JPH01232048A - コンタクトプリンタ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体集積回路の製造工程におし）て用いる
ワーキングマスクを製造するためのコンタクトプリンタ
装置に関する。

［従来の技術］ 一般に、半導体集積回路の製造に使用されるワーキング
マスクは、コンタクトプリンタ装置によって製造される
。

このコンタクトプリンタ装置においては、先ず、マスタ
ーマスクと、フォトレジスト膜が塗布形成されたワーキ
ングマスクプレートとを真空密着させ、次に、マスター
マスク側から平行な紫外線を照射することによりフォト
レジスト膜にマスターマスクのパターンを焼付ける。こ
れを現像・エツチングしてワーキングマスクが完成され
る。

露光が終わったマスターマスクとワーキングプレートは
真空密着の状態から真空を徐々に大気圧に戻すことによ
って互いに分離される。

上述のように従来のコンタクトプリンタ装置においては
、露光が終わった後、マスターマスクとワーキングプレ
ートとは互いに分離されるが、このとき、マスターマス
クとワーキングプレートに塗布形成されたフォトレジス
ト膜との間に静電気が帯電することがしばしばある。こ
の分離時に発生した静電気は、マスターマスクの金属パ
ターンをスパークにより破壊してしまう。パターンに破
損を受けたマスターマスクは、廃棄しなければならず、
製造価格及び納期に多大の影響を及ぼす。

近時、その対策としてガラス基板上に透明な導電膜を形
成し、その上に金属パターンを形成したマスク用プレー
ト（以下、導電膜プレートという）が提案されている。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、この導電膜プレートを使用しても、マス
ターマスクの金属パターンにおける静電気によるスパー
ク破壊を皆無にできないことが実証された。即ち、スパ
ーク破壊の発生頻度は、導電膜プレートを使用した場合
が約５％、導電膜プレートを使用しない場合が約１０％
であり、導電膜プレートを使用してもスパーク破壊が生
じてしまう。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、
マスターマスクの金属パターンにおけるスパーク破壊を
完全に防止することができるコンタクトプリンタ装置を
提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 本発明に係るコンタクトプリンタ装置は、フォトレジス
ト膜を塗布形成したワーキングプレートとマスターマス
クとを密着させた状態で露光し、前記マスターマスクの
パターンを前記フォトレジ　　“スト膜に焼付けること
によりワーキングマスクを製造するコンタクトプリンタ
装置において、内部に露光室を形成すると共に接地され
たハウジングと、前記露光室内に前記ワーキングプレー
ト及びマスターマスクを向き合わせて保持する保持部と
、この保持部により保持された前記ワーキングプレート
と前記マスターマスクの双方を前記ハウジングに電気的
に導通させる導通手段とを備えたことを特徴とする。

［作用］ 上記構成により本発明に係るコンタクトプリンタ装置に
おいては、マスターマスク及びワーキングプレートは夫
々ハウジングに電気的に導通されているため、露光した
後、マスターマスクとワーキングプレートとを分離させ
る際にマスターマスク及びワーキングプレートに静電気
が生じても、この静電気はハウジングを介して接地に逃
げる。

このため、マスターマスクのスパークの破壊を完全に防
止することができる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例について添付の図面を参照して具
体的に説明する。

第１図は本発明の実施例に係るコンタクトプリンタ装置
の縦断面図である０図中、１は前面に開口１ａが設けら
れると共に内部に露光室を形成するハウジングであり、
このハウジング１内の底面及び天井面には台座２が設け
られている。この台座２の先端には弾性部材、例えば、
ゴムで形成されたマスク支持体３が固定されており、こ
のマスク支持体３によりマスターマスク４とワーキング
プレート５とを互いに向き合わせて保持している。

マスク支持体３に保持されたマスターマスク４の正面前
方の開口１ａにはコリメーションレンズ６が設置されて
いる。

また、ハウジング１内の台座２の側壁にはマスクアース
針７の基端部が固定されており、このマスクアース針７
の先端がマスターマスク４及びワーキングプレート５の
各側面部の電気的導通部に接触するようになっている。

即ち、マスターマスク４及びワーキングプレート５に生
じた静電気をマスクアース針７を通じてハウジング１側
に逃がすようになっており、このハウジング１を介して
マスターマスク４及びワーキングプレート５を接地させ
るものである。

上記コリメーションレンズ６とマスターマスク４との間
に形成されるマスター空間部８は、マスター空気出入口
９を介して、またハウジング１の側壁とワーキングプレ
ート５との間に形成されるワーキング空間部１０はワー
キング空気出入口１１を介して、更に台座２とマスター
マスク４及びワーキングプレート５の側面部との間に形
成される中間空間部１２は中間空気出入口１３を介して
、夫々真空ポンプ（図示せず）に連結されている。

次に、上記構成のコンタクトプリンタ装置の動作につい
て説明する。

マスターマスク４とワーキングプレート５はマスク支持
体３によって向かい合わせに保持され、ハウジング１内
に設置される０次に、真空ポンプ（図示せず）によりマ
スター空気出入口９、ワーキング空気出入口１１、中間
空気出入口１３から同時に空気を排出し、マスター空間
部８、ワーキング空間部１０、中間空間部１２を真空に
する。

３つの空間部８．１０．１２が真空になった後、マスタ
ー空気出入口９及びワーキング空気出入口１１がら空気
を導入してマスター空間部８及びワーキング空間部１０
と中間空間部１２との間に圧力差を生じさせ、マスター
マスク４とワーキングプレート５とを密着させる。

しかる後、コリメーションレンズ６によって平行光にな
った紫外線をマスターマスク４に所定時間照射させ、マ
スターマスク４のパターンをワーキングプレート５に塗
布されたフォトレジスト膜に転写させる。照射が完了す
ると、マスターマスク４とワーキングプレート５とを離
すため、再び、マスター空間出入口９、ワーキング空気
出入口１１及び中間空気出入口１３から空気を排出する
。

このとき、即ちマスターマスク４とワーキングプレート
５とが離れるとき、マスターマスク４とワーキングプレ
ート５が帯電する。而して、この帯電により生じた静電
気はマスターマスク４の側面及びワーキングプレート５
の側面の電気的導通部分からマスクアース針７を介して
ハウジング１側に逃がされる。

ここで、マスターマスク４とワーキングプレート５の側
面で電気的に導通させることができる理由を簡単に説明
する。ワーキングプレート５では、パターン形成用とし
て電気的導通性を有する金属膜がガラス基板上に形成さ
れている。この金属膜の形成は、−ｍに蒸着法又はスパ
ッタリング法等が使用されているため、ガラス基板の側
面においても金属膜が回り込んでいる。従って、側面に
マスクアース針７を接触させることにより、電気的導通
ができることになる。また、マスターマスク４について
も導電膜のプレートを使用している場合、導電膜プレー
トの導電膜形成はワーキングプレート５の金属膜形成と
同様の手法を使用しているため、同様に側面において電
気的導通が可能となる。

このように本実施例では、マスターマスク４に導電膜プ
レートを使用した場合、マスクアース針７によりマスタ
ーマスク４及びワーキングプレート５に発生した静電気
を全てハウジング１側に逃がすことができる。従って、
静電気によるマスターマスク４の金属パターンにおける
スパーク破壊を効果的に防止することができる。

第２図は本発明の他の実施例を示す縦断面図である。こ
こで第１図と同一構成部分には同一符号を付して説明を
省略する。

本実施例においては、マスターマスク４及びワーキング
プレート５の双方をハウジング１と電気的に導通させる
機構を導電性マスク支持体２０に持たせである。この導
電性マスク支持体２０は、マスターマスク４を支持する
と同時に、マスターマスク４の側面及びワーキングプレ
ート５の側面に接触して、ハウジング１とマスターマス
ク４及びワーキングプレート５との間を電気的に導通さ
せている。

この導電性マスク支持体２０としては、ゴム系樹脂の表
面に導電性のある金属層を塗布形成したもの、又は導電
性粒子をゴム系樹脂に混入させたもの等が使用される。

本実施例においては、第１図の実施例に使用したマスク
アース針７に比して耐久性が一層向上するという利点が
ある。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明に係るコンタクトプリンタ装
置によれば、ハウジング内に保持させたマスターマスク
とワーキングプレートとの双方を前記ハウジングに電気
的に導通させるようにしたので、マスターマスクが導電
膜プレートであれば、マスターマスクとワーキングプレ
ートとの間に発生した静電気を前記ハウジング側に全て
逃がすことができ、このためマスターマスクの金属パタ
ーンにおける静電気によるスパーク破壊を防止すること
ができる。

従って、マスターマスクの再作成費用が不要となると共
に、ワーキングマスクの納期を十分に確保することがで
きるという効果を奏する。

更に、マスターマスクが導電膜プレートでない場合であ
っても、本発明のコンタクトプリンタ装置を使用すれば
、ワーキングプレート側の静電気を確実に逃がすことが
できるので、従来に比して、マスターマスクの金属パタ
ーンのスパーク破壊を大幅に低減できるという効果を奏
する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係るコンタクトプリンタ装置
の縦断面図、第２図は本発明の他の実施例に係るコンタ
クトプリンタ装置の縦断面図である。 １；ハウジング、３；マスク支持体、４；マスターマス
ク、５；ワーキングプレート、６；コリメーションレン
ズ、７；マスクアース針、２０；導電性マスク支持体

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）フォトレジスト膜を塗布形成したワーキングプレ
   ートとマスターマスクとを密着させた状態で露光し、前
   記マスターマスクのパターンを前記フォトレジスト膜に
   焼付けることによりワーキングマスクを製造するコンタ
   クトプリンタ装置において、内部に露光室を形成すると
   共に接地されたハウジングと、前記露光室内に前記ワー
   キングプレート及びマスターマスクを向き合わせて保持
   する保持部と、この保持部により保持された前記ワーキ
   ングプレートと前記マスターマスクの双方を前記ハウジ
   ングに電気的に導通させる導通手段とを備えたことを特
   徴とするコンタクトプリンタ装置。