JPS6269633A - ウエ−ハ移替装置 - Google Patents
ウエ−ハ移替装置Info
- Publication number
- JPS6269633A JPS6269633A JP21057285A JP21057285A JPS6269633A JP S6269633 A JPS6269633 A JP S6269633A JP 21057285 A JP21057285 A JP 21057285A JP 21057285 A JP21057285 A JP 21057285A JP S6269633 A JPS6269633 A JP S6269633A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- transfer
- boat
- cassette
- clamp
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
〔発明の技術分野〕
本発明はつ１−ハ移８装同、特に半導体装置の製造Ｔ稈
において、ウェーハを拡散炉等の炉内に移送さ
において、ウェーハを拡散炉等の炉内に移送さ
半導体装置を！ｘＩ造する拡散工程では、ウェーハを石
英等からなるボート上に載置し、このボートと共につＪ
−八を炉内に移送している。この移送前、ウェーハ（ま
カセット内に収納された状態で送られてｋる。従ってこ
のＪ：うに送られてきたウェーハをカセットからボート
に移し替える必要があり、この移し替えを自動的に行イ
【うため従来からウェーハ移替装置が使用されている。 このつＴ−ハ移替装暦は、力廿ツ１へが載置されるカセ
ット載置台と、ボートが載置される載置台とが隣り合う
ように設けられ、これら両載青台を移替手段が往復移動
することによりカセットからボートへの移し替え、およ
びこの逆の移し替えが行われる。 しかし４ｉがら、従来のつ■−ハ移替装置（１，、つ１
−ハをクランプ（〕て（ｌ復移動りる移替手段のクラン
プ幅が固定的な１＝め、甲−４ノイズの［″）１−ハに
のみ適用されている。従って、ウェーハ移替装置が配置
される炉す中−サイズのつＩ−ハの処理を行なうように
制限されており、リーイズの’１４ ／にるつ■−ハの
［１ツトを混有さ１！で処理１することがぐきないとい
う問題１１反があつＩ、二。 〔発明の目的〕 本発明；まト記１１１情を名山してく↑された（）で、
サイズの異なるつＴ−ハでｂ甲−の移替手段で移送する
ことのできるつ■−ハ移台装同を提供でることを目的と
している。 〔発明の概要〕 上記目的を達成するため１こ本発明にＪ：るウェーハ移
替装置（よ、移？）手段のつ１−ハクランプ幅をつＪ−
ハのサイズに合わ１！で切り換える切換手段を設け、処
理するつ丁−ハのリーイズを切り換え選択するよう（こ
したことを特徴としている。 〔発明の実施例］ 以下本発明を図示の一実施例に基づき説明する。 第１図（，１本発明の一実施例に係るウェーハ移替装置
の全体斜視図、第２図はその要部の斜視図である。多数
枚のつ丁−ハ１が収納されたカセッ（・２を載置するカ
セツ［・載置台３およびボー１へ４が載置されるボー１
〜載首台５が長手方向に連設され、ボート載置台５のさ
らに左側に炉（図示せず）が位胃している。カセツ１〜
２は側壁内につ１−ハ１を収納づるように（２っており
、ボート４は石英製の枠体からなり、枠体上にウェーハ
が載置され、この状態で炉内に送られるようになってい
る。又、カセッ］へ載置台３およびボート載置台５の天
面部分には後述する移替手段１０のエレベータ１３が昇
降可能イ１ように開口６および７がイれぞれ形成されて
いる。さらに、力廿ット載回台３からボー１〜載冒台５
までに３９ ？ｌるスライド孔８が開設され、移替手８
２１０がスライド孔８内を往復移動りるようになってい
る。 移替手段１０は第２図に示すＪ：うに、ガイトレ一ル１
１に沿ってｔ１復動を行／にうモータ等の並進機構１２
と、この並進機構１２と其に移動づ゛るＴレベータ１３
と、並進機構１２から立設しスライド孔８を挿通Ｊる支
持アーム１／ｌに取り（；ｔ ＩＪられたクランプ機構
１５とからなり、このクランプ機構１５に後述する切換
手段２０が設けられでいる。 エレベータ１３は袢降可能と４丁っており、１胃によっ
て各載置台の開口６又は７からＬ方に進出してカセット
２又はボート４からウェーハ１を取り出し、クランプ機
構１５まで一ト胃さ１するとｊｔに、下降してクランプ
ＩＭＡ１５からウェーハをカセット２又はボート４十に
載置さＩ！るものである。クランプ機構１５は支持アー
ム１４の上端部に矩形状に組み付けられた支持枠１５ａ
と、この支持枠１５ａ内に設けられた一対のクランプ板
１５ｂ１１５Ｃとからなる。このクランプ板１５ｂ。 １５ｃの対向面にはつＩ−ハを挟むための縦溝が複数条
形成されて、ウェーハを複数枚同時にクランプするよう
にイ【つでいる。 切換手段２０はクランプ機構１５の前記支持枠１５外面
に取り付けられたモータ２１と、このモータ２１の回転
軸に掛着されたベルト２２とからなっている。そして、
ベルト２２がクランプ板１５ｂ、１５ｃに係合し、ベル
ト２２が周回すると、クランプ板１５ｂ、１５Ｇがスラ
イドしてクランプ板間の離隔幅、即ちクランプ幅が調整
されるＪ：うになっている。この係合は、例えば一方の
クランプ板１５ｂがベルト２２の上側辺と掛着し、他方
のクランプ板１５ｃがベルトの上側辺と掛着することで
行なうことができ、クランプ板１５ｂ。 １５ｃがスライドしてクランプ幅がクランプされるウェ
ーハのサイズに合わせて切り換えられる。 なお、このクランプ板１５ｂ、１５ｃのスライドを安定
して行なうため、クランプ板１５ｂ。 １５Ｇのスライド方向にガイド棒１６が設けられている
。 次に以上の実施例の動作を説明する。カセット載置台３
上のカセット２からボート載置台５のボート４上にウェ
ーハを移し換える場合には、まず、並進機構１２によっ
て移替手段１０をカセット載置台３まで移動さ１！′、
エレベータ１３をト胃さ１！て所望のカレッｌ−内から
つＴ−ハを取り出し、クランプ板１５ｂ、１５ｃまぐ押
し１−げろ。このクランプ板１５ｂ、１５ｃは予め、つ
Ｔ−ハのサイズに合わけてクランプ幅が調整されでおり
、つ１−八はクランプ板間にクランプされ、クランプ状
態のまま、並進機構１２にＪ、つてボー］〜載置台５に
移送される。ボート戟ｎ台では位買出しした後、Ｔレベ
ータ１３が再麻、駆動しつ丁−ハをクランプ板１５ｂ、
１５ｃからボート４にに４７ろｔＪ。 次に、サイズの異なるつ丁−ハを移替える場合、オペレ
ータは切換手段２０のモータ２１を駆動させてベルト２
２を５周回さけ、クランプ板１５ｂ。 １５ｃをスライドさ１！る。そして、クランプ板１５ｔ
）、１５ｃの距離がクランプされるつＴ−ハの＋１イズ
に合致した時点で、七−夕２１を停什させる。これによ
りクランプ幅の切換えが行むわれる。従ってサイズの異
なるつＩ−ハが混合していても、つ■−への移門が可能
となる。なお、この場合、各種のクランプ幅を制御装置
に予め記憶さけて、制御装置の信号でモータを駆動、停
止！ニさせる」；うにしてもにい。 〔発明の効果〕 】メ上のどおり、本発明にＪ：れば、ウェーハのクラン
プ幅を切換手段でウェーハのサイズに応じて切り換える
ようにしたため、異なるサイズのウェーハのクランプを
甲−の切換手段で行なうことができ、複数の１１イズの
ウェーハの拡散処理が可能どなる。
英等からなるボート上に載置し、このボートと共につＪ
−八を炉内に移送している。この移送前、ウェーハ（ま
カセット内に収納された状態で送られてｋる。従ってこ
のＪ：うに送られてきたウェーハをカセットからボート
に移し替える必要があり、この移し替えを自動的に行イ
【うため従来からウェーハ移替装置が使用されている。 このつＴ−ハ移替装暦は、力廿ツ１へが載置されるカセ
ット載置台と、ボートが載置される載置台とが隣り合う
ように設けられ、これら両載青台を移替手段が往復移動
することによりカセットからボートへの移し替え、およ
びこの逆の移し替えが行われる。 しかし４ｉがら、従来のつ■−ハ移替装置（１，、つ１
−ハをクランプ（〕て（ｌ復移動りる移替手段のクラン
プ幅が固定的な１＝め、甲−４ノイズの［″）１−ハに
のみ適用されている。従って、ウェーハ移替装置が配置
される炉す中−サイズのつＩ−ハの処理を行なうように
制限されており、リーイズの’１４ ／にるつ■−ハの
［１ツトを混有さ１！で処理１することがぐきないとい
う問題１１反があつＩ、二。 〔発明の目的〕 本発明；まト記１１１情を名山してく↑された（）で、
サイズの異なるつＴ−ハでｂ甲−の移替手段で移送する
ことのできるつ■−ハ移台装同を提供でることを目的と
している。 〔発明の概要〕 上記目的を達成するため１こ本発明にＪ：るウェーハ移
替装置（よ、移？）手段のつ１−ハクランプ幅をつＪ−
ハのサイズに合わ１！で切り換える切換手段を設け、処
理するつ丁−ハのリーイズを切り換え選択するよう（こ
したことを特徴としている。 〔発明の実施例］ 以下本発明を図示の一実施例に基づき説明する。 第１図（，１本発明の一実施例に係るウェーハ移替装置
の全体斜視図、第２図はその要部の斜視図である。多数
枚のつ丁−ハ１が収納されたカセッ（・２を載置するカ
セツ［・載置台３およびボー１へ４が載置されるボー１
〜載首台５が長手方向に連設され、ボート載置台５のさ
らに左側に炉（図示せず）が位胃している。カセツ１〜
２は側壁内につ１−ハ１を収納づるように（２っており
、ボート４は石英製の枠体からなり、枠体上にウェーハ
が載置され、この状態で炉内に送られるようになってい
る。又、カセッ］へ載置台３およびボート載置台５の天
面部分には後述する移替手段１０のエレベータ１３が昇
降可能イ１ように開口６および７がイれぞれ形成されて
いる。さらに、力廿ット載回台３からボー１〜載冒台５
までに３９ ？ｌるスライド孔８が開設され、移替手８
２１０がスライド孔８内を往復移動りるようになってい
る。 移替手段１０は第２図に示すＪ：うに、ガイトレ一ル１
１に沿ってｔ１復動を行／にうモータ等の並進機構１２
と、この並進機構１２と其に移動づ゛るＴレベータ１３
と、並進機構１２から立設しスライド孔８を挿通Ｊる支
持アーム１／ｌに取り（；ｔ ＩＪられたクランプ機構
１５とからなり、このクランプ機構１５に後述する切換
手段２０が設けられでいる。 エレベータ１３は袢降可能と４丁っており、１胃によっ
て各載置台の開口６又は７からＬ方に進出してカセット
２又はボート４からウェーハ１を取り出し、クランプ機
構１５まで一ト胃さ１するとｊｔに、下降してクランプ
ＩＭＡ１５からウェーハをカセット２又はボート４十に
載置さＩ！るものである。クランプ機構１５は支持アー
ム１４の上端部に矩形状に組み付けられた支持枠１５ａ
と、この支持枠１５ａ内に設けられた一対のクランプ板
１５ｂ１１５Ｃとからなる。このクランプ板１５ｂ。 １５ｃの対向面にはつＩ−ハを挟むための縦溝が複数条
形成されて、ウェーハを複数枚同時にクランプするよう
にイ【つでいる。 切換手段２０はクランプ機構１５の前記支持枠１５外面
に取り付けられたモータ２１と、このモータ２１の回転
軸に掛着されたベルト２２とからなっている。そして、
ベルト２２がクランプ板１５ｂ、１５ｃに係合し、ベル
ト２２が周回すると、クランプ板１５ｂ、１５Ｇがスラ
イドしてクランプ板間の離隔幅、即ちクランプ幅が調整
されるＪ：うになっている。この係合は、例えば一方の
クランプ板１５ｂがベルト２２の上側辺と掛着し、他方
のクランプ板１５ｃがベルトの上側辺と掛着することで
行なうことができ、クランプ板１５ｂ。 １５ｃがスライドしてクランプ幅がクランプされるウェ
ーハのサイズに合わせて切り換えられる。 なお、このクランプ板１５ｂ、１５ｃのスライドを安定
して行なうため、クランプ板１５ｂ。 １５Ｇのスライド方向にガイド棒１６が設けられている
。 次に以上の実施例の動作を説明する。カセット載置台３
上のカセット２からボート載置台５のボート４上にウェ
ーハを移し換える場合には、まず、並進機構１２によっ
て移替手段１０をカセット載置台３まで移動さ１！′、
エレベータ１３をト胃さ１！て所望のカレッｌ−内から
つＴ−ハを取り出し、クランプ板１５ｂ、１５ｃまぐ押
し１−げろ。このクランプ板１５ｂ、１５ｃは予め、つ
Ｔ−ハのサイズに合わけてクランプ幅が調整されでおり
、つ１−八はクランプ板間にクランプされ、クランプ状
態のまま、並進機構１２にＪ、つてボー］〜載置台５に
移送される。ボート戟ｎ台では位買出しした後、Ｔレベ
ータ１３が再麻、駆動しつ丁−ハをクランプ板１５ｂ、
１５ｃからボート４にに４７ろｔＪ。 次に、サイズの異なるつ丁−ハを移替える場合、オペレ
ータは切換手段２０のモータ２１を駆動させてベルト２
２を５周回さけ、クランプ板１５ｂ。 １５ｃをスライドさ１！る。そして、クランプ板１５ｔ
）、１５ｃの距離がクランプされるつＴ−ハの＋１イズ
に合致した時点で、七−夕２１を停什させる。これによ
りクランプ幅の切換えが行むわれる。従ってサイズの異
なるつＩ−ハが混合していても、つ■−への移門が可能
となる。なお、この場合、各種のクランプ幅を制御装置
に予め記憶さけて、制御装置の信号でモータを駆動、停
止！ニさせる」；うにしてもにい。 〔発明の効果〕 】メ上のどおり、本発明にＪ：れば、ウェーハのクラン
プ幅を切換手段でウェーハのサイズに応じて切り換える
ようにしたため、異なるサイズのウェーハのクランプを
甲−の切換手段で行なうことができ、複数の１１イズの
ウェーハの拡散処理が可能どなる。
第１図は本発明の一実施例に係るウェーハ移替装置の全
体斜視図、第２図はその要部の斜視図である。 １・・・ウェーハ、２・・・カセット、３・・・カセッ
ト載ｎ台、４・・・ボー１〜．５・・・ボー１へ載謂台
、１０・・・移替手段、２０・・・切換手段、２１・・
・モータ、２２・・・ベルｌ−。
体斜視図、第２図はその要部の斜視図である。 １・・・ウェーハ、２・・・カセット、３・・・カセッ
ト載ｎ台、４・・・ボー１〜．５・・・ボー１へ載謂台
、１０・・・移替手段、２０・・・切換手段、２１・・
・モータ、２２・・・ベルｌ−。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ウェーハを格納するカセットが載置されるカセット
載置台と、このカセット載置台に隣接して設けられ、ウ
ェーハを炉内に収納するボートが載置されるボート載置
台と、ウェーハをクランプして往復移動し前記カセット
とボートとの間でウェーハを移し替える移替手段と、こ
の移替手段のクランプ幅を前記ウェーハのサイズに応じ
て切換える切換手段とからなることを特徴とするウェー
ハ移替装置。 ２、切換手段がモータ駆動されるベルトの周回によりク
ランプ幅を切換える機構を有する特許請求の範囲第１項
記載のウェーハ移替装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21057285A JPS6269633A (ja) | 1985-09-24 | 1985-09-24 | ウエ−ハ移替装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21057285A JPS6269633A (ja) | 1985-09-24 | 1985-09-24 | ウエ−ハ移替装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6269633A true JPS6269633A (ja) | 1987-03-30 |
Family
ID=16591535
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21057285A Pending JPS6269633A (ja) | 1985-09-24 | 1985-09-24 | ウエ−ハ移替装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6269633A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01230246A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-09-13 | Tel Sagami Ltd | 半導体ウェハの移し換え方法及び半導体ウェハの移し換え装置並びに半導体ウェハの熱処理ボート |
| JPH01251633A (ja) * | 1987-12-07 | 1989-10-06 | Tel Sagami Ltd | ウエハ移替え装置 |
| CN111128796A (zh) * | 2018-10-30 | 2020-05-08 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 用于搬运半导体部件承载器的设备及方法 |
| US12165906B2 (en) | 2018-10-30 | 2024-12-10 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Apparatus and methods for handling semiconductor part carriers |
-
1985
- 1985-09-24 JP JP21057285A patent/JPS6269633A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01230246A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-09-13 | Tel Sagami Ltd | 半導体ウェハの移し換え方法及び半導体ウェハの移し換え装置並びに半導体ウェハの熱処理ボート |
| JPH01251633A (ja) * | 1987-12-07 | 1989-10-06 | Tel Sagami Ltd | ウエハ移替え装置 |
| CN111128796A (zh) * | 2018-10-30 | 2020-05-08 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 用于搬运半导体部件承载器的设备及方法 |
| CN111128796B (zh) * | 2018-10-30 | 2023-10-20 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 用于搬运半导体部件承载器的设备及方法 |
| US12165906B2 (en) | 2018-10-30 | 2024-12-10 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Apparatus and methods for handling semiconductor part carriers |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5989346A (en) | Semiconductor processing apparatus | |
| US4808059A (en) | Apparatus and method for transferring workpieces | |
| KR100245452B1 (ko) | 기판 이송장치 및 방법 | |
| JP3006714B2 (ja) | 縦型基板移載装置及び縦型熱処理装置並びに縦型熱処理装置における基板移載方法 | |
| EP0302885A1 (en) | Automatic wafer loading method and apparatus | |
| US6811370B2 (en) | Wafer handling robot having X-Y stage for wafer handling and positioning | |
| JPS61284357A (ja) | 被工作物のカセツト間移送方法と装置 | |
| JPS6269633A (ja) | ウエ−ハ移替装置 | |
| JP3531044B2 (ja) | 液晶表示装置用ガラス基板の移載方法および該方法に用いる装置 | |
| JP3241470B2 (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPH10321704A (ja) | 基板移載機 | |
| JP2891382B2 (ja) | 熱処理方法 | |
| JPH05235147A (ja) | 基板移載装置 | |
| JPH1143221A (ja) | 基板処理装置および方法 | |
| JPH05214535A (ja) | 基板移載装置 | |
| JPH0513551A (ja) | 処理装置 | |
| JPH11329989A (ja) | 基板処理装置 | |
| JPH02276261A (ja) | 半導体ウエーハ移送装置 | |
| JP2945837B2 (ja) | 板状体の搬送機構および搬送方法 | |
| JPH05217928A (ja) | 縦型熱処理装置 | |
| JPH11329988A (ja) | 基板処理装置 | |
| JPS61226939A (ja) | ウエ−ハ移替装置 | |
| JPH064586Y2 (ja) | ウエハー移し替え装置 | |
| JP3235862B2 (ja) | 板状体の配列ピッチ変換装置 | |
| JPH04361551A (ja) | 半導体ウエハの搬送装置 |