JPH01227219A - 磁気ディスクの表面形状創成方法 - Google Patents
磁気ディスクの表面形状創成方法Info
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- JPH01227219A JPH01227219A JP5186488A JP5186488A JPH01227219A JP H01227219 A JPH01227219 A JP H01227219A JP 5186488 A JP5186488 A JP 5186488A JP 5186488 A JP5186488 A JP 5186488A JP H01227219 A JPH01227219 A JP H01227219A
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- magnetic disk
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Links
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Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、スパッタ型磁気ディスクのテキスチャリング
方法に関するものである。
方法に関するものである。
磁気ディスクに、磁気ヘッドへの吸着を防止するための
表面加工を行う従来技術としては、（イ）、特開昭５９
−３０６２３号。 （ロ）、特開昭６０−１０６０２９号。 （ハ）、特開昭６０−１３５１７０号。 （ニ）、特開昭６０−１７２４６５号等が知られている
。これらの従来技術では、砥粒あるいはテープに付着さ
せた砥粒により研摩作用を行うものである。（イ）、（
ニ）の技術は、ボリシングマシンまたはラッピングマシ
ンを用い、遊離砥粒で研摩作用を行う方式であり、（ロ
）、（ハ）の技術は、遊離砥粒の代わりに砥粒を付着さ
せたラッピングテープを加工物に押さえ付けて研摩作用
を行う方式である。これらの方式としては実際には古く
から知られており、夫々の特徴としては（イ）。 エツチング作用を付加する、（ロ）、ラッピングテープ
の移動方向を規定する、（ハ）、砥粒層を特殊な形状に
形成する、（ニ）、ある特定の砥粒材を用いる、等であ
る。
表面加工を行う従来技術としては、（イ）、特開昭５９
−３０６２３号。 （ロ）、特開昭６０−１０６０２９号。 （ハ）、特開昭６０−１３５１７０号。 （ニ）、特開昭６０−１７２４６５号等が知られている
。これらの従来技術では、砥粒あるいはテープに付着さ
せた砥粒により研摩作用を行うものである。（イ）、（
ニ）の技術は、ボリシングマシンまたはラッピングマシ
ンを用い、遊離砥粒で研摩作用を行う方式であり、（ロ
）、（ハ）の技術は、遊離砥粒の代わりに砥粒を付着さ
せたラッピングテープを加工物に押さえ付けて研摩作用
を行う方式である。これらの方式としては実際には古く
から知られており、夫々の特徴としては（イ）。 エツチング作用を付加する、（ロ）、ラッピングテープ
の移動方向を規定する、（ハ）、砥粒層を特殊な形状に
形成する、（ニ）、ある特定の砥粒材を用いる、等であ
る。
第４図はラッピングテープによりテキスチャリングを行
った磁気ディスクを表面粗さ計で測定した結果を示すグ
ラフ図である。このグラフ図からもよく解るように、研
摩作用を行う加工方法にあっては、テキスチャリングと
いってもその表面形状はランダムであり、鏡面をただ粗
くした程度で、テキスチャリングの本来の目的である磁
気ヘッドと磁気ディスクとの密着を防止するためには不
向きである。 特に、溝深さが一定していないこと、溝がランダムに入
っていることとから、上述の密着防止には不向きであり
、また、表面形状がランダムなため、場所によって磁気
ヘッドと磁気ディスク間の摩擦係数が異なり、磁気ヘッ
ドのスムーズな動きを阻害する。 更に、いずれの方法によってら砥粒を使用するため、研
摩後の磁気ディスク中に砥粒の一部が残留し、洗浄して
も完全な除去は難しい。コバルトして 一ニッケル等のスパッタ膜を成膜ｌも砥粒残留に起因し
た膜欠陥が発生する。その結果、磁気ヘッドを損傷させ
ることになる。 本発明は上述のごとき従来技術の課題に鑑み、これらを
有効に解決すべ（創案されたものである。 したがってその目的は、砥粒を用いない即ち研摩によら
ない加工方法であって、ランダムではない一定形状の溝
パターンを形成できる磁気ディスクの表面形状創成方法
を提供することにある。
った磁気ディスクを表面粗さ計で測定した結果を示すグ
ラフ図である。このグラフ図からもよく解るように、研
摩作用を行う加工方法にあっては、テキスチャリングと
いってもその表面形状はランダムであり、鏡面をただ粗
くした程度で、テキスチャリングの本来の目的である磁
気ヘッドと磁気ディスクとの密着を防止するためには不
向きである。 特に、溝深さが一定していないこと、溝がランダムに入
っていることとから、上述の密着防止には不向きであり
、また、表面形状がランダムなため、場所によって磁気
ヘッドと磁気ディスク間の摩擦係数が異なり、磁気ヘッ
ドのスムーズな動きを阻害する。 更に、いずれの方法によってら砥粒を使用するため、研
摩後の磁気ディスク中に砥粒の一部が残留し、洗浄して
も完全な除去は難しい。コバルトして 一ニッケル等のスパッタ膜を成膜ｌも砥粒残留に起因し
た膜欠陥が発生する。その結果、磁気ヘッドを損傷させ
ることになる。 本発明は上述のごとき従来技術の課題に鑑み、これらを
有効に解決すべ（創案されたものである。 したがってその目的は、砥粒を用いない即ち研摩によら
ない加工方法であって、ランダムではない一定形状の溝
パターンを形成できる磁気ディスクの表面形状創成方法
を提供することにある。
本発明に係る磁気ディスクの表面形状創成方法によれば
、切削加工による微細溝加工なので、バイトの切り込み
量及び送り量を所定の精度で所要の一定量に設定するこ
とにより、所望の一定形状の溝パターンを形成できる。
、切削加工による微細溝加工なので、バイトの切り込み
量及び送り量を所定の精度で所要の一定量に設定するこ
とにより、所望の一定形状の溝パターンを形成できる。
以下に本発明の好適な一実施例について第１図ないし第
３図を参照して説明する。 第１図は本発明に係る磁気ディスクの表面形状創成方法
に用いられる加工装置の概略構成図である。エアダンパ
１に支持されたベース２上の大略中央に、被加工物であ
る磁気ディスク３を取付固定するためのエアスピンドル
４が設けられている。 このエアスピンドル４は、ベース２に取り付けられたス
ピンドル回転用モータ５によって回転駆動される。更に
ベース２上には、枠状に形成されたコラム６か固定設置
されている。コラム６には、水平方向に移動可能な移動
エアスライド７が取り付けられており、この移動エアス
ライド７にバイトホルダ８が取り付けられている。バイ
トホルダ８の先端部には、工具切り込み方向へ伸縮可能
な圧電素子９を介してダイヤモンドバイトＩＯが取り付
けられている。即ち、圧電素子９への印加電圧を制御す
ることによってダイヤモンドバイト１０の切り込み方向
への微小移動量を制御できる。移動エアスライド７は、
ダイヤモンドバイトｌＯに、エアスピンドル４上に取り
付けられた磁気ディスク３の径方向へ移動させるべく水
平方向の送りを与える。バイトホルダ８には微小移動螺
子１１が設けられてお、す、磁気ディスク３に対して基
準面切削を行う必要のある場合に、ダイヤモンドバイ）
１０に任意の微小切り込み量を与えるために用いられる
。 第２図及び第３図は、上述のように構成された加工装置
にて磁気ディスクのテキスチャリングを行った後、磁気
ディスクの溝形状測定を行った結果を示すグラフ図であ
る。送りによるピッチ精度は、設定ピッチに対して±２
０％以下であり、切り込みによる溝深さ精度は、設定切
り込み量に対して±２０％以下であった。また、溝深さ
は０．０２〜５μ次の範囲で変化させることが可能であ
った。 さらに、ダイヤモンドバイトの刃先形状を変えることに
より、溝の断面形状も任意にコントロールできた。
３図を参照して説明する。 第１図は本発明に係る磁気ディスクの表面形状創成方法
に用いられる加工装置の概略構成図である。エアダンパ
１に支持されたベース２上の大略中央に、被加工物であ
る磁気ディスク３を取付固定するためのエアスピンドル
４が設けられている。 このエアスピンドル４は、ベース２に取り付けられたス
ピンドル回転用モータ５によって回転駆動される。更に
ベース２上には、枠状に形成されたコラム６か固定設置
されている。コラム６には、水平方向に移動可能な移動
エアスライド７が取り付けられており、この移動エアス
ライド７にバイトホルダ８が取り付けられている。バイ
トホルダ８の先端部には、工具切り込み方向へ伸縮可能
な圧電素子９を介してダイヤモンドバイトＩＯが取り付
けられている。即ち、圧電素子９への印加電圧を制御す
ることによってダイヤモンドバイト１０の切り込み方向
への微小移動量を制御できる。移動エアスライド７は、
ダイヤモンドバイトｌＯに、エアスピンドル４上に取り
付けられた磁気ディスク３の径方向へ移動させるべく水
平方向の送りを与える。バイトホルダ８には微小移動螺
子１１が設けられてお、す、磁気ディスク３に対して基
準面切削を行う必要のある場合に、ダイヤモンドバイ）
１０に任意の微小切り込み量を与えるために用いられる
。 第２図及び第３図は、上述のように構成された加工装置
にて磁気ディスクのテキスチャリングを行った後、磁気
ディスクの溝形状測定を行った結果を示すグラフ図であ
る。送りによるピッチ精度は、設定ピッチに対して±２
０％以下であり、切り込みによる溝深さ精度は、設定切
り込み量に対して±２０％以下であった。また、溝深さ
は０．０２〜５μ次の範囲で変化させることが可能であ
った。 さらに、ダイヤモンドバイトの刃先形状を変えることに
より、溝の断面形状も任意にコントロールできた。
以上の説明より明らかなように、本発明によれば次のご
とき優れた効果が発揮される。 即ち、ランダムではない一定形状の溝パターンを形成す
ることにより、磁気ディスク表面の全面において磁気ヘ
ッド・磁気ディスク間の摩擦係数が一定となるので、磁
気ヘッドのスムーズな動きか得られ、更には磁気ヘッド
の摩耗が抑制されてその寿命が延び、また、切削加工の
ため磁気ディスク表面に砥粒が残留することもないので
磁気ヘッドの損傷が起こらない。
とき優れた効果が発揮される。 即ち、ランダムではない一定形状の溝パターンを形成す
ることにより、磁気ディスク表面の全面において磁気ヘ
ッド・磁気ディスク間の摩擦係数が一定となるので、磁
気ヘッドのスムーズな動きか得られ、更には磁気ヘッド
の摩耗が抑制されてその寿命が延び、また、切削加工の
ため磁気ディスク表面に砥粒が残留することもないので
磁気ヘッドの損傷が起こらない。
第１図は本発明に係る磁気ディスクの表面形状創成方法
に用いられる加工装置の概略構成図、第２図及び第３図
はそれぞれ本実施例により形成された磁気ディスクの表
面形状を示すグラフ図、第４図は従来技術のラッピング
テープによりテキスチャリングを行った磁気ディスクを
表面粗さ計で測定した結果を示すグラフ図である。 １・・・エアダンパ、２・・ベース、３・・・磁気ディ
スク、４・・・エアスピンドル、５・・・エアスピンド
ル回転用モータ、６・・・コラム、７・・移動エアスラ
イド、８・・・バイトホルダ、９・・・圧電素子、ｌＯ
・・・ダイヤモンドバイト、１１・・・微小移動螺子第
１図
に用いられる加工装置の概略構成図、第２図及び第３図
はそれぞれ本実施例により形成された磁気ディスクの表
面形状を示すグラフ図、第４図は従来技術のラッピング
テープによりテキスチャリングを行った磁気ディスクを
表面粗さ計で測定した結果を示すグラフ図である。 １・・・エアダンパ、２・・ベース、３・・・磁気ディ
スク、４・・・エアスピンドル、５・・・エアスピンド
ル回転用モータ、６・・・コラム、７・・移動エアスラ
イド、８・・・バイトホルダ、９・・・圧電素子、ｌＯ
・・・ダイヤモンドバイト、１１・・・微小移動螺子第
１図
Claims (1)
- （１）、ニッケル−リン鍍金を施した磁気ディスクの表
面に、バイトで所要の一定深さに切り込みを与え、且つ
所要の一定ピッチで螺旋状に微細溝加工を行うことを特
徴とする磁気ディスクの表面形状創成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5186488A JPH01227219A (ja) | 1988-03-05 | 1988-03-05 | 磁気ディスクの表面形状創成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5186488A JPH01227219A (ja) | 1988-03-05 | 1988-03-05 | 磁気ディスクの表面形状創成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01227219A true JPH01227219A (ja) | 1989-09-11 |
Family
ID=12898736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5186488A Pending JPH01227219A (ja) | 1988-03-05 | 1988-03-05 | 磁気ディスクの表面形状創成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01227219A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03165314A (ja) * | 1989-11-24 | 1991-07-17 | Hitachi Ltd | 磁気ディスクおよびその製造方法と製造装置 |
-
1988
- 1988-03-05 JP JP5186488A patent/JPH01227219A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03165314A (ja) * | 1989-11-24 | 1991-07-17 | Hitachi Ltd | 磁気ディスクおよびその製造方法と製造装置 |
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