JPH01230484A - 短繊維強化セラミックス焼結体及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、相対密度９５％以上の緻密な短繊維強化セ
ラミックス焼結体及びその製造方法に関するものである
。

従来の技術 Ｓｉ３Ｎ４　、　ＳｉＣ、Ｍ２Ｏ３およびＺｒＯ２など
のセラミックス焼結体は、金属を始めとする他の材料に
比べ、高温まで広い温度範囲にわたって強度が大きく、
かつ硬度が高く、耐摩耗性に優れるとともに、化学的に
安定であり、耐酸化性が良好なために、高温構造材とし
て期待されている素材である。しかし、上記のような多
くの長所をもつ素材であるにもかかわらず、セラミック
ス焼結体が広く実用化されるに至っていないのは、靭性
の低さに最大の要因がある。このため、１８８０年代に
入ってから、モノリシックなセラミックス焼結体の強靭
化を日桁して、短繊維強化セラミックス焼結体の研究開
発が続けられてきた。

しかしながら、先行技術（時開８１−２７４８０３、時
開Ｂｌ−２９１４８３など）においてもその焼結法のほ
とんどは、単純形状品しか作れず、大量生産ができない
コストの高いホットプレス法によってなされており、複
雑形状品が容易に製作できコストも安い常圧焼結法によ
る相対密度９５％以上の緻密な短繊維強化セラミックス
焼結体の開発が望まれていた。

発明が解決しようとする課題 短繊維強化セラミックス焼結体の実用化への最大の障壁
の１つは、常圧焼結法により、緻密な焼結体が得られな
いことである。つまり、短繊維強化セラミックスに於い
ては、短繊維の不均一分散による大きなからまり（３０
〜２００　ｐｍ）が、からまりの中にマトリックス粉末
が入り込めないので大きな粒子と同様の振舞をするため
、短繊維強化セラミックスの難焼結性の原因となってい
るのである。そこで、本発明では短繊維を均一分散し短
繊維のからまりを防いでやり、短繊維強化セラミックス
の焼結性を向上させ、常圧焼結により緻密な（相対密度
〉９５％）焼結体を得ることを意図したものである。

課題を解決するための手段 すなわち、本発明は、珪素、アルミニウムまたはジルコ
ニウムの炭化物、窒化物または酸化物の１種または２種
以上と、ＳＩＣ、５１３Ｎ４　、Ａ１２０ｇ、ＴｉＢ２
およびＺｒＯ２の１種または２種以上のセラミックス短
繊維を５〜６５ｖｏｌ％複合化し、セラミックス繊維が
マトリックス（基材の粉粒と、焼結助剤の両者を云う。

以下同じ。）中で均一に分散し、常圧焼結により相対密
度９５％以上の短繊維強化セラミックス焼結体を提供す
るものである。

発明者らは、短繊維強化セラミックス焼結体のモノリシ
ックな焼結体に比較したときの難焼結性は、主として短
繊維のマトリックス中での不均一な分散に起因すると考
えた。

次に短繊維の成形体中での均一分散を可能とした製造方
法を説明する。本発明者らは、短繊維の均一分散の実現
方法を鋭意検討した結果、スラリー中における粉体のゼ
ータ電位による静電的反発力を利用することが有効であ
ることを確認した。また、ゼータ電位とスラリーのｐＨ
値との間には密接な相関があることが知られている。つ
まり、マトリックス中に短繊維を均一に分散させる時に
は、まずマトリックス粉末及び短繊維の混合スラリーに
おいて、マトリックス粉末及び短繊維が、同符号で絶対
値の大きなゼータ電位を持つようにスラリーｐＨ値を調
整し、マトリックス粉末相互間、短繊維相互間及びマト
リックス粉末−短繊維相互間に静電的反発力を作用させ
、スラリー中でマトリックス粉末と短繊維とを均一に分
散させる。特に、短繊維が大きなゼータ電位を持つよう
にし、短繊維相互間に静電的反発力を作用させることが
重要である。

次に均一な分散を実現したスラリーに、超音波振動を加
えなから噴霧乾燥し、マトリックス粉末相互間、短繊維
相互間及びマトリックス粉末−短繊維相互間の凝集を防
いで短繊維が均一に分散した造粒粉体が得られる。この
造粒粉体を原料として乾式プレス法、泥漿鋳込み法およ
び射出成形法を初めとする種々の成形法を用いることに
よって、マトリックス粉末及び短繊維が均一に分散した
成形体が得られる。

この成形体を焼結することによって、マトリックス粉末
及び短繊維が均一に分散した焼結体が得られる。

すなわち、スラリーのｐＨ値調整を行なえば、短繊維の
マトリックス中での不均一分散が改善されることを見出
した。

ここで、スラリーｐ）ｌ値−ゼータ電位関係をミクロ電
気泳動法を用いて測定した結果を、ＳｉＣウィスカー、
５ｉ３Ｎｏ　、　Ｍ２Ｏ３、ＺｒＯ２，５ｉ０２につい
て第１図に示した。

短繊維強化セラミックスは、多くの物質のくみ合わせが
考えられるが、第１図よりＳｉＣウィスカー強化Ｓｉ３
Ｎ４　、ＳｉＣウィスカー強化Ａ９２０３およびＳｉＣ
ウィスカー強化ＺｒＯ２について考えると、それぞれ、
ｐＨ＞８、ｐＨ＞１１、ｐＨ＞８のｐＨ領域で、分散さ
れるｍ維とマトリックス粉末が同符号で絶対値の大きい
ゼータ電位を持ち、ウィスカーがスラリー中で均一に分
散する。なお、他の物質の組み合わせの場合も、ｐＨ調
整によるスラリー中での短繊維の分散は本発明の方法に
より行なえ、上記、３つの例に本発明が限られるもので
はない。

しかしながら、ウィスカーとマトリックス粉末の組み合
わせによっては、上述のゼータ電位の条件を満たすよう
なｐ）！領域が存在しない場合もある。つまり、粒径な
どの粒子の形状にかかわらず、物質ごとにｐＨ値−ゼー
タ電位の関係はほぼ一定であるため、現在の短繊維強化
セラミックスにおいては、短繊維とマトリックス粉体の
組み合わせによってはゼータ電位が適切となるｐＨ値が
取り得ないことも多い。そこで、このような場合、適切
なゼータ電位が取り得るように、短繊維のｐＨ値−ゼー
タ電位の関係をコントロールした。

つまり、ゼータ電位は粒子またはウィスカーの表面状態
に支配されている。従って、表面に何らかの物質をコー
ティングすることによって、元の粒子またはウィスカー
のゼータ電位をコーティングした物質のゼータ電位への
移動させることができる。そこで適当なｐＨ領域の選択
を可能とするため、短繊維へのコーティングを行なった
。

コーティングには２つの方法があり、１つは酸化・皮膜
を生成する方法、もう１つはある酸化物をコーティング
する方法である。まず、前者は次の問題を解決するため
になされる。つまり、一般に、非酸化物ウィスカーは、
表面が多少酸化されていて、製造法の違い、メーカー間
の違い、ロフトの違いなどで、表面の酸化状態が異なる
ため、ゼータ電位−ｐＨ値量関係異なるという問題があ
る。この時、最も簡便に、安定したゼータ電位−ｐＨ値
量関係得る方法は、非酸化物ウィスカーに、酸化により
、酸化物皮膜を生成させることである。このことによっ
て、非酸化物ウィスカーのゼータ−電位−ｐＨ値量関係
製造メーカーの違い、種々の製造条件の違いに関わりな
く、表面酸化物のそれにすることができ、安定したゼー
タ電位−ｐＨ値量関係得られ、ひいては安定した製造プ
ロセスの確立が可能となる。

また後者のコーティングは、非酸化物ウィスカー、酸化
物ウィスカー共に当てはまるものであり、前述したよう
な、適当なｐＨ領域の選択を可能とすることを目的とす
る。つまり、ウィスカーのゼータ電位−ｐＨ値量関係コ
ーティングされた物質のゼータ電位−ｐＨ値量関係ずら
すのである。コーティングの方法としては、アルコキシ
ド法に代表される液相のゾルによるセラミックス前駆体
を利用した方法、もしくはＣＶＤ法を初めとする気相蒸
着法が有効である。

上述のように、発明者らは、ウィスカーに酸化物の皮膜
を付着させることにより、ウィスカーのｐ）ｌ値−セー
タ電位関係を酸化物のｐ）ｌ値−ゼータ電位の関係にず
らしていくことができる事を確認した。特に、酸化物の
種類や付着させる量を変えることにより、広範囲に短繊
維のｐ”Ｈ値−ゼータ電位の関係をコントロールできる
ことを確認した。

このように、短ｔＩｈ維とマトリックス粉体の最適なゼ
ータ電位を得ることが、ｐＨ値を変えることにより、容
易にできるようになり、短繊維のマトリックス中での均
一分散が実現でき、常圧焼結法により、相対密度９５％
以上の短繊維強化セラミ・ンクス焼結体が容易に得られ
るようになった。なお、短ｍ維に付着させた酸化物がマ
トリックスの焼結助剤である場合も多い。この場合、焼
結助剤の均一分散も焼結の促進をもたらしている。

強化繊維の量は、焼結体の体積分率で表わすのが適当で
ある。重量分率では繊維とマトリックスとの密度の関係
で変わるからである。なお、重量％も併記した場合は、
粉体、ウィスカーともに理論密度を用いて計算した。

従来技術では、緻密な焼結体の１作製は、専らホットプ
レス法で行なわれてきたので、形状的制約を受ける上に
、生産性が悪くコストが高いなどの欠点があったが、常
圧焼結可能となったことにより、複雑形状を持つ製品を
安価に作成することができるようになった。また、破壊
源となる短繊維のからまりも生成しないので、強度も向
上する。

本発明法では、常圧焼結が可能であるが、ＨＰ法で焼結
すれば更に緻密化が達成できる。セラミック短繊維の添
加量が５ｖ０１％未満では、短繊維強化が充分に働かず
、６５　ｖｏｌ％超になると、本発明においても、短繊
維の均一分散が難しくなり、緻密な焼結体が得られなく
なるため、５〜６５ｖｏｌ％がよい。また、常圧焼結に
限れば３５　ｖｏｌ％になると緻密化が難しくなるため
、常圧焼結では５〜３５　ｖｏｌ％が好ましい。

靭性向上の主なメカニズムとしては、短繊維によるクラ
ンク偏向による効果、および短繊維の引き抜きによるエ
ネルギー散逸による効果がある。

他にもクラックの短繊維によるピン止め効果、そして短
繊維によるクラックポウイノグの効果などがある。以上
のメカニズムにより強靭化がなされる。

助剤としては、一般に知られているものを用いる。代表
的なものとしては、ＳｉＣにはＢ化合物とＣまたはＡ９
化合物を０．１〜５　ｖ−ｏ１％、Ｓｉ３Ｎ４にはＡｉ
ｚＯ３，ＡｉＮ　、　Ｙ２Ｏ３、ＣｅＯ２、ＭｇＯ及び
ＺｒＯ２から選択した一種又は二種以上を２〜１５　ｖ
ｏｌ％、ＡＱ　２０３にはＹ２Ｏ３またはＭｇＯを併せ
て０．１〜３　ｖｏｌ％添加する。

焼結法については、雰囲気加圧焼結、ホットプレス焼結
およびＨＩＰ焼結も用いることができ。

常圧焼結によるよりも緻密な焼結体が得られる。

短繊維として平均直径が３０μｍ以下で平均長さ５００
　ｐ−ｍ以下のものを用い、特に望ましくは平均直径２
ｐｍ以下で、平均長さ５（１７ｚｍ以下の単結晶（ウィ
スカー）を用いると良い。

また、アスペクト比が３未満では、強靭化が充分には起
らず、アスペクト比が２０超では、それよリアスペクト
比を大きくしても、強靭化の効果は飽和してしまい、か
えって、均一分散が難しくなるため、アスペクト比は３
〜２０とした。

そして、市販のウィスカー等には、３〜２０のアスペク
ト比よりずっと大きなアスペクト比を持つものも多い。

このような場合は分級するか、ボールミル等による粉砕
でアスペクト比を調整した後、使用した、方がよい。

実施例１ 平均粒径０．２３ｍの窒化珪素粉末に、平均粒径１．５
ルｍの窒化アルミニウム、平均粒径０．３ｐの酸化アル
ミニウムおよび平均粒径０．４　ｇ　ｍの酸化イツトリ
ウムを、それぞれ６２ｇ、５ｇ、５ｇ、８ｇ秤量し、ア
セトンを溶媒として、ボールミルで２４時間混練し、混
合粉を得た。

平均粒径０．５　ｐ、　ｍ、アスペクト比ｌＯ〜４０の
炭化珪素ウィスカーを、４８時間ボールミルで湿式粉砕
し、溶媒を除去した後、８０メツシユのふるいを通し、
アスペクト比３〜２０のウィスカーを得た。

この炭化珪素ウィスカーを大気中で８００℃×２ｈ熱処
理し、２０ｇ０ｇ秤量た。

」−記の混合粉末と炭化珪素ウィスカーの入ったスラリ
ーのｐＨ値をｐＨ＝１１に調整した後、超音波分散機に
かけながら、噴霧乾燥機にかけ乾燥を行なった。

得られたウィスカーを含む粉末を金型で一次成形後、冷
間等方圧成形を行ない、１７７０°Ｃで５時間、窒素雰
囲気中で常圧焼結した。密度と破壊靭性値Ｋｒｃ値をそ
れぞれアルキメデス法と５ＥＰＢ法により測定した。結
果を表１に示す。また、結果には以下の比較例もあわせ
て示す。

比較例 実施例と同様に行なうが、噴霧乾燥時に、供給するスラ
リーに超音波分散を行なわなかった結果（比較例Ａ）、
実施例と同様に行なうが、使用する炭化珪素ウィスカー
が粉砕されていす、アスペクト比が１０〜４０である場
合の結果（比較例Ｂ）および、実施例と同じ成分分率で
窒化珪素、炭化珪素ウィスカー、窒化アルミニウム、酸
化アルミニウム、酸化イツトリウムを秤量し、アセトン
を溶媒として、ボールミルで２４時間混合後、実施例と
同様に焼成した結果（比較例Ｃ）及び特に、炭化珪素ウ
ィスカー成分を窒化珪素粉末に変え、実施例と同様に焼
成したモノリシックな焼結体を比較例りとして示した。

本発明の実施例においては、比較例りのモノリシンクな
焼結体の密度（ｐ　＝　３．２７）とほぼ比肩しうる値
（ｐ　＝　３．２４）が得られている。一方、比較例Ａ
−Ｃまでの繊維強化セラミックス焼結体においては充分
な緻密化がなされていない。

比較例Ａは、実施例と違い、噴霧乾燥機へのスラリー供
給時にスラリーへの超音波分散を加えていない。超音波
分散を加えないと、ウィスカーの分散が極めて悪く、密
度は（ρ−２，９８）と非常に低い値となった。これよ
り、ウィスカーの均一分散への超音波分散の重要性が理
解できる。

比較例Ｂは実施例と違い、ウィスカーの粉砕がなされて
いすアスペクト比は１０〜４０である。ウィスカーのア
スペクト比が大きいため、ウィスカーの分散性が悪く、
密度（ｐ＝　３．０４）も低くなっている。これより、
ウィスカーのアスペクト比を３〜２０に制御することの
重要性が理解できる。

比較例Ｃは、特に、ｐＨのコントロールをせず、一般の
原料混合法と同じ方法、つまり、ボールミルで２４時間
、アセＩ・ンを溶媒マトリックス粉末とウィスカーを混
合したものである。実施例に比べ（ρ＝　３．２４）ウ
ィスカーの分散性が悪く、密度（ρ＝　２．７１）も低
い。このことより　、ゼータ電位のコントロールと超音
波分散をかけながらの噴霧乾燥がウィスカーの均一分散
、ひいては、焼結体の緻密化に極めて有効であることが
わかる。

実施例２ 実施例１と製造プロセスは同じであるが、炭化珪素ウィ
スカーの含有量を変えた実験を行なった。ただし、４０
　ｖｏｌ％以上炭化珪素ウィスカーを含有する場合、焼
結はホットプレス法（１７７０’ＣＸ５　ｈ　Ｘ　４０
ＭＰａ）で行なった。結果を表２に示す。

組成ハ（８２−Ｘ）　ＳＳｉ３Ｎ４−Ｘ５ｉＣ−５ｕＮ
　−５ＡＱ２０３８　Ｙ２Ｏ３テある。Ｘは炭化珪素ウ
ィスカーが１０．２０．３０．４０．５０．６０、？０
ｖｏｌ％（重量％でそれぞれ８．６．１９．３．２９．
０．３８．９．４８．９．５８．８、Ｂ９．０ｗｔ％）
となるようにした。表２より炭化珪素ウィスカーが７Ｑ
　ｖｏｌ％以上では充分な緻密化が進まないことがわか
る。

実施例３ 実施例１と製造プロセスは同じであるが、炭化珪素ウィ
スカーとして、Ａ社、Ｂ社、０社およびＤ社という４社
の製品を用い、それぞれのウィスカーをボールミルで粉
砕し、アスペクト比を３〜２０とした後、熱処理のない
まま用いた時と、　９００°ＣＸ２ｈの熱処理をした後
月いた場合の実験を行なった。実施例１と同様に密度と
破壊靭性Ｋｒｃ値および、顕微鏡電気泳動法によって炭
化珪素ウィスカーのゼータ電位を測定し、結果を表３に
示した。

表３より、市販のウィスカーそのままでは、相対密度が
９５％まで上昇しないものもあることがわかる。しかし
、熱処理を行なうことによって、４種のすべてのウィス
カーで９８％程度の撒布な焼結体が得られ、安定して緻
密な焼結体を得ることへの、熱処理の効果は明白である
。

実施例４ マトリックスとしては、酸化アルミニウムを用い、添加
するウィスカーとしては炭化珪素、ＴｉＢ２もしくは窒
化珪素を用いた。炭化珪素ウィスカーは大気中、８００
℃で２時間熱処理し、また窒化珪素ウィスカーは、大気
中、１０００°Ｃで２時間熱処理し、ウィスカー表面に
二酸化シリコンの皮膜をつけた。これらのマトリックス
粉末とウィスカーの混合をウィスカーの成分分率が２０
ｖｏｌ％となるように、またスラリーのｐＨ値がｐＨ＝
１１となるように実施例１と同様に行ない、１９００℃
で２時間、常圧焼結し、焼結体を得た。実施例１と同様
に密度とＫｒｃ値を測定した。結果を表４に示す。緻密
な焼結体が得られ、破壊靭性値Ｋｚｃもマトリックス単
体の値（Ｋ　ｒｃ　＝　３．９１ＭＰａ、ｉ）に比べ、
４０％以上向上している。

実施例５ 実施例１と製造プロセスは同じであるが、ウィスカーに
は５ｉ０２皮膜の作成をせず、スラリーのｐＨ値をｐＨ
＝７．９．１１と変化させて実験を行なった。得られた
焼結体に対して、実施例１と同様に、密度と破壊靭性値
の測定を行ない、結果を表５に示した。

結果より、酸化物のウィスカーへの付着のない時も、絶
対値の大きいゼータ電位を与えるｐＨ値にスラリーを調
整できる場合は、相対密度９５％以上の焼結体が得られ
ることがわかる。

つまり、ｐＨ＝７では、ＳｉＣウィスカーのゼータ電位
およびＳｉ３Ｎ４のゼータ電位はｐＨ＝９やｐＨ＝１１
の場合に比べて小さいため、ウィスカーの十分な均一分
散が実現されず、緻密化は十分には進まないのに比べ、
ｐｌ＝　９やｐＨ＝ｌｌでは、ＳｉＣウィスカーやＳｉ
３Ｎ４が大きなゼータ電位をもつため、ＳｉＣウィスカ
ーが十分、均一に分散し、９７％以」−という緻密な焼
結体が得られる。

しかし、酸化物の付着のない時は、絶対値の大きいゼー
タ電位を与えるｐＨ値にスラリーを調整することができ
ない場合には、醇化物の付着にょるゼータ電位のコント
ロールは重要である。

実施例６ 実施例１と同様に、６２Ｓｉ３Ｎ４−２０ＳｉＣｗ　−
５ＡＱＮ−５　Ａ１２０３８　Ｙ２Ｏ３（７）？トリッ
クス粉末ト５ｉ０２皮膜付着ＳｉＣウィスカーの混合粉
末を得た。混合粉末をホットプレス法（１７５０℃Ｘ　
２　ｈｒ、　Ｘ　４０ＭＰａ）もしくは、実施例１と同
様の常圧焼結後、雰囲気加圧焼結（２０００℃Ｘ　２ｈ
ｒ、　Ｘ　４ＭＰａ）そして、常圧焼結後、ＨＩＰ焼結
（２０００＠ＣＸ　２　ｈｒ、　Ｘ　２００にＰａ）ｃ
ｙ）３つの焼結法を行なった。実施例１と同様に密度と
靭性を測定し、結果を表６に示した。表よりホットプレ
ス法、雰囲気加圧焼結法、Ｉ（ＩＰ法等の方が常圧焼結
法より、緻密化しゃすいことがわかる。ＫＸｃ値はすべ
ての方法でマトリックス単体の焼結体の値（Ｋ　ｒｅ　
＝　３．１１ＮＰａ、／Ｔ）よりは高くなり、２倍以上
になっているものもある。

実施例７ 実施例工と製造プロセスは同じであるが、２０ｇの炭化
珪素ウィスカーのかわりに炭化珪素ウィスカーと窒化珪
素ウィスカーを混合したものを用いた。試料は３種類で
あり、各々、炭化珪素ウィスカーと窒化珪素ウィスカー
が１５ｇと５ｇ、ＩＯｇと１０ｇ、５ｇと１５ｇのもの
である。結果は表７に示した。表６より、実施例１と同
じく、ウィスカーを混合した場合も充分緻密な焼結体が
得られることがわかる。これは、ウィスカー表面に酸化
ケイ素皮膜を付着しているので、ウィスカーのゼータ電
位が酸化ケイ素のゼータ電位に支配されるため、たとえ
、二種以上のウィスカーを用いた時でも、ウィスカーの
均一な分散を得るためには、酸化ケイ素のゼータ電位を
考慮した分散条件さえ満たされれば、ウィスカーの均一
分散は実現されることを示している。

（以下余白） 表２ ＨＰ：ホットプレス法 表３ 表６ 表７ 発明の効果 従来の繊維強化セラミックス焼結体は、はとんどの場合
ホットプレス法で作成され、常圧焼結法では緻密（相対
密度〉９５％）な焼結体ができなかった。ホットプレス
法は、コストが高く、複雑形状品ができない等の欠点が
あるため、繊維強化セラミックス焼結体を高温構造材料
として実用化するためには、コストが安く、複雑形状品
ができる常圧焼結法により緻密（相対密度〉９５％）な
焼結体を得ることが不可欠であった。本発明によれば、
常圧焼結法により、はぼモノリシックな焼結体に匹敵す
る密度をもち、靭性値の高い繊維強化セラミックス焼結
体が得られる。本発明により、繊維強化セラミックス焼
結体の実用化に対し、極めて有用な製造法が得られたの
である。

【図面の簡単な説明】

第１図はＳｉ３Ｎ４　、ＳｉＣウィスカー、Ｍ２Ｏ３、
Ｚ　ｒ　Ｏ２および５１０２のゼータ電位を示す図であ
る。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. （１）５〜６５ｖｏｌ％のセラミックス短繊維を含む相
   対密度が９５％以上である緻密な短繊維強化セラミック
   ス焼結体。
2. （２）マトリックスのセラミックスが珪素、アルミニウ
   ムまたはジルコニウムの炭化物、窒化物または酸化物の
   一種または２種以上と焼結助剤であることを特徴とする
   特許請求の範囲第１項記載の短繊維強化セラミックス焼
   結体。
3. （３）セラミックス短繊維がＳｉＣ、Ｓｉ＿３Ｎ＿４、
   Ａｌ＿２Ｏ＿３、ＴｉＢ＿２およびＺｒＯ＿２の１種ま
   たは２種以上のセラミックス短繊維であることを特徴と
   する特許請求の範囲第１項記載の短繊維強化セラミック
   ス焼結体。
4. （４）セラミックス短繊維が直径３０μｍ以下でアスペ
   クト比が３〜２０のものよりなることを特徴とする特許
   請求の範囲第１項または第３項記載の短繊維強化セラミ
   ックス焼結体。
5. （５）５〜６５ｖｏｌ％のセラミックス短繊維を含むセ
   ラミックス粉末および焼結助剤を混合してスラリーとし
   、該スラリー中ｐＨの調整を行いマトリックス粉体とセ
   ラミックス短繊維のゼータ電位の適性化を行なって、セ
   ラミックス短繊維が均一に分散したスラリーを得、さら
   にスラリーに超音波分散をかけながら、噴霧乾燥し、次
   いで焼結して、相対密度が９５％以上の焼結体を得るこ
   とを特徴とする短繊維強化セラミックス焼結体の製造方
   法。
6. （６）ゼータ電位の適性化を、スラリーのｐＨ調整と共
   に、短繊維への各種酸化物のコーティング、または酸化
   物微粒子の付着によって行なう特許請求の範囲第５項記
   載の短繊維強化セラミックス焼結体の製造方法。
7. （７）ゼータ電位の適性化を、スラリーのｐＨ調整とと
   もに、短繊維への大気中での熱処理による酸化皮膜の生
   成によって行なう特許請求の範囲第５項記載の短繊維強
   化セラミックス焼結体の製造方法。
8. （８）短繊維が非酸化物の短繊維である特許請求の範囲
   第７項記載の短繊維強化セラミックス焼結体の製造方法
   。 （ｅ）短繊維添加量が５〜３５ｖｏｌ％であり、焼結法
   が常圧焼結法である特許請求の範囲第５項記載の短繊維
   強化セラミックス焼結体の製造方法。