JPH01230986A - 真空熱処理炉の非常用冷却装置 - Google Patents
真空熱処理炉の非常用冷却装置Info
- Publication number
- JPH01230986A JPH01230986A JP5336888A JP5336888A JPH01230986A JP H01230986 A JPH01230986 A JP H01230986A JP 5336888 A JP5336888 A JP 5336888A JP 5336888 A JP5336888 A JP 5336888A JP H01230986 A JPH01230986 A JP H01230986A
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- Japan
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- treatment furnace
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は真空熱処理炉の非常用冷却装置に関し、特に
、真空熱処理炉において停電時の不測の原因が生した場
合であっても、その後所定時間だけ冷却水の供給を行な
うことのできる真空熱処理炉の非常用冷却装置に関する
ものである。
、真空熱処理炉において停電時の不測の原因が生した場
合であっても、その後所定時間だけ冷却水の供給を行な
うことのできる真空熱処理炉の非常用冷却装置に関する
ものである。
〔従来の技術および解決しようとする課題〕従来、真空
熱処理炉において、停電等の不測の原因により、冷却水
の供給が断たれた時に、真空熱処理炉を熱的破壊から保
護するための方法としては、内燃機関を動力源として冷
却ポンブを運転する方法、自家発電装置によって冷却水
を流す方法およびヘッドタンクに貯えた冷却水を流す方
法などが知られているがこれらの方法にあってはいずれ
のものにあっても大型であるとともに、高価になってし
まうという問題点を有していた。
熱処理炉において、停電等の不測の原因により、冷却水
の供給が断たれた時に、真空熱処理炉を熱的破壊から保
護するための方法としては、内燃機関を動力源として冷
却ポンブを運転する方法、自家発電装置によって冷却水
を流す方法およびヘッドタンクに貯えた冷却水を流す方
法などが知られているがこれらの方法にあってはいずれ
のものにあっても大型であるとともに、高価になってし
まうという問題点を有していた。
この発明は前記のような従来のもののもつ問題点を解決
したものであって、小型、かつ、安価な真空熱処理炉の
非常用冷却装置を提供することを目的とする。
したものであって、小型、かつ、安価な真空熱処理炉の
非常用冷却装置を提供することを目的とする。
上記の問題点を解決するためにこの発明は、水タンク内
の水を真空熱処理炉の冷却水配管に供給する電動ポンプ
と気体圧駆動ポンプとを配設し、圧縮ガス源を、連通位
置と非連通位置とに切換え可能であるとともに、作動時
に連通位置となる第１の空気作動弁を介して前記気体圧
駆動ポンプと、連通位置と非連通位置とに切換え可能で
あるとともに、通電時に連通位置となる電磁弁とにそれ
ぞれ接続し、この電磁弁に前記第１の空気作動弁の作動
用であるとともに、連通位置と非連通位置との間を切り
換え可能であり、前記電動ポンプによって前記真空熱処
理炉の冷却水配管に水が供給されている間および供給が
停止した後所定時間だけ連ｊｍ位置となる第２の空気作
動弁を配設し、停電時に前記電動ポンプによる前記真空
熱処理炉の冷却水配管への冷却水の供給が停止した際、
前記圧縮ガスが１１訂記電磁弁および第２の空気作動弁
を介して前記第１の空気作動弁を作動し、これによって
圧縮ガスが前記第１の空気作動弁を介して前記気体圧駆
動ポンプに伝達されて駆動するようにした手段を採用し
たものである。
の水を真空熱処理炉の冷却水配管に供給する電動ポンプ
と気体圧駆動ポンプとを配設し、圧縮ガス源を、連通位
置と非連通位置とに切換え可能であるとともに、作動時
に連通位置となる第１の空気作動弁を介して前記気体圧
駆動ポンプと、連通位置と非連通位置とに切換え可能で
あるとともに、通電時に連通位置となる電磁弁とにそれ
ぞれ接続し、この電磁弁に前記第１の空気作動弁の作動
用であるとともに、連通位置と非連通位置との間を切り
換え可能であり、前記電動ポンプによって前記真空熱処
理炉の冷却水配管に水が供給されている間および供給が
停止した後所定時間だけ連ｊｍ位置となる第２の空気作
動弁を配設し、停電時に前記電動ポンプによる前記真空
熱処理炉の冷却水配管への冷却水の供給が停止した際、
前記圧縮ガスが１１訂記電磁弁および第２の空気作動弁
を介して前記第１の空気作動弁を作動し、これによって
圧縮ガスが前記第１の空気作動弁を介して前記気体圧駆
動ポンプに伝達されて駆動するようにした手段を採用し
たものである。
この発明の上記の手段を採用したことにより、停電等が
生じた場合であっても、真空熱処理炉への冷却水の供給
を直ちに停止することがなく、所定の時間だけ供給し続
けるのでその間に真空熱処理炉が冷却され、これによっ
て真空熱処理炉を熱的破壊から確実に防止できることと
なる。
生じた場合であっても、真空熱処理炉への冷却水の供給
を直ちに停止することがなく、所定の時間だけ供給し続
けるのでその間に真空熱処理炉が冷却され、これによっ
て真空熱処理炉を熱的破壊から確実に防止できることと
なる。
以下、図面に示すこの発明の実施例について説明する。
第１図にはこの発明による真空熱処理炉の非常用冷却装
置が示されていて、水タンク１は電動ポンプ２および気
体圧駆動ポンプ３と配管されろとともに、この電動ポン
プ２および気体圧駆動ポンプ３は逆止め弁４．５を介し
て真空熱処理炉の冷却水配管６と、エアハイドロコンバ
ータ７に接続されている流量調整弁８とに接続され、ｎ
ｉＩ記真空熱処理炉の冷却水配管６は前記水タンクｌに
配管されている。
置が示されていて、水タンク１は電動ポンプ２および気
体圧駆動ポンプ３と配管されろとともに、この電動ポン
プ２および気体圧駆動ポンプ３は逆止め弁４．５を介し
て真空熱処理炉の冷却水配管６と、エアハイドロコンバ
ータ７に接続されている流量調整弁８とに接続され、ｎ
ｉＩ記真空熱処理炉の冷却水配管６は前記水タンクｌに
配管されている。
また、電源９は電源スィッチ］Ｏａを介して真空熱処理
炉の電気回路ｌＯと、変圧器１１および整流器１２を介
して電磁弁１３とにそれぞれ接続されている。
炉の電気回路ｌＯと、変圧器１１および整流器１２を介
して電磁弁１３とにそれぞれ接続されている。
そして、圧縮ガス源１４は真空熱処理炉１５と配管され
る一方、前記型ｒＪ９で駆動される電磁弁１３、手動弁
１６．１７および第１の空気作動弁１８に接続され、前
記電磁弁１３は前記エアハイドロコンバータ７で駆動さ
れる第２の空気作動弁１９を介して前記手動弁１７と接
続され、この手動弁１７および前記手動弁１６は前記空
気作動弁１つと接続されており、この空気作動弁１９は
前記気体圧駆動ポンプ３と接続されている。
る一方、前記型ｒＪ９で駆動される電磁弁１３、手動弁
１６．１７および第１の空気作動弁１８に接続され、前
記電磁弁１３は前記エアハイドロコンバータ７で駆動さ
れる第２の空気作動弁１９を介して前記手動弁１７と接
続され、この手動弁１７および前記手動弁１６は前記空
気作動弁１つと接続されており、この空気作動弁１９は
前記気体圧駆動ポンプ３と接続されている。
上記のように構成されている真空熱処理炉の非常用冷却
袋この作動について説明する。
袋この作動について説明する。
まず、真空熱処理炉が平常運転している時は、前記電磁
弁１３は、変圧器１１および整流器１２を介して前記型
′ＪＱ９によって通電されて図示の状態と異なって、連
通を阻止された状態となっており、一方、前記電動ポン
プ２によって水タンク１内の水は逆止め弁５および流’
１ｍ 整弁８を介してエアハイドロコンバータ７の水側
Ｗに作用し、これによって前記空気作動弁１９も図示の
状態と異なって、連通した状態に保持され、したがって
、前記電磁弁１３および空気作動弁１９が、いずれも図
示の状態と異なった状態で保持され、前記電動ポンプ２
によって水タンク１内の水は真空熱処理炉の冷却水配管
６を流れて真空熱処理炉を冷却するようになっている。
弁１３は、変圧器１１および整流器１２を介して前記型
′ＪＱ９によって通電されて図示の状態と異なって、連
通を阻止された状態となっており、一方、前記電動ポン
プ２によって水タンク１内の水は逆止め弁５および流’
１ｍ 整弁８を介してエアハイドロコンバータ７の水側
Ｗに作用し、これによって前記空気作動弁１９も図示の
状態と異なって、連通した状態に保持され、したがって
、前記電磁弁１３および空気作動弁１９が、いずれも図
示の状態と異なった状態で保持され、前記電動ポンプ２
によって水タンク１内の水は真空熱処理炉の冷却水配管
６を流れて真空熱処理炉を冷却するようになっている。
そして、−ｈ記のような状態から停電等が発生した場合
には、電動ポンプ２が停止するとともに、前記電磁弁１
３への通電が停止し、直ちに電磁弁１３が図示の状態と
なり、この時、前記エアハイドし１コンバータ７の空気
側Ｇに接続されている空気作動弁１９は直ちに図示の状
態となることはなく、停電が生じた時点では図示と異な
る状態、すなわち、連通状態に保持されるので、前記圧
縮ガス源１４による圧縮ガスは逆止め弁２０を介して前
記電磁弁１３、空気作動弁１９および手動弁１７を介し
て空気作動弁１８に作用して空気作動弁１８を図示の状
態と異なる状態に移動する。
には、電動ポンプ２が停止するとともに、前記電磁弁１
３への通電が停止し、直ちに電磁弁１３が図示の状態と
なり、この時、前記エアハイドし１コンバータ７の空気
側Ｇに接続されている空気作動弁１９は直ちに図示の状
態となることはなく、停電が生じた時点では図示と異な
る状態、すなわち、連通状態に保持されるので、前記圧
縮ガス源１４による圧縮ガスは逆止め弁２０を介して前
記電磁弁１３、空気作動弁１９および手動弁１７を介し
て空気作動弁１８に作用して空気作動弁１８を図示の状
態と異なる状態に移動する。
これによって圧縮ガス源１４の圧縮ガスが空気作動弁１
８を介して気体圧駆動ポンプ３に伝達されてこれを駆動
し、水タンク１内の水を今度は気体圧駆動ポンプ３を介
して真空熱処理炉の冷却配管に伝達して冷却することと
なり、この状態を停″８１ｔ後数秒間続けることとなり
、この間に真空熱処理炉は冷却されるので、その後に前
記エアハイドロコンバータ７によって前記空気作動弁１
９が図示の状態となって、圧縮ガスの供給が阻止されて
気体圧駆動ポンプ３が停止したとしても真空熱処理炉が
性的破壊から確実に阻止されるものである。
８を介して気体圧駆動ポンプ３に伝達されてこれを駆動
し、水タンク１内の水を今度は気体圧駆動ポンプ３を介
して真空熱処理炉の冷却配管に伝達して冷却することと
なり、この状態を停″８１ｔ後数秒間続けることとなり
、この間に真空熱処理炉は冷却されるので、その後に前
記エアハイドロコンバータ７によって前記空気作動弁１
９が図示の状態となって、圧縮ガスの供給が阻止されて
気体圧駆動ポンプ３が停止したとしても真空熱処理炉が
性的破壊から確実に阻止されるものである。
なお、前記手動弁１６．１７に関しては、手動弁１６は
停電が回復した際のりセット用であり、また、手動弁１
７はこの発明による真空熱処理炉の非常用冷却装置のテ
スト時等に使用するスタートスイッチである。
停電が回復した際のりセット用であり、また、手動弁１
７はこの発明による真空熱処理炉の非常用冷却装置のテ
スト時等に使用するスタートスイッチである。
この発明は前記のように構成したことにより、停電等の
非常事態が発生した場合に、真空熱処理炉の冷却水配管
に直ちに冷ｒＪｊ水の供給を停止することがなく、非常
事態が発生した後数秒間は冷却水を供給し続けるのでＪ
”（空熱処理炉がり人的破壊を生じる恐れがなく、しか
も、従来のもののように冷却ポンプ、自家発電装τまた
はへノドタンクを使用したものと比較して気体圧駆動ポ
ンプは安価であり、これによって冷却装置全体のコスト
を安価とすることができるなどのすぐれた効果を有する
ものである。
非常事態が発生した場合に、真空熱処理炉の冷却水配管
に直ちに冷ｒＪｊ水の供給を停止することがなく、非常
事態が発生した後数秒間は冷却水を供給し続けるのでＪ
”（空熱処理炉がり人的破壊を生じる恐れがなく、しか
も、従来のもののように冷却ポンプ、自家発電装τまた
はへノドタンクを使用したものと比較して気体圧駆動ポ
ンプは安価であり、これによって冷却装置全体のコスト
を安価とすることができるなどのすぐれた効果を有する
ものである。
第１図はこの発明による真空熱処理炉の非常用冷却装置
の実施例の組合せ状態を示す説明図である。 １・・・・・・水タンク ２・・・・・・電動ポンプ ３・・・・・・気体圧駆動ポンプ ４．５．２０・・・・・・逆止め弁 ６・・・・・・冷却水配管 ７・・・・・・エアハイドロコンバータ８・・・・・・
流量調整弁 ９・・・・・・電源 １０・・・・・・電気回路 １０ａ・・・・・・電源スィッチ １１・・・・・・変圧器 １２・・・・・・整流器 １３・・・・・・電磁弁 １４・・・・・・圧ｉ宿ガス源 Ｉ５・・・・・・真空熱処理炉 １６．１７・・・・・・手動弁 １８．１９・・・・・・空気作動弁
の実施例の組合せ状態を示す説明図である。 １・・・・・・水タンク ２・・・・・・電動ポンプ ３・・・・・・気体圧駆動ポンプ ４．５．２０・・・・・・逆止め弁 ６・・・・・・冷却水配管 ７・・・・・・エアハイドロコンバータ８・・・・・・
流量調整弁 ９・・・・・・電源 １０・・・・・・電気回路 １０ａ・・・・・・電源スィッチ １１・・・・・・変圧器 １２・・・・・・整流器 １３・・・・・・電磁弁 １４・・・・・・圧ｉ宿ガス源 Ｉ５・・・・・・真空熱処理炉 １６．１７・・・・・・手動弁 １８．１９・・・・・・空気作動弁
Claims (1)
- （１）水タンク内の水を真空熱処理炉の冷却水配管に供
給する電動ポンプと気体圧駆動ポンプとを配設し、圧縮
ガス源を、連通位置と非連通位置とに切換え可能である
とともに、作動時に連通位置となる第１の空気作動弁を
介して前記気体圧駆動ポンプと、連通位置と非連通位置
とに切換え可能であるとともに、通電時に連通位置とな
る電磁弁とにそれぞれ接続し、この電磁弁に前記第１の
空気作動弁の作動用であるとともに、連通位置と非連通
位置との間を切換え可能であり、前記電動ポンプによっ
て前記真空熱処理炉の冷却水配管に水が供給されている
間および供給が停止した後所定時間だけ連通位置となる
第２の空気作動弁を配設し、停電時に前記電動ポンプに
よる前記真空熱処理炉の冷却水配管への冷却水の供給が
停止した際、前記圧縮ガスが前記電磁弁および第２の空
気作動弁を介して前記第１の空気作動弁を作動し、これ
によって圧縮ガスが前記第１の空気作動弁を介して前記
気体圧駆動ポンプに伝達されて気体圧駆動ポンプが起動
することを特徴とする真空熱処理炉の非常用冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5336888A JPH073314B2 (ja) | 1988-03-07 | 1988-03-07 | 真空熱処理炉の非常用冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5336888A JPH073314B2 (ja) | 1988-03-07 | 1988-03-07 | 真空熱処理炉の非常用冷却装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01230986A true JPH01230986A (ja) | 1989-09-14 |
| JPH073314B2 JPH073314B2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=12940873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5336888A Expired - Fee Related JPH073314B2 (ja) | 1988-03-07 | 1988-03-07 | 真空熱処理炉の非常用冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH073314B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0669643A1 (en) * | 1994-02-24 | 1995-08-30 | Applied Materials, Inc. | Power loss recovery for wafer heater |
| LU90581B1 (en) * | 2000-05-09 | 2001-11-12 | Wurth Paul Sa | Coolong system for a mettalurgical furnace |
| WO2005004208A3 (de) * | 2003-07-05 | 2005-06-09 | Leica Microsystems | Vorrichtung zur waferinspektion |
| JP2011220627A (ja) * | 2010-04-12 | 2011-11-04 | Ihi Corp | ミスト冷却装置及び熱処理装置 |
| EP2601327A1 (de) * | 2011-09-16 | 2013-06-12 | Von Ardenne Anlagentechnik GmbH | Vakuum-substratbehandlungsanlage mit notkühleinrichtung |
| CN103667606A (zh) * | 2013-12-12 | 2014-03-26 | 兴发铝业（成都）有限公司 | 节能型热处理循环水系统及节能方法 |
| WO2019053386A1 (fr) * | 2017-09-18 | 2019-03-21 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Refroidissement de secours de presse isostatique a chaud |
| WO2024041898A1 (de) * | 2022-08-25 | 2024-02-29 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Vorrichtung und verfahren zur additiven fertigung mit frischwasserloser notkühlung |
-
1988
- 1988-03-07 JP JP5336888A patent/JPH073314B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0669643A1 (en) * | 1994-02-24 | 1995-08-30 | Applied Materials, Inc. | Power loss recovery for wafer heater |
| LU90581B1 (en) * | 2000-05-09 | 2001-11-12 | Wurth Paul Sa | Coolong system for a mettalurgical furnace |
| WO2001086005A1 (en) * | 2000-05-09 | 2001-11-15 | Paul Wurth S.A. | Cooling system for a metallurgical furnace |
| US6793874B2 (en) | 2000-05-09 | 2004-09-21 | Paul Wurth S.A. | Cooling system for a metallurgical furnace |
| WO2005004208A3 (de) * | 2003-07-05 | 2005-06-09 | Leica Microsystems | Vorrichtung zur waferinspektion |
| CN100364041C (zh) * | 2003-07-05 | 2008-01-23 | 莱卡显微系统半导体股份有限公司 | 晶圆检测用的装置 |
| US7424393B2 (en) | 2003-07-05 | 2008-09-09 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | Wafer inspection device |
| CN102918347A (zh) * | 2010-04-12 | 2013-02-06 | 株式会社Ihi | 喷雾冷却装置及热处理装置 |
| JP2011220627A (ja) * | 2010-04-12 | 2011-11-04 | Ihi Corp | ミスト冷却装置及び熱処理装置 |
| US9359654B2 (en) | 2010-04-12 | 2016-06-07 | Ihi Corporation | Mist cooling apparatus and heat treatment apparatus |
| EP2601327A1 (de) * | 2011-09-16 | 2013-06-12 | Von Ardenne Anlagentechnik GmbH | Vakuum-substratbehandlungsanlage mit notkühleinrichtung |
| CN103667606A (zh) * | 2013-12-12 | 2014-03-26 | 兴发铝业（成都）有限公司 | 节能型热处理循环水系统及节能方法 |
| WO2019053386A1 (fr) * | 2017-09-18 | 2019-03-21 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Refroidissement de secours de presse isostatique a chaud |
| FR3071179A1 (fr) * | 2017-09-18 | 2019-03-22 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Refroidissement de secours de presse isostatique a chaud |
| US11780008B2 (en) | 2017-09-18 | 2023-10-10 | Commissariat á l'énergie atomique et aux énergies alternatives | Backup cooling device for hot isostatic press |
| WO2024041898A1 (de) * | 2022-08-25 | 2024-02-29 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Vorrichtung und verfahren zur additiven fertigung mit frischwasserloser notkühlung |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH073314B2 (ja) | 1995-01-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |