JPH01224960A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH01224960A JPH01224960A JP5107088A JP5107088A JPH01224960A JP H01224960 A JPH01224960 A JP H01224960A JP 5107088 A JP5107088 A JP 5107088A JP 5107088 A JP5107088 A JP 5107088A JP H01224960 A JPH01224960 A JP H01224960A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magneto
- recording layer
- optical recording
- spatterning
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
本発明は、書換え可能な光磁気ディスクなどに用いられ
、磁気カー回転効果あるいは、ノア２デー効果などの磁
気光学効果を用いて読出すことのできる光磁気記録媒体
に関する。
、磁気カー回転効果あるいは、ノア２デー効果などの磁
気光学効果を用いて読出すことのできる光磁気記録媒体
に関する。
従来、情報を熱磁気的に記録し、磁気光学的に再生する
光磁気記録媒体は、透明な樹脂基板上あるいは、ガラス
基板上に誘電体からなる保護層。
光磁気記録媒体は、透明な樹脂基板上あるいは、ガラス
基板上に誘電体からなる保護層。
垂直磁化膜の記録層、金属膜からなる反射層などを様々
の組み合わせで、ススブタ法あるいは蒸着法により成膜
したものである。このうち、垂直磁化膜としてはＧｄＴ
ｂＦｅ、ＤｙＦｅ、ＧｄＣｏ、ＴｂＣｏ。
の組み合わせで、ススブタ法あるいは蒸着法により成膜
したものである。このうち、垂直磁化膜としてはＧｄＴ
ｂＦｅ、ＤｙＦｅ、ＧｄＣｏ、ＴｂＣｏ。
ＴｂＤｙＦｅ、ＴｂＦｅＣｏ などの希土類−鉄属遷
移金属の非晶質合金薄膜が量産に適し、かつ読出しノイ
ズが少ないこと等から有望とされている。
移金属の非晶質合金薄膜が量産に適し、かつ読出しノイ
ズが少ないこと等から有望とされている。
基板と記録層の間の中間層は、記録層である垂直磁化膜
の酸化防止と、カーエ／ハ／ス効果の双方を目的として
形成されＡＩ！Ｎ、ＳｉＮ等の窒化物。
の酸化防止と、カーエ／ハ／ス効果の双方を目的として
形成されＡＩ！Ｎ、ＳｉＮ等の窒化物。
Ｓ ｉｏ 、 Ｓ ｉｏｚなどの酸化物のほか、ＺｎＳ
、ＭｇＦｚ。
、ＭｇＦｚ。
ＳｉＣなどの種々の誘電体が用いられている。
記録層に用いられる垂直磁化膜は、酸化によってその垂
直磁気異方性を失なうことが多い。特に、希土類−鉄属
遷移金属系の垂直磁化膜の場合、希土類金属が酸化しや
すいために、空気中に数日放置するだけでその垂直磁気
異方性に劣化が認められる。
直磁気異方性を失なうことが多い。特に、希土類−鉄属
遷移金属系の垂直磁化膜の場合、希土類金属が酸化しや
すいために、空気中に数日放置するだけでその垂直磁気
異方性に劣化が認められる。
この酸化を防ぐことを目的として、記録層を誘電体から
なる保護層で挟み込むことが行われており、効果をあげ
ている。しかし、保護層に存在するピンホール、基板の
傷、ごみ等の欠陥から発生する記録層の酸化を完全に防
止することは困難である。このため、記録層自体の耐腐
食性を向上させる必要がある。
なる保護層で挟み込むことが行われており、効果をあげ
ている。しかし、保護層に存在するピンホール、基板の
傷、ごみ等の欠陥から発生する記録層の酸化を完全に防
止することは困難である。このため、記録層自体の耐腐
食性を向上させる必要がある。
記録層の耐腐食性向上のために、希土類−鉄属遷移金属
合金に非磁性元素の添加が行われている。
合金に非磁性元素の添加が行われている。
添加元素としては、不動態形成元素であるｌｆ２゜Ｔｉ
、Ｃｒ や、貴金属系元素であるＡｕ、Ａｇ’、Ｐ
ｔ等が検討されているが、いずれの元素の場合も１種類
の元素だけでは、十分な長期信頼性を得ることはできな
い。
、Ｃｒ や、貴金属系元素であるＡｕ、Ａｇ’、Ｐ
ｔ等が検討されているが、いずれの元素の場合も１種類
の元素だけでは、十分な長期信頼性を得ることはできな
い。
本発明の目的は、磁気記録層の耐腐食性を向上させ、長
時間経過しても特性の劣化しない長期信頼性の優れた光
磁気記録媒体を提供することにある。
時間経過しても特性の劣化しない長期信頼性の優れた光
磁気記録媒体を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の光磁気記録媒体は、膜面と垂直方向に磁化容易
軸を有し、希土類と鉄属遷移元素とＴａとＴｉ？含む磁
性合金？記録層として構成される。
軸を有し、希土類と鉄属遷移元素とＴａとＴｉ？含む磁
性合金？記録層として構成される。
希土類−鉄属遷移金属の非晶質合金薄膜にＴａとＴｉの
２種類の不動態形成元素を添加することにより、カー回
転角１反対車を低下させることなく、耐腐食性を大きく
向上できること？見い出した。
２種類の不動態形成元素を添加することにより、カー回
転角１反対車を低下させることなく、耐腐食性を大きく
向上できること？見い出した。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の一実施例？示す断面図である。
ガラス基板１の上に、中間層（スパッタによる窒化ケイ
素膜）２を８０ｎｍ の厚さに、光磁気記録層（スパッ
タによるＴｂＦｅＣｏ＋Ｍ）３を８０ｎｍの厚さに、保
護層（スパッタによる窒化ケイ素膜）４を８０ｎｒｎ
の厚さに順次形成する。ここで１ＭはＰＬ、Ｔｉ、Ｃ
ｒ、Ｔａの４種類の元素の少くとも一種を示す。
素膜）２を８０ｎｍ の厚さに、光磁気記録層（スパッ
タによるＴｂＦｅＣｏ＋Ｍ）３を８０ｎｍの厚さに、保
護層（スパッタによる窒化ケイ素膜）４を８０ｎｒｎ
の厚さに順次形成する。ここで１ＭはＰＬ、Ｔｉ、Ｃ
ｒ、Ｔａの４種類の元素の少くとも一種を示す。
上記の構成の試料を、８０Ｃの温水に２日間漬け、媒体
表面に発生した孔食の密度と、試料の外周端部から発生
した腐食の数の比較を行なった。
表面に発生した孔食の密度と、試料の外周端部から発生
した腐食の数の比較を行なった。
第２図は添加元素の種類と孔食の密度の関係を示す相関
図である。
図である。
孔食の密度は、添加元素の種類により２桁以上具なり、
Ｔｉ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｐｔ添加なしの順に小さい。
Ｔｉ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｐｔ添加なしの順に小さい。
第３図は添加元素の種類と外周端部からの腐食数の関係
を示す相関図である。
を示す相関図である。
腐食数は、Ｔａ、 Ｃｒ、 Ｔｉ、 Ｐｔ、添加なしの
順に少ない。Ｔａ添加により、外周端部からの腐食が完
全に防止できることが注目される。
順に少ない。Ｔａ添加により、外周端部からの腐食が完
全に防止できることが注目される。
第４元素の添加により、いずれの元素でも耐候性は向上
している力ζ一種類の元素の添加では、孔食と、外周端
部の腐食の両方を防止することはできなかった。そこで
、孔食に対して最も効果のあったＴｉと、外周端部の腐
食に対して最も効果のあったＴａの２種類を同時にＴｂ
ＦｅＣｏ１Ｃ添加し、同様の実験を行なった。その結果
、孔食と外周端部の腐食の両者？同時に〃防止すること
ができた。
している力ζ一種類の元素の添加では、孔食と、外周端
部の腐食の両方を防止することはできなかった。そこで
、孔食に対して最も効果のあったＴｉと、外周端部の腐
食に対して最も効果のあったＴａの２種類を同時にＴｂ
ＦｅＣｏ１Ｃ添加し、同様の実験を行なった。その結果
、孔食と外周端部の腐食の両者？同時に〃防止すること
ができた。
上記効果は、他の希土類と鉄属遷移元素からなる磁性合
金９例えばＧｄＴｂＦｅ、ＧｄＴｂＦｅＣｏ。
金９例えばＧｄＴｂＦｅ、ＧｄＴｂＦｅＣｏ。
ＤｙＴｂＦｅ などに対しても同様に見られた。
以上説明したように本発明は、耐食性の優れた記録層を
用いたので、従来の光磁気記録媒体に比べて長期信頼性
が改善されるという効果を有する。
用いたので、従来の光磁気記録媒体に比べて長期信頼性
が改善されるという効果を有する。
第１′図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は添
加元素と孔食の密度との関係を示す相関図。 第３図はｌ添加元素と外周端部からの腐食の数との関係
を示す相関図である。 １・・・・・・ガラス基板、２・・・・・・中間層、３
・・・・・・光磁気記録層、４・・・・・・保護層。 代理人 弁理士 内 原 晋 Ｍ １ 図 グし Ｐｔ ’７う° Ｃと ；〜λ刃
艷７Ｊ［］ｉ果 犀 Ｚ 凹
加元素と孔食の密度との関係を示す相関図。 第３図はｌ添加元素と外周端部からの腐食の数との関係
を示す相関図である。 １・・・・・・ガラス基板、２・・・・・・中間層、３
・・・・・・光磁気記録層、４・・・・・・保護層。 代理人 弁理士 内 原 晋 Ｍ １ 図 グし Ｐｔ ’７う° Ｃと ；〜λ刃
艷７Ｊ［］ｉ果 犀 Ｚ 凹
Claims (1)
- 膜面と垂直方向に磁化容易軸を有し、希土類元素と鉄
族遷移元素とＴａとＴｉを含む磁性合金を記録層とする
ことを特徴とする光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5107088A JPH01224960A (ja) | 1988-03-03 | 1988-03-03 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5107088A JPH01224960A (ja) | 1988-03-03 | 1988-03-03 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01224960A true JPH01224960A (ja) | 1989-09-07 |
Family
ID=12876544
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5107088A Pending JPH01224960A (ja) | 1988-03-03 | 1988-03-03 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01224960A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0240148A (ja) * | 1988-07-29 | 1990-02-08 | Hitachi Ltd | 光磁気ディスクおよびその記録ならびに消去方法 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6148148A (ja) * | 1984-08-13 | 1986-03-08 | Toshiba Corp | 光熱磁気記録媒体 |
| JPS6153703A (ja) * | 1984-08-23 | 1986-03-17 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS61196445A (ja) * | 1985-02-27 | 1986-08-30 | Toshiba Corp | 光磁気デイスク |
| JPS62132254A (ja) * | 1985-12-05 | 1987-06-15 | Hitachi Maxell Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS63140058A (ja) * | 1986-12-03 | 1988-06-11 | Hitachi Ltd | 光磁気記録材料 |
| JPS63193350A (ja) * | 1987-02-06 | 1988-08-10 | Daicel Chem Ind Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS63255857A (ja) * | 1987-04-14 | 1988-10-24 | Yamaha Corp | 光磁気記録材料 |
| JPS6460836A (en) * | 1987-09-01 | 1989-03-07 | Hitachi Ltd | Magneto-optical recording medium and production thereof |
| JPH01118239A (ja) * | 1987-10-30 | 1989-05-10 | Mitsubishi Kasei Corp | 光磁気記録媒体 |
-
1988
- 1988-03-03 JP JP5107088A patent/JPH01224960A/ja active Pending
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6148148A (ja) * | 1984-08-13 | 1986-03-08 | Toshiba Corp | 光熱磁気記録媒体 |
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| JPH01118239A (ja) * | 1987-10-30 | 1989-05-10 | Mitsubishi Kasei Corp | 光磁気記録媒体 |
Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| JPH0240148A (ja) * | 1988-07-29 | 1990-02-08 | Hitachi Ltd | 光磁気ディスクおよびその記録ならびに消去方法 |
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