JPH01222049A - のぞき窓用シャッター機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 真空蒸着装置等に用いられる真空チャンバーに係り、特
にのぞき窓用のシャッター機構に関し、筒易構造で気密
を保持し、かつ低コストののぞき窓用シャッター機構の
提供を目的とし、のぞき窓を真空チャンバーの側面に備
え、該真空チャンバーの真空室内側で前記のぞき窓の視
野を開閉するのぞき窓用シャッター機構において、前記
のぞき窓をベローを介して前記真空チャンバーの側面に
突設すると共に、真空室の外側から前記ベローを伸縮さ
せる複数のスクリューネジと、前記のぞき窓の真空室側
に前記ベローに平行するように突設した突棒と、前記突
棒の先端に押されて開閉を行うシャッターとから構成す
る。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、真空蒸着装置等に用いられる真空チャンバー
に係り、特にのぞき窓用のシャッター機構に関する。

〔従来の技術〕

真空装置において、真空チャンバーの内部をのぞくため
ののぞき窓は真空室内の変化を外部から監視できること
からも必要不可欠のものであるが、分子線エピタキシャ
ル成長装置やスパッタ装置などにおいては、金属蒸気が
のぞき窓のガラス面に付着してしまう。そこでのぞき窓
のガラスの前にシャッター機構を取り付け、シャッター
の開閉を行うことで金属蒸気の付着を防止している。

第３図は従来ののぞき窓用シャッター機構の断面図を示
す。図において、１は真空チャンバーの側面、２はシャ
ッターを設けるために側面１から突き出したシャッター
室、３はシャッター室に連結されて真空室内を観察する
ためののぞき窓であって厚手の透明ガラスを用い、窓枠
４に気密構造に嵌込まれている。

５はシャッタ室２内に設けられたシャッタであって、回
転軸５ａに固定され、その回転軸５ａの一方の軸端はシ
ャッタ室２内に設けられた軸受２ａに挿入され、他端は
気密構造の軸受２ｂを貫通して回転導入機６（減速機付
モータ等）に連結され、その回転導入機６の駆動により
シャッター５はのぞき窓３の視野を開閉する。

すなわち、真空室内に金属蒸気が存在するときにはこの
シャッター５を閉じることにより金属蒸気ののぞき窓３
のガラス面に対する付着を防止することができる。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来ののぞき窓用シャッター機構は、そのシャッターの
開閉のために回転導入機を取りつける必要があった。こ
の回転導入機は真空チャンバーの気密漏洩の原因をつく
り、装置のコスト高を招きかつ大型化する欠点がある。

本発明は上記従来の欠点に鑑みてなされたもので、簡易
構造で気密を保持し、かつ低コストののぞき窓用シャッ
ター機構の提供を目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

第１図（ａ）、　（ｂ）は本発明の構成を示す断面図で
あって、同図（ａ）はシャッター閉塞状態、同図世）は
シャッター解放状態を示す。のぞき窓３を真空チャンバ
ーの側面１に備え、該真空チャンバーの真空室内側で前
記のぞき窓３の視野を開閉するのぞき窓用シャッター機
構において、前記のぞき窓３をベロー７を介して前記真
空チャンバーの側面１に突設すると共に、真空室の外側
から前記ベロー７を伸縮させる複数のスクリューネジ８
，９と、前記のぞき窓３の真空室側に前記ベロー７の伸
縮方向に平行するように突設した突棒ｌＯと、前記突棒
１０の先端に押されて開閉を行うシャッター１１とから
構成する。

〔作　用〕

真空室の外側から前記ベロー７を伸縮させる複数のスク
リューネジ８，９を回動してベロー７を縮ませることに
より突棒１０の先端はＰ点を支点とするシーソー構造の
シャッター１１の端部を押し、これにより第１図（ｂ）
に示すようにシャッター１１は開放状態を保持する。シ
ャッター１１を閉塞状態にする場合はその逆作用によっ
て可能となる。真空室を貫通するような気密構造の軸受
を必要としないから真空漏洩の欠点は解決され、がっ簡
易構造に構成できる。

〔実施例〕

以下本発明の実施例を図面によって詳述する。

なお、構成、動作の説明を理解し易くするために全図を
通じて同一部分には同一符号を付してその重複説明を省
略する。

第１図（ａ）、　（ｂ）は本発明の構成を示す断面図で
あって、同図（ａｌはシャッター閉塞状態、同図（ｂ）
はシャッター開放状態を示す。両図において、７は真空
度を保持しながら伸縮可能な筒状のベローであって、真
空チャンバーの側面１とのぞき窓３の窓枠４との間に気
密構造に設けられている。

８と９はベロー７を伸縮させる複数のスクリューネジで
あってその本数は窓枠４の大きさに対応して最適値に決
定される。スクリューネジ８．９はその一端をネジ部分
の軸径よりも大径に段差を設けて形成し、その大径部分
は真空チャンバーの側面１に設けた軸受１ａ、　ｌｂに
軸支され、かつフランジｌｃ、　ｌｄにより軸受１ａ、
　ｌｂから脱出不能に取りつけられている。

スクリューネジ８，９の他端は窓枠４に螺合すると共に
その端部に回転操作用の把手８ａ、　８ｂがそれぞれ固
定されている。この把手８ａ、　８ｂを同じ回転方向に
回転させることによりベロー７を伸縮させ、窓枠４と真
空チャンバーの側面１との距離を自由に加減することが
できる。

１０は窓枠４の真空シャッター室側にベロー７の伸縮方
向に平行するように突設した突棒ｌＯであって、その先
端はＰ点を支点とするシーソー構造のシャッタ１１の端
部を押すように構成されている。

把手８ａ、　８ｂを回転させて窓枠４を真空チャンバー
の側面１に接近させるに伴い、突棒１０の先端はＰ点の
上部を押し、その結果第１図（′ｂ）に示すようにシャ
ッター１１はＰ点を支点として矢印Ｇ方向に回動し開放
状態になる。ｌｅと１ｆはそれぞれシャッター１１の閉
塞状態を規制するためのストッパである。

なお、第１図の構成によれば突棒１０の先端が常にシャ
ッター１１の最適位置を押すように把手８ａ。

８ｂをそれぞれ独立して同じ回転方向に同じ回転速度で
回転させる必要があり、把手８ａ、　８ｂをそれぞれ図
示しないチェーンギヤに置き換え、無端状のチェーンで
連結し、そのチェーンに一つの回転駆動源から回転を伝
達することによりシャッター１１を開閉してもよい。

第２図は本発明の他の実施例の要部断面図を示す。本図
は第１図におけるシャッター１１の周辺部分のみをあら
れしたものであって、シャッター１１の支点をＱ点に下
げ、ストッパＩｇと１ｈを置き直し、シャッター１１の
上端部付近を突棒１０により押すように構成すると共に
、シャッター１１の上端付近を図示するようにバネ１２
により斜め上方向に引っ張ることにより、シャッター１
１を下向きに倒して開放状態をつくることもできる。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように本発明によれば、簡易構
造でかつ低コストののぞき窓用シャッターが実現し、真
空漏洩の原因となる部分を減らすことができるという著
しい工業的効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の構成を示す断面図 第２図は本発明の他の実施例の要部断面図、第３図は従
来ののぞき窓用シャッター機構の断面図を示す。 第１図において、１は真空チャンバーの側面、３はのぞ
き窓、７はベロー、８と９はスクリューネジ、１０は突
棒、１１はシャッターをそれぞれ示す。 味明４臘八′を木り眸−圓 第１図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 のぞき窓（３）を真空チャンバーの側面（１）に備え、
   該真空チャンバーの真空室内側で前記のぞき窓（３）の
   視野を開閉するのぞき窓用シャッター機構において、 前記のぞき窓（３）をベロー（７）を介して前記真空チ
   ャンバーの側面（１）に突設すると共に、前記真空室の
   外側から前記ベロー（７）を伸縮させる複数のスクリュ
   ーネジ（８、９）と、 前記のぞき窓（３）の前記真空室内側に前記ベロー（７
   ）の伸縮方向に平行するように突設した突棒（１０）と
   、前記突棒（１０）の先端に押されて開閉を行うシャッ
   ター（１１）とから構成されてなることを特徴とするの
   ぞき窓用シャッター機構。