JPH01224660A - 超音波探傷装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、超音波により被検材の探傷を行なう超音波探
傷装置に関する。

〔従来の技術〕

超音波探傷装置は、物体を破壊することなくその内部の
欠陥を検出することができ、多くの分野において用いら
れている。例えば、合成樹脂材でモールドされた板状の
半導体チップの層間の剥離の有無を検出する場合、超音
波の送受信を行なう探触子をチップの表面の縦横方向に
又は円周方向に走査させ、その走査経路上の多数の点で
超音波の送受信を行ない剥離の有無を検出する。このよ
うな超音波探傷装置を第６図により説明する。

第６図は従来の超音波探傷装置の系統図である。

図で、Ｘ、Ｚは座標軸を示し、Ｙ軸は紙面に垂直な方向
である。１は水槽、２は水槽１に満たされた水、３は水
槽１の底壁に固定された台、４は台３に可回転に支持さ
れた回転テーブル、５は回転テーブル４上にｆＲｙｌ固
定された被検材である。６は超音波探触子、７は超音波
探触子６をＺ軸方向に駆動可能に支持する支持体、８は
支持体７を支持する移動体である。移動体８は水槽ｌ上
をＹ軸方向に移動可能であり、かつ、支持体７を移動体
８上でＸ軸方向に移動させる手段を備えている。

１０は支持体７をＸ軸方向に駆動するモータ、１１は超
音波探触子６をＺ軸方向に駆動するモータ、１２は回転
テーブル４を図に示すθ方向に回転駆動するモータであ
る。１３，１４．１５はそれぞれモータ１０，１１．１
２の回転量に応じた数のパルスを出力するエンコーダ、
１６はモータ１０゜１１．１２を駆動制御するモータコ
ントローラである。

１７はエンコーダ１３，１４．１５の出力パルスを入力
してモータの回転位置に応じたパルスに変換する分周器
である。１８はパルサーレシーバであり、超音波探触子
６にパルスを出力して超音波を発生せしめるとともに、
超音波探触子６に入力した被検材５からの反射波を受信
しこれをデータとして出力する。１９はゲート回路ピー
クホールドであり、パルサーレシーバ１８から出力され
たデータのうち任意のデータのみを通過させるとともに
これらデータのうちのピーク値をホールドする回路であ
る。このゲート回路ピークホールド１９により被検材５
の表面からの探傷の深さ範囲を定め、その範囲における
ピーク値をとり出すことができる。２０はＡ／Ｄ変換詑
、２１は定められた手順にしたがって所要の演算、制御
を行なうＣＰＵ　（中央処理装置）、２２は入力された
データを記を復するメモリ、２３は信号の入出力を行な
うためのインタフェースである。ＣＰＵ２　Ｌメモリ２
２およびインタフェース２３により信号処理装置が構成
される。２４はパルサーレシーバ１８の受信信号により
被検材５の探傷波形を表示するオシロスコープ、２５は
探傷結果を表示するモニタテレビジョン（モニタＴＶ）
、２６は所要のデータや指令等を入力するためのキーボ
ードである。

ここで、上記超音波探傷装置の動作を説明する。

ＣＰＵ２１に対して、キーボード２６から所要の数値、
例えばゲート回路ピークホールド１９のゲート範囲や分
周器１７の分周数、モータ１０，１１゜１２の駆動速度
等が設定される。ＣＰＵ２１はモータコントローラ１６
に指令信号を出力し、モータ１０，１１．１２を駆動し
、探触子６を定められた走査開始点（原点）に移行させ
る。このとき分周器１７から出力される信号によりＡ／
Ｄ変換器２０が駆動されるとともに、ＣＰＵ２１はバル
サレシーバ１８を駆動して超音波の送受信を行なわせる
。受信された反射波は、ゲート回路ピークホールド１９
に人力され、そのうちの所定深さ範囲におけるピーク値
のみとり出され、このピーク値は作動状態にあるＡ／Ｄ
変換器によりディジタル値に変換され、この変換された
値はＣＰＵ２１の指令によりメモリ２２の所定のアドレ
スに格納される。

以後、モータ１２が所定速度で連続して駆動され、この
駆動中、エンコーダ１５からは単位移動量毎にパルスが
出力され、分周器１７からは所定の移動量毎にパルスが
出力される。そして、分周器１７からのパルスの出力毎
にＡ／Ｄ変換器２０が駆動され、前記ピーク値が順次メ
モリ２２の所定のアドレスに格納されてゆく。この動作
が繰返えされ、探触子６が再び原点に戻ると、ＣＰ　Ｕ
２１はモータコントローラ１６に指令信号を出力し、モ
ータ１０を駆動して探触子６を所定量だけ中心方向に移
動させ、再び上記の動作を繰返して被検材５の探傷デー
タを採取してゆ（。このようにして被検材５の全面の走
査が終了すると、ＣＰＵ２１はメモリ２２からデータを
とり出し、これに対して所要の処理を施し、その結果を
モニタＴＶ２５に表示させる。この結果、モニタＴＶ２
５には被検材５の所定深さの横断面における各探傷点の
状態が表示され、欠陥部の位置や大きさを把握すること
ができる。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記超音波探傷装置による探傷により、被検材５に存在
する欠陥部分の位置や大きさは可成りの゛精度で検出す
ることができる。しかしながら、上２超音波探傷装置が
反射波形自体をとり出すものではなく、単に反射波のピ
ーク値をとり出すのみであることから、その検出精度に
は限界があり、欠陥部の状態をさらに詳細に探究するこ
とはできなかった。

本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、゛超音
波反射波の波形自体を採取することができ、かつ、その
採取方法を任意に選択することができる超音波探傷装置
を徒供するにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的を達成するため、本発明は、超音波探触子に
より被検材表面を走査しながらこれに超音波を送信しか
つその反射波を受信する送受信部と、前記反射波の信号
に相当するディジタル値を記憶手段に記憶し記憶された
値に基づいて所定の処理を行なう信号処理部と、この信
号処理部の処理に基づいて表示を行なう表示部とを備え
た超音波探傷装置において、前記反射波の信号をディジ
タル値に変換するＡ／Ｄ変換器、前記超音波の送受信の
開始信号を検出するトリガ検出回路、前記走査経路上の
探傷点位置情報を入力後その位置に対するサンプリング
終了まで前記トリガ検出回路を作動状態とするホールド
回路、および前記トリガ検出回路の検出信号毎に所定の
態様の遅延時間をもたせて前記Ａ／Ｄ変換器を作動させ
る遅延回路を備えた波形変換部を設けるとともに、前記
信号処理部に前記遅延回路に前記遅延時間を指令するサ
ンプリング選択手段を設けたことを特徴とする。

〔作　用〕

信号処理部から送受信部へ指令が与えられると、送受信
部からパルスが発生して超音波の送受信が開始される。

一方、ホールド回路は探傷点位置情報を入力し、探傷点
位置に達したときトリガ検出回路を作動状態とする。こ
のような状態において、送受信部のパルスは波形変換部
のトリガ検出回路で検出され、当該波形変換部の遅延回
路を作動させる。遅延回路からは所定の遅延時間後に遅
延信号が信号処理部のサンプリング選択手段で指示され
る所定の態様で出力される。出力された遅延信号は波形
変換部のＡ／Ｄ変換器を作動状態とする。

一方、送受信部で受信された超音波反射波信号はＡ／Ｄ
変換器に入力され、Ａ／Ｄ変換器が作動状態にあるとき
のみディジタル値に変換され、信号処理部の記憶手段に
記憶される。

送受信部のパルスの授受は１つの探傷点において繰返し
て行なわれ、その出力毎に上記の動作が繰返されるが、
この繰返し毎に遅延回路の遅延時間がサンプリングピッ
チだけ加算されてゆく。このため、定められた繰返しが
終了したとき、信号処理部の記憶手段には上記サンプリ
ングピッチでサンプリングした超音波反射波の波形が記
憶される。このサンプリングが終了するとホールド回路
はリセットされサンプリングが停止される。そして、次
の探傷点情報が入力されるとホールド回路は再びセット
状態となり、上記のサンプリングが再度実行される。こ
のようなサンプリングの期間中も走査は中断されること
なく継続している。

〔実施例〕

以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。

第１図は本発明の実施例に係る超音波探（３装置の系統
図である。図で、第６図に示す部分と同一部分には同一
符号を付して説明を省略する。３０はパルサレシーバ１
８からの信号を入力してこれをディジタル値に変換する
波形変換部である。波形変換部３０は図示のように、ト
リガ検出回路３０ａ、遅延回路３０ｂ、、Ａ／Ｄ変換器
３０Ｃおよびホールド回路３０ｄで構成されている。ト
リガ検出回路３０ａはホールド回路３０ｄからのセット
信号が入力している状態においてパルサレシーバ１８か
ら探触子６に出力されるパルスを検出し、その検出信号
を遅延回路３０ｂに出力する。遅延回路３０ｂは検出信
号入力後所定時間経過したときＡ／Ｄ変換器３０ｃに信
号を出力し、この信号によりＡ／Ｄ変換器３０ｃを作動
状態とする。

Ａ／Ｄ変換器３０Ｃはその作動状態時においてパルサレ
シーバ１日で受信された超音波反射波１３号をディジタ
ル値に変換する。ホールド回路３０ｄは走査中に分周器
１７から探傷点に達した信号が人力されたときトリガ検
出回路３０ａにセット信号を出力し、その探傷点でのサ
ンプリングが終了したときにはリセット信号を出力する
。２１′は第６図に示すＣＰＵ２１に相当するＣＰＵで
ある。

ＣＰＵ２１　’はＣＰＵ２　Ｌの機能以外に遅延回路３
０ｂを制御する機能、その他の機能を備えている。これ
らの機能については後述する。

次に、本実施例の動作を第２図（ａ）〜（ｄ）に示す波
形図および第３図に示すフローチャートを参照しながら
説明する。第２図（ａ）〜（ｄ）はトリガパルスおよび
超音波反射波の波形図であり、第２図（ｂ）〜（ｄ）は
第２図（ａ）に示す波形の時間軸だけを拡張した波形図
である。各図で、Ｔ’＋　＋　Ｔｚ　＋　Ｔ：＋　＋　
・・・・・・・・・はパルサレシーバ１８から出力され
るトリガパルス、Ｗ、、Ｗ、。

Ｗ２．・・・・・・・・・はパルサレシーバ１８で受信
された超音波反射波信号波形を示す。第２図（ａ）に示
すようにトリガパルスはパルサレシーバ１８から繰返し
出力され、その都度パルサレシーバ１８に被検体５から
の超音波反射波信号が受信される。

第２図（ｂ）に示す時間Ｔｄｌは遅延回路３０ｂに最初
に設定される遅延時間、第２図（Ｃ）、　　（ｄ）に示
す時間Ｔ４□、Ｔ、３はそれぞれ２回目、３回口に設定
される遅延時間、Ｓｌ＋　　Ｚ＋　　Ｓ３は各遅延時間
経過時のサンプリングポイントを示す。

ＰＬはサンプリングピッチを示し、このサンプリングピ
ッチＰ１は順次各遅延時間に加算されてゆく。即ち、遅
延時間Ｔｄ□は遅延時間Ｔ４１にサンプリングピッチＰ
１を加算した時間、遅延時間Ｔｄ３は遅延時間Ｔ。にサ
ンプリングとツチＰ、を加算した時間である。Ｔ、はゲ
ート幅を示し、検出すべき時間、即ち被検材５の探傷深
さ範囲を示すものである。

超音波探傷は次のようにして実施される。まず、キーボ
ード２６によりＣＰＵ２１　’に対して初期設定が行な
われる（第３図の手順Ｓ、）。この初期設定においては
、遅延時間Ｔ、い即ちサンプリング開始点ｓ１１サンプ
リングピッチＰＬ−、ゲート幅Ｔｇおよび分周器の分周
数、即ち走査経路上の探傷点間隔が設定され、メモリ２
２のアドレスが０番地とされる。なお、ゲート幅Ｔ、は
第２図（ａ）〜（ｄ）から明らかなように、サンプリン
グピッチＰｔに、サンプル数から１を減じた数を乗じた
値である。

初期設定が終了すると、ＣＰＵ２１　’はＡ／Ｄ変換器
３０ｃをリセットしく手順Ｓ２）、遅延回路３０ｂに対
して設定された遅延時間Ｔｄｌを出力し遅延回路３０ｂ
にこの時間を設定する（手順Ｓ、）。

さらに、分周器１７に分周数を指令して被検材５の探傷
点間隔を定める（手順Ｓ、）。次いで、ＣＰＵ２１　’
はバルサレ、シー式１８およびホールド回路３０ｄに起
動指令を出力しく手順ＳＳ）、これによりパルサレシー
バ１８は探触子６にパルスＴ１を出力するとともに反射
波信号Ｗ、を入力する態勢となる。同時に、ホールド回
路３０ｄは分周器１７の出力を監視する。

モータ１１．１２が駆動され被検材５の走査経路上の探
傷点が探触子６と対向する位置に達したとき、分周器１
７から信号が出力され、この信号はホールド回路３０ｄ
に入力される。ホールド回路３Ｑｄはこの信号が入力し
たときトリガ検出回路３０ａにセット信号を出力する。

これにより、トリガ検出回路が作動状態となり、パルサ
レシーバ１８の出力パルスＴ、はトリガ検出回路３０ａ
により検出され、この検出によりトリガ検出回路３０ａ
は検出信号を出力して遅延回路３０ｂを起動し、遅延回
路３０ｂでは遅延時間Ｔｄ＋のカウントが開始される。

遅延時間Ｔ□が経過すると、遅延回路３０ｂからＡ／Ｄ
変換器３０ｃを作動状態とする信号が出力され、Ａ／Ｄ
変換器３０ｃはその時点で入力された信号ＷＩのサンプ
リング点ｓ、の値をディジタル値に変換し、変換動作が
終了すると変換動作終了の信号を出力する。一方、ＣＰ
Ｕ２１　’はパルサレシーバ１８およびホールド回路３
０ｄに起動指令を出力後、Ａ／Ｄ変換器３０ｃの変換動
作終了信号の出力の有無を監視している（手順Ｓ、）。

そして、Ａ／Ｄ変換器３０ｃから変換動作終了信号が出
力されると、Ａ／Ｄ変換器３０ｃが変換した値を出力可
能な状態にあると判断し、変換されたディジタル値を読
込み（手順Ｓ７）、これを手順Ｓ、で設定されたメモリ
２２のＯ番地に記憶させる（手順Ｓｓ）。

次いで、ＣＰＵ２１　’はメモリアドレスに１を加えて
指定アドレスを１番地とし、手順Ｓ３で出力した遅延時
間Ｔ４＋にサンプリング点・ツチＰＬを加算して新らた
な遅延時間Ｔ４□（Ｔａｔ−Ｔａｔ　＋ｐｔ）を設定し
、さらに、ゲート幅Ｔ、からサンプリングピッチＰｔを
減算してこれを新らたなゲート幅Ｔ９とする（手順Ｓ９
）。これにより、第２図（ａ）、（ｃ）に示す第２回目
の信号Ｗ２のサンプリング態勢が整う。そして、手順Ｓ
、。で、手順Ｓ、において減算された新らたなゲート幅
ＴｇがＯであるか否かを判断し、０でない場合、処理は
手順Ｓ２に戻る。以後、第２回目、第３回目、・・・・
・・・・・の反射波信号Ｗｚ　、Ｗ、ｌ・・・・・・・
・・におけるサンプリングピッチＰｔだけ順次ずらされ
たサンプリング点ｓｚ、ｓ、、　・・・・・・・・・の
値がディジタル値に変換され、メモリ２２に格納される
。そして、ゲート幅Ｔｇの期間のサンプリングが終了す
ると手順ＳＩＯでこれが判断され、ＣＰＵ２１　’はホ
ールド回路３０ｄをリセット状態とする。これにより、
トリガ検出回路３０ａのセット信号はなくなり、トリガ
検出回路３０ａは不作動状態となり、この探傷点におけ
るサンプリング動作が終了する。

以上述べたサンプリング動作は、被検材５の走査経路上
の１つの探傷点における動作である。そして、このサン
プリング動作の期間中、走査は中断されることなく継続
して行なわれているので、厳密にいうと上記サンプリン
グは同一探傷点のサンプリングではなくなる。しかしな
がら、上記サンプリングのサンプリング時間は、１つの
探傷点から次の探傷点へ移動する走査時間に比較して極
めて短かく、したがって、上記サンプリングは同−探傷
点についてなされたとみなすことができ、そのようにみ
なしても何等の不都合も生じない。

そして、上記サンプリング動作の終了後、ＣＰＵ２１′
は再び手順８２〜Ｓｌ＋の動作により次の探傷点におけ
るサンプリングを実行する。

ここで、手順ＳＩから手順Ｓ、。でＴ９−０と判断され
るまでの間にメモリ２２に格納されたデータについて考
察する。第２図（ａ）〜（ｄ）に示すパルス’ｒ’＋　
、Ｔｔ　、Ｔ３・・・・・・・・・および反射波信号Ｗ
、、ｗ、、ｗ、・・・・・・・・・の波形は、上記のよ
うに被検材５の同−探傷点の波形であるとみて差支えな
い。したがって、メモリ２２に格納されたデータは信号
Ｗ、をピッチＰ、でサンプリングしたデータと同一とな
り、これは信号Ｗ、の波形自体を取り出したものとなる
。それ故、ＣＰＵ２１　’にこの波形の解析機能をもた
せれば、反射波の詳細な探究が可能となる。

上記解析機能の一例として周波数解析を挙げることがで
きる。即ち、得られた反射波を周波数解析することによ
り、各周波数毎のピーク値を求めることができる。そし
て、これにより、従来装置におけるゲート回路ピークホ
ールド１９で得られる単なるピーク値に基づ（被検材５
の欠陥部の位置、大きさに比較して、それらについての
より精密なデータを得ることができ、高精度の探傷を行
なうことができる。

このように、本実施例では、ボールド回路、トリガ検出
回路、遅延回路およびＡ／Ｄ変換器で波形変換部を構成
し、１つの探傷位置において繰返して超音波反射波信号
を発生させ、各超音波反射波信号毎に順にピッチｐｔず
つずらした点の信号を順次ディジタル値に変換して記憶
するようにしたので、超音波反射波信号波形自体をとり
出すことができ、高精度の探傷を行なうことができる。

又、サンプリング開始位置、ピッチＰＬ、ゲート幅を自
由に設定することができ、適切なサンプリングを行なう
ことができる―さらに、ホールド回路により走査位置に
同期してサンプリングを開始できるようにしたので、走
査を中断させることなくサンプリングを行なうことがで
き、走査時間を短縮することができる。

第４図は本発明の他の実施例に係る超音波探傷装置の波
形変換部のブロック図である。図で、第゛１図に示す部
分と同一部分には同一符号が付しである。３０ｂ’はさ
きの実施例の遅延回路３０ｂに相当する遅延回路であり
、第１の遅延回路３０ｂ、、第２の遅延回路３０ｂ２お
よび第３の遅延回路３０ｂ３、ならびにダイオードＤで
構成されている。本実施例の超音波探傷装置の他の部分
は第１図に示す部分と同じであるが、ただ、ＣＰＵ２１
’の初期設定を含む処理手順が異なる。

次に、本実施例の動作を第５図に示す超音波反射波の波
形図を参ＩＩぺしながら説明する。まず、初期設定にお
いて、ＣＰＵ２１’は第５図に示すように、第１の遅延
回路３０ｂｌにデイレ−（サンプリング位置）Ｔｏを設
定するとともに、第２の遅延回路３０ｂ２および第３の
遅延回路３０ｂ。

にそれぞれ遅延時間ＴＤｔ、　Ｔｏ３を設定する。本実
施例の場合、遅延時間ＴＤ２と遅延時間７１”ｏ３は等
しくされている。さらに、サンプリングピッチＰ５、ゲ
ート幅Ｔ９′が設定され、メモリアドレスがＯ番地とさ
れる。

さきの実施例と同様、Ａ／Ｄ変換器３０ｃがリセットさ
れ、各遅延時間Ｔｏ　、　Ｔｎｚ、　Ｔａｘが出力され
、パルサレシーバ１８が起動されるとトリガ検出回路３
０ａがこれを検出し、第１遅延回路３０ｂ１が作動を開
始する。遅延時間Ｔ、経過後、第１遅延回路３０ｂ、か
ら信号が出力され　Ａ／Ｄ変換器３０ｃに変換指令が与
えられる。これによりそのとき入力されているサンプリ
ング点Ｓ、′の反射波信号がＡ／Ｄ変換され、変換が終
了するとそのデータはメモリ２２に格納され、Ａ／Ｄ変
換ｔ５３０ｃは再びリセットされる。

一方、第１遅延回路３０ｂ、からの出力信号は同時に第
２遅延回路３０ｂ２にも入力され、第２遅延回路３０ｂ
２は作動を開始する。遅延時間ＴＤｔが経過すると、第
２遅延回路３０　ｂｔからＡ／Ｄ変換器３０ｃおよび第
３遅延回路３０ｂ、＋に信号が出力される。これにより
、Ａ／Ｄ変換器３０ｃはサンプリング点３２′の信号を
Ａ／Ｄ変換し、そのデータはメモリ２２に格納されると
ともに、第３遅延回路３０ｂ３が作動を開始する。

そして、遅延時間Ｔ。３が経過すると第３遅延回路３０
ｂ３からＡ／Ｄ変換器３０ｃに信号が出力され、サンプ
リング点ｓ　、　ｌの信号がＡ／Ｄ変換されてメモリ２
２に格納される。即ち、本実施例では、反射波の繰返し
波形における１つの波形について３点のサンプリングを
行うことになる。

ＣＰＵ２１　’はＡ／Ｄ変換の回数をカウントすること
により、又は第３遅延回路３０ｂ３の出力をみることに
より、１つの反射波におけるサンプリングの終了を判断
し、次の反射波における第１の遅延回路３０ｂ１の遅延
時間を（’ｒ＋　＋ｐｔ　）に設定して再び上記と同じ
動作を繰返す。この場合、第２の遅延回路３０ｂｔ、第
３の遅延回路３０ｂ３の遅延時間Ｔ。２＋　ＴＤＩは変
化しない。上記動作の繰返しは、ゲート幅Ｔ、′のサン
プリングが終了したときに終了する。そして、このキ冬
了時、メモリ２２には第５図に示す期間Ｔｇ′間の波形
のデータがサンプリングピッチＰ１で格納されているこ
とになる。

なお、上記実施例の３つの遅延回路に代えて１つの遅延
回路を用い、これに対してＣＰＵ２１　’が順次遅延時
間を設定することもできる。この場合、遅延回路のリセ
ットは、遅延回路の出力を用いて行なえばよい。なお又
、繰返し波形のうちの１つの波形に対してサンプリング
する数は３つに限ることなく、２つでも、あるいは４つ
以上でもよい。

このように、本実施例では、繰返し波形信号の各信号毎
にピッチをずらして複数点のサンプリングを行なうよう
にしたので、さきの実施例と同じ効果を奏するとともに
、ゲート幅が大きい場合やＡ／Ｄ変換器が高速性能を有
する場合、より迅速なサンプリングを行なうことができ
る。

なお、上記各実施例の説明では、被検材を走査して探傷
する例について説明したが、これに限ることはなく、ど
のような形式の探傷に対しても適用可能である。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明では、ホールド回路、Ａ／Ｄ
変換器、トリガ検出回路および遅延回路より成る波形変
換部を設け、信号処理部のサンプリング選択手段で遅延
回路の遅延を所望の８様に制御するようにしたので、簡
素な構成で超音波反射波の波形を採取することができ、
しかも、その採取方法を任意に選択することができる。

さらに、ホールド回路により走査位置に同期してサンプ
リングを開始できるようにしたので、走査を中断するこ
とな（サンプリングを行なうことができ、走査時間を短
縮することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係る超音波探傷装置のブロッ
ク図、第２図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）。 （ｄ）は超音波反射波の波形図、第３図は第１図に示す
装置の動作を説明するフローチャート、第４図は本発明
の他の実施例に係る超音波探傷装置の波形変換部のブロ
ック図、第５図は超音波反射波の波形図、第６図は従来
の超音波探傷装置の系統図である。 ５・・・・・・・・・被検材、６・・・・・・・・・探
触子、１８・・・・・・・・・バルサレシーバ、２１′
・・・・・・・・・ＣＰＵ、２２・・・・・・・・・メ
モリ、３０・・・・・・・・・波形変換部、３０ａ・・
・・・・・・・トリガ検出回路、３０ｂ・・・・・・・
・・遅延回路、３０ｃ・・・・・・・・・Ａ／Ｄ変換器
。 第　３　図 第４図 第５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　超音波探触子により被検材表面を走査しながらこれに
   超音波を送信しかつその反射波を受信する送受信部と、
   前記反射波の信号に相当するディジタル値を記憶手段に
   記憶し記憶された値に基づいて所定の処理を行なう信号
   処理部と、この信号処理部の処理に基づいて表示を行な
   う表示部とを備えた超音波探傷装置において、前記反射
   波の信号をディジタル値に変換するＡ／Ｄ変換器、前記
   超音波の送受信の開始信号を検出するトリガ検出回路、
   前記走査経路上の探傷点位置情報を入力後その位置に対
   するサンプリング終了まで前記トリガ検出回路を作動状
   態とするホールド回路、および前記トリガ検出回路の検
   出信号毎に所定の態様の遅延時間をもたせて前記Ａ／Ｄ
   変換器を作動させる遅延回路を備えた波形変換部を設け
   るとともに、前記信号処理部に前記遅延回路に前記遅延
   時間を指令するサンプリング選択手段を設けたことを特
   徴とする超音波探傷装置