JPH01217741A - 情報記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、レーザビームを用いて情報の記録・再生を
行なう情報記録媒体の製造方法に関する。

（従来の技術） レーザビームを用いて光学的に情報の記録・再生を行う
のに、基板上に形成された記録膜に、記録すべき情報に
対応させたパルス変調レーザビームを照射して局部的に
加熱を行なうことにより、ピットと称される孔部を形成
する情報記録媒体が知られている。

このような情報記録媒体は■記録密度が極めて高く大容
量、化が可能であること、■情報の記録や再生を非接触
で行なうので記録媒体の摩耗がないこと、■高速アクセ
スが可能であること、などの利点があり、いわゆる光デ
ィスクや光カードに応用されている。

なお、情報記録媒体は情報のアクセスを可能とするため
、基板に光学ヘッド案内用の溝（グループ）を設けるこ
とから、基板材料としては光学的特性に優れグループ成
形性の良い透明樹脂材料が適している。

情報記録媒体は記録膜の材質によって種々の型に分けら
れる。ユーザが記録できる型の媒体は、光ビームの照射
により光学的性質が変化する記録膜を、透明な基板上に
形成したもので、再生方法はレーザビームを記録膜に向
は照射し、その反射光を検出して記録情報を読み出すの
が一般的である。

記録膜に関しては、カルコゲン化合物、有機色素あるい
は希土類−遷移金属等の材料が知られている。記録膜の
寿命を保持するために、形成される記録膜の構造を有機
成分マトリックス中に金属微粒子を分散させたもの、あ
るいは記録膜を他の保護膜で覆ったものがあるが、依然
、充分な寿命が得られなく、また高温高湿度下の加速劣
化環境テストに耐え得るものがなかった。環境テストに
おいて、温・湿度履歴を加えることによって、記録膜が
変質により、記録・再生特性が低下した。

そこで実用に際し、更に長寿命で耐環境性に優れ、記録
・再生時の感度も良くかつ高密度記録が可能なものの実
現が要望されている。

（発明が解決しようとする課題） この発明は、長寿命で耐環境性に優れしかも高感度を持
ち信頼性の高い情報記録媒体の製造方法を提供すること
を目的とする。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） この発明は、レーザビームの照射により情報の記録・再
生を行なう記録膜を有する情報記録媒体の製造方法にお
いて、真空容器内に金属ターゲットと炭素（Ｃ）ターゲ
ットとを備え、記録膜は基板上に炭化水素とＡｒとの混
合ガスを含む雰囲気中での前記両ターゲットの反応性ス
パッタリングにより形成したことを特徴とする。

（作　用） この発明による情報記録媒体の製造方法は、上記のよう
な手段により、炭化水素とＡｒとの混合ガス雰囲気中で
金属ターゲットとＣターゲットとの反応性スパッタリン
グにより記録膜を形成するようにし、記録膜の構造を、
有機成分とＣ微粒子マトリックスに金属微粒子を分散し
たものとしたので、良好な記録感度を維持しつつ長寿命
で耐環境性に優れた情報記録媒体を得ることができる。

（実施例） 以下、この発明による情報記録媒体の製造方法の実施例
を図面を参照し詳細に説明する。

第１図はこの発明を実施するためのスパッタリング装置
の構成図である。即ち、真空容器のには、混合ガス等が
供給されるガス導入口■及び図示しない真空ポンプに接
続された排気口■が設けられている。容器■内には金属
ターゲット及び電極（４１）とＣターゲット及び電極（
４２）とが設けられ、夫々端子（５１）（５２）を介し
て図示しない直流（ＯＣ）電源に接続される。また、容
器ω内の前記電極（４１）（４２）に対向する位置に基
板０が設置される対向電極■が設けられている。

基板０は１３０ｍφ、厚さ１．２ｍのポリカーボネイト
、ポリメチルメタアクリレートあるいはエポキシ等の透
明樹脂材料からなり、基板表面には図示しないが８００
オングストロ一ム程度の深さに記録・再生用案内溝（グ
ループ）が予め形成されている。

記録膜の形成手順は、まず真空容器■の内部を排気口■
を通して２　Ｘ　１Ｏ−６ＴＯｒｒ程度まで排気した後
、ガス導入口■より炭化水素（ＣＨ４）ガス及びＡｒガ
スとの混合ガスを導入する。ＣＨ４ガスとＡｒガスの混
合容積量は夫々１０３ＣＣＨとし、容積比を例えば１：
１の割合とする。そこで、容器内ガス圧力を５　Ｘ　１
Ｏ−３ＴＯｒｒとした後に、ターゲット（４１Ｈ４２）
と対向電極■との間に例えば０．５ＡのＤＣ電力を供給
し反応性スパッタリングを行う。この結果、基板０上に
記録膜が堆積形成されて情報記録媒体が作製される。な
お、基板■は１８ｒ　−ｐ・ｍの速度で回転させ、堆積
膜の均一化を計っている。

［実施例−１］ 金属ターゲット（４１）にＴｅを使用する。基板■上に
記録膜を堆積させるのに、まずＣＨ４ガスとＡｒガスと
の容積比が１：１からなる総１２０ｓｅｃＨの混合ガス
を導入する。このようにして、スパッタリングを行った
結果、４０秒間で５０止の厚さの記録膜を得ることがで
きた。なお、この間、容器内のスパッタリング圧力は５
　Ｘ　１Ｏ−３ＴＯｒｒに維持する。

また、記録膜の膜厚は１０〜１１００ｎが適当である。

この結果、第２図にその記録媒体の断面模式に示すよう
に、スパッタリング混合ガス組成とターゲットとの関係
から、基板（６）上に堆積形成された記録膜（６１）は
Ｔｅ微粒子からなる光吸収部（６１１）と有機成分（６
１２）とＣ微粒子（６１３）とからなるマトリックス部
で構成される。

このようにして得られた情報記録媒体を８５℃−９０％
ＲＨの高温高湿度槽内で加速劣化試験による耐環境テス
トを行った。この耐環境テスト後に波長（λ）が８３０
ｎｍのレーザ光による光透過率（Ｔ／Ｔｏ）は第３図に
）に示すように４０００時間後も劣化や変質が見られず
、Ｃ）−１４ガスを添加しない従来の場合■より良好な
結果が得られた。

次に、同じく環境テスト後に記録媒体の示差走査熱量測
定（ＯＳＣ）よる熱分析を行った結果、第４図のとおり
、ＣＨ４ガスを添加しない場合０と比較し、本発明の結
果０はＣＨ４ガス添加による有機成分マトリックス部の
分解により、発熱ピーク温度が高温側にシフトし、光記
録媒体の耐加速劣化特性即ち耐環境特性が改善向上した
ものと言える。

［実施例−２］ ＣＨ４とＡｒとの混合ガスに０２Ｈ２ガスを流量容積比
で５％添加したスパッタリングガスを使用し、実施例−
１と同様な工程で基板０表面に約ｓｏｎｍの厚さの記録
膜を堆積させ情報記録媒体を作製した。その後、実施例
−１同様に耐環境テスト・評価を行ったが、いずれも実
施例−１と同様な特性効果が得られた。

［実施例−３］ ＣＨ４とＡｒとの混合ガスにスチレンガスを約１０ｍｏ
　Ｉχ添加したスパッタリングガスを使用し、実施例−
１と同様な工程で基板０表面に約５０ｎｍの厚さの記録
膜を堆積させ情報記録媒体を作製した。

これについても、実施例−１同様に耐環境テスト・評価
を行った結果、いずれも実施例−１と同様な特性効果が
得られた。

また、上記実施例−１〜３と同様な方法で０２１１４　
、０２　Ｈ２、スチレンの各ガス添加量を種々変えて記
録膜を作製し、テスト・評価を行った結果、加速劣化特
性に効果のあるガス添加量は１〜２０ｍｏ１％％である
ことが分った。

更にまた、上記各実施例では金属ターゲットをＴｅとし
て説明したが、その他のＩｎ、Ｓｅ。

Ｐｂ、Ｂｉ、ｓｂ、ＡＱ、（３ａ、ＡＳ及びＧｅのいず
れかの金属単体もしくはこれらの任意の組合わせからな
る合金を使用しても同様な効果が得られる。

［発明の効果］ 以上説明のように、この発明の製造方法によれば、特に
耐環境性があり長寿命で、記録・再生特性の優れた情報
記録媒体を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係る情報記録媒体の製造方法に使用
する反応性スパッタリング装置の構造を示す概要図、第
２図はこの発明の製造方法によって作製された情報記録
媒体の断面模式図、第３図及び第４図は夫々この発明の
製造方法の一実施例によって作製された情報記録媒体の
特性図で、第３図は耐環境テストにおける光透過率特性
図、第４図は発熱及び吸熱ピーク温度特性図である。 ■−・真空容器 ■・・・ガス導入口 （４１）・・・金属ターゲット及び電極（４２）・・・
Ｃターゲット及び電極 ０・・・基板

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. レーザビームの照射により情報の記録・再生を行なう記
   録膜を有する情報記録媒体の製造方法において、真空容
   器内に金属ターゲットと炭素（Ｃ）ターゲットとを備え
   、記録膜は基板上に炭化水素とＡｒとの混合ガスを含む
   雰囲気中での前記両ターゲットの反応性スパッタリング
   により形成したことを特徴とする情報記録媒体の製造方
   法。