JPH02138499A - 白金探針の加工方法 - Google Patents
白金探針の加工方法Info
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- JPH02138499A JPH02138499A JP28906488A JP28906488A JPH02138499A JP H02138499 A JPH02138499 A JP H02138499A JP 28906488 A JP28906488 A JP 28906488A JP 28906488 A JP28906488 A JP 28906488A JP H02138499 A JPH02138499 A JP H02138499A
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ＳＴＭに利用する鋭い先端を有する白金探針
の加工方法に関するものである。
の加工方法に関するものである。
本発明は、電解研磨法により鋭い先端を有する白金探針
の加工において、研磨する白金材料の成分、および結晶
粒径を制御することにより探針先端形状が鋭利でかつ再
現性にすぐれた白金探針の加工を可能にしたものである
。
の加工において、研磨する白金材料の成分、および結晶
粒径を制御することにより探針先端形状が鋭利でかつ再
現性にすぐれた白金探針の加工を可能にしたものである
。
鋭い先端を有する探針を作る方法として機械研磨、電解
研磨がある。電解研磨法は、Ｗ、’ｒ’１ｃＴａなどで
実用化されている。ｐｔについては、一部シアン化浴で
の電解研磨が知られていた。
研磨がある。電解研磨法は、Ｗ、’ｒ’１ｃＴａなどで
実用化されている。ｐｔについては、一部シアン化浴で
の電解研磨が知られていた。
しかしながら、従来の機械研磨では鋭い先端を有する探
針を作成するには限界があった。また、Ｐｔの電解研磨
については、Ｗ、 Ｔ ｉ Ｃ，Ｔ ａなどに比べ、結
晶粒などの材料的な影響があり、良好な研磨が得られな
いという問題があった。
針を作成するには限界があった。また、Ｐｔの電解研磨
については、Ｗ、 Ｔ ｉ Ｃ，Ｔ ａなどに比べ、結
晶粒などの材料的な影響があり、良好な研磨が得られな
いという問題があった。
本発明は、これらの問題点を除去し鋭利な先端形状を有
する探針を電解研磨法により、再現性よく提供すること
を目的とする。
する探針を電解研磨法により、再現性よく提供すること
を目的とする。
本発明では、白金探針の電解研磨について種々検討した
結果、従来になく研磨性にすぐれた研磨液、研磨方法を
見出したことに基づくものである。
結果、従来になく研磨性にすぐれた研磨液、研磨方法を
見出したことに基づくものである。
まず、白金材料については、研磨性を阻害する要因を除
去し、探針先端部が適当な大きさの結晶粒で形成される
ことが望ましいことから、白金探針材料はＰｔ９９．９
％、 Ｃｕ ０．００５％以下、残部不可避的成分か
ら成り、かつ、結晶粒径は１０〜２００ミクロンに制御
する。
去し、探針先端部が適当な大きさの結晶粒で形成される
ことが望ましいことから、白金探針材料はＰｔ９９．９
％、 Ｃｕ ０．００５％以下、残部不可避的成分か
ら成り、かつ、結晶粒径は１０〜２００ミクロンに制御
する。
鋭利な先端を有する探針を作成する方法としては、上記
材料を用い機械研磨、もしくは電解研磨で巨視的な探針
形状に整える−・次研磨と、次に硫酸−硝酸−リン酸か
らなる研磨液で電解研磨する二次研磨を行うことで問題
を解決したものである。
材料を用い機械研磨、もしくは電解研磨で巨視的な探針
形状に整える−・次研磨と、次に硫酸−硝酸−リン酸か
らなる研磨液で電解研磨する二次研磨を行うことで問題
を解決したものである。
白金材料については、ｐｔの他事可避的成分として各種
の元素が存在するが、含有量及び元素の種類によって電
解研磨時選択的に溶解し研磨性が著しく損なわれる。特
にＣｕについては、これらの影響が大きいことから０．
００５％以下とすることが好ましいものである。
の元素が存在するが、含有量及び元素の種類によって電
解研磨時選択的に溶解し研磨性が著しく損なわれる。特
にＣｕについては、これらの影響が大きいことから０．
００５％以下とすることが好ましいものである。
硫酸−硝酸−リン酸液の研磨性は、微細な研磨に適する
もので、本研磨液で直接探針形状にすることは困難であ
るため、あらかじめ機械研磨もしくはシアン化浴等での
電解研磨で探針としての巨視的な形状に整えておくこと
が必要である。
もので、本研磨液で直接探針形状にすることは困難であ
るため、あらかじめ機械研磨もしくはシアン化浴等での
電解研磨で探針としての巨視的な形状に整えておくこと
が必要である。
以下実施例により本発明の詳細な説明する。
（実施例−１〕
Ｐｔ９９．９％以上、 Ｃｕ ０．００５％、残部Ｍｎ
、 Ｍｇ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｐｄ、Ａｕ、Ａｇ、Ｒｈなどの
不可避的成分からなる白金から伸線工程を経て０゜３
ｍｍφの白金線を得た。次に白金線を真空中で７００℃
１３０分の熱処理後除冷し、結晶粒径１０〜１００ミク
ロンの白金探針材料を得た。次にこれら白金探針材料を
機械研磨で研磨角度３０°の巨視的な探針形状に整えた
。その後、脱脂水洗を行い下記に示す研磨液で電解研磨
を行った。
、 Ｍｇ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｐｄ、Ａｕ、Ａｇ、Ｒｈなどの
不可避的成分からなる白金から伸線工程を経て０゜３
ｍｍφの白金線を得た。次に白金線を真空中で７００℃
１３０分の熱処理後除冷し、結晶粒径１０〜１００ミク
ロンの白金探針材料を得た。次にこれら白金探針材料を
機械研磨で研磨角度３０°の巨視的な探針形状に整えた
。その後、脱脂水洗を行い下記に示す研磨液で電解研磨
を行った。
研磨液
硫酸−硝酸−リン酸ｃｉ ： ｉ ： ｌ）電解条件
電圧：Ａｃ２〜２０Ｖ
時間：１〜６０分
極板：白金
このようにして得た探針は、鋭利な先端形状を示し、Ｓ
ＴＭ用白金探針として用いたところ良好なものであった
。
ＴＭ用白金探針として用いたところ良好なものであった
。
Ｃ実施例−２〕
Ｐｔ９９．９％以上、 Ｃｕ ０．００２５％、残部
Ｍｇ、 Ｍｎ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｐｄ、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｈな
どの不可避的成分からなる白金から伸線工程を経て０゜
３１１φの白金線を得た。次に真空中で８００℃１３０
分の熱処理後除冷し１０〜１５０ ミクロンの結晶粒径
を有する白金材料を得た。次に白金材料の先端を下記の
研磨液に浸漬、電解研磨を行い探針として巨視的な形状
に整えた。
Ｍｇ、 Ｍｎ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｐｄ、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｈな
どの不可避的成分からなる白金から伸線工程を経て０゜
３１１φの白金線を得た。次に真空中で８００℃１３０
分の熱処理後除冷し１０〜１５０ ミクロンの結晶粒径
を有する白金材料を得た。次に白金材料の先端を下記の
研磨液に浸漬、電解研磨を行い探針として巨視的な形状
に整えた。
研磨液
＋Ｍ−ＫＣＮ液
電解条件
電圧 Ａｃ ２〜２０Ｖ
極板 白金
時間 ３〜２０分
その後、水洗し硫酸−硝酸−リン酸液から成る研磨液で
実施例−１と同様電解研磨を行った。
実施例−１と同様電解研磨を行った。
このようにして得た白金探針は、極めて鋭利な先端形状
を有し、ＳＴＭ用白金探針として用いたところ良好なも
のであった。
を有し、ＳＴＭ用白金探針として用いたところ良好なも
のであった。
〔実施例−３〕
白金材料として、Ｐｔ９９．９％、残りＤｕおよび不可
避的成分の含有量がそれぞれ異なる（表−１参照）材料
を用い伸線工程を経て、０，３龍φの３種類の白金線を
得た。
避的成分の含有量がそれぞれ異なる（表−１参照）材料
を用い伸線工程を経て、０，３龍φの３種類の白金線を
得た。
これら白金線を探針材料として、実施例−２と同様に、
熱処理、シアン化カリウム溶液での電解研磨及び硫酸−
硝酸−リン酸液による電解研磨を行った。このようにし
て得られた白金探針について、先端形状を観察した結果
、白金材料として本発明で述べたＰｔ９９．９％以上、
Ｃｕ ０．００５％以下にある材料（Ａ、Ｂ）を用いた
探針は、先端が掘めて鋭利で、かつ、ＳＴＭ用探針とし
ても良好なものであった。これらに対し、Ｃｕ含有ｆｆ
１０．００５％を越えた材料＜Ｃ＞を用いた探針は、結
晶粒間の研磨速度が大きく鋭利な先端形状は得られなか
った。
熱処理、シアン化カリウム溶液での電解研磨及び硫酸−
硝酸−リン酸液による電解研磨を行った。このようにし
て得られた白金探針について、先端形状を観察した結果
、白金材料として本発明で述べたＰｔ９９．９％以上、
Ｃｕ ０．００５％以下にある材料（Ａ、Ｂ）を用いた
探針は、先端が掘めて鋭利で、かつ、ＳＴＭ用探針とし
ても良好なものであった。これらに対し、Ｃｕ含有ｆｆ
１０．００５％を越えた材料＜Ｃ＞を用いた探針は、結
晶粒間の研磨速度が大きく鋭利な先端形状は得られなか
った。
表−１白金材料の化学成分
単位 ％
て、ＰＬ９９．９％以上、ｃ ｕ ０．００５％以下、
残部不可避的成分からなり、かつ、結晶粒径を１０−２
００ミクロンに制御したものを用いることにより、従来
になく鋭利度の高い白金探針を再現性よく作成すること
が可能となったもので、特にＳ Ｔ Ｍ用白金探針とし
て効果を発揮するものである。
残部不可避的成分からなり、かつ、結晶粒径を１０−２
００ミクロンに制御したものを用いることにより、従来
になく鋭利度の高い白金探針を再現性よく作成すること
が可能となったもので、特にＳ Ｔ Ｍ用白金探針とし
て効果を発揮するものである。
なお、本発明では実施例において、硫酸〜硝酸リン酸の
研噌液は、ｉｌｌの組成のもの？、こついて述べたが、
硫酸１０％以上、硝酸５％以上。
研噌液は、ｉｌｌの組成のもの？、こついて述べたが、
硫酸１０％以上、硝酸５％以上。
リン酸１０％以」二の組成比のものでも同様な研磨性を
得ることが可能である。
得ることが可能である。
以上述べてきたように本発明によれば、機械研磨、もし
くは電解研磨法で巨視的な探針形状に整える一次研磨と
、硫酸−硝酸−リン酸からなる研磨液で電解研磨する工
程に台いて、探針材料とし以 ト
くは電解研磨法で巨視的な探針形状に整える一次研磨と
、硫酸−硝酸−リン酸からなる研磨液で電解研磨する工
程に台いて、探針材料とし以 ト
Claims (1)
- Ｐｔ９９．９％以上、Ｃｕ０．００５％以下、残部Ｍｇ
、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｐｄ、Ａｕ、Ａｇ、Ｒｈなどの不
可避的成分からなる白金材料でかつ、結晶粒径を１０〜
２００ミクロンに制御した探針材料を用い電解研磨する
ことを特徴とする白金探針の加工方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63289064A JPH0672319B2 (ja) | 1988-11-15 | 1988-11-15 | 白金探針の加工方法 |
| US07/328,029 US5035780A (en) | 1988-03-25 | 1989-03-23 | Method of manufacturing a platinum tip |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63289064A JPH0672319B2 (ja) | 1988-11-15 | 1988-11-15 | 白金探針の加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02138499A true JPH02138499A (ja) | 1990-05-28 |
| JPH0672319B2 JPH0672319B2 (ja) | 1994-09-14 |
Family
ID=17738358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63289064A Expired - Lifetime JPH0672319B2 (ja) | 1988-03-25 | 1988-11-15 | 白金探針の加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0672319B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004174639A (ja) * | 2002-11-26 | 2004-06-24 | Ntt Advanced Technology Corp | 超微細径ワイヤーの加工方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5739200A (en) * | 1980-08-20 | 1982-03-04 | Tanaka Denshi Kogyo Kk | Electrolytic polishing liquid for noble metal or alloy thereof |
-
1988
- 1988-11-15 JP JP63289064A patent/JPH0672319B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5739200A (en) * | 1980-08-20 | 1982-03-04 | Tanaka Denshi Kogyo Kk | Electrolytic polishing liquid for noble metal or alloy thereof |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004174639A (ja) * | 2002-11-26 | 2004-06-24 | Ntt Advanced Technology Corp | 超微細径ワイヤーの加工方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0672319B2 (ja) | 1994-09-14 |
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