JPH01247801A - 弁の開閉制御装置 - Google Patents
弁の開閉制御装置Info
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- JPH01247801A JPH01247801A JP28667887A JP28667887A JPH01247801A JP H01247801 A JPH01247801 A JP H01247801A JP 28667887 A JP28667887 A JP 28667887A JP 28667887 A JP28667887 A JP 28667887A JP H01247801 A JPH01247801 A JP H01247801A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、弁の自動開閉制御に使用されるものであり、
光信号を利用するポジショナ−型弁開閉制御装置の改良
に関するものである。
光信号を利用するポジショナ−型弁開閉制御装置の改良
に関するものである。
(従来の技術)
弁の自動開閉制御には、位置決め機能と倍力機能を備え
た制御f3溝と、空気アクチエータとを組合せた構造の
開閉制御装置が多く利用されている。
た制御f3溝と、空気アクチエータとを組合せた構造の
開閉制御装置が多く利用されている。
第4図は、従前のこの買弁の開閉制御装置Bの一例を示
すものであり、モータ駆動部51、制御機構52、フィ
ードバック機構53、空気アクチエータ54等からその
主要部が構成されている。
すものであり、モータ駆動部51、制御機構52、フィ
ードバック機構53、空気アクチエータ54等からその
主要部が構成されている。
即ち、モータ駆動部51へ制御信号が入力されると、ア
マチュア−55が板バネ56を支点として時計方向へ揺
動する。その結果、レバー57が仮バネ58を支点とし
て反時計方向へ1動し、フラッパ59とノズルωとの間
隔が開いてノズルωの背圧が下る。
マチュア−55が板バネ56を支点として時計方向へ揺
動する。その結果、レバー57が仮バネ58を支点とし
て反時計方向へ1動し、フラッパ59とノズルωとの間
隔が開いてノズルωの背圧が下る。
これにより、排気デイバス61が左方向へ動き、空気源
(省略)から供給された空気が開口62を通って空気ア
クチエータ54へ供給され、弁棒63を上昇せしめて開
弁する。
(省略)から供給された空気が開口62を通って空気ア
クチエータ54へ供給され、弁棒63を上昇せしめて開
弁する。
弁棒臼が作動すると、この動きがフィードバック機構5
3を介してスプリング舛に作用し、入力信号による発生
力とバランスした位置に呆持される。
3を介してスプリング舛に作用し、入力信号による発生
力とバランスした位置に呆持される。
この順に、前記開閉制御装置Bは、入力電気信号により
空気アクチエータ58へ送る駆動空気を制御して、入カ
フ気@号の変位に呼応した弁体ωの変位を得る事ができ
、高精度な位置決めが行なえる0 しかし、前記従前の開閉制御装置Bは、駆・動部51や
制御(fi構52、フィードバックn構53、空気アク
チエータ54等が機械的に一体に連結されているため、
装置Bが著しく大形となり、小形の弁には適用し帷いと
いう問題がある。
空気アクチエータ58へ送る駆動空気を制御して、入カ
フ気@号の変位に呼応した弁体ωの変位を得る事ができ
、高精度な位置決めが行なえる0 しかし、前記従前の開閉制御装置Bは、駆・動部51や
制御(fi構52、フィードバックn構53、空気アク
チエータ54等が機械的に一体に連結されているため、
装置Bが著しく大形となり、小形の弁には適用し帷いと
いう問題がある。
また、フィードバックtni53のZ3造が1めで複雑
なため、調整等に手数がかかるうえ、故障の光生頻度が
高くて信頼性に欠けるという1点がある。
なため、調整等に手数がかかるうえ、故障の光生頻度が
高くて信頼性に欠けるという1点がある。
(発明が解決しようとする問題点)
本発明は、従前のこの遣1フ動制御装置に於ける上述の
如き問題、即ち(1)装置を構成する各協構が1械的に
連結されているため、装置の小形化が困′、″、臣で、
小形の弁には適用し難いこと、(2)装置の構造が復電
で、調整に手数がかかるうえ、信頼性に欠けるという問
題を解決せんとするものであり、駆動部と制御1tfi
溝とをコンパクトに一体化して弁から分離させると共に
、モータに代えて圧電素子を利用し、更に光信号入力を
利用することにより、小形の弁にも容易に取付けが出来
、しかも調整等に手数を要せず、応答性と安全性に層れ
た弁の開閉制御装置を提供するものである。
如き問題、即ち(1)装置を構成する各協構が1械的に
連結されているため、装置の小形化が困′、″、臣で、
小形の弁には適用し難いこと、(2)装置の構造が復電
で、調整に手数がかかるうえ、信頼性に欠けるという問
題を解決せんとするものであり、駆動部と制御1tfi
溝とをコンパクトに一体化して弁から分離させると共に
、モータに代えて圧電素子を利用し、更に光信号入力を
利用することにより、小形の弁にも容易に取付けが出来
、しかも調整等に手数を要せず、応答性と安全性に層れ
た弁の開閉制御装置を提供するものである。
(問題点を解決するための手段)
本発明は、弁体又はアクチエータの作動位置を検出する
位置検出器と;光信号を電気(言号に変換すると共に、
位置検出器からのフィードバック信号と前記電気信号と
を比較して制1iIl]信号を出力する充電変換器と;
前記制御信号を圧電素子へ印加して、そのm34的出力
により前記アクチエータへの作動用流体の供給又は作動
用流体の排出を行なう作動用流体制御器とを発明の基本
構成とするものである。
位置検出器と;光信号を電気(言号に変換すると共に、
位置検出器からのフィードバック信号と前記電気信号と
を比較して制1iIl]信号を出力する充電変換器と;
前記制御信号を圧電素子へ印加して、そのm34的出力
により前記アクチエータへの作動用流体の供給又は作動
用流体の排出を行なう作動用流体制御器とを発明の基本
構成とするものである。
(作用)
作動用流体制御器1の圧電素子22へ所定の制御信号7
を加えると、圧電素子製のノズルフラッパーが下降し、
排気用ノズル21が全閉される。
を加えると、圧電素子製のノズルフラッパーが下降し、
排気用ノズル21が全閉される。
流体源からの作動用流体8が加圧流路27を、、径で上
部ダイヤフラム室19内へ導入されているため、ダイヤ
フラム体18の押え金具25を介して弁体16が下方へ
押圧され、流路24は流通される。
部ダイヤフラム室19内へ導入されているため、ダイヤ
フラム体18の押え金具25を介して弁体16が下方へ
押圧され、流路24は流通される。
尚、この時弁体16の頭部と押え金具24とは気密状に
接当するため、排気孔26を通して作動用流体8が外部
へ漏出することはない。
接当するため、排気孔26を通して作動用流体8が外部
へ漏出することはない。
流体制御器1の開弁により、流体源(図示省略)から作
動用流体8がアクチエータ3のチャンバー3b内へ供給
され、ダイヤフラム3aを介して弁(奉11が押し下げ
られ、弁12は開弁方向へ作動する。
動用流体8がアクチエータ3のチャンバー3b内へ供給
され、ダイヤフラム3aを介して弁(奉11が押し下げ
られ、弁12は開弁方向へ作動する。
一方、位置検出器4に於いて弁棒11の作動位置が検出
されており、弁体11の作動位置に対応するフィードバ
ック信号9が光電変換器2へ入力される0 光電変換器2では、光信号しに対応する電気信号Sとフ
ィードバック信号9との比較演算が行なわれ、両信号の
差に対応する信号が制御信号7として出力され、圧電素
子22へ印加される。
されており、弁体11の作動位置に対応するフィードバ
ック信号9が光電変換器2へ入力される0 光電変換器2では、光信号しに対応する電気信号Sとフ
ィードバック信号9との比較演算が行なわれ、両信号の
差に対応する信号が制御信号7として出力され、圧電素
子22へ印加される。
電気信号Sとフィードバック信号9の差が減少して一定
の設定直に近づくと、制御信号7の減少により圧電素子
22の1械的出力が不安定となり、所論フラッパー作用
によってノズル21の開閉が繰り返される。
の設定直に近づくと、制御信号7の減少により圧電素子
22の1械的出力が不安定となり、所論フラッパー作用
によってノズル21の開閉が繰り返される。
これにより、上部ダイヤフラム室19の圧力が減少して
、スプリング17の弾力により弁体16が上方へ押し上
げられ、流体制御31は閉弁する。
、スプリング17の弾力により弁体16が上方へ押し上
げられ、流体制御31は閉弁する。
流体制御器1が閉弁されると、アクチエータ3のチャン
バー3b内の圧力上昇が停まり、弁体11が所定の位置
に釆持される。
バー3b内の圧力上昇が停まり、弁体11が所定の位置
に釆持される。
尚、このとき、流体制御器1の上部ダイヤフラム室19
の圧力は、フランパー22によってノズル11の開閉が
繰り返されているため、ダイヤフラム体18の反力(復
元力)よりも小さくならず、その結果、弁t416の頭
部と押え金具25の気密接肋が呆持され、アクチエータ
3のチャンバー3b内の圧力は一定に呆持される。
の圧力は、フランパー22によってノズル11の開閉が
繰り返されているため、ダイヤフラム体18の反力(復
元力)よりも小さくならず、その結果、弁t416の頭
部と押え金具25の気密接肋が呆持され、アクチエータ
3のチャンバー3b内の圧力は一定に呆持される。
今、この段階で電気信号Sが減少すると、ip!Itf
l信号7は前記設定直よりも減少し、圧電素子22の1
械的出力が喪失してフラッパー作用が停止し、ノズル2
1は完全な開放状態となる。
l信号7は前記設定直よりも減少し、圧電素子22の1
械的出力が喪失してフラッパー作用が停止し、ノズル2
1は完全な開放状態となる。
そうすると、流体制御器1の上部ダイヤフラム室19の
圧力が一層減少し、ダイヤフラム体18の反力によって
押え金具25が上昇し、排気孔26を通してアクチエー
タ3内の流体8が排出される。
圧力が一層減少し、ダイヤフラム体18の反力によって
押え金具25が上昇し、排気孔26を通してアクチエー
タ3内の流体8が排出される。
これにより、チャンバー3b内の圧力が降下して、スプ
リング(図示省略)により弁棒11は上方へ押し上げら
れ、弁12は閉弁方向へ作動する。
リング(図示省略)により弁棒11は上方へ押し上げら
れ、弁12は閉弁方向へ作動する。
上述の如き操作を繰り返すことにより、弁棒11は電気
信号Sの大きさに対応する所定の弁開度位置に呆持され
ることになる。
信号Sの大きさに対応する所定の弁開度位置に呆持され
ることになる。
(実施例)
以下、第1図乃至第3図に示す本発明の一実施例に基づ
いて、本発明を説明する。
いて、本発明を説明する。
第1図は、空気を作動用流体とする開閉制御装置の全体
構成を示すブロック線図であり、当該開閉制御装置Aは
作動用空気制御器11光電変換器2、空気アクチエータ
3、位置検出器4、電源装置5等から構成されている。
構成を示すブロック線図であり、当該開閉制御装置Aは
作動用空気制御器11光電変換器2、空気アクチエータ
3、位置検出器4、電源装置5等から構成されている。
作動用空気制御器1は、光電変換器2からの制御信号7
によって圧電素子22(圧電セラミック製のノズルフラ
ッパー)を作動させ、その機械的出力を利用して空気ア
クチエータ3へ供給する作動用空気8を制御するもので
あり、空気源から空気アクチエータ3への空気8の供給
と、空做アクチエータ3からの空気8の排出等を制御す
る。
によって圧電素子22(圧電セラミック製のノズルフラ
ッパー)を作動させ、その機械的出力を利用して空気ア
クチエータ3へ供給する作動用空気8を制御するもので
あり、空気源から空気アクチエータ3への空気8の供給
と、空做アクチエータ3からの空気8の排出等を制御す
る。
光電変換器2は、後述する位置検出器4からのフィード
バック信号9と光信号りを変換した電気信号Sとを比較
し、両者の差に相当する制御信号7を空気制御卸器1の
駆動部を構成する圧電素子22人力する。
バック信号9と光信号りを変換した電気信号Sとを比較
し、両者の差に相当する制御信号7を空気制御卸器1の
駆動部を構成する圧電素子22人力する。
空気アクチエータ3は、弁体11に連結されており、弁
体11をスプリング(図示省略)の弾力に抗して下方へ
押し下げることにより、弁12を開放するQ 位置検出器4は、ポテンショメータにより構成されてお
り、弁棒11又は空気アクチエータ3のダイヤフラム3
aの基準点に対する開位置を検出し、変位量に比例した
フィードバック信号9を発信する0 第2図は、本実施例で使用する前記空気制御器1の縦断
面図である。
体11をスプリング(図示省略)の弾力に抗して下方へ
押し下げることにより、弁12を開放するQ 位置検出器4は、ポテンショメータにより構成されてお
り、弁棒11又は空気アクチエータ3のダイヤフラム3
aの基準点に対する開位置を検出し、変位量に比例した
フィードバック信号9を発信する0 第2図は、本実施例で使用する前記空気制御器1の縦断
面図である。
当該作動用空気制御器1は、空気人口13、空気出口1
4、弁座15、弁体16、スプリング17、ダイヤフラ
ム体18、上部ダイヤフラム室19、下部ダイヤフラム
室20、上部ダイヤフラム室19に連通する排気用のノ
ズル21、ノズル開閉用の圧電素子22(圧電セラミッ
ク製のノズルフラッパー)及び支持架台23等より構成
されている。前記空気人口13と上部ダイヤフラム室1
9とは、流路27により連通されている。
4、弁座15、弁体16、スプリング17、ダイヤフラ
ム体18、上部ダイヤフラム室19、下部ダイヤフラム
室20、上部ダイヤフラム室19に連通する排気用のノ
ズル21、ノズル開閉用の圧電素子22(圧電セラミッ
ク製のノズルフラッパー)及び支持架台23等より構成
されている。前記空気人口13と上部ダイヤフラム室1
9とは、流路27により連通されている。
入力設定器(図示省略)や光電変換器2からの入力信号
7が圧電素子22へ印加されると、圧電素子22には機
械的出力が生じ、フラッパーの先端がノズル21に接当
してこれを閉鎖する。その結果、上部ダイヤフラム室J
9は密閉状態となり、作動用空気8の圧力によりダイヤ
フラム体18が下方へ押圧され、弁体16がスプリング
17に抗して下降し、入口13と出口14間が連通され
る。
7が圧電素子22へ印加されると、圧電素子22には機
械的出力が生じ、フラッパーの先端がノズル21に接当
してこれを閉鎖する。その結果、上部ダイヤフラム室J
9は密閉状態となり、作動用空気8の圧力によりダイヤ
フラム体18が下方へ押圧され、弁体16がスプリング
17に抗して下降し、入口13と出口14間が連通され
る。
尚、弁体16の頭部とダイヤフラム体18に固定した押
え金具25とは気密状に接当しており、空気が排気孔2
6を通して外部へ漏れることはない。
え金具25とは気密状に接当しており、空気が排気孔2
6を通して外部へ漏れることはない。
一方、電気信号S′が減少するか、若しくは位置検出器
4からのフィードバック信号9が増加し、制御信号7が
ある設定端まで減少すると、圧電素子22の機械的出力
が減少してフラッパーの先端が所謂上下振動(フラッピ
ング)をし、上部ダイヤフラム室19内の圧力が一定眞
まで減少する。
4からのフィードバック信号9が増加し、制御信号7が
ある設定端まで減少すると、圧電素子22の機械的出力
が減少してフラッパーの先端が所謂上下振動(フラッピ
ング)をし、上部ダイヤフラム室19内の圧力が一定眞
まで減少する。
これにより、スプリング17により弁体16が上方へ押
し上げられ、通路24の閉鎖が行なわれる。ただし、上
部ダイヤフラム室19内の圧力は、ダイヤフラム体18
の復帰力(上方への押圧力)よりも大きくなるように設
定されており、その結果弁体16の頭部と押圧金具25
の下端との間は気密状に呆持されている。その結果、空
気アクチエータ3の圧力チャンバー3b内の空気圧は一
定圧に呆持される。
し上げられ、通路24の閉鎖が行なわれる。ただし、上
部ダイヤフラム室19内の圧力は、ダイヤフラム体18
の復帰力(上方への押圧力)よりも大きくなるように設
定されており、その結果弁体16の頭部と押圧金具25
の下端との間は気密状に呆持されている。その結果、空
気アクチエータ3の圧力チャンバー3b内の空気圧は一
定圧に呆持される。
次に、電気信号Sの減少又はフィードバッグ信号9の増
加により制御信号7が前記設定端より更に小さくなると
、フラッパー22のフラッピング作動が止まって、ノズ
ル21は開放状態となる。その結果、上部ダイヤフラム
室19の空気圧が大幅に減少し、ダイヤフラム体18の
反力により弁体16と押え金具25間に間陣が出来、空
気アクチエータ3側の作動用空気8が排気孔26を通し
て外部へ排出され、弁体11がスプリング(図示省略)
の弾力により閉弁方向に作動する。
加により制御信号7が前記設定端より更に小さくなると
、フラッパー22のフラッピング作動が止まって、ノズ
ル21は開放状態となる。その結果、上部ダイヤフラム
室19の空気圧が大幅に減少し、ダイヤフラム体18の
反力により弁体16と押え金具25間に間陣が出来、空
気アクチエータ3側の作動用空気8が排気孔26を通し
て外部へ排出され、弁体11がスプリング(図示省略)
の弾力により閉弁方向に作動する。
尚、前記流路27には絞り27 aが設けられており、
ノズル21の闘放及びフラッピング時における上部ダイ
ヤフラム室19内の圧力調整が行なわれる。
ノズル21の闘放及びフラッピング時における上部ダイ
ヤフラム室19内の圧力調整が行なわれる。
当該弁の開閉制御装置の作動は、前記作用の項に記載し
た通りであり、その説明は省略する。
た通りであり、その説明は省略する。
第3図は光電変換器2の回路構成図であり、受光素子2
8、周波数・電圧変換回路穴、比較演算回路30、昇圧
回路31及び駆動回路32等より構成されている。
8、周波数・電圧変換回路穴、比較演算回路30、昇圧
回路31及び駆動回路32等より構成されている。
光ファイバーを通して光信号りがフォトダイオード等の
受光素子28へ入力されると、光信号と等しい周波数の
電気信号Sが出力され、周波数・電圧変換回路穴を通し
て光信号の周波数に対応した電気信号Sが出力される。
受光素子28へ入力されると、光信号と等しい周波数の
電気信号Sが出力され、周波数・電圧変換回路穴を通し
て光信号の周波数に対応した電気信号Sが出力される。
比較演算回路30に於いては、電気信号Sの電圧とフィ
ードバッグ信号9の電圧とが比較され、その偏差に応じ
た出力Pが出力され、駆動回路32へ入力される。
ードバッグ信号9の電圧とが比較され、その偏差に応じ
た出力Pが出力され、駆動回路32へ入力される。
、駆動回路32では、前記偏差信号Pが昇圧回路31の
電圧によって昇圧され、制御信号7として圧電素子22
へ入力される。
電圧によって昇圧され、制御信号7として圧電素子22
へ入力される。
尚、本実施例では、電源装置として空気発電機を使用し
ているが、電池等であってもよいことは勿論である。
ているが、電池等であってもよいことは勿論である。
又、本実施例では、作動用流体制御器1を開閉制御装置
A内へ設置しているが、これを制御弁12側に取付けて
開閉制御装置を遠隔地に設置することも可能である。
A内へ設置しているが、これを制御弁12側に取付けて
開閉制御装置を遠隔地に設置することも可能である。
更に、本実施例では空気制御器及び制御弁をダイヤフラ
ム体の加圧により開弁する構成としているが、加圧によ
り閉弁する構造としてもよいことは勿論である。
ム体の加圧により開弁する構成としているが、加圧によ
り閉弁する構造としてもよいことは勿論である。
(発明の効果)
本発明に於いては、制御すべき弁にアクチエータと位置
検出器のみを付設し、管路と電路にょって開閉制御装置
の本体と接続する構成としているため、従前の開閉制御
装置に比較して、小形の弁にも舞理なく適用することが
出来る。
検出器のみを付設し、管路と電路にょって開閉制御装置
の本体と接続する構成としているため、従前の開閉制御
装置に比較して、小形の弁にも舞理なく適用することが
出来る。
また、作動用流体制御器の作動を圧電素子の発生する歪
力(機械力)により行なう構成としているため、従前の
ソレノイドやモータ等を利用する+3合に比較して機構
の簡素化と制御器の大幅な小形化が可能になると共に、
電気系統の接点機構が皆無となり、安全性がより向上す
る。
力(機械力)により行なう構成としているため、従前の
ソレノイドやモータ等を利用する+3合に比較して機構
の簡素化と制御器の大幅な小形化が可能になると共に、
電気系統の接点機構が皆無となり、安全性がより向上す
る。
更に、圧電素子は小さな電気的入力屋でもって、比較的
大きく且つ常に安定した一定の機械的出力(歪力並びに
歪量)を生ずるため、流体制御器の作動が、従前のソレ
ノイドやモータで駆動するものに比較してより安定した
ものとなり、開閉制御装置の信頼性が向上する。
大きく且つ常に安定した一定の機械的出力(歪力並びに
歪量)を生ずるため、流体制御器の作動が、従前のソレ
ノイドやモータで駆動するものに比較してより安定した
ものとなり、開閉制御装置の信頼性が向上する。
そのうえ、光信号を用いて入力信号の伝送を行なうため
、所謂ノイズや外乱等の影響を受は難く、安定した制御
信号の伝達と弁の開閉制御が行なえる0 本発明は上述の通り、優れた実用的効用を有するもので
ある。
、所謂ノイズや外乱等の影響を受は難く、安定した制御
信号の伝達と弁の開閉制御が行なえる0 本発明は上述の通り、優れた実用的効用を有するもので
ある。
第1図は、開閉制御装置の全体構成を示すブロック線図
である。 第2図は、本発明で使用する流体制御器の縦断面図であ
る。 第3図は、光電変換器の回路構成図である。 第4図は、従前の弁の開閉制御装置の・4造説明図であ
る。 A 開閉制御装置 9 フィードバック信号1 作動
用流体制御器11 弁体 2 光電変換器 12 弁 3 アクチエータ 22 圧電素子4 位置検出器
L 光信号 7 制御信号 S 電気信号 8 作動用流体 特許出頭大 山 1)満 江第1図 A 第4図 第2図 /’ l X +51617 第3図 Q−
である。 第2図は、本発明で使用する流体制御器の縦断面図であ
る。 第3図は、光電変換器の回路構成図である。 第4図は、従前の弁の開閉制御装置の・4造説明図であ
る。 A 開閉制御装置 9 フィードバック信号1 作動
用流体制御器11 弁体 2 光電変換器 12 弁 3 アクチエータ 22 圧電素子4 位置検出器
L 光信号 7 制御信号 S 電気信号 8 作動用流体 特許出頭大 山 1)満 江第1図 A 第4図 第2図 /’ l X +51617 第3図 Q−
Claims (1)
- 弁棒(11)又はアクチエータ(3)の作動位置を検出
する位置検出器(4)と;光信号(L)を電気信号(S
)に変換すると共に、位置検出器(4)からのフィード
バック信号(9)と前記電気信号(S)とを比較して制
御信号(7)を出力する光電変換器(2)と;前記制御
信号(7)を圧電素子(22)へ印加して、その機械的
出力により前記アクチエータ(3)への作動用流体(8
)の供給又は作動用流体(8)の排出を行なう作動用流
体制御器(1)とより構成した弁の開閉制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28667887A JPH01247801A (ja) | 1987-11-12 | 1987-11-12 | 弁の開閉制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28667887A JPH01247801A (ja) | 1987-11-12 | 1987-11-12 | 弁の開閉制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01247801A true JPH01247801A (ja) | 1989-10-03 |
Family
ID=17707549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28667887A Pending JPH01247801A (ja) | 1987-11-12 | 1987-11-12 | 弁の開閉制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01247801A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6283501A (ja) * | 1985-10-04 | 1987-04-17 | Mitsubishi Electric Corp | 光制御ポジシヨナ |
| JPS6244103B2 (ja) * | 1981-12-09 | 1987-09-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd |
-
1987
- 1987-11-12 JP JP28667887A patent/JPH01247801A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6244103B2 (ja) * | 1981-12-09 | 1987-09-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | |
| JPS6283501A (ja) * | 1985-10-04 | 1987-04-17 | Mitsubishi Electric Corp | 光制御ポジシヨナ |
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