JPH07110307A - カラーフィルタ等の検査装置及びその検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 カラーフィルタの表面のゴミ等の異物とピン
ホールだけを検出し、裏面のゴミ等の異物は検出しない
ようにして検査精度を向上する。 【構成】 カラーフィルタ１の表面の反射光を第１ＣＣ
Ｄセンサー８で受光して第１検出手段４１に送る。この
第１検出手段４１でカラーフィルタ１の表面のゴミ等の
異物３６を暗欠陥として判断検出する。またカラーフィ
ルタ１の透過光を第２ＣＣＤセンサー６で受光して第２
検出手段４２に送る。この第２検出手段４２によりカラ
ーフィルタ１のピンホール３５を明欠陥として判断検出
する。これにより従来のようにカラーフィルタ１の裏面
に付着したゴミ等の異物３６の誤検出を防止できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はＣＣＤリニアイメージ
センサーを用いて、ＴＦＴカラーフィルタのゴミ、ピン
ホール等の欠陥を光学的、電子的に検出するのに好適な
カラーフィルタ等の検査装置及びその検査方法に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のカラーフィルタのゴミ等
の異物やピンホールを検出するものとして、例えば特開
平４−２４０５３８号公報が挙げられる。図３はこの特
開平４−２４０５３８号公報に記載されている装置の概
略構成図を示すものである。

【０００３】図３において、カラーフィルタ６１の表面
側、裏面側にそれぞれ光源６２、６３を配設し、またカ
ラーフィルタ６１の表面側にカメラ６４を配設してい
る。このカメラ６４は光源６２からの反射光と、光源６
３からの透過光をそれぞれ同時に受光して、カラーフィ
ルタ６１の表面のゴミ等の異物３６やピンホール３５を
検出しようとするものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところでかかる従来例
においては、カラーフィルタ６１の製作工程上、カラー
フィルタ６１の裏面に多数のゴミ（異物３６）が付着す
るが、このカラーフィルタ６１の裏面に付着したゴミ
は、製作工程上落ちずに付着したままとなる。そして製
作されたカラーフィルタ６１の表面のゴミ（異物３６）
やピンホール３５を上述のようにして検査する場合に、
カラーフィルタ６１の裏面のゴミ（異物３６）を検出し
てしまい、この裏面のゴミの検出によりカラーフィルタ
６１が該カラーフィルタ６１の表面にゴミやピンホール
３５がなく、良品であるにも拘らず、これを不良品とし
て判断することがあった。

【０００５】この発明は上記従来の欠点を解決するため
になされたものであって、その目的は、カラーフィルタ
等の被検査物の表面のゴミ等の異物とピンホールだけを
検出し、裏面のゴミ等の異物は検出しないようにし、こ
れにより検査精度を向上させたカラーフィルタ等の検査
装置及びその検査方法を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】そこで請求項１のカラー
フィルタ等の検査装置は、カラーフィルタ等の被検査物
１の表面側に設けた光源２と、この光源２から上記被検
査物１の表面にて反射させた反射光を受光する第１セン
サー８と、この第１センサー８の出力からゴミ等の異物
３６を暗欠陥として判断検出する第１検出手段４１と、
上記光源２から被検査物１を透過した透過光を受光する
第２センサー６と、この第２センサー６の出力からピン
ホール３５等を明欠陥として判断検出する第２検出手段
とを備えたことを特徴としている。

【０００７】また請求項２のカラーフィルタ等の検査方
法は、光源２からの光をカラーフィルタ等の被検査物１
の表面にて反射させた反射光を第１センサー８により受
光し、この第１センサー８の出力を受けた第１検出手段
４１によりゴミ等の異物３６を暗欠陥として検出し、上
記光源２から被検査物１を透過した透過光を第２センサ
ー６により受光し、この第２センサー６の出力を受けた
第２検出手段４２によりピンホール３５等を明欠陥とし
て検出するようにしたことを特徴としている。

【０００８】

【作用】上記請求項１のカラーフィルタ等の検査装置及
び請求項２のカラーフィルタ等の検査方法では、被検査
物１の表面の反射光を受光する第１センサー８の出力を
受けた第１検出手段４１により、被検査物１の表面のゴ
ミ等の異物３６による暗欠陥を判断検出し、それにより
被検査物１の表面のゴミ等の異物３６を検出している。
また被検査物１の透過光を受光する第２センサー６の出
力を受けた第２検出手段４２により、被検査物１のピン
ホール３５等による明欠陥を判断検出し、これにより被
検査物１のピンホール３５等を検出している。したがっ
て従来のように被検査物１の裏面に付着したゴミ等の異
物３６の誤検出を防止でき、これにより検査精度の向上
を図ることができる。

【０００９】

【実施例】次にこの発明のカラーフィルタ等の検査装置
及びその検査方法の具体的な実施例について、図面を参
照しつつ詳細に説明する。

【００１０】まず本発明の構成について図１により説明
する。１は被検査物としてのＴＦＴカラーフィルタであ
り、このカラーフィルタ１の表面に付着しているゴミ等
の異物３６を、第１ＣＣＤセンサー（第１センサー）８
と第１検出手段４１等により判断検出するようにしてい
る。またカラーフィルタ１のピンホール３５を、第２Ｃ
ＣＤセンサー（第２センサー）６と第２検出手段４２に
より検出するようにしている。

【００１１】ランプ等から成る光源２からの光は投光用
光学系３を介してカラーフィルタ１の表面にて反射さ
れ、この反射光は受光用光学系７を介して第１ＣＣＤセ
ンサー８にて受光される。この第１ＣＣＤセンサー８の
出力は第１検出手段４１に入力されて、この検出手段４
１により暗欠陥をゴミ等の異物３６として判断検出す
る。また上記光源２からの光は投光用光学系３を介して
カラーフィルタ１を透過し、この透過光は受光用光学系
４、フィルタ５を介して第２ＣＣＤセンサー６に入力さ
れる。この第２ＣＣＤセンサー６の出力は第２検出手段
４２に入力されて、この検出手段４２により明欠陥をピ
ンホール３５として判断検出する。なお上記光源２とし
ては、例えばタングステンハロゲンランプが用いられ、
光学系３、４、７には、例えばコンデンサレンズ系やコ
リメータレンズ系が用いられる。そして各ＣＣＤセンサ
ー６、８には、高速駆動タイプのＣＣＤリニアイメージ
センサーを用いている。さらにフィルタ５は、ＣＣＤセ
ンサー６が飽和するのを防止するための光量調整用フィ
ルタである。

【００１２】まず最初に、第２ＣＣＤセンサー６による
ピンホール３５の検査方法について図１及び図２により
説明する。図２（ａ）はカラーフィルタ１にピンホール
３５がある場合を示し、このピンホール３５の部分での
透過光は第２ＣＣＤセンサー６により受光される。そし
て第２ＣＣＤセンサー６からの出力信号は第２検出手段
４２に送られる。ここでカラーフィルタ１のピンホール
３５からの出力は、その部分で光の吸収がないために、
信号レベルが図２（ｂ）に示すように明欠陥信号として
上に振れる。そこで上に振れた信号がスレッショルドＴ
ｈにて検出され、第２検出手段４２ではカラーフィルタ
１にピンホール３５が存在していると判定する。

【００１３】次に第１ＣＣＤセンサー８による表面のゴ
ミ等の異物３６の検査方法について説明するが、この検
査手順は上記第２ＣＣＤセンサー６による検査と並行し
て略同時に行われるものである。図２（ｃ）に示すよう
にカラーフィルタ１の表面にゴミ等の異物３６が存在す
る場合、反射光においては、その部分に光が吸収される
ため、第１ＣＣＤセンサー８から第１検出手段４１に送
られる出力信号は、図２（ｄ）に示すように暗欠陥信号
として下に振れる。そこで下に振れた信号がスレッショ
ルドＴｈにて検出され、第１検出手段４１ではカラーフ
ィルタ１の表面にゴミ等の異物３６が存在すると判定す
るのである。

【００１４】このようにカラーフィルタ１のピンホール
３５からの出力は、透過光に吸収がないため第２ＣＣＤ
センサー６によって明欠陥信号として出力され、また不
透明なゴミ等の異物は反射光に基づき第１ＣＣＤセンサ
ー８によって暗欠陥信号として出力されるために、カラ
ーフィルタ１のピンホール３５と表面に付着したゴミ等
の異物３６との両者を容易に判断検出することができ
る。このように本発明ではカラーフィルタ１の裏面に付
着しているゴミ等の異物は製品として支障がないため
に、裏面の異物は検出せず、カラーフィルタ１の表面の
ゴミ等の異物３６とピンホール３５とを検出し、これら
異物３６やピンホール３５が検出されれば不良品と判断
するものである。

【００１５】

【発明の効果】以上のように請求項１のカラーフィルタ
等の検査装置及び請求項２のカラーフィルタ等の検査方
法では、被検査物の表面の反射光を受光する第１センサ
ーの出力を受けた第１検出手段により、被検査物の表面
のゴミ等の異物による暗欠陥を判断検出し、それにより
被検査物の表面のゴミ等の異物を検出する一方、それと
同時に被検査物の透過光を受光する第２センサーの出力
を受けた第２検出手段により被検査物のピンホール等に
よる明欠陥を判断検出し、これにより被検査物のピンホ
ール等を検出している。したがって従来のように被検査
物の裏面に付着したゴミ等の異物の誤検出を防止でき、
これにより検査精度の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例のピンホールとゴミ等の異物を
検出する場合の構成図である。

【図２】本発明の実施例のピンホールとゴミ等の異物を
検出する場合の説明図である。

【図３】従来例の検査装置の概略構成図である。

【符号の説明】

１ カラーフィルタ ２ 光源 ６ 第２センサー ８ 第１センサー ３５ ピンホール ３６ 異物 ４１ 第１検出手段 ４２ 第２検出手段

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 カラーフィルタ等の被検査物（１）の表
   面側に設けた光源（２）と、この光源（２）から上記被
   検査物（１）の表面にて反射させた反射光を受光する第
   １センサー（８）と、この第１センサー（８）の出力か
   らゴミ等の異物（３６）を暗欠陥として判断検出する第
   １検出手段（４１）と、上記光源（２）から被検査物
   （１）を透過した透過光を受光する第２センサー（６）
   と、この第２センサー（６）の出力からピンホール（３
   ５）等を明欠陥として判断検出する第２検出手段とを備
   えたことを特徴とするカラーフィルタ等の検査装置。
2. 【請求項２】 光源（２）からの光をカラーフィルタ等
   の被検査物（１）の表面にて反射させた反射光を第１セ
   ンサー（８）により受光し、この第１センサー（８）の
   出力を受けた第１検出手段（４１）によりゴミ等の異物
   （３６）を暗欠陥として検出し、上記光源（２）から被
   検査物（１）を透過した透過光を第２センサー（６）に
   より受光し、この第２センサー（６）の出力を受けた第
   ２検出手段（４２）によりピンホール（３５）等を明欠
   陥として検出するようにしたことを特徴とするカラーフ
   ィルタ等の検査方法。