JPH01243388A - セラミックスヒーター - Google Patents
セラミックスヒーターInfo
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- JPH01243388A JPH01243388A JP63070810A JP7081088A JPH01243388A JP H01243388 A JPH01243388 A JP H01243388A JP 63070810 A JP63070810 A JP 63070810A JP 7081088 A JP7081088 A JP 7081088A JP H01243388 A JPH01243388 A JP H01243388A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/56—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides
- C04B35/565—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides based on silicon carbide
-
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、２種類の導電性化合物を含み、残部が主とし
て窒化珪素および／またはサイアロンからなる導電性セ
ラミックス焼結体製のヒーターに関するものである。
て窒化珪素および／またはサイアロンからなる導電性セ
ラミックス焼結体製のヒーターに関するものである。
αまたはβＳｉ３Ｎ４を主成分とする窒化珪素および５
ｉｓ−ｚＡｌ、Ｏ２Ｎ、−、（ｚ ＝０−４．２）で示
されるβサイアロン、ＭＸ（ＳｉＩＡｌ）１２（ＯＩＮ
）ｔｓ（Ｘ＜２９ＭはＬｉ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｙ、希土類元
素（Ｌａ、Ｃｅ除く）〕で示されるαサイアロン、およ
びこれらの複合したα＋βサイアロンからなるサイアロ
ンは、高温強度および耐酸化性に優れ、熱膨張係数が小
さく耐熱衝撃性が非常に良いため、近年種々の分野にお
いて利用されている。また一方で、これらは極めて廻加
工性材料でもあるため、その対策として放電加工を可能
とするために導電性を付与するとの提案もなされている
（特開昭５７−１８８４５３号公報、特開昭５７−２０
０２５５号公報、特開昭５９−２０７８８１号公報。
ｉｓ−ｚＡｌ、Ｏ２Ｎ、−、（ｚ ＝０−４．２）で示
されるβサイアロン、ＭＸ（ＳｉＩＡｌ）１２（ＯＩＮ
）ｔｓ（Ｘ＜２９ＭはＬｉ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｙ、希土類元
素（Ｌａ、Ｃｅ除く）〕で示されるαサイアロン、およ
びこれらの複合したα＋βサイアロンからなるサイアロ
ンは、高温強度および耐酸化性に優れ、熱膨張係数が小
さく耐熱衝撃性が非常に良いため、近年種々の分野にお
いて利用されている。また一方で、これらは極めて廻加
工性材料でもあるため、その対策として放電加工を可能
とするために導電性を付与するとの提案もなされている
（特開昭５７−１８８４５３号公報、特開昭５７−２０
０２５５号公報、特開昭５９−２０７８８１号公報。
特開昭６０−３３２６５号公報など）、また、これらを
ヒーター材として用いるとの提案もなされている（特開
昭６０−６０９８３号公報、特開昭６２−１４０３８６
号公報など）。
ヒーター材として用いるとの提案もなされている（特開
昭６０−６０９８３号公報、特開昭６２−１４０３８６
号公報など）。
上記の導電性を有する窒化珪素またはサイアロンは導電
性化合物としてＩＶａ、Ｖａ、ＶＩａ族の遷移金属元素
の炭化物、窒化物などを使用する。これらの化合物は一
般に高融点であるため、高温での焼結においても変質す
ることはない、しかし、これらの化合物は、窒化珪素ま
たはサイアロンに比べ耐酸化性が悪いという問題点があ
り、これにより最高使用温度が制限される場合もある。
性化合物としてＩＶａ、Ｖａ、ＶＩａ族の遷移金属元素
の炭化物、窒化物などを使用する。これらの化合物は一
般に高融点であるため、高温での焼結においても変質す
ることはない、しかし、これらの化合物は、窒化珪素ま
たはサイアロンに比べ耐酸化性が悪いという問題点があ
り、これにより最高使用温度が制限される場合もある。
また、これらの化合物は電気抵抗率が１０−５Ω・１オ
ーダーのものが多く、このため例えばヒーター材として
１０゛３Ω・１以上の高い電気抵抗率を得ようとした場
合、ｉｌｉ気抵抗抵抗率激に変化する部分となり。
ーダーのものが多く、このため例えばヒーター材として
１０゛３Ω・１以上の高い電気抵抗率を得ようとした場
合、ｉｌｉ気抵抗抵抗率激に変化する部分となり。
安定したバラツキの少ない電気抵抗率の値を得ることは
極めて困難であり、これが実用化の大きな妨げとなって
いる。ここでバラツキとは、ロフト間のバラツキ、焼結
体間のバラツキ、焼結体内部のバラツキを示す。
極めて困難であり、これが実用化の大きな妨げとなって
いる。ここでバラツキとは、ロフト間のバラツキ、焼結
体間のバラツキ、焼結体内部のバラツキを示す。
以上のように、従来提案されている導電性を有する窒化
珪素またはサイアロンは優れた材料ではあるが、上記の
ような問題点も有しているものである。
珪素またはサイアロンは優れた材料ではあるが、上記の
ような問題点も有しているものである。
本発明は、以上の問題点に鑑み耐酸化性に優れ、かつ高
電気抵抗域における抵抗率のバラツキが少ないセラミッ
クス焼結体製のヒーターを提供するものである。
電気抵抗域における抵抗率のバラツキが少ないセラミッ
クス焼結体製のヒーターを提供するものである。
本発明者は、前記問題点を解決するために種々の導電性
化合物について検討を行なった結果、従来から用いられ
ているＩＶａ、ＶａおよびＶＩａ族の酸化物、窒化物等
からなる導電性化合物とＳｉＣとを共に添加することに
より、耐酸化性および高電気抵抗域における電気抵抗率
のバラツキ改善をなし得ることを知見し５本発明を完成
するに至った。
化合物について検討を行なった結果、従来から用いられ
ているＩＶａ、ＶａおよびＶＩａ族の酸化物、窒化物等
からなる導電性化合物とＳｉＣとを共に添加することに
より、耐酸化性および高電気抵抗域における電気抵抗率
のバラツキ改善をなし得ることを知見し５本発明を完成
するに至った。
すなわち本発明は、窒化珪素系セラミックスを母材とし
第１の導電性化合物として０．１〜５０ｖｏｌ％のＳｉ
Ｃ、ならびに第２の導電性化合物として１０〜７０ｖｏ
ｌ％のＮａ、ＶａおよびＶＩａ族の遷移金属元素の炭化
物、窒化物および酸化物の１種または２種以上の化合物
を１種以上含む導電性セラミックス焼結体からなること
を特徴とするセラミックスヒーターである。
第１の導電性化合物として０．１〜５０ｖｏｌ％のＳｉ
Ｃ、ならびに第２の導電性化合物として１０〜７０ｖｏ
ｌ％のＮａ、ＶａおよびＶＩａ族の遷移金属元素の炭化
物、窒化物および酸化物の１種または２種以上の化合物
を１種以上含む導電性セラミックス焼結体からなること
を特徴とするセラミックスヒーターである。
ＳｉＣはその焼結体特性より明らかなように、耐酸化性
に極めて優れた材料であり、しかも電気抵抗率は１０１
〜１０４Ω・Ｇ程度の半導体的な性質を有している。
に極めて優れた材料であり、しかも電気抵抗率は１０１
〜１０４Ω・Ｇ程度の半導体的な性質を有している。
本発明においては、以上のような性質を有するＳｉＣと
ｒＶａ、Ｖａ、ＶＩａ族の炭化物、窒化物等の化合物を
複合添加することにより、従来の導電性を有する窒化珪
素またはサイアロンの問題点を改善したヒーターを製造
することが可能となった。本発明は窒化珪素、サイアロ
ンに広く適用できるものであり、サイアロンについても
αサイアロン。
ｒＶａ、Ｖａ、ＶＩａ族の炭化物、窒化物等の化合物を
複合添加することにより、従来の導電性を有する窒化珪
素またはサイアロンの問題点を改善したヒーターを製造
することが可能となった。本発明は窒化珪素、サイアロ
ンに広く適用できるものであり、サイアロンについても
αサイアロン。
βサイアロン、α＋βサイアロンのいずれであっても所
定の効果を得ることができる。なお、βサイフロンにあ
っては、ｚく１の場合常温、高温強度が優れ、硬さ、靭
性も高いものとなるので望ましい。
定の効果を得ることができる。なお、βサイフロンにあ
っては、ｚく１の場合常温、高温強度が優れ、硬さ、靭
性も高いものとなるので望ましい。
ＩＶａ、Ｖａ、ＶＩａ族の遷移金属元素の化合物として
は、種々のものを選ぶことが可能であるが。
は、種々のものを選ぶことが可能であるが。
ＴｉＮを用いる場合には、焼結性、強度、耐酸化性等の
面から好ましい結果が得られる。ＳｉＣの添加量を０．
１〜５０ｖｏｌ％とするのは、０．１ｖｏｌ％未満では
本発明の効果が期待できず、５０ｖｏｌ％を越えると焼
結性が低下し、緻密な焼結体を得ることが困難となるか
らである。さらに好ましくは３〜３０ｖｏｌ％である。
面から好ましい結果が得られる。ＳｉＣの添加量を０．
１〜５０ｖｏｌ％とするのは、０．１ｖｏｌ％未満では
本発明の効果が期待できず、５０ｖｏｌ％を越えると焼
結性が低下し、緻密な焼結体を得ることが困難となるか
らである。さらに好ましくは３〜３０ｖｏｌ％である。
また、ＩＶａ、Ｖａ、ＶＩａ族の遷移金属元素の化合物
量を１０〜７０ｖｏｌ％とするのは、１Ｏｖｏｌ％未満
では十分な導電性を得ることができず、また７０シｏ１
％を越えると焼結性が低下し、また窒化珪素およびサイ
アロンの本来持つ特性である高温特性が低下するためで
ある。さらに好ましくは１５〜５０ｖｏＬ％である。
量を１０〜７０ｖｏｌ％とするのは、１Ｏｖｏｌ％未満
では十分な導電性を得ることができず、また７０シｏ１
％を越えると焼結性が低下し、また窒化珪素およびサイ
アロンの本来持つ特性である高温特性が低下するためで
ある。さらに好ましくは１５〜５０ｖｏＬ％である。
上記の本発明導電性セラミックス焼結体製ヒーターは、
次のような製造方法により得ることができる。すなわち
Ｓｉ、Ｎ、粉末、Ａｌ、０３粉末、ＡＩＮ粉末、 ｎｌ
ａ族元素の酸化物粉末、ＭｇＯ粉末等を所定の窒化珪素
および／またはサイアロンとなるように配合し、これら
に対し第１の導電性化合物であるＳｉＣ粉末と第２の導
電性化合物であるＩＶａ、Ｖａ、ＶＩａ族の遷移金属元
素の炭化物、窒化物、酸化物等のうち１種または２種以
上の化合物粉末を１種以上所定量添加し、混合、所定の
形状への成形の後、非酸化性雰囲気中で焼結する。
次のような製造方法により得ることができる。すなわち
Ｓｉ、Ｎ、粉末、Ａｌ、０３粉末、ＡＩＮ粉末、 ｎｌ
ａ族元素の酸化物粉末、ＭｇＯ粉末等を所定の窒化珪素
および／またはサイアロンとなるように配合し、これら
に対し第１の導電性化合物であるＳｉＣ粉末と第２の導
電性化合物であるＩＶａ、Ｖａ、ＶＩａ族の遷移金属元
素の炭化物、窒化物、酸化物等のうち１種または２種以
上の化合物粉末を１種以上所定量添加し、混合、所定の
形状への成形の後、非酸化性雰囲気中で焼結する。
ここで焼結は常圧焼結、ガス圧焼結、ＨＩＰ焼結、ホッ
トプレス等の各種方法を選ぶことができる。
トプレス等の各種方法を選ぶことができる。
焼結の雰囲気は非酸化性雰囲気で行なうことが好ましく
、Ｎ２ガス雰囲気、加圧Ｎ、ガス雰囲気、減圧Ｎ２ガス
雰囲気、Ｎ２を含む不活性ガス雰囲気等必要に応じ各種
の条件で焼結を行なうことが可能である。
、Ｎ２ガス雰囲気、加圧Ｎ、ガス雰囲気、減圧Ｎ２ガス
雰囲気、Ｎ２を含む不活性ガス雰囲気等必要に応じ各種
の条件で焼結を行なうことが可能である。
なお、ＩＶａ、Ｖａ、ＶＩａ族の遷移金属元素の化合物
は、焼結中にそれらの化合物に変化するものを原料とし
て用いることもできる。
は、焼結中にそれらの化合物に変化するものを原料とし
て用いることもできる。
また、焼結後にＨＩＰ処理によりさらに特性の向上を図
ったり、熱処理を行ない粒界相を結晶化させたりするこ
とも可能である。
ったり、熱処理を行ない粒界相を結晶化させたりするこ
とも可能である。
なお、特開昭５９−２０７８８１号にはＩＶａ、Ｖａ、
ＶＩａ族の窒化物等とＳｉＣの複合化の可能性は開示さ
れているが、具体的実施例の記載もなく、また本願発明
の効果の記載もないから本願発明の進歩性を否定するも
のではない。
ＶＩａ族の窒化物等とＳｉＣの複合化の可能性は開示さ
れているが、具体的実施例の記載もなく、また本願発明
の効果の記載もないから本願発明の進歩性を否定するも
のではない。
以下、本発明を実施例に基づいてさらに詳しく説明する
。
。
実施例Ｉ
ＳＬ、Ｎ４粉末（粒度０．７μ糟、α化率９３％）、Ｙ
２Ｏ。
２Ｏ。
粉末（粒度１ ｐ ｍ、９９．９９％）、ＡＩＮ粉末（
粒度１ｐｎ＋）、Ａ１□０．粉末（粒度０．５μｍ、９
９．５％）を用い、焼結体の２の値が０．４となるよう
に配合した。ここでＹ２Ｏ、量は６％１ｔ％一定とした
。これに対し、ＴｉＮ粉末（粒度１．５μｍ）を２５ν
ｏ１％添加し、さらにＳｉＣ粉末（粒度０．７μ＋ｍ）
をＯ〜６０ｖｏｌ％添加し、原料粉末とした。
粒度１ｐｎ＋）、Ａ１□０．粉末（粒度０．５μｍ、９
９．５％）を用い、焼結体の２の値が０．４となるよう
に配合した。ここでＹ２Ｏ、量は６％１ｔ％一定とした
。これに対し、ＴｉＮ粉末（粒度１．５μｍ）を２５ν
ｏ１％添加し、さらにＳｉＣ粉末（粒度０．７μ＋ｍ）
をＯ〜６０ｖｏｌ％添加し、原料粉末とした。
これらを混合成形の後、１７５０℃、５時間、１気圧窒
素中で焼結した。得られた焼結体の特性を第１表に示す
。
素中で焼結した。得られた焼結体の特性を第１表に示す
。
第１表よりＳｉＣの添加により耐酸化性が向上可能であ
ることがわかる。また、ＳｉＣ添加量が５０ｖｏｌ％を
越えた場合には焼結性が低下する。
ることがわかる。また、ＳｉＣ添加量が５０ｖｏｌ％を
越えた場合には焼結性が低下する。
実施例２
実施例１と同様の粉末を用い、Ｓｉ、Ｎ４粉末に対しＹ
２Ｏ３粉末とＡＩＮ粉末を５Ｌ３Ｎ、に対しくＹ２Ｏ，
＋９ＡＩＮ）が２０ｍｏ１％添加した。これに対しＳｉ
Ｃを２０ｖｏｌ％添加し、さらにＴ ｉ Ｎを５−８０
ｖｏｌ％添加したものを原料粉末とした。これらを混合
成形の後、１７３０℃、４時間、５気圧窒素中で焼結し
た。
２Ｏ３粉末とＡＩＮ粉末を５Ｌ３Ｎ、に対しくＹ２Ｏ，
＋９ＡＩＮ）が２０ｍｏ１％添加した。これに対しＳｉ
Ｃを２０ｖｏｌ％添加し、さらにＴ ｉ Ｎを５−８０
ｖｏｌ％添加したものを原料粉末とした。これらを混合
成形の後、１７３０℃、４時間、５気圧窒素中で焼結し
た。
得られた焼結体の特性を第２表に示す。
第２表よりＴｉＮ添加量は、１０〜７０ｖｏｌ％におい
て良好な特性が得られることがわかる。
て良好な特性が得られることがわかる。
実施例３
実施例１と同様の粉末およびＭｇＯ粉末（平均粒径１．
０μｍ）を用いて各種組成のＳ ｉ３Ｎいサイアロンを
配合した。これに対しＳｉＣ１５ｖｏｌ％とＴｉＮ２５
ｖｏｌ％を加え、これを原料粉末とした。これらを混合
成形の後、各種焼結条件にて焼結した。得られた焼結体
の特性を第３表に示す。
０μｍ）を用いて各種組成のＳ ｉ３Ｎいサイアロンを
配合した。これに対しＳｉＣ１５ｖｏｌ％とＴｉＮ２５
ｖｏｌ％を加え、これを原料粉末とした。これらを混合
成形の後、各種焼結条件にて焼結した。得られた焼結体
の特性を第３表に示す。
第３表
実施例４
実施例１と同様の粉末およびＩＶａ、Ｖａ、ＶＩａ族の
遷移金属の化合物粉末（平均粒径１．５−３．０μｍ）
を用い、Ｚ＝Ｏ，Ｓのβサイアロンとなるような組成に
配合した（ＹｓＯｉ量は７＋＋＋ｏ１％）、これに対し
、各種化合物粉末を３０ｖｏｌ％添加し、さらにＳｉＣ
粉末を１５ｖｏｌ％添加し、これを原料粉末とした。こ
れらを混合、成形の後１７００〜１８００℃、３〜６時
間、１気圧窒素雰囲気中で焼結した。得られる焼結体の
特性を第４表に示す。
遷移金属の化合物粉末（平均粒径１．５−３．０μｍ）
を用い、Ｚ＝Ｏ，Ｓのβサイアロンとなるような組成に
配合した（ＹｓＯｉ量は７＋＋＋ｏ１％）、これに対し
、各種化合物粉末を３０ｖｏｌ％添加し、さらにＳｉＣ
粉末を１５ｖｏｌ％添加し、これを原料粉末とした。こ
れらを混合、成形の後１７００〜１８００℃、３〜６時
間、１気圧窒素雰囲気中で焼結した。得られる焼結体の
特性を第４表に示す。
第４表
実施例５
実施例１と同様の粉末を用い、Ｚ＝０．４のβサイアロ
ンとなるような組成に配合した（ｙ、ｏ、量は６ｍｏ１
％）、これに対し、ＴｉＮ粉末を２Ｏ−３０ｖｏｌ％と
ＳｉＣ粉末を０〜２０ｖｏｌ％添加したものを原料粉末
とし、混合、成形の後、１７５０℃×３時間、１気圧窒
素雰囲気中で焼結した。得られた焼結体の相対密度、電
気抵抗率およびバラツキを第５表に示す。
ンとなるような組成に配合した（ｙ、ｏ、量は６ｍｏ１
％）、これに対し、ＴｉＮ粉末を２Ｏ−３０ｖｏｌ％と
ＳｉＣ粉末を０〜２０ｖｏｌ％添加したものを原料粉末
とし、混合、成形の後、１７５０℃×３時間、１気圧窒
素雰囲気中で焼結した。得られた焼結体の相対密度、電
気抵抗率およびバラツキを第５表に示す。
ここでバラツキは、多数の粉末ロットからとった焼結体
間のバラツキを示す。
間のバラツキを示す。
これより、ＳｉＣを添加することにより電気抵抗率のバ
ラツキを小さくすることが可能であることがわかる。
ラツキを小さくすることが可能であることがわかる。
実施例６
実施例１と同様の粉末を用いてＺ＝０．３のβサイアロ
ンとなるように配合した（ ｙ ａ ｏ−量は５ｗｔ％
）。
ンとなるように配合した（ ｙ ａ ｏ−量は５ｗｔ％
）。
これに対しＴｉＮおよびＳｉＣを第６表記載の景添加し
、これを原料粉末とした。これらを混合の後第１図のヒ
ーター形状（第１＠（ａ）上面図、（ｂ）側面図）に成
形し、１７５０〜１８５０℃、４〜６時間、５気圧窒素
雰囲気中で焼結した。得られたヒーターにつき電気抵抗
およびその分布範囲を測定した。ここで測定個数は各１
００ケとした。結果を第６表に示す（電気抵抗（Ω）は
平均値）。
、これを原料粉末とした。これらを混合の後第１図のヒ
ーター形状（第１＠（ａ）上面図、（ｂ）側面図）に成
形し、１７５０〜１８５０℃、４〜６時間、５気圧窒素
雰囲気中で焼結した。得られたヒーターにつき電気抵抗
およびその分布範囲を測定した。ここで測定個数は各１
００ケとした。結果を第６表に示す（電気抵抗（Ω）は
平均値）。
第６表
以上より本発明のヒーターを用いれば、従来のＳｉＣを
添加しないものに比べ、電気抵抗率のバラツキを大幅に
減少することができることがわかる。
添加しないものに比べ、電気抵抗率のバラツキを大幅に
減少することができることがわかる。
実施例７
実施例６のＴ ｉ Ｎ量２６ｖｏｌ％、ＳｉＣ量１．５
ｖｏｌ％の材料にて作製したヒーターを直流電源に接続
し、１１Ｖを加えて通電し先端部の温度を測定した。結
果を第２図に示す。
ｖｏｌ％の材料にて作製したヒーターを直流電源に接続
し、１１Ｖを加えて通電し先端部の温度を測定した。結
果を第２図に示す。
これより本ヒーターは速熱性を有することがわかる。
以上の実施例により、本発明のＳｉＣとｒＶａ、Ｖａ、
ＶＩａ族の遷移金属元素の化合物の複合添加により得ら
れた導電性を有する窒化珪素またはサイアロン焼結体製
のヒーターはＳｉＣを添加しない従来の焼結体製のヒー
ターに比べ、耐酸化性の改善および高抵抗側での電気抵
抗率のバラツキの抑制が可能となることがわかる。
ＶＩａ族の遷移金属元素の化合物の複合添加により得ら
れた導電性を有する窒化珪素またはサイアロン焼結体製
のヒーターはＳｉＣを添加しない従来の焼結体製のヒー
ターに比べ、耐酸化性の改善および高抵抗側での電気抵
抗率のバラツキの抑制が可能となることがわかる。
さらに本発明によるヒーターは高密度、高強度の特性を
有するため、ヒーター形状は前記した形状に限らず棒状
、板状などの構造にすることも可能である。
有するため、ヒーター形状は前記した形状に限らず棒状
、板状などの構造にすることも可能である。
本発明により、従来の導電性を有する窒化珪素、サイア
ロン製ヒーターにおいて最大の問題であった、耐酸化性
および高抵抗側での電気抵抗率のバラツキを著しく改善
することができる。これにより、従来材では不可能であ
った高温用途への適用が可能となる他、高抵抗側での電
気的性質を利用した分野への適用が可能となる。
ロン製ヒーターにおいて最大の問題であった、耐酸化性
および高抵抗側での電気抵抗率のバラツキを著しく改善
することができる。これにより、従来材では不可能であ
った高温用途への適用が可能となる他、高抵抗側での電
気的性質を利用した分野への適用が可能となる。
第１図は実施例に基づいたヒーターの形状を示す図、第
２図は本発明の実施例になるヒーターの昇温特性を示す
図である。 出願人 日立金属株式会社 、 ＋。 −５″ 第１図 第２図 通電時間（ｓｅｃ）
２図は本発明の実施例になるヒーターの昇温特性を示す
図である。 出願人 日立金属株式会社 、 ＋。 −５″ 第１図 第２図 通電時間（ｓｅｃ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 窒化珪素系セラミックスを母材とし第１の導電性化
合物として０．１〜５０ｖｏｌ％のＳｉＣ、ならびに第
２の導電性化合物として１０〜７０ｖｏｌ％のIVａ、Ｖ
ａおよびVIａ族の遷移金属元素の炭化物、窒化物および
酸化物の１種または２種以上の化合物を１種以上含む導
電性セラミックス焼結体からなることを特徴とするセラ
ミックスヒーター。 ２ 窒化珪素系セラミックスがαまたはβ Ｓｉ＿３Ｎ＿４を主体とする窒化珪素である特許請求の
範囲第１項記載のセラミックスヒーター。 ３ 窒化珪素系セラミックスがサイアロンである特許請
求の範囲第１項記載のセラミックスヒータ４ 第２の導
電性化合物がＴｉＮである特許請求の範囲第１項ないし
第３項いずれかに記載のセラミックスヒーター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63070810A JPH01243388A (ja) | 1988-03-24 | 1988-03-24 | セラミックスヒーター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63070810A JPH01243388A (ja) | 1988-03-24 | 1988-03-24 | セラミックスヒーター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01243388A true JPH01243388A (ja) | 1989-09-28 |
Family
ID=13442295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63070810A Pending JPH01243388A (ja) | 1988-03-24 | 1988-03-24 | セラミックスヒーター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01243388A (ja) |
-
1988
- 1988-03-24 JP JP63070810A patent/JPH01243388A/ja active Pending
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