JPH01251633A

JPH01251633A - ウエハ移替え装置

Info

Publication number: JPH01251633A
Application number: JP63308577A
Authority: JP
Inventors: Hironobu Nishi; 西　寛信
Original assignee: Tokyo Electron Sagami Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Sagami Ltd
Priority date: 1987-12-07
Filing date: 1988-12-06
Publication date: 1989-10-06
Anticipated expiration: 2012-09-10
Also published as: JP2651858B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の目的〕（産業上の利用分野）本発明は、移替え方法に関する。

（従来の技術）ＩＣ又はＬＳＩ等の半導体デバイスは、インゴットから
切出されたウェハを、順次、表面加工処理し、処理例え
ば熱酸化処理し、不純物拡散処理し、膜堆積処理し、エ
ツチング処理する等の多数の工程を経て製造される。こ
れらの製造工程において。

半導体ウェハは複数回にわたり繰返し加熱処理。

ＣＶＤ　、酸化形成、拡散工程などの熱処理を受ける。

一般に、半導体ウェハの熱処理用の加熱炉として、上下
に積重ねられた多段炉、例えば４段炉が採用される。炉
口前には多段の架台が設けられ。

ウェハを取扱うための各種の自動装置が架台に取付けら
でいる。

半導体ウェハを加熱炉に出し入れする場合には、専用の
ウェハボートが使用される。通常、１本のボートには１
０ット最大２００枚の被処理ウェハが積載できるように
なっている。

一方、半導体ウェハを前工程から加熱炉まで搬送する場
合は、専用のウェハカセット（キャリア）が使用される
。通常、１個のカセットには１０ット最大２５枚の半導
体ウェハが収容されている。このため、１本の熱処理用
ボートに対して複数のカセットからウェハを移替えるこ
とになる。

ところで、ウェハの取扱いにおいては、汚染防止のため
にオペレータの手がウェハに直接触れることが禁止され
ている。このため、専用のウェハ移替え装置が、加熱炉
の付帯設備として炉口近傍に設置されるものもある。こ
のウェハ移替え装置により自動的にウェハを、カセット
からボートへ、又はボートから洗浄用のカセットへと移
替えるようになっている。

従来のウェハ移替装置としては、多数提案されているが
、例えば特公昭６０−３２３５２号公報に記載されたも
のがある。この従来のウェハ移替え装置は、ボート及び
カセットがそれぞれ載置されるテーブルと、ウェハをカ
セット及びボートの間にて取扱うローディング装置を有
する。このテーブルは、Ｘ軸方向（炉軸の方向）に延び
ている６更に。

ウェハ移替え装置は、Ｘ軸に沿ってテーブルを移動させ
る移動機構と、ボートに形成されたウェハ保持用の溝の
１ピッチ分だけＸ軸方向にテーブルを寸動させる寸動機
構を有する６一方、ローディング装置は、テーブルの下方に昇降自在
に設けられボート及びカセット内のウェハを上方へ押し
上げるためのウェハ押し上げ機構と開閉自在な１対のウ
ェハチャックを有するウェハ把持機構を有する。

移替え装置によりウェハを搬送用カセットから熱処理用
石英製ボートに移替える場合は、複数のカセットをステ
ージ上に配列し、一番目のカセット内の全ウェハを押し
上げ機構で同時に上方へ突上げてウェハをカセットより
上方に持上げ、これらを−括にチャック機構で把持し、
ボートの予め定められた収納溝に搬送し、チャックを開
いてボート上に複数枚のウェハを載置する。実質的に同
様の操作により二番目以降のカセットからウェハを次々
にボートに移替え、ボートにウェハを満載する。次いで
、エレベータ装置によりボートを炉口前の架台に載せ、
横型炉の場合ソフトランディング装置により、縦型炉の
場合ボートローダによリポートを炉内に挿入する。

このような移替え装置における一連の動作は、予め設定
されたプログラミングに基づきコンピュータ制御される
ようになっている。

なお、カセット、ボート、並びにウェハチャックのそれ
ぞれには、ウェハ保持用の溝が同じ間隔に形成されてい
る。

（発明が解決しようとする課題）しかしながら、上記のようなウェハ移替え装置において
は、カセット内のウェハがすべて同じ向きに収納されて
いるために、これらのウェハを一括にボートに移替える
と、ウェハのパターン形成面（フェース）と裏面（バッ
ク）とが向き合うように配列される。このため、ウェハ
のフェース面同士が互いに対面するようにボート上に配
列する〔この配列＆“フェース・ツー中フェース（ｆａ
ｃｅｔｏ　ｆａｃｅ）”という〕か又は、ウウニのバッ
ク面同士が互いに対面するようにボート上に配列する〔
この配列を“バック・ツー・バック（ｂａｃｋ　ｔ。

ｂａｃｋ　）”という〕ことができないという不都合を
生じる。

更に、ボートのウェハ保持用の溝ピッチが変更された場
合に、迅速に対処することができない。

例えば、溝ピッチが３／１６インチから３／３２インチ
に変更された場合には、これに応じてウェハチャックも
溝ピッチが３／１６インチから３／３２インチのものに
交換する必要がある。このチャック交換のために、移替
え作業が長時間にわたって中断され、タクトタイムが延
びるという問題点があった。

本発明は上記点に対処してなされたもので、フェース・
ツー・フェース（又はバック・ツー・バック）の配列に
なるように、ウェハをカセットからボートに移替えるこ
とができるウェハ移替え方法を提供しようとするもので
ある。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段）本発明は、複数枚の被移替えウェハが収納された第１の
被移替えウェハ収納容器から全ウェハを押上げる工程と
、この工程により押上げられたつエバ列から予め定めら
れた枚数毎にウェハを抜き取る工程と、この工程により
抜き取ったウェハを第２のウェハ収納手段に移替える工
程と、第２の被移替えウェハ収納容器を１８０’回転さ
せる工程と、この工程により回転した容器から全ウェハ
を押上げ予め定められた枚数のウェハを抜き取り上記第
１のウェハ収納容器に移替えてフェース・ツー・フェー
スの配列をする工程を具備してなるウェハ移替え方法を
得るものである。

（作用効果）即ち、本発明によれば、ウェハをフェース・ツー・フェ
ースの配列になるように、カセットからボートへ全自動
ローディングすることができる。

このため、熱処理の仕様変更に関連してボート上のウェ
ハ配列を種々変更しなければならない事態が生じた場合
にも、これに十分に対処することができる。

また１部品を交換することなく、単一の装置により各種
タイプのボートにウェハを移替えることができる。この
ため、ボートのウェハ保持間隔が例えば３／１６インチ
ピッチから３／３２インチピッチに変更されたとしても
、同一の装置によりウェハをカセットからボートへ移替
えることができる。

従って、部品交換時間を省略することができるので、装
置の稼働率を向上させることができる。

（実施例）以下、本発明方法の一実施例につき、図面を参照して説
明する。

第１図に示すように、加熱炉装置１は、単体の炉を上下
に４段に積重ねた多段炉であり、各炉内には複数のプロ
セスチューブ（図示せず）が横置きの状態で直列に挿入
されている。この加熱炉装置１は、シリコンウェハを酸
化・拡散処理するためのものである。

加熱炉装置１の挿入口１ａに連通ずるように、ボート出
入れ用の架台２が設置されている。架台２は、エアフィ
ルタ３ａを有するフィルタユニット３と、多数のウェハ
４５が積載されたボート４４を挿入口１ａを介して加熱
炉装置１に出入れするためのユニット４と、を具備して
いる。ユニット４は、それぞれ一端が挿入口１ａに連通
ずる４段の棚を有している。各種には、石英ガラス製の
フォーク６を有するソフトランディング装置５が設けら
れている。

ソフトランディング装置５は、フォーク６を棚の長手（
Ｘ軸方向）に沿ってスライド移動させる機構と、フォー
ク６の先端を上下に首振りさせる機構とを有している。

フォーク６の先端部は二股状に形成され、この二股状の
先端部にボート４４が載置されるようになっている。

エレベータ装ｗ７が、加熱炉装置１と架台２との間の前
面側に設けられている。エレベータ装置７のアーム先端
には、後述するボートステージ上のボート４４をフォー
ク６の先端部に移すための部材７ａが設けられている。

エレベータ装置７は、部材７８をＸ軸及びＺ軸に沿って
それぞれ移動させるＶ＆構を有している。

ボックス型のハウジング１１が、最下段の棚に沿うよう
にユニット４の前面に設けられている。ハウジング１１
の上面には、カセット載置用の第１のステージ１２及び
ボート載置用の第２のステージ（ボートステージ）１３
がＸ軸に沿うように直列に設けられている。なお、第１
及び第２のステージ１２、１３は、同一ラインかつ同一
エレベーションにある。　カセット４３の内面には所定
幅の溝が等間隔に形成されており、ウェハ４５が溝に差
込み保持されるようになっている。ウェハ保持用の溝は
、３／１６インチのピッチで２５箇所形成されている。

第２図に示すように、複数のカセット４３が、ウェハ保
持用の溝がＹ軸方向に揃うように、第１のステージ１２
上に載置されている。複数のカセット回転機構２９が第
１のテーブル１２に等間隔に設けられ、それぞれの回転
機構２９上に載置されたカセット４３の向きが入替わる
ようになっている。

一方、第２のステージ１３には１本のボート４４が載置
されるようになっている。ボート４４には、１２／１６
インチピッチの溝及び３／１６インチピッチの溝の２種
類の溝が交互に形成されている。

ハウジング１１の前面側に開口１５がＸ軸に沿って形成
され、開口１５からローディング装置１０の上部機構が
突出している。ローディング装置１０は、第１及び第２
のステージ１２．１３に沿ってハウジング１１のほぼ全
長にわたってＸ軸方向に移動するようになっている。ロ
ーディング装置１０は、ウェハ４５をカセット４３から
ボート４４にローディングする機能を有し、コンピュー
タシステムでバックアップされたパネル１４を備えてい
る。パネル１４はキーボードを具備しており、必要に応
じてオペレータが所定のデータをコンピュータにキー人
力できるようになっている。

第３図を参照しながら、ローディング装置１０の各構成
部材及び各駆動機構についてそれぞれ説明する。

ローディング装置１０の下部機構は、Ｘ軸に沿って互い
に平行な２本のガイドレール１７ａ、　１７ｂ及びポー
ルスクリュウ１９と、パルスモータ１８と、Ｘ軸方向に
スライド可能なスライダ１６と、を有している。スライ
ダ１６は、ガイドレール１７ａ、　１７ｂを跨ぐように
設けられ、ローディング装置１０の上部機構を支持して
いる。なお、ポールスクリュウ１９が、スライダ１６上
のナツト１６ａに螺合されている。ポールスクリュウ１
９の一端は、パルスモータ１８の駆動軸に連結され、他
端は部材１９ａによりハウジング１１に支持されている
。

モータ１８のスイッチはモータ駆動回路２０に接続され
、更に、回路２０はコントローラ２１に接続され、更に
、コントローラ２１はコンピュータシステム（図示せず
）によりバックアップされている。つまり、コントロー
ラ２１を介してコンピュータシステムから回路２０に所
定の信号が出力されると、これに応じてパルスモータ１
８が駆動し、スライダ１６がＸ軸方向にスライド移動す
るようになっている。

次に、ローディング装Ｍ１０の上部機構について説明す
る。

ローディング装置１０の上部機構は、第１のシリンダ２
２を有する昇降機構と、第２のシリンダ２３を有するチ
ャック機構と、により構成されている。

第１のシリンダ２２は、その軸がＺ軸に沿うようにスラ
イダ１６上に立設されている。

第２のシリンダ２３は、２系統の水平駆動系を有する複
シリンダで構成され、　ロッド２２ａを介して第１のシ
リンダ２２に連結されている。この第２のシリンダ２３
は、並列にならぶ２つの開閉チャック２４、２５を有し
ている。すなわち、第２のシリンダ２３からは４対のロ
ッド（２４ｃ、　２４ｄ）、　［２４ｅ、　２４ｆ〕。

（２５ｃ、２５ｄ）　−（２５ｅ、　２５ｆ）がそれぞ
れＹ軸方向に平行に延出し、２対のロッド（２４ｃ、　
２４ｄ）＝　（２４ｅ。

２４ｆ〕が第１の開閉チャック２４の駆動軸に連結され
る一方、２対のロッド（２５ｃ、　２５ｄ）　、　（２
５ｅ、　２５ｆ）が第２の開閉チャック２５の駆動軸に
連結されている。

ロッド［２４ｃ、　２４ｄ］の各先端は板状のチャック
部材２４ａに、また、ロッド（２４ｅ、　２４ｆ）の各
先端は板状のチャック部材２４ｂに、　それぞれ連結さ
れ、チャック部材２４ａ及び２４ｂが対面することによ
り第１の開閉チャック２４が構成されている。また、第
２の開閉チャック２５も同様にロッド（２５ｃ、　２５
ｄ）及びチャック部材２５ａのアッセンブリと、ロッド
（２５ａ、　２５ｆ）及びチャック部材２５ｂのアッセ
ンブリと、の組合せにより構成されている。

また、第２のシリンダ２３は、複数のモータ（図示せず
）及び複数の減速ギヤ（図示せず）を有している。この
場合に、ロッド（２４ｃ、　２４ｄ）のペアとロッド（
２４ｅ、　２４ｆ）のペアとは相互に連動するように構
成され、−力対のロッドがシリンダから突出すると他方
対のロッドがシリンダに退入するようになっている。ま
た、ロッド（２４ｅ、　２４ｆ）はシリンダ２３寄りの
チャック部材２４ａを貫通し、チャック部材２４ａとロ
ッド（２４ｅ、　２４ｆ〕とが相互に干渉し合わないよ
うになっている。なお、開閉チャック２５も、ロッド（
２５ｅ、　２５ｆ）及びチャック部材２５ａの相互干渉
を避けるために、同様に構成されている。

第４図に示すように、第１の開閉チャック２４の部材２
４ａ　、　２４ｂの相互対向面にはｍ２６が１２／１５
インチピッチの間隔で形成され、これら溝の間隔で複数
のウェハ４５が把持されるようになっている。

溝２６は、ウェハ４５を差込みやすいように、その開口
側がテーパ形状に形成されている。また、第５図及び第
６図の比較から明らかなように、溝２６はウェハ４５の
エツジカーブに沿うように形成されている。

第７図に示すように、第２の開閉チャック２５の部材２
５ａ、　２５ｂの相互対向面には溝２７が６／１６イン
チピッチの間隔に形成されている。すなわち、第２の開
閉チャックの溝２７の相互間隔は、第１の開閉チャック
の溝２６のそれの半分である。第８図及び第９図の比較
から明らかなように、溝２７もウェハ４５のエツジカー
ブに沿うように形成されており、各溝２７は実質的に上
述の各溝２６と同形状である。

次に、第１０図を参照しながら、第１のステージに設け
られたカセット方向転換機構及びウェハリフト機構につ
いて説明する。

第１のステージ１２には６つのカセットの方向転換を行
なうカセット回転機９２９がＸ軸に沿って直列に設けら
れている。機構２９のターンテーブル３０は、軸受３０
ａによりステージ１２のフレームに回転可能に支持され
ている。ターンテーブル３０の下部にはギア３１が形成
されており、ギア３１がモータ３２の駆動ギア３２ａに
噛合っている。

リフト機構のシリンダ３３が、各ターンテーブル３０の
直下にそれぞれ設けられている。各シリンダ３３のロッ
ド先端に押上げ部３４が取付けられている。

この押上げ部材３４の上面にはウェハ保持用の溝が形成
されている。

ターンテーブル３０の中央領域には開口４０が形成され
ており、この間口４０を介してリフト機構の押上げ部材
３４が上方へ突出し、押上げ部材３４によりカセット４
３からウェハ４５が持上げられるようになっている。

次に、第１１図乃至第１６図を参照しながら、ウェハ４
５をカセット４３からボート４４に移替える場合につい
て説明する。

まず、６個のカセット４３及び１本のボート４４をそれ
ぞ九ステージの所定位置に載置し、キー操作によりイニ
シアルデータをコンピュータに入力する。このイニシア
ルデータには、Ｗｔ数枚のウェハ４５をｆａｃｅ　ｔｏ
　ｂａｃｋの配列からｆａｃｅ　ｔｏ　ｆａｃｅの配列
に並べ替えるためのデータも含まれている。なお、各カ
セット４３内には２５枚のウェハ４５が３／１６インチ
ピッチ間隔で収容されている。また、ボート４４のウェ
ハ保持用の溝も３／１６インチピッチ間隔に形成されて
いる。

スタート信号をコンピュータからコントローラ２１に送
り、ローディング装置１０をＸ軸方向にスライド移動さ
せ、第１の開閉チャック２４を第１番目のカセット４３
の直上に位置させる。

そして、リフト機構のシリンダ３３に圧縮エアを供給し
、押し上げ部材３４によりカセット４３内のすべて例え
ば２５枚のウェハ４５を配列ピッチを維持して支持し持
ち上げ、第１の開閉チャック２４の高さにリフトする。

次いで、シリンダ２３に圧縮エアを供給し、ロッド（２
４ｃ、　２４ｄ）をシリンダ２３から突出させる一方、
ロッド（２４ｅ、　２４ｆ）をシリンダ２３に退入させ
る。これにより、第１１図に示すように、ウェハ列４５
が開閉チャック２４により予め定められた枚数毎に挟持
される。

次いで、押し上げ部材３４を下降させると、部材３４と
共に上記部材３４上に残った１８枚のウェハ４５が下降
し、７枚のウェハ４５が開閉チャック部材２４の間に残
留する。すなわち、ウェハ４５は、１２／　１６インチ
ピッチ間隔で第１の開閉チャック２４により３枚おきに
挟持され、残りはカセット４３に戻される。

次いで、ローディング機構を第１のステージ１２から第
２のステージ１３ヘスライド移動させ、ボート４４前面
の所定位置にて停止させる。次いで、第１のシリンダ２
２内にロッド２２ａを退入させ、第２のシリンダ２３を
下降させる。そして、センサ（図示せず）により開閉チ
ャック２４及びウェハ４５のボート４４への接近を検出
し、この検出結果に基づき第１のシリンダ２２の動作を
停止させる。

次いで、ロッド（２４ｃ、　２４ｄ）を第２のシリンダ
２３に退入させると共に、ロッド［２４ｅ、　２４ｆ］
を第２のシリンダ２３から突出させる。これにより、第
１２図に示すように、ウェハ４５が開閉チャック２４か
らボート４４に移行する。

第１３図に示すように、　７枚のウェハ４５□は、同方
向の配列で、ボート４４の第１エリアにローディングさ
れる。すなわち、ボート４４上の各ウェハ４５゜は、１
２／１６インチピッチの間隔でｆａｃｅ４５ａとｂａｃ
ｋ４５ｂとが互いに対面している。

１回目のウェハ移替え後、ローディング装置１０を第２
のステージ１３から第１のステージ１２にスライド移動
させ、第１の開閉チャック２４をカセット４３の直上に
位置させる。次いで、モータ３２に通電し、モータ駆動
によりターンテーブル３０を１８０゜回転させ、カセッ
ト４３を反転させる。

そして、シリンダ３３に圧縮エアを供給し、押し上げ部
材３４によりカセット４３からウェハ４５を第１の開閉
チャック２４の高さにリフトする。次いで、第１１図に
示すように、第１の開閉チャック２４によリウエハ４５
を挟持する。押し上げ部材３４を下降させると、６枚の
ウェハ４５が開閉チャック２４に残留する。これを第２
ステージ１３へ搬送し、第１２図及び第１４図に示すよ
うに、　６枚のウェハ４５２をボート４４の第１エリア
にローディングする。

これら６枚のウェハ４５□と、　前回移替えられた７枚
のウェハ４５□とは、ｆａｃｅ４５ａ　ｔｏ　ｆａｃｅ
４５ａの配列となる。

そして、上記と実質的に同様の動作を繰返して。

カセット４３からボート４４の第２エリアに合計１１枚
のウェハ４５をｆａｅａ４５ａ　ｔｏ　ｆａｃｅ４５ａ
の配列となるように移替える。すなわち、第１５図に示
すように、３回目の移替えウェハ４５．（６枚）を、２
回目の移替えウェハ４５□（６枚）と同じ向きの配列と
する。

また、４回目の移替え工程においては、機構２９により
カセット４３を反転させ、ウェハ４５の向きを１８０°
転換する。すなわち、第１６図に示すように、４回目の
移替えウェハ４５．　（５枚）を、１回目の移替エウエ
ハ４５１（７枚）と同じ向きの配列とする。

これにより、合計２４枚のウェハ４５がｆａｃｅ４５ａ
　ｔ。

ｆａｃｅ４５ａの配列となるように、ボート４４にロー
ディングされる。

ウェハ移替え完了後、ボート４４を受は渡し位置に搬送
し、エレベータ装置７の部材７ｂによりボート４４を保
持しつつ使用予定炉の棚まで搬送し、ボート４４をフォ
ーク６上に移し、ソフトランディング装置５によりボー
ト４４を炉内に挿入する。そして、所定温度及び所定時
間の熱処理を実行する。

なお、上記実施例では、第１の開閉チャック２４を用い
て、３／１６インチピッチの溝を有するボート４４にウ
ェハ４５をローディングする場合について説明したが、
ボートの溝間隔が３７３２インチピッチに変更された場
合にも対応することができる。

すなわち、上記装置は第１の開閉チャック２４の他に第
２の開閉チャック２５を有するので、この第２の開閉チ
ャック２５を使用することにより３／３２インチピッチ
の溝を有するボートにウェハを移替えることができる。

このため、開閉チャックを交換することなく、単一の装
置により溝ピッチが互いに異なる数種のボートにウェハ
を移替えることができる。

また、上記実施例では、ウェハをｆａｃｅ　ｔｏ　ｆａ
ｃｅの配列でボートに移替える場合について説明したが
、これに限られることなく、カセット回転機構２９によ
るウェハの反転を種々変更することにより各種のウェハ
の配列を得ることが可能である。

複数枚のウェハが収納された第１のウェハ収納手段を選
択的に方向転換させる手段と、前記第１のウェハ収納手
段からウェハを取出す手段と、取出されたウェハを選択
的に挟持する手段と、取出されたウェハを第２のウェハ
収納手段に搬送する手段と、を有する。

上記方向転換手段が、第１のウェハ収納手段（カセット
）を垂直軸廻りに転回させるターンテーブルを有する。

この場合に、カセットを載置したターンテーブルが、パ
ルスモータにより垂直軸廻りに１８０’回転するように
なっていることが好ましい。

上記ターンテーブルは、複数設置されており、これらが
カセットステージに直列に配列されていることが好まし
い。

また、上記方向転換手段が、コンピュータシステムによ
り制御されるように設けられていることが望ましい。こ
の場合に、所定のコンピュータプログラミングに基づい
てカセットが方向転換手段により選択的に方向転換させ
られる。

上記挟持手段が、複数の開閉チャック機構を有すること
が好ましい。

この場合に、２系統の挟持手段を有し、各系統のウェハ
保持用の溝の相互間隔が異なっていることが好ましい。

以上述べたようにこの実施例によれば、複数枚の被移替
えウェハが収納された第１の被移替えウェハ収納容器か
ら全ウェハを押上げる工程と、この工程により押上げら
れたウェハ列から予め定められた枚数毎にウェハを抜き
取る工程と、この工程により抜き取ったウェハを第２の
ウェハ収納手段に移替える工程と、この第２の被移替え
ウェハ収納容器を１８０”回転させる工程と、　この工
程により回転した容器から全ウェハを押上げ予め定めら
れた枚数のウェハを抜き取り上記第１のウェハ収納容器
に移替えてフェース・ツー・フェースの配列をする工程
を具備したことにより、ウェハをフェース・ツー・フェ
ースの配列となるように、カセットからボートへ全自動
ローディングすることができる。このため熱処理の仕様
変更に関連してボート上のウェハの配列を種々変更しな
ければならない事態が生じたときに、これに十分に対処
することができるので、この種の装置の用途が拡大され
た。

また、部品を交換することなく、単一の装置により各種
タイプのボートにウェハを移替えることができる。この
ため、ボートのウェハ保持間隔が３７１６インチピッチ
から３／３２インチピッチに変更されたとしても、同一
の装置によりウェハをカセットからボートへ移替えるこ
とができる。従って、部品交換時間を省略することがで
きるので、装置の稼働率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法の一実施例を説明するための加熱炉
装置の構成図、第２図は第１図の移替え装置説明図、第
３図は第２図移替え装置の一部をなすローディング装置
説明図、第４図は第２図の第１のウェハチャック縦断面
図、第５図は第４図のｒＶ−ＩＶ間断面図、第６図は第
４図の■−■間断　　。面図、第７図は第２図の第２のウェハチャック縦断面図
、第８図は第７図の■−■間断面図、第９図は第７図の
■−■間断面図、第１０図、第１１図。第１２図は第２図移替え装置のカセット回転機構及び押
上１プ部材説明図、第１３図乃至第１６図は第２図移替
え装置によるウェハ移替え手順説明図である。１０・・・ローディング装置　２４．２５・・・開閉チ
ャック２９・・・カセット回転機構　４３・・・カセッ
ト４４１１．ボート４５・・・ウェハ

Claims

【特許請求の範囲】

　複数枚の被移替えウェハが収納された第１の被移替え
ウェハ収納容器から全ウェハを押上げる工程と、この工
程により押上げられたウェハ列から予め定められた枚数
毎にウェハを抜き取る工程と、この工程により抜き取っ
たウェハを第２のウェハ収納手段に移替える工程と、第
２の被移替えウェハ収納容器を１８０゜回転させる工程
と、この工程により回転した容器から全ウェハを押上げ
予め定められた枚数のウェハを抜き取り上記第１のウェ
ハ収納容器に移替えてフェース・ツー・フェースの配列
をする工程を具備してなるウェハ移替え方法。