JPH01216767A - 研磨・ラッピング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 研磨・ラッピング装置の研磨・ラッピング板をなす円板
状上下板のいづれかにうずまき状のガイドを設け、研磨
・ラッピング中に被加工物をその投入孔から連続的に供
給し、被加工物を取り出し孔に向って、自動的に移動さ
せ連続的に取り出しうるようにした研磨・ラッピング装
置である。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、研磨・ラッピング装置の改良に関する。特に
、研磨・ラッピング装置の自動化を目的とした改良に関
する。

（従来の技術〕 従来技術に係る研磨・ラッピング装置は、その１例を第
２図に示すように、相互に対接しており相互に逆方向に
回転する２枚の円板１・３を有し、モータ等の駆動装置
７をもつでその一方または双方を回転し、、それらの間
に挟まれる被加工物５を研磨Φう７ピングするものであ
る。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来技術に係る研磨拳ラッピング装置は、バッチ処理を
前提としており、被加工物の供給Φ取り一出しは装置を
停止してなすこととされている。そのため、工程の自動
化を図る上での障害となっており、被加工物の供給・取
り出しのために装置を停止する必要がなく、工程の自動
化に適する研磨・ラッピング装置の開発がマまれていた
。

本発明の目的は、この要望に応えることにあり、被加工
物の供給・取り出しのために装置を停止する必要がなく
、工程の自動化に適する研磨・ラッピング装置を提供す
ることにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的を達成するために本発明が採った手段は、２
枚の円板（１・３）が相互に対向して配設され、該２枚
の円板（ｌ・３）が相対的に逆方向に回転するように該
２枚の円板（ｌ・３）の−方または双方が回転されて、
該２枚の円板（１・３）の間に挟まれた被加工物を研磨
・ラッピングする研磨・ラッピング装置において、前記
２枚の円板（１＠３）のいづれかには、その研磨・ラッ
ピング面に、うずまき状のガイド（４）を取り付け、前
記２枚の円板（１−３）のうち上板をなす円板（１・３
）には、その中心近傍または周辺近傍に被加工物投入孔
（２）を設け、前記２枚の円板（ｌ・３）のうち下板を
なす円板（１・３）にはその周辺近接または中心近傍に
被加工物取り出し孔（６）を設けて、研磨・ラッピング
装置を構成したことにある。

〔作用〕

本発明に係る研磨・ラッピング装置においては、相対的
に逆方向に回転する上下板１・３のいづれかに、うずま
き状のガイド４が取り付けであるので、上下板ｌ・３の
間に挟まれた被加工物５はどのうずまき状のガイド４に
ガイドされて、外周方向または中心方向に移動する。被
加工物５は、うずまき状のガイド４が取り付けられた円
板１・３とは逆の方向に移動しやすいから、被加工物５
が外周方向に移動するか中心方向に移動するかは、うず
まき状のガイド４の取り付けられた円板１・３の回転方
向を選択することによって容易に選択しうる。被加工物
５−の移動方向に対応して、被加工物投入孔２が上板１
の中央部または外周部に取り付けられるか、または、ウ
ェーハ取り出し孔位置が下板３の外周部または中央部に
取り付けられるかが、決定されることは明らかである。

（実施例〕 以下１図面を参照しつ＼、本発明の一実施例に係る研磨
・ラッピング装置についてさらに説明する。

第１図参照 図において、ｌは上板をなす円板であり、この例におい
ては中心近傍に被加工物投入孔２が設けられている。３
は下板をなす円板であり、この例においては周辺近傍に
被加工物取り出し孔６が設けられている。４はうずまき
状のガイドであり、この例においては下板３に取り付け
られており、うずまき方向は上から見て右巻きとされて
おり。

下板４はモータ７によって左回りに回転させられ、上下
板１・２の間に挿入される被加工物５は研磨・ラッピン
グされながら右回りに移動して。

次第に外周に接近し、被加工物取り出し孔６から落下し
て、被加工物搬出路８に供給される。

以上の構造の研磨・ラッピング装置は、連続的に被加工
物５を供給し、連続的に被加工物５を取り出すことがで
きるので、工程の自動化に寄与する。

〔発明の効果〕

以上説明せるとおり、本発明に係る研磨・ラッピング装
置は、研磨・ラッピング板をなす円板状の上下板のいづ
れかには、その研磨−ラッピング面に、うずまき状のガ
イドが取り付けられており、前記２枚の円板のうち上板
をなす円板には、その中心近傍または周囲近傍に被加工
物投入孔が設けられており、前記２枚の円板のうち下板
をなす円板にはその周辺近傍または中心近傍に被加工物
取り出し孔が設けられており、被加工物は、研磨・ラッ
ピング中に、うずまき状に移動するから、連続的に被加
工物を供給し、連続的に被加工物を取り出すことができ
るので、バッチ方式にたよる必要がなく、工程の自動化
に寄与する。

【図面の簡単な説明】

第１図は１本発明の一実施例に係る研磨・ラッピング装
置の構成図である。 第２図は、従来技術に係る研磨・ラッピング装置の構成
図である。 ！＃１１＃上板、 ２・・−被加工物投入孔。 ３・・・下板。 ４・・・うずまき状ガイド、 ５・・・被加工物。 ６・・拳被加工物取り出し孔。 ７・・・モータ、 ８・・・被加工物搬出路。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　２枚の円板（１・３）が相互に対向して配設され、該
   ２枚の円板（１・３）が相対的に逆方向に回転するよう
   に該２枚の円板（１・３）の一方または双方が回転され
   て、該２枚の円板（１・３）の間に挟まれた被加工物を
   研磨・ラッピングする、研磨・ラッピング装置において
   、 前記２枚の円板（１・３）のいづれかには、うずまき状
   のガイド（４）が取り付けられており、 前記２枚の円板（１・３）のうち上板をなす円板（１・
   ３）には、その中心近傍または周囲近傍に被加工物投入
   孔（２）が設けられており、前記２枚の円板（１・３）
   のうち下板をなす円板（１・３）にはその周辺近傍また
   は中心近傍に被加工物取り出し孔（６）が設けられてい
   ることを特徴とする研磨・ラッピング装置。