JPH0288904A - 白金探針の加工方法 - Google Patents
白金探針の加工方法Info
- Publication number
- JPH0288904A JPH0288904A JP24189288A JP24189288A JPH0288904A JP H0288904 A JPH0288904 A JP H0288904A JP 24189288 A JP24189288 A JP 24189288A JP 24189288 A JP24189288 A JP 24189288A JP H0288904 A JPH0288904 A JP H0288904A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- platinum
- tip
- sharpness
- end section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 90
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 64
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 33
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 claims description 12
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 claims description 8
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 abstract description 15
- 238000007714 electro crystallization reaction Methods 0.000 abstract 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 9
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XFXPMWWXUTWYJX-UHFFFAOYSA-N Cyanide Chemical compound N#[C-] XFXPMWWXUTWYJX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- XPPKVPWEQAFLFU-UHFFFAOYSA-N diphosphoric acid Chemical compound OP(O)(=O)OP(O)(O)=O XPPKVPWEQAFLFU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002659 electrodeposit Substances 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 nitric acid diphosphoric acid Chemical compound 0.000 description 1
- 150000003057 platinum Chemical class 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ＳＴＭに利用する鋭い先端を有する白金探針
の製造方法に関するものである。
の製造方法に関するものである。
本発明は、鋭い先端を有する白金探針の加工において、
白金探針材料をまず、機械研磨、電解研磨などの加工に
より探針としての巨視的形状に整えた後、電析法により
探針先端部に微細な島状突起物の白金析出物を析出させ
、探針先端部に微細な凹凸を形成させるという加工法を
とることにより微細な先端Ｒをもつ白金探針の製造を可
能にしたものである。
白金探針材料をまず、機械研磨、電解研磨などの加工に
より探針としての巨視的形状に整えた後、電析法により
探針先端部に微細な島状突起物の白金析出物を析出させ
、探針先端部に微細な凹凸を形成させるという加工法を
とることにより微細な先端Ｒをもつ白金探針の製造を可
能にしたものである。
従来、鋭い先端を有する探針を作る方法として機械研磨
、電解研磨があった。電解研磨法は、Ｗ。
、電解研磨があった。電解研磨法は、Ｗ。
Ｔｉｃ、Ｔａなどの探針材料で行われており、また白金
については、一部シアン化溶液での電解研磨が知られて
いた。
については、一部シアン化溶液での電解研磨が知られて
いた。
しかしながら、白金の研磨については、機械研磨では、
先端の微細な形状（先端鋭利度）が得られにくく再現性
に乏しいこと、また電解研磨については、シアン化溶液
での電解研磨の他、各種混酸での電解を試みても白金材
料の結晶粒に影響され先端部の鋭利化に限界があるなど
の問題点が壱った。
先端の微細な形状（先端鋭利度）が得られにくく再現性
に乏しいこと、また電解研磨については、シアン化溶液
での電解研磨の他、各種混酸での電解を試みても白金材
料の結晶粒に影響され先端部の鋭利化に限界があるなど
の問題点が壱った。
本発明は、これらの欠点を除去し、微細な先端Ｒを育す
る白金探針の製造方法を提供することを目的とする。
る白金探針の製造方法を提供することを目的とする。
本発明では、従来の機械研磨、電解研磨法では先端部の
鋭利化に限界があることから、電析法に着目したもので
ある。すなわち、白金探針材料を機械研磨、電解研磨法
などで探針としての巨視的な形状に加工した後、先端部
に電析法により電解初期に生ずる白金の島状析出物を析
出させ、微細な凹凸を有する探針先端部を形成すること
により従来の問題を解決したものである。
鋭利化に限界があることから、電析法に着目したもので
ある。すなわち、白金探針材料を機械研磨、電解研磨法
などで探針としての巨視的な形状に加工した後、先端部
に電析法により電解初期に生ずる白金の島状析出物を析
出させ、微細な凹凸を有する探針先端部を形成すること
により従来の問題を解決したものである。
このような白金探針の製造方法において、探針先端部の
白金電析は、電解初期に生ずる島状析出物を利用するこ
とで、探針先端部に微細な凹凸を形成することを可能に
するものである。
白金電析は、電解初期に生ずる島状析出物を利用するこ
とで、探針先端部に微細な凹凸を形成することを可能に
するものである。
本発明における白金電解初期に探針先端部に形成される
白金の島状析出物は、電解研磨及び機械研磨で形成され
る探針先端部の形状に比べ、微細な形状であり、大幅な
鋭利度を達成することができるものである。
白金の島状析出物は、電解研磨及び機械研磨で形成され
る探針先端部の形状に比べ、微細な形状であり、大幅な
鋭利度を達成することができるものである。
本発明による電解研磨及び機械研磨の少なくとも一方の
加工方法により巨視的な探針形状を形成した後、該探針
先端部に白金電解を施し、電解初期に生ずる島状析出物
を析出させる白金探針の加工方法は、探針先端部の鋭利
度が要求されるＳＴＭ用探針を形成するに、特に効果的
な加工方法である。
加工方法により巨視的な探針形状を形成した後、該探針
先端部に白金電解を施し、電解初期に生ずる島状析出物
を析出させる白金探針の加工方法は、探針先端部の鋭利
度が要求されるＳＴＭ用探針を形成するに、特に効果的
な加工方法である。
以下実施例により本発明の詳細な説明する。
〔実施例−１〕
０６３ｎφの純白金線を用い機械研磨にて、研磨角度３
０°の探針としての巨視的な形状に加工した。
０°の探針としての巨視的な形状に加工した。
この探針先端部の拡大概略図を第１図（＾）に示す。
次に探針を脱脂水洗した後、探針先端部ｌにめっきによ
り徽細な島状の白金析出物２を形成した。
り徽細な島状の白金析出物２を形成した。
この白金析出物２は、白金めっきの電解初期に生ずる島
状析出物であり、第１図（Ｂ）に示す様に探針先端部ｌ
上に微細な突起物として析出され、賦細な凹凸を有する
探針先端部を有する白金探針を得た。
状析出物であり、第１図（Ｂ）に示す様に探針先端部ｌ
上に微細な突起物として析出され、賦細な凹凸を有する
探針先端部を有する白金探針を得た。
（めっき条件）
白金めっき液 （ＥＥＪＡ製 ブラタネックススリーＬ
、Ｓ） 液 温 ８０℃ 電 圧 １．９■ 時 間 ５ 秒 このようにして得られた探針は、先端部に微細な白金電
析物が形成されており、機械研磨のみで加工されたもの
に比べ、ＳＴＭ用白金探針として性能が高くかつ安定し
たものであった。
、Ｓ） 液 温 ８０℃ 電 圧 １．９■ 時 間 ５ 秒 このようにして得られた探針は、先端部に微細な白金電
析物が形成されており、機械研磨のみで加工されたもの
に比べ、ＳＴＭ用白金探針として性能が高くかつ安定し
たものであった。
〔実施例−２〕
０．３ Ｗφの純白金線を用い、まず、実施例−１と同
様機械研磨した０次に下記に示す電解液にて電解研磨を
行い探針先端部の表面を整えより鋭利化させた。
様機械研磨した０次に下記に示す電解液にて電解研磨を
行い探針先端部の表面を整えより鋭利化させた。
（電解研磨条件）
電 解 液 硫酸：硝酸ニリン酸（１’：１：ｌ）電
解電圧 ２〜ｌ０Ｖ（ＡＣ） 電解時間 ３０分 次に水洗後、探針先端部にめうきにより微細な白金析出
物を形成した。
解電圧 ２〜ｌ０Ｖ（ＡＣ） 電解時間 ３０分 次に水洗後、探針先端部にめうきにより微細な白金析出
物を形成した。
（めっき条件）
白金めつき液 （ＥＥＪＡ製 ブラタネックススリーＬ
、Ｓ） 液 温 ８０℃ 電 圧 ２．ＯＶ 時 間 ５ 秒 このようにして得た探針は、巨視的な先端鋭利度が高く
、かつ、先端部に微細な白金電析物が形成されており、
ＳＴＭ用白金探針として機能が高く安定したものであっ
た。
、Ｓ） 液 温 ８０℃ 電 圧 ２．ＯＶ 時 間 ５ 秒 このようにして得た探針は、巨視的な先端鋭利度が高く
、かつ、先端部に微細な白金電析物が形成されており、
ＳＴＭ用白金探針として機能が高く安定したものであっ
た。
〔実施例−３〕
０．３鶴φの純白金線を用い下記の二段電解研磨法によ
り先端Ｒ（５００人程度）の探針を得た。
り先端Ｒ（５００人程度）の探針を得た。
（−回目電解研磨）
電解研磨液 ＬＭ ＫＣＮ
電解電圧 ２〜１０Ｖ （ＡＣ）
電解時間 ３〜２０分
（二回目電解研磨）
電解研磨液 硫Ｍ：硝酸ニリン酸（１： ｌ ： １）
電解電圧２〜２０Ｖ （ＡＣ） 電解時間１〜６０分 水洗後、更に探針先端部にめっきにより微細な白金析出
物を形成した。
電解電圧２〜２０Ｖ （ＡＣ） 電解時間１〜６０分 水洗後、更に探針先端部にめっきにより微細な白金析出
物を形成した。
（めっき条件）
め っ き液 （ＥＥＪＡ製 ブラタネックススリーＬ
、Ｓ） 温 度 ８５℃ 電解電圧 ２．２ｖ 電解時間 ５秒 このようにして得た探針は、巨視的な先端鋭利度が高く
、かつ、先端部に微細な白金電析物が形成されており、
上記電解研磨のみのものに比べ、ＳＴＭ用白金探針とし
て性能が高く安定したものであった。
、Ｓ） 温 度 ８５℃ 電解電圧 ２．２ｖ 電解時間 ５秒 このようにして得た探針は、巨視的な先端鋭利度が高く
、かつ、先端部に微細な白金電析物が形成されており、
上記電解研磨のみのものに比べ、ＳＴＭ用白金探針とし
て性能が高く安定したものであった。
以上述べてきたように本発明によれば、機械研磨、電解
研磨であらかじめ巨視的な探針形状に加工した後、電析
法により探針先端部に微細な白金電析物を形成すること
により、微視的な先端鋭利度を一段と向上せしめ、かつ
、再現性よく白金探針を製造することができるものであ
る。
研磨であらかじめ巨視的な探針形状に加工した後、電析
法により探針先端部に微細な白金電析物を形成すること
により、微視的な先端鋭利度を一段と向上せしめ、かつ
、再現性よく白金探針を製造することができるものであ
る。
更に、探針先端の鋭利度が要求されるＳＴＭ用探針とし
て、本発明による白金探針は、特に効果を発揮するもの
である。
て、本発明による白金探針は、特に効果を発揮するもの
である。
尚、本発明での白金の電析については、上述実施例以外
のパルス電解、断続電解、高電圧電解などによっても微
細な析出物を得ることが可能である。
のパルス電解、断続電解、高電圧電解などによっても微
細な析出物を得ることが可能である。
第１図（Ａ） 、 （Ｂ）は、本発明方法による加工工
程の一実施例を示すものであり、第１図（Ａ）は、機械
研磨加工後の探針先端の拡大断面概略図、第１図（Ｂ）
は、電析法により白金析出物を形成した探針先端の拡大
断面概略図である。 １・・・探針先端部 ２・・・白金析出物 以上
程の一実施例を示すものであり、第１図（Ａ）は、機械
研磨加工後の探針先端の拡大断面概略図、第１図（Ｂ）
は、電析法により白金析出物を形成した探針先端の拡大
断面概略図である。 １・・・探針先端部 ２・・・白金析出物 以上
Claims (1)
- 白金探針材料を、機械研磨と電解研磨の少なくとも一方
の加工方法により探針としての巨視的形状に加工した後
、電析法により探針先端部に微細な島状突起物の白金析
出物を析出させ、微細な凹凸を有する探針先端部を形成
することを特徴とする白金探針の加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24189288A JPH0288904A (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 | 白金探針の加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24189288A JPH0288904A (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 | 白金探針の加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0288904A true JPH0288904A (ja) | 1990-03-29 |
| JPH0569441B2 JPH0569441B2 (ja) | 1993-10-01 |
Family
ID=17081105
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24189288A Granted JPH0288904A (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 | 白金探針の加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0288904A (ja) |
-
1988
- 1988-09-27 JP JP24189288A patent/JPH0288904A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0569441B2 (ja) | 1993-10-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Schneeweiss et al. | Oxide formation on Au (111) an in situ STM study | |
| JPH0275902A (ja) | ダイヤモンド探針及びその成形方法 | |
| JPH0288904A (ja) | 白金探針の加工方法 | |
| US5035780A (en) | Method of manufacturing a platinum tip | |
| CN108531906A (zh) | 钽喷丝头的表面处理方法 | |
| CN117364051B (zh) | 一种制备硬质合金表面金刚石涂层的布晶预处理方法 | |
| JP2673695B2 (ja) | 白金探針の電解研磨方法 | |
| CN113186589B (zh) | 一种选择性激光熔化AlSi10Mg合金热处理制品的电化学表面处理方法 | |
| JPH08218185A (ja) | チタニウム及びチタニウム合金の白金めっき前処理用粗面化エッチング液並びに白金めっき前処理用粗面化エッチング方法 | |
| JP3838768B2 (ja) | 電解メッキ法とそれを利用したプローブピンの製造法 | |
| JPS63313000A (ja) | 探針の製造方法 | |
| JP3363858B2 (ja) | 光ファイバコネクタ用部品の製造方法 | |
| JP3114253B2 (ja) | 金属の電着法 | |
| CN119346854B (zh) | 高强度、高带液的超细钨基材料电镀金刚线制备方法 | |
| JP2001228363A (ja) | 光ファイバコネクタ用部品の製造方法 | |
| JPH06117845A (ja) | Ｓｐｍ用探針評価用標準試料及びその製造方法 | |
| JPH06256099A (ja) | 微細探針の作成方法 | |
| JPH0352977B2 (ja) | ||
| JPH05345997A (ja) | 金めっき品の製造方法 | |
| JP3829195B2 (ja) | 磁気プローブ | |
| JPH0689476B2 (ja) | 微小電極の製造方法 | |
| RU1775508C (ru) | Способ электролитно - плазменного полировани изделий сложной формы | |
| JPH06278032A (ja) | 電着砥石の製造方法 | |
| JPH02138499A (ja) | 白金探針の加工方法 | |
| JPH01299731A (ja) | 白金探針の加工方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |