JPH01238081A - 波長安定化レーザ発振器 - Google Patents
波長安定化レーザ発振器Info
- Publication number
- JPH01238081A JPH01238081A JP6337788A JP6337788A JPH01238081A JP H01238081 A JPH01238081 A JP H01238081A JP 6337788 A JP6337788 A JP 6337788A JP 6337788 A JP6337788 A JP 6337788A JP H01238081 A JPH01238081 A JP H01238081A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- wavelength
- mirror
- interferometer
- laser oscillator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/131—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ測長器に係り、特に簡易にかつ高精度に
レーザ波長の安定化及び補正が行える発振器に関する。
レーザ波長の安定化及び補正が行える発振器に関する。
従来、レーザ発振器自体の発振波長の安定化と、レーザ
干渉系のデッドパス上における波長の屈折率補正はそれ
ぞれ独立のものとして別々に行われていた。
干渉系のデッドパス上における波長の屈折率補正はそれ
ぞれ独立のものとして別々に行われていた。
例えば、レーザ発振器の波長安定化については、その技
術の概要を「ガスレーザ、固体レーザ（検問；０ｐｌｎ
ｓ Ｅ、 ｐ１４８〜１５６． ’ ８４．６） Ｊに
示すが、その−例を第２図を用いて説明する。
術の概要を「ガスレーザ、固体レーザ（検問；０ｐｌｎ
ｓ Ｅ、 ｐ１４８〜１５６． ’ ８４．６） Ｊに
示すが、その−例を第２図を用いて説明する。
第２図は一般的な波長安定化レーザの一例であり、レー
ザ発振器１の内部を示したものである。
ザ発振器１の内部を示したものである。
レーザ共振器２より発振すルレーザ光の波長は、その共
振器長を変化させると制御できるので、この例の場合に
はレーザ共振器２のまわりに巻いたヒータによって温度
制御し、熱膨張で共振器長を変えて発振波長を制御する
構成である。この場合にはレーザ光出力からビームスプ
リッタ２４によつてその一部を取り出し、誤差信号検出
器において何らかの形の誤差信号を検出し、レーザ波長
制御装置１２においてヒータ３の印加電圧にフィードバ
ックすることにより波長を安定化するものである。
振器長を変化させると制御できるので、この例の場合に
はレーザ共振器２のまわりに巻いたヒータによって温度
制御し、熱膨張で共振器長を変えて発振波長を制御する
構成である。この場合にはレーザ光出力からビームスプ
リッタ２４によつてその一部を取り出し、誤差信号検出
器において何らかの形の誤差信号を検出し、レーザ波長
制御装置１２においてヒータ３の印加電圧にフィードバ
ックすることにより波長を安定化するものである。
また、レーザ干渉系のバッドパス上における波長が、空
気の屈折率変化によって変化するのを補正する技術とし
ては、例えば測定用レーザービームの近傍に全く独立し
た補正用ビームを発生するようにし、補正用ビームは不
変の長さを測定する構成とすることでデッドパス上の空
気の屈折率変化をモニタし、その結果を用いて測定用ビ
ームによる変化の測定結果を補正することが考えられる
。
気の屈折率変化によって変化するのを補正する技術とし
ては、例えば測定用レーザービームの近傍に全く独立し
た補正用ビームを発生するようにし、補正用ビームは不
変の長さを測定する構成とすることでデッドパス上の空
気の屈折率変化をモニタし、その結果を用いて測定用ビ
ームによる変化の測定結果を補正することが考えられる
。
このようにすると、空気の屈折率変化に対してその変化
が補正された正確な変位の測定結果を得ることが可能と
なる。
が補正された正確な変位の測定結果を得ることが可能と
なる。
上記従来技術は、いったん波長を安定化したレーザ発振
器を使用して干渉計を構成したものの、結局は干渉系の
デッドパスの部分において、空気の屈折率の変化によっ
てレーザの波長が乱れてしまい、再度その結果を何らか
の方法でモニタして補正するという二段階の安定化及び
補正をしなければ結果的に高い測定精度が得られなかっ
た。
器を使用して干渉計を構成したものの、結局は干渉系の
デッドパスの部分において、空気の屈折率の変化によっ
てレーザの波長が乱れてしまい、再度その結果を何らか
の方法でモニタして補正するという二段階の安定化及び
補正をしなければ結果的に高い測定精度が得られなかっ
た。
本発明の目的は、干渉系のデッドパス上の波長の乱れを
直接検出し、その結果により波長の安定化と屈折率補正
を同時に達成することにある。
直接検出し、その結果により波長の安定化と屈折率補正
を同時に達成することにある。
上記目的は、レーザ干渉系のデッドパスの長さが変化し
ないように構成し、この部分におけるレーザの波長が常
に一定となるようにレーザ発振器の発振波長を制御する
ことにより、達成される。
ないように構成し、この部分におけるレーザの波長が常
に一定となるようにレーザ発振器の発振波長を制御する
ことにより、達成される。
レーザ干渉系のデッドパスが、物理的には長さが変化し
ないようにした時に、その干渉系からの干渉光は本来そ
の強度が変化しないはずであるが、レーザ発振器の発振
波長が変化とたり、デッドパス上の空気の屈折率が変化
してデッドパス上のレーザ波長が変化するとデッドパス
の反射光の位相が変化して結果的に干渉光８の強度が変
化するのでこの変化を調泥することによりデッドパス上
の波長の変動が検出できる。
ないようにした時に、その干渉系からの干渉光は本来そ
の強度が変化しないはずであるが、レーザ発振器の発振
波長が変化とたり、デッドパス上の空気の屈折率が変化
してデッドパス上のレーザ波長が変化するとデッドパス
の反射光の位相が変化して結果的に干渉光８の強度が変
化するのでこの変化を調泥することによりデッドパス上
の波長の変動が検出できる。
変位測定装置１１は干渉光８の強度を取り込み。
干渉縞の間を正確に補間して、デッドパス上のレーザ波
長の変化を高い感度で検出するための手段であり、ここ
で検出した波長の変化分に応じた信号をレーザ波長制御
装置１２からレーザ共振器２のヒータ３にフィードバッ
クしてレーザの発振波長を制御するので、デッドパス上
の環境に対してこの部分のレーザ波長が安定化・規格化
できる。
長の変化を高い感度で検出するための手段であり、ここ
で検出した波長の変化分に応じた信号をレーザ波長制御
装置１２からレーザ共振器２のヒータ３にフィードバッ
クしてレーザの発振波長を制御するので、デッドパス上
の環境に対してこの部分のレーザ波長が安定化・規格化
できる。
以下、本発明の一実施例を第１図ににより説明する。
第１図において、１は例えばＨｅ−Ｎθレーザなどのガ
スレーザで、紙面に対して４５″方向に振動面を持つ直
線偏光を発振する。その内部構造はレーザ共振器２のま
わりにヒータ３を巻きつけてあり、ヒータ３への印加電
圧をｒＡ整することによりレーザ共振器２の温度制御が
可能である。−般にレーザの発振波長はレーザ共振器の
長さによって変化するので、このように共振器の熱膨張
を利用して発振波長を制御することが一般に知られてお
り１本実施例も発振波長制御型レーザである。
スレーザで、紙面に対して４５″方向に振動面を持つ直
線偏光を発振する。その内部構造はレーザ共振器２のま
わりにヒータ３を巻きつけてあり、ヒータ３への印加電
圧をｒＡ整することによりレーザ共振器２の温度制御が
可能である。−般にレーザの発振波長はレーザ共振器の
長さによって変化するので、このように共振器の熱膨張
を利用して発振波長を制御することが一般に知られてお
り１本実施例も発振波長制御型レーザである。
また４は偏光ビームスプリッタであり、その−面には−
波長板１４とミラー１５が接着してあり。
波長板１４とミラー１５が接着してあり。
さらに別の面にも一波長板１６が接着しである。
一波長板１６の接着面に対向して、ある距離だけ離れた
位置にミラー６が配置され、例えば、スーパーアンバー
などの線膨張係数の小さい材質からなる支持部材５によ
って干渉計４と連結されており、ミラー６と干渉計４と
の距離はほとんど不変である。１７は偏光板であり、９
は干渉光８の強度を電気信号（干渉信号１０）に光電変
換する光検出器、１１は干渉信号１０変化から変化量を
測定する変位測定装置、１２は変位測定装置１１からの
出力と目標値との偏差に応じてヒータ３へ印加電圧を調
整してレーザ発振器１完振波長を制御するレーザ波長制
御装置である。
位置にミラー６が配置され、例えば、スーパーアンバー
などの線膨張係数の小さい材質からなる支持部材５によ
って干渉計４と連結されており、ミラー６と干渉計４と
の距離はほとんど不変である。１７は偏光板であり、９
は干渉光８の強度を電気信号（干渉信号１０）に光電変
換する光検出器、１１は干渉信号１０変化から変化量を
測定する変位測定装置、１２は変位測定装置１１からの
出力と目標値との偏差に応じてヒータ３へ印加電圧を調
整してレーザ発振器１完振波長を制御するレーザ波長制
御装置である。
次に第１図における動作を順に追って説明する。
まず、レーザ発振器１で発振する紙面に４５゜方向に振
動面を持つ直線偏光は偏光ビームスプリッタ４に入射し
、紙面に平行な偏光成分と直重な偏光成分に２分割され
る。偏光ビームスプリッタ４で反射された紙に垂直な振
動面をもつ直線偏光は−波長板１４を経てミラー１５で
反射され、再び−波長板１４を経て偏光ビームスプリッ
タ４に戻るが、−波長板１４を１往復してきたこの光は
振動面が９０’回転しているので今度は偏光ビームスプ
リンタ４を透過して偏光板１７に至る。−方、はじめに
偏光ビームスプリッタ４を透過した紙面に平行な振動面
をもつ直線偏光は、−波長板１６を経てミラー６に至り
、ここで反射されて再び二波長板１６経て偏光ビームス
プリッタ４に戻るが、やはり光と同様に振動面が９０’
回転しているので今度は偏光ビームスプリッタ４で反射
されて偏光板１７に至る。偏品板入射時には重なり合っ
ているこれら両光は偏光面が互いに直交しているので干
渉しないが１紙面に対して４５″方向に透過軸をもつ偏
光板１７′において両光の共通成分同志が干渉し、両光
の光路長差に応じて干渉縞が発生する。この干渉光８は
光検出器９において光電変換され、その出力である干渉
信号１０を変位測定装置１１に取り込んで、先に２分割
された両ビームの光路長差の変化分を測定する。
動面を持つ直線偏光は偏光ビームスプリッタ４に入射し
、紙面に平行な偏光成分と直重な偏光成分に２分割され
る。偏光ビームスプリッタ４で反射された紙に垂直な振
動面をもつ直線偏光は−波長板１４を経てミラー１５で
反射され、再び−波長板１４を経て偏光ビームスプリッ
タ４に戻るが、−波長板１４を１往復してきたこの光は
振動面が９０’回転しているので今度は偏光ビームスプ
リンタ４を透過して偏光板１７に至る。−方、はじめに
偏光ビームスプリッタ４を透過した紙面に平行な振動面
をもつ直線偏光は、−波長板１６を経てミラー６に至り
、ここで反射されて再び二波長板１６経て偏光ビームス
プリッタ４に戻るが、やはり光と同様に振動面が９０’
回転しているので今度は偏光ビームスプリッタ４で反射
されて偏光板１７に至る。偏品板入射時には重なり合っ
ているこれら両光は偏光面が互いに直交しているので干
渉しないが１紙面に対して４５″方向に透過軸をもつ偏
光板１７′において両光の共通成分同志が干渉し、両光
の光路長差に応じて干渉縞が発生する。この干渉光８は
光検出器９において光電変換され、その出力である干渉
信号１０を変位測定装置１１に取り込んで、先に２分割
された両ビームの光路長差の変化分を測定する。
ここで、はじめに説明したようにミラー１５は偏光ビー
ムスプリッタ４に接着しであるし、もう一方のミラー６
もやはり支持部材５によって偏光ビームスプリッタ４に
連結されているので物理的にはこれらの相対的位置関係
は変化しないはずであり、従って物理的な光路長差の変
化はないので変位測定装置１１の出力は全く変化はない
はずである。
ムスプリッタ４に接着しであるし、もう一方のミラー６
もやはり支持部材５によって偏光ビームスプリッタ４に
連結されているので物理的にはこれらの相対的位置関係
は変化しないはずであり、従って物理的な光路長差の変
化はないので変位測定装置１１の出力は全く変化はない
はずである。
但し、次にあげる２つの要因により干渉計４とミラー６
との間のレーザ光路上にβけるレーザの波長が変化し、
位相差が変化するので変位測定装置１１の出力も変化す
る。
との間のレーザ光路上にβけるレーザの波長が変化し、
位相差が変化するので変位測定装置１１の出力も変化す
る。
まず第１の要因はレーザ共振器２の熱変化などの影響に
より共振器長が変化することによって発振波長が変動す
る。
より共振器長が変化することによって発振波長が変動す
る。
そして第２にレーザ発振器１を出たレーザ光の波長はさ
らにその伝播する光路上の空気の屈折率分布及びその変
化に応じて微妙に分布し、さらに変化する。
らにその伝播する光路上の空気の屈折率分布及びその変
化に応じて微妙に分布し、さらに変化する。
本実施例の構成においては、干渉させる２つの光の共通
光路上では両光ともそれぞれ同様にこれらの要因の影響
を受けるので問題ないが、非共通光路上である干渉計４
とミラー６との間の光路上（このような光路をデッドパ
スとよぶ）でこれらの要因により波長が変化すると、両
光の間の位相が変化するので変位測定装置１１の出力も
変化する。これは、物理には変化していない測定対象物
の変位測定結果が、次に述べた２つの誤差要因のために
本来変化マないはずであるのに変化してしまい、本実施
例のような構成のレーザ変位計においては測定誤差とな
ることを示している。
光路上では両光ともそれぞれ同様にこれらの要因の影響
を受けるので問題ないが、非共通光路上である干渉計４
とミラー６との間の光路上（このような光路をデッドパ
スとよぶ）でこれらの要因により波長が変化すると、両
光の間の位相が変化するので変位測定装置１１の出力も
変化する。これは、物理には変化していない測定対象物
の変位測定結果が、次に述べた２つの誤差要因のために
本来変化マないはずであるのに変化してしまい、本実施
例のような構成のレーザ変位計においては測定誤差とな
ることを示している。
従来からこれら２つの要因はレーザ変位計において問題
となっており、従来例のところで述べたようにそれぞれ
独立に波長の安定化や補正が行なわれていたが、本質的
には波長が変動するという同一の現象が発生するわけで
あるから、本実施例ではこれら２つの要因によって総合
的に発生する。
となっており、従来例のところで述べたようにそれぞれ
独立に波長の安定化や補正が行なわれていたが、本質的
には波長が変動するという同一の現象が発生するわけで
あるから、本実施例ではこれら２つの要因によって総合
的に発生する。
この現象をその最終的な結果、つまり干渉縞をモニタす
ることにより干渉系の測定用ビーム上におけるレーザの
波長を安定化・規格化しようとするものである。
ることにより干渉系の測定用ビーム上におけるレーザの
波長を安定化・規格化しようとするものである。
実際には、干渉光８の明るさが変化しないように、つま
り変位測定装置１１の出力が変化しないようにレーザ波
長制御装置１２によりヒータ３への印加電圧を制御する
ことによりレーザ発振器１の発振波長を制御すれば、干
渉計４とミラー６との間に光路おいては常に一定の波数
が保たれるのでこの光路上の環境おいてレーザ波長が校
正されかつ安定化される。
り変位測定装置１１の出力が変化しないようにレーザ波
長制御装置１２によりヒータ３への印加電圧を制御する
ことによりレーザ発振器１の発振波長を制御すれば、干
渉計４とミラー６との間に光路おいては常に一定の波数
が保たれるのでこの光路上の環境おいてレーザ波長が校
正されかつ安定化される。
従ってビームスプリッタ１８によりレーザ光を２分割し
、ミラー１９を経て干渉計２０へ導き。
、ミラー１９を経て干渉計２０へ導き。
測定対象物２１の変位量Ｘを測定するような干渉系を構
成した時、両干渉計のデッドパスが近く、両光路上の空
気の屈折率分布が同様であれば、この時のレーザ波長は
空気の屈折率変化についても補正されていることになり
、干渉計２０からの干渉縞を光検出器２２で受け、変位
測定装置２３で処理することにより、デッドパスの空気
の屈折率変化に対して安定かつ正確な変位Ｘを測定する
ことができる。
成した時、両干渉計のデッドパスが近く、両光路上の空
気の屈折率分布が同様であれば、この時のレーザ波長は
空気の屈折率変化についても補正されていることになり
、干渉計２０からの干渉縞を光検出器２２で受け、変位
測定装置２３で処理することにより、デッドパスの空気
の屈折率変化に対して安定かつ正確な変位Ｘを測定する
ことができる。
本実施例ではガスレーザの波長安定化法について述べた
が、波長の制御方法を考慮すれば半導体レーザなどの安
定化も可能である。
が、波長の制御方法を考慮すれば半導体レーザなどの安
定化も可能である。
本発明によれば、レーザ波長の環境補正と安定化が同時
に行えるので、装置が簡単化し、使い勝手が向上する。
に行えるので、装置が簡単化し、使い勝手が向上する。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は従来
技術のレーザ波長の安定化法を示す構成図である。 １・・・レーザ発振器、４・・・偏光ビームスプリッタ
、５・・・支持部材、６・・・ミラー、１１変位測定装
置、１２・・・レーザ波長制御装置。 第１図 １−Ｌ−丈磨疎豚 ４−−−イ隔光ヒ”４スフ°リゾタ １１−一一召２イ去５８ノリ貸こ１艷話４１２− し
ず房制、１＃芽置 第２図 １−−−Ｌ−丈パ発キ艮器 Ｚ−Ｌ−丈”ｊ！−：撮像 Ｚ５−綽：ｉ４鍔締武器
技術のレーザ波長の安定化法を示す構成図である。 １・・・レーザ発振器、４・・・偏光ビームスプリッタ
、５・・・支持部材、６・・・ミラー、１１変位測定装
置、１２・・・レーザ波長制御装置。 第１図 １−Ｌ−丈磨疎豚 ４−−−イ隔光ヒ”４スフ°リゾタ １１−一一召２イ去５８ノリ貸こ１艷話４１２− し
ず房制、１＃芽置 第２図 １−−−Ｌ−丈パ発キ艮器 Ｚ−Ｌ−丈”ｊ！−：撮像 Ｚ５−綽：ｉ４鍔締武器
Claims (1)
- １、レーザ共振器の温度や注入電流などを変化させるこ
とによりその発振波長を制御する手段を有するレーザ発
振器において、これより発生するレーザビーム上にビー
ム分割手段を設けてビームを参照光と信号光とに２分割
して信号光路を空気又は真空中に設け、かつ信号光の光
路長が変化しないようにビーム分割手段と信号光を反射
するミラーとを支持部材で保持した干渉系を構成し、こ
の干渉系において発生する干渉光の強度の変化を検出す
る手段を設け、この干渉光の強度が変化しないように前
記発振波長制御手段に信号をフィードバックしてレーザ
波長を安定化することを特徴とする波長安定化レーザ発
振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6337788A JPH01238081A (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 波長安定化レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6337788A JPH01238081A (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 波長安定化レーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01238081A true JPH01238081A (ja) | 1989-09-22 |
Family
ID=13227545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6337788A Pending JPH01238081A (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 波長安定化レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01238081A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6943889B2 (en) * | 2002-07-29 | 2005-09-13 | Jds Uniphase Corporation | Athermal interferometric device |
| EP2180301A3 (en) * | 2008-10-24 | 2012-08-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Wavelength shift measuring apparatus, optical source apparatus, interference measuring apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
-
1988
- 1988-03-18 JP JP6337788A patent/JPH01238081A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6943889B2 (en) * | 2002-07-29 | 2005-09-13 | Jds Uniphase Corporation | Athermal interferometric device |
| EP2180301A3 (en) * | 2008-10-24 | 2012-08-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Wavelength shift measuring apparatus, optical source apparatus, interference measuring apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US8416387B2 (en) | 2008-10-24 | 2013-04-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Wavelength shift measuring apparatus, optical source apparatus, interference measuring apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5185643A (en) | Arrangement for operating a laser diode | |
| EP0646767B1 (en) | Interferometric distance measuring apparatus | |
| JP5226078B2 (ja) | 干渉計装置及びその作動方法 | |
| JP2810956B2 (ja) | 絶対干渉測定方法 | |
| US5493395A (en) | Wavelength variation measuring apparatus | |
| Topcu et al. | Heterodyne interferometric technique for displacement control at the nanometric scale | |
| US5668826A (en) | Electro-optical device comprising a controlled laser diode | |
| US5177566A (en) | Interferometer with environment sensitive static etalon | |
| US6181428B1 (en) | Closed loop fiber optic gyro with shupe effect compensation | |
| US5189677A (en) | Arrangement having two laser diodes for generating light having two wavelengths | |
| JPH09166414A (ja) | 光計測装置 | |
| JPH06174844A (ja) | レーザ測距装置 | |
| JPH01238081A (ja) | 波長安定化レーザ発振器 | |
| JP2725434B2 (ja) | Ｆｍヘテロダイン法を用いたアブソリュート測長方法およびアブソリュート測長器 | |
| CN108627084B (zh) | 一种基于静止的迈克尔逊干涉仪的激光器波长校准系统 | |
| US5396327A (en) | Fiber-optic gyroscope having angular velocity correction | |
| JP2010043984A (ja) | 光波長測定装置 | |
| JP3342055B2 (ja) | ヘテロダイン干渉測長器 | |
| JPH03269302A (ja) | アブソリュート測長器 | |
| JPH0466804A (ja) | アブソリュート測長器 | |
| JPH06117810A (ja) | 外乱補正機能付きアブソリュ−ト測長器 | |
| US8290007B2 (en) | Apparatus and method for stabilizing frequency of laser | |
| JPS61138191A (ja) | レ−ザ−測距方法 | |
| JP3516875B2 (ja) | 干渉計測装置 | |
| JP3344637B2 (ja) | 光干渉式位置計測装置 |