JPH01246400A - 白金探針の電解研磨方法 - Google Patents
白金探針の電解研磨方法Info
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- JPH01246400A JPH01246400A JP7108488A JP7108488A JPH01246400A JP H01246400 A JPH01246400 A JP H01246400A JP 7108488 A JP7108488 A JP 7108488A JP 7108488 A JP7108488 A JP 7108488A JP H01246400 A JPH01246400 A JP H01246400A
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Landscapes
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ＦＥ−３ＥＭ、ＳＴＭ、イオンビーム電極に
利用される鋭い先端を有する探針の製造方法に関するも
のである。
利用される鋭い先端を有する探針の製造方法に関するも
のである。
本発明は、電解研磨法を利用した鋭い先端を有する探針
の作製において、白金探針材料をまずシアン化ナトリウ
ム、シアン化カリウム溶液にて一次研磨を行い探針形状
に一次整形し、次に硫酸、硝酸、およびリン酸の混酸に
て二次研磨を行い先端部を鋭利化するという二段研磨法
とすることにより、白金材料の研磨における研磨速度結
晶面異方性による形状のバラツキ等がなく常に同一の円
錐形状で先端鋭利度も高い白金探針の作製を可能にした
。
の作製において、白金探針材料をまずシアン化ナトリウ
ム、シアン化カリウム溶液にて一次研磨を行い探針形状
に一次整形し、次に硫酸、硝酸、およびリン酸の混酸に
て二次研磨を行い先端部を鋭利化するという二段研磨法
とすることにより、白金材料の研磨における研磨速度結
晶面異方性による形状のバラツキ等がなく常に同一の円
錐形状で先端鋭利度も高い白金探針の作製を可能にした
。
（従来の技術〕
従来、鋭い先端を有する探針を電解研磨法で作ることは
、Ｗ、ＴｉＣ，Ｔａなどで行われており、白金について
は、一部シアン化物溶液での電解で研磨されることが知
られていた。（第１図参照）〔発明が解決しようとする
課題〕 しかしながら、白金の電解研磨については、Ｗ。
、Ｗ、ＴｉＣ，Ｔａなどで行われており、白金について
は、一部シアン化物溶液での電解で研磨されることが知
られていた。（第１図参照）〔発明が解決しようとする
課題〕 しかしながら、白金の電解研磨については、Ｗ。
Ｔｔｃ、’ｒａなどと違って白金探針材料の結晶粒が大
きいため、結晶粒界で選択的に研磨され、研磨速度の結
晶面異方性による形状のバラツキがあり、先端が鋭利化
しにくいなど再現性に乏しい問題があった０本発明はこ
のような欠点を除去し、常に同一の鋭い先端を有する白
金探針の製造方法を提供することを目的とする。
きいため、結晶粒界で選択的に研磨され、研磨速度の結
晶面異方性による形状のバラツキがあり、先端が鋭利化
しにくいなど再現性に乏しい問題があった０本発明はこ
のような欠点を除去し、常に同一の鋭い先端を有する白
金探針の製造方法を提供することを目的とする。
本発明では、白金探針材料の電解研磨法について種々検
討したところ、硫酸、硝酸およびリン酸の混酸で電解す
ることにより白金探針材料の結晶粒の影響が少なく良好
な研磨仕上りを得ることが確認されたものである。ただ
し、この電解研磨法は、探針先端がある程度鋭角にして
おかないと鋭利化が進行しないことより、電解にあたっ
ては、シアン化ナトリウム、シアン化カリウム？９１で
の一次電解研磨を経て、上記混酸で電解研磨を行う二段
電解研磨法にしたものである。
討したところ、硫酸、硝酸およびリン酸の混酸で電解す
ることにより白金探針材料の結晶粒の影響が少なく良好
な研磨仕上りを得ることが確認されたものである。ただ
し、この電解研磨法は、探針先端がある程度鋭角にして
おかないと鋭利化が進行しないことより、電解にあたっ
ては、シアン化ナトリウム、シアン化カリウム？９１で
の一次電解研磨を経て、上記混酸で電解研磨を行う二段
電解研磨法にしたものである。
このような二段電解研磨において、−段目のシアン化ナ
トリウム、シアン化カリウム溶液の電解は、白金探針材
料の先端をある程度鋭利化させマクロ的な針形状にした
後、二段目の混酸電解でより先端を鋭利化させ、再現性
のある白金探針の製造を可能にするものである。
トリウム、シアン化カリウム溶液の電解は、白金探針材
料の先端をある程度鋭利化させマクロ的な針形状にした
後、二段目の混酸電解でより先端を鋭利化させ、再現性
のある白金探針の製造を可能にするものである。
〔実施例〕
以下実施例により本発明の詳細な説明する。
（実施例−１）
探針材料として、０．３龍φの純白金線を用い脱脂水洗
した後、探針材料の先端部をＫＣＮＮ液に浸漬し一段目
の電解研磨を行った。
した後、探針材料の先端部をＫＣＮＮ液に浸漬し一段目
の電解研磨を行った。
（−段目電解条件〉
電解液 ： ＩＭ ＫＣＮ
電解電圧 ： ＡＣ２〜２０Ｖ
極 板 ： 白金
電解時間 ： ３〜２０分
次に、水洗後下記に示す混酸で二段目の電解研磨を行い
鋭い先端をもった白金探針を得た。
鋭い先端をもった白金探針を得た。
く二段目電解条件）
電解液組成
硫 酸 ＝ １容
硝 酸 ： １容
リン酸 ＝ １容
電解電圧 ： ＡＣ２〜２０Ｖ
極 板 ： 白金
電解時間 ： １〜６０分
この時の電解電圧、および時間を変えることにより探針
先端の鋭利度を任意のものにＭｉｉｉすることが可能で
ある。
先端の鋭利度を任意のものにＭｉｉｉすることが可能で
ある。
このようにして形成された白金探針は、先端の再現性も
高く探針としての性能も安定したものであった。（第２
図参照） （実施例−２） 探針材料として、０．３ ｗφの純白金線を用い脱脂水
洗した後、探針材料の先端部をＮａ ｃＮ溶液に浸漬し
一段目の電解研磨を行った。
高く探針としての性能も安定したものであった。（第２
図参照） （実施例−２） 探針材料として、０．３ ｗφの純白金線を用い脱脂水
洗した後、探針材料の先端部をＮａ ｃＮ溶液に浸漬し
一段目の電解研磨を行った。
〈−段目電解条件〉
電解液 ： ＩＭ ＮａｃＮ
電解電圧 ： ＡＣ２〜２０Ｖ
極 板 ： 白金
電解時間 ： ３〜２０分
次に、水洗後下記に示す混酸で二段目の電解研磨を行い
鋭い先端をもった白金探針を得た。
鋭い先端をもった白金探針を得た。
（二段目電解条件）
電解液組成
硫 酸 ： ｌ容
硝 酸 ： １容
リン酸 ： ２容
電解電圧 ？ ＡＣ２〜２０Ｖ
極 板 ： 白金
電解時間 ： １〜６０分
この時の電解電圧および時間を変えることにより、探針
先端の鋭利度を任意に制御することが可能である。
先端の鋭利度を任意に制御することが可能である。
このようにして得た探針は、実施例−１と同様先端の再
現性も高く探針としての性能も安定したものであった。
現性も高く探針としての性能も安定したものであった。
（実施例−３）
実施例−１と同様にＫＣＮ液での一段目電解研磨した０
、３龍φの白金探針を、下記に示す混酸で二段目の電解
研磨を行った。
、３龍φの白金探針を、下記に示す混酸で二段目の電解
研磨を行った。
く二段目電解条件〉
電解液組成
硫 酸 ：１０％
硝 酸 ： ５％
リン酸 ：１０％
電解電圧 ： ＡＣ２〜２０Ｖ
極 板 ： 白金
電解時間 ： １〜６０分
この時の電解電圧および時間を変え探針先端の鋭利度を
制御することが可能である。
制御することが可能である。
このようにして得られた白金探針は、実施例−１と同様
先端の再現性も高く、探針としての性能も安定したもの
であった。
先端の再現性も高く、探針としての性能も安定したもの
であった。
以−上述べてきたように本発明によれば、従来になく鋭
い先端を有する白金探針を再現性よく製造する方法を提
供できるものである。
い先端を有する白金探針を再現性よく製造する方法を提
供できるものである。
本発明の電解条件については、上述実施例の他、−段目
電解液（シアン化ナトリウム、シアン化カリウム）の濃
度は、条件を選ぶことによりどの範囲でも使用できるが
、研磨速度などから０．３〜５Ｍの濃度が望ましい、ま
た混酸の組成比については、水分を含まない硫酸、硝酸
、リン酸からなる混酸が好ましいが、硫酸１０％以上、
硝酸５％以上、リン酸１０％以上のものであれば良好な
研摩効果が得られるものである。また更に、本発明での
二段電解研磨後、酸液での陰Ｉｆｉ電解による表面調整
することも可能である。
電解液（シアン化ナトリウム、シアン化カリウム）の濃
度は、条件を選ぶことによりどの範囲でも使用できるが
、研磨速度などから０．３〜５Ｍの濃度が望ましい、ま
た混酸の組成比については、水分を含まない硫酸、硝酸
、リン酸からなる混酸が好ましいが、硫酸１０％以上、
硝酸５％以上、リン酸１０％以上のものであれば良好な
研摩効果が得られるものである。また更に、本発明での
二段電解研磨後、酸液での陰Ｉｆｉ電解による表面調整
することも可能である。
第１図は従来法によるシアン化物溶液による電解研磨後
の白金探針外観図、第２図は本発明の実施例における混
酸による電解研磨後の外観図である。 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 衾属顕微鏡写真 Ｘ１ｏＯ 第２図 手続ネ市正書勧式） １、事件の表示 昭和６３年 特 許Ｗｉ 第 ７１０８４号２、発明
の名称 白金探針の電解ｖＩ磨方法 ３、補正をする考 事に［との関係 出願人 ４、補正命令の日付 昭和６３年 ６月２８日 ５、補正の対象 ６、補正の内容
の白金探針外観図、第２図は本発明の実施例における混
酸による電解研磨後の外観図である。 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 衾属顕微鏡写真 Ｘ１ｏＯ 第２図 手続ネ市正書勧式） １、事件の表示 昭和６３年 特 許Ｗｉ 第 ７１０８４号２、発明
の名称 白金探針の電解ｖＩ磨方法 ３、補正をする考 事に［との関係 出願人 ４、補正命令の日付 昭和６３年 ６月２８日 ５、補正の対象 ６、補正の内容
Claims (1)
- 白金探針材料をシアン化ナトリウム、シアン化カリウム
溶液にて一次電解研磨を行い、次に硫酸、硝酸およびリ
ン酸の混酸にて二次電解研磨を行うことを特徴とする白
金探計の電解研磨方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7108488A JP2673695B2 (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 | 白金探針の電解研磨方法 |
| US07/328,029 US5035780A (en) | 1988-03-25 | 1989-03-23 | Method of manufacturing a platinum tip |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7108488A JP2673695B2 (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 | 白金探針の電解研磨方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01246400A true JPH01246400A (ja) | 1989-10-02 |
| JP2673695B2 JP2673695B2 (ja) | 1997-11-05 |
Family
ID=13450307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7108488A Expired - Fee Related JP2673695B2 (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 | 白金探針の電解研磨方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2673695B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0679533A (ja) * | 1992-09-02 | 1994-03-22 | Nishiyama Stainless Chem Kk | 複合電解研磨方法 |
-
1988
- 1988-03-25 JP JP7108488A patent/JP2673695B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0679533A (ja) * | 1992-09-02 | 1994-03-22 | Nishiyama Stainless Chem Kk | 複合電解研磨方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2673695B2 (ja) | 1997-11-05 |
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