陥、５・・曲線状欠陥、１２・・曲照明光源。
Claims (1)
- 一単位素子の縦横形状比が１：５０以上であるリニアア
レーイメージセンサを有するカメラを撮像カメラとし、
照明光源に閃光光源を使用したことを特徴とする欠陥検
査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4086488A JPH01216242A (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 | 欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4086488A JPH01216242A (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 | 欠陥検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01216242A true JPH01216242A (ja) | 1989-08-30 |
Family
ID=12592393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4086488A Pending JPH01216242A (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 | 欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01216242A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001194318A (ja) * | 2000-01-14 | 2001-07-19 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 損傷検出装置及び方法 |
| EP1406083A4 (en) * | 2001-07-09 | 2005-07-27 | Yoshiro Yamada | SURFACE INSPECTION METHOD AND DEVICE |
| WO2008021633A3 (en) * | 2006-08-17 | 2008-05-02 | Gambro Bct Inc | Blood processing apparatus with robust outflow process control |
| WO2008021626A3 (en) * | 2006-08-17 | 2008-05-08 | Gambro Bct Inc | Blood processing apparatus with robust automated process control |
| US10166322B2 (en) | 2014-03-28 | 2019-01-01 | Terumo Bct, Inc. | Gain in separation processes with control loop |
-
1988
- 1988-02-25 JP JP4086488A patent/JPH01216242A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001194318A (ja) * | 2000-01-14 | 2001-07-19 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 損傷検出装置及び方法 |
| EP1406083A4 (en) * | 2001-07-09 | 2005-07-27 | Yoshiro Yamada | SURFACE INSPECTION METHOD AND DEVICE |
| WO2008021633A3 (en) * | 2006-08-17 | 2008-05-02 | Gambro Bct Inc | Blood processing apparatus with robust outflow process control |
| WO2008021626A3 (en) * | 2006-08-17 | 2008-05-08 | Gambro Bct Inc | Blood processing apparatus with robust automated process control |
| US8337379B2 (en) | 2006-08-17 | 2012-12-25 | Terumo Bct, Inc. | Blood processing apparatus with robust automated process control |
| US8449439B2 (en) | 2006-08-17 | 2013-05-28 | Terumo Bct, Inc. | Blood processing apparatus with robust automated process control |
| US8501015B2 (en) | 2006-08-17 | 2013-08-06 | Terumo Bct, Inc. | Blood processing apparatus with robust automated process control |
| US10166322B2 (en) | 2014-03-28 | 2019-01-01 | Terumo Bct, Inc. | Gain in separation processes with control loop |
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