JPH01253232A - 半導体ウエハの熱処理装置 - Google Patents
半導体ウエハの熱処理装置Info
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- JPH01253232A JPH01253232A JP8107088A JP8107088A JPH01253232A JP H01253232 A JPH01253232 A JP H01253232A JP 8107088 A JP8107088 A JP 8107088A JP 8107088 A JP8107088 A JP 8107088A JP H01253232 A JPH01253232 A JP H01253232A
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- wafer boat
- clamp
- boat
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、縦型炉へのウェハボートの搬入搬出方法に関
する。
する。
［従来の技術］
近年、半導体ウェハの大径化に伴い縦型炉が見立され、
ウェハの拡散やＣＶＤ等に利用されている。縦型炉は通
常、下方にローディング、アンローディング部を設けた
開口を配設した石英反応管の周囲にヒータを配設した構
造となっており、このような縦型炉でウェハを熱処理す
る場合は、石英等からなるウェハボート上にウェハをそ
の面が対向するように一定間隔で垂直に並べ、上記ウェ
ハボートを反応管内に垂直に挿入して熱処理を施すよう
になっている。
ウェハの拡散やＣＶＤ等に利用されている。縦型炉は通
常、下方にローディング、アンローディング部を設けた
開口を配設した石英反応管の周囲にヒータを配設した構
造となっており、このような縦型炉でウェハを熱処理す
る場合は、石英等からなるウェハボート上にウェハをそ
の面が対向するように一定間隔で垂直に並べ、上記ウェ
ハボートを反応管内に垂直に挿入して熱処理を施すよう
になっている。
ところで、ウェハボートを縦型炉へ搬入したり、ウェハ
ボートを縦型炉から搬出する方法としては種々の方法が
提案されており、例えば反応室より離れた位置でボート
ハンドラの上面にウェハボートを垂直に立てて載置し、
この立てた状態で上記ボートハンドラを水平方向に回動
させて上記反応室下方の開口に移動し、しかる後ウェハ
ボートを炉内へ搬送する方法（特開昭６１−２９１３３
５号公報）などがある。
ボートを縦型炉から搬出する方法としては種々の方法が
提案されており、例えば反応室より離れた位置でボート
ハンドラの上面にウェハボートを垂直に立てて載置し、
この立てた状態で上記ボートハンドラを水平方向に回動
させて上記反応室下方の開口に移動し、しかる後ウェハ
ボートを炉内へ搬送する方法（特開昭６１−２９１３３
５号公報）などがある。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、上記のような方法は安定性に欠けるため
、ウェハボートを高速で移動させることができないとい
う問題があった。また、熱処理後のウェハをボートから
キャリアへ移し替える場合、ウェハを櫛形の移替え装置
で持上げてボートから取出すため、ウェハをボートから
取出す際に膜を損傷させる可能性があった。
、ウェハボートを高速で移動させることができないとい
う問題があった。また、熱処理後のウェハをボートから
キャリアへ移し替える場合、ウェハを櫛形の移替え装置
で持上げてボートから取出すため、ウェハをボートから
取出す際に膜を損傷させる可能性があった。
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたもので、
縦型炉へのウェハボートの搬入搬出を迅速に行なうこと
ができ、しかも熱処理後のウェハをボートからキャリア
へ移し替える際にウェハの表面に形成された膜を損傷す
ることのない縦型炉へのウェハボートの搬入搬出方法を
提供することを課題とするものである。
縦型炉へのウェハボートの搬入搬出を迅速に行なうこと
ができ、しかも熱処理後のウェハをボートからキャリア
へ移し替える際にウェハの表面に形成された膜を損傷す
ることのない縦型炉へのウェハボートの搬入搬出方法を
提供することを課題とするものである。
［課題を解決するための手段］
上記の課題を解決するために本発明は、ウェハボートの
両端をほぼコ字形をなす掴み具で把持し、この掴み具を
垂直方向および水平方向に回転させて縦型炉へのウェハ
ボートの搬入搬出を行なうことを特徴とする。
両端をほぼコ字形をなす掴み具で把持し、この掴み具を
垂直方向および水平方向に回転させて縦型炉へのウェハ
ボートの搬入搬出を行なうことを特徴とする。
［作 用］
本発明は、上記の方法を採用することにより、ウェハボ
ートを高速で移動させることができるとともに、ウェハ
ボートを垂直に立てた状態から横置きの状態に回転させ
ることができる。
ートを高速で移動させることができるとともに、ウェハ
ボートを垂直に立てた状態から横置きの状態に回転させ
ることができる。
〔実 施 例］
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図において、図中１は外囲器形状が方形状縦型炉本
体（以下、炉本体と略称する。）、この炉本体１の前面
下部に炉口２が設けられている。
体（以下、炉本体と略称する。）、この炉本体１の前面
下部に炉口２が設けられている。
また、この炉口２の下部にはウェハ移替えテーブル３が
設けられ、このウェハ移替えテーブル３上には前工程か
ら複数のウェハを収納するキャリア４および反応炉に挿
入されるウェハボート５がそれぞれ所定位置に配置され
ている。
設けられ、このウェハ移替えテーブル３上には前工程か
ら複数のウェハを収納するキャリア４および反応炉に挿
入されるウェハボート５がそれぞれ所定位置に配置され
ている。
上記キャリア４は合成樹脂にて形成され、その相対向す
る側壁の内面には第２図（ａ）（ｂ）に示す如く２５枚
のウェハＷを垂直にかつ予め定められた間隔例えば一定
間隔で保持するための溝部２１が設けられている。また
、キャリア４の底部には開口部２２が設けられ、この開
口部２２を通して１キヤリア４内に収納されている２５
枚のウェハＷが後述するウェハ移替え機６により同時に
すくい上げられ、上方へ押し上げられるようになってい
る。このようにキャリア４が前列例えば４個−行状に配
列されている。この配列に平行してウェハボート５が配
設されている。
る側壁の内面には第２図（ａ）（ｂ）に示す如く２５枚
のウェハＷを垂直にかつ予め定められた間隔例えば一定
間隔で保持するための溝部２１が設けられている。また
、キャリア４の底部には開口部２２が設けられ、この開
口部２２を通して１キヤリア４内に収納されている２５
枚のウェハＷが後述するウェハ移替え機６により同時に
すくい上げられ、上方へ押し上げられるようになってい
る。このようにキャリア４が前列例えば４個−行状に配
列されている。この配列に平行してウェハボート５が配
設されている。
一方、前記ウェハボート５は石英、ＳｉＣ等の耐熱性材
料から形成され、第３図（ａ）（ｂ）に示す如く相対向
する側板３１．３２間に複数本の支柱３３・・・を設け
、これら各支柱３３にウェハＷを垂直に保持する保持溝
（図示せず）を一定間隔で設けた構成となっている。そ
して、上記側板３１．３２の外面にはそれぞれ把持用凸
部３４゜３５が設けられ、これらの把持用凸部３４．３
５を後述するウェハボート搬送装置７で把持するように
なっている。
料から形成され、第３図（ａ）（ｂ）に示す如く相対向
する側板３１．３２間に複数本の支柱３３・・・を設け
、これら各支柱３３にウェハＷを垂直に保持する保持溝
（図示せず）を一定間隔で設けた構成となっている。そ
して、上記側板３１．３２の外面にはそれぞれ把持用凸
部３４゜３５が設けられ、これらの把持用凸部３４．３
５を後述するウェハボート搬送装置７で把持するように
なっている。
前記ウェハ移替え機６は、第４図に示すようにキャリア
４内のウェハＷを上方へ押し上げるウェハ押上機構４１
と、このウェハ押上機構４１で押し上げられたウェハＷ
を挟持する一対のウェハチャック４２．４３と、この一
対のウェハチャック４２．４３を開閉するウェハチャッ
ク開閉機構４４と、上記ウェハチャック４２．４３を水
平方向に回転させるとともに上下方向に昇降させるウェ
ハチャック回転及び昇降機構４５と、上記ウェハチャッ
ク４２．４３及びウェハ押上機構４１をキャリア４の配
列方向に移動させる移動テーブル４６とから構成されて
いる。
４内のウェハＷを上方へ押し上げるウェハ押上機構４１
と、このウェハ押上機構４１で押し上げられたウェハＷ
を挟持する一対のウェハチャック４２．４３と、この一
対のウェハチャック４２．４３を開閉するウェハチャッ
ク開閉機構４４と、上記ウェハチャック４２．４３を水
平方向に回転させるとともに上下方向に昇降させるウェ
ハチャック回転及び昇降機構４５と、上記ウェハチャッ
ク４２．４３及びウェハ押上機構４１をキャリア４の配
列方向に移動させる移動テーブル４６とから構成されて
いる。
上記移動テーブル４６は、第５図に示すように互いに平
行に配設された一対のガイドレール４７゜４８上にスラ
イド自在に設けられ、パルスモータ４９と連結したボー
ルスクリュー５０の回転によって上記ガイドレール４７
，４８上を移動するようになっている。なお、上記パル
スモータ４９はモータ駆動回路５１を介して制御回路５
２からの信号により駆動されるようになっている。
行に配設された一対のガイドレール４７゜４８上にスラ
イド自在に設けられ、パルスモータ４９と連結したボー
ルスクリュー５０の回転によって上記ガイドレール４７
，４８上を移動するようになっている。なお、上記パル
スモータ４９はモータ駆動回路５１を介して制御回路５
２からの信号により駆動されるようになっている。
前記ウェハボート搬送装置７は、第６図に示すようにウ
ェハボート５の両端を把持するコ字形の掴み具６１と、
この掴み具６１を垂直方向に回転させる第１の掴み具回
転機構６２と、上記掴み具６１を水平方向に回転させる
第２の掴み具回転機構６３と、上記掴み具６１を上下方
向に昇降させる掴み具昇降機構６４と、上記掴み具６１
を前後方向に移動させる掴み具移動機構６５とから構成
されている。
ェハボート５の両端を把持するコ字形の掴み具６１と、
この掴み具６１を垂直方向に回転させる第１の掴み具回
転機構６２と、上記掴み具６１を水平方向に回転させる
第２の掴み具回転機構６３と、上記掴み具６１を上下方
向に昇降させる掴み具昇降機構６４と、上記掴み具６１
を前後方向に移動させる掴み具移動機構６５とから構成
されている。
上記第１の掴み具回転機構６２はモータ６６と、このモ
ータ６６の回転力を掴み具６１の背面に水平に突設され
た回転軸６つに伝える傘歯車６７゜６８とから構成され
、また第２の掴み具回転機構６３はモータ７０と、この
モータ７０の回転力を前記第１の掴み具回転機構６２の
下面に垂設された回転軸７３に伝える傘歯車７１．７２
とから構成されている。そして、前記掴み具昇降機構６
４は第２の掴み具回転機構６３を上下方向に昇降させる
ボールスクリュー７４と、このボールスクリュー７４に
モータ７６の回転力を伝える回転力伝達ベルト７５とか
ら構成され、また前記掴み具移動機構６５は掴み具昇降
機構６４を前後方向に移動させるボールスクリュー７７
と、このボールスクリュー７７にモータ８０の回転力を
伝える傘歯車７８．７９とから構成されている。
ータ６６の回転力を掴み具６１の背面に水平に突設され
た回転軸６つに伝える傘歯車６７゜６８とから構成され
、また第２の掴み具回転機構６３はモータ７０と、この
モータ７０の回転力を前記第１の掴み具回転機構６２の
下面に垂設された回転軸７３に伝える傘歯車７１．７２
とから構成されている。そして、前記掴み具昇降機構６
４は第２の掴み具回転機構６３を上下方向に昇降させる
ボールスクリュー７４と、このボールスクリュー７４に
モータ７６の回転力を伝える回転力伝達ベルト７５とか
ら構成され、また前記掴み具移動機構６５は掴み具昇降
機構６４を前後方向に移動させるボールスクリュー７７
と、このボールスクリュー７７にモータ８０の回転力を
伝える傘歯車７８．７９とから構成されている。
第７図ないし第１４図は上記ウェハ移替え機６およびウ
ェハ搬送装置７の動作を示す図で、以下、これらの図を
参照して本発明による縦型炉へのウェハボートの搬入搬
出方法を説明する。
ェハ搬送装置７の動作を示す図で、以下、これらの図を
参照して本発明による縦型炉へのウェハボートの搬入搬
出方法を説明する。
ウェハＷをキャリア４からウェハボート５へ移し替える
場合は、先ず第７図に示す如くキャリア４内のウェハＷ
をウェハ押上機構４１で上方へ押し上げ、押し上げられ
たウェハＷを第８図に示す如く一対のウェハチャック４
２．４３で挟持する。
場合は、先ず第７図に示す如くキャリア４内のウェハＷ
をウェハ押上機構４１で上方へ押し上げ、押し上げられ
たウェハＷを第８図に示す如く一対のウェハチャック４
２．４３で挟持する。
次に、ウェハＷを挟持したウェハチャック４２゜４３を
第９図に示す如くウェハチャック回転及び昇降機構４５
で水平方向に１８０度だけ回転させる。そして、この状
態でウェハチャック４２゜４３をウェハチャック回転及
び昇降機構４５で所定位置まで降下させた後、ウェハチ
ャック４２゜４３を第１０図に示す如くウェハチャック
開閉機構４４で開放させる。これによりウェハチャック
４２．４３に挟持されたウェハＷは、キャリア４からウ
ェハボート５に移し替えられ、ウェハボート５上に互い
に対向して一定間隔でかつ垂直に配列される。
第９図に示す如くウェハチャック回転及び昇降機構４５
で水平方向に１８０度だけ回転させる。そして、この状
態でウェハチャック４２゜４３をウェハチャック回転及
び昇降機構４５で所定位置まで降下させた後、ウェハチ
ャック４２゜４３を第１０図に示す如くウェハチャック
開閉機構４４で開放させる。これによりウェハチャック
４２．４３に挟持されたウェハＷは、キャリア４からウ
ェハボート５に移し替えられ、ウェハボート５上に互い
に対向して一定間隔でかつ垂直に配列される。
次に、ウェハボート５を炉本体１内へ搬入する場合は、
先ずウェハボート５の両端を掴み具６１て把持し、第１
１図に示す如く掴み具６１を掴み具昇降機構６４で所定
位置まで上昇させる。そして、その状態で掴み具６１を
第１２図に示す如く第１の掴み具回転機構６２で垂直方
向に１８０度だけ回転させる。これにより掴み具６１に
把持されたウェハボート５は、水平状態から垂直状態と
なる。その後、掴み具６１を第１３図に示す如く第２の
掴み具回転機構６３で水平方向に１８０度だけ回転させ
た後、掴み具６１を第１４図に示す如く掴み具移動機構
６５で炉口２側へ移動させる。
先ずウェハボート５の両端を掴み具６１て把持し、第１
１図に示す如く掴み具６１を掴み具昇降機構６４で所定
位置まで上昇させる。そして、その状態で掴み具６１を
第１２図に示す如く第１の掴み具回転機構６２で垂直方
向に１８０度だけ回転させる。これにより掴み具６１に
把持されたウェハボート５は、水平状態から垂直状態と
なる。その後、掴み具６１を第１３図に示す如く第２の
掴み具回転機構６３で水平方向に１８０度だけ回転させ
た後、掴み具６１を第１４図に示す如く掴み具移動機構
６５で炉口２側へ移動させる。
これにより掴み具６１に把持されたウェハボート５は炉
本体１内へ搬入され、図示しない昇降機構により石英反
応管内に垂直に挿入される。なお、ウェハボート５を炉
内から搬出する場合は上記と逆の手順で行なう。
本体１内へ搬入され、図示しない昇降機構により石英反
応管内に垂直に挿入される。なお、ウェハボート５を炉
内から搬出する場合は上記と逆の手順で行なう。
このように、ウェハボート５の両端をほぼコ字形をなす
掴み具６１で把持し、この掴み具６１を垂直方向および
水平方向に回転させて縦型炉へのウェハボート５の搬入
搬出を行なうことにより、ウェハボート５を高速で移動
させることができるため、ウェハボートの搬出搬出を迅
速に行なうことができる。また、ウェハボート５を垂直
方向に回転させることができ、ウェハボート５を横置き
にした状態でウェハの移替えを行なうことができるため
、ウェハの表面に形成された膜をウェハ移替え機で損傷
させることもない。
掴み具６１で把持し、この掴み具６１を垂直方向および
水平方向に回転させて縦型炉へのウェハボート５の搬入
搬出を行なうことにより、ウェハボート５を高速で移動
させることができるため、ウェハボートの搬出搬出を迅
速に行なうことができる。また、ウェハボート５を垂直
方向に回転させることができ、ウェハボート５を横置き
にした状態でウェハの移替えを行なうことができるため
、ウェハの表面に形成された膜をウェハ移替え機で損傷
させることもない。
［発明の効果］
以上説明したように本発明によれば、ウェハボートの両
端をほぼコ字形をなす掴み具で把持し、この掴み具を垂
直方向および水平方向に回転させて縦型炉へのウェハボ
ートの搬入搬出を行なうようにしたので、縦型炉へのウ
ェハボートの搬入搬出を迅速に行なうことができ、スル
ーブツトの向上を図ることができる。
端をほぼコ字形をなす掴み具で把持し、この掴み具を垂
直方向および水平方向に回転させて縦型炉へのウェハボ
ートの搬入搬出を行なうようにしたので、縦型炉へのウ
ェハボートの搬入搬出を迅速に行なうことができ、スル
ーブツトの向上を図ることができる。
第１図ないし第１４図は本発明による縦型炉へのウェハ
ボートの搬入搬出方法を説明するための図で、第１図は
縦型炉の斜視図、第２図（ａ）はキャリアの平面図、同
図（ｂ）はその正面図、第３図（ａ）はウェハボートの
正面図、同図（ｂ）はその側面図、第４図及び第５図は
ウェハ移替え機の構成を示す図、第６図はボート搬送装
置の構成を示す図、第７図ないし第１４図はウェハ移替
え機およびボート搬送装置の動作を示す図である。 １・・・炉本体、４・・・キャリア、５・・・ウェハボ
ート、６・・・ウェハ移替え機、７・・・ボート搬送装
置、４１・・・ウェハ押上機構、４２．４３・・・ウェ
ハチャック、４４・・・ウェハチャック開閉機構、４５
・・・ウェハチャック回転及び昇降機構、４６・・・移
動テーブル、６１・・・掴み具、６２・・・第１の掴み
具回転機構、６３・・・第２の掴み具回転機構、６４・
・・掴み具昇降機構、６５・・・掴み具移動機構、Ｗ・
・・ウェハ。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 （ａ） 第２図 第１図 第４図 第１２図 第１３図
ボートの搬入搬出方法を説明するための図で、第１図は
縦型炉の斜視図、第２図（ａ）はキャリアの平面図、同
図（ｂ）はその正面図、第３図（ａ）はウェハボートの
正面図、同図（ｂ）はその側面図、第４図及び第５図は
ウェハ移替え機の構成を示す図、第６図はボート搬送装
置の構成を示す図、第７図ないし第１４図はウェハ移替
え機およびボート搬送装置の動作を示す図である。 １・・・炉本体、４・・・キャリア、５・・・ウェハボ
ート、６・・・ウェハ移替え機、７・・・ボート搬送装
置、４１・・・ウェハ押上機構、４２．４３・・・ウェ
ハチャック、４４・・・ウェハチャック開閉機構、４５
・・・ウェハチャック回転及び昇降機構、４６・・・移
動テーブル、６１・・・掴み具、６２・・・第１の掴み
具回転機構、６３・・・第２の掴み具回転機構、６４・
・・掴み具昇降機構、６５・・・掴み具移動機構、Ｗ・
・・ウェハ。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 （ａ） 第２図 第１図 第４図 第１２図 第１３図
Claims (1)
- ウェハボートの両端をほぼコ字形をなす掴み具で把持
し、この掴み具を垂直方向および水平方向に回転させて
縦型炉へのウェハボートの搬入搬出を行なうことを特徴
とする縦型炉へのウェハボートの搬入搬出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63081070A JP2670503B2 (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 | 半導体ウエハの熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63081070A JP2670503B2 (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 | 半導体ウエハの熱処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01253232A true JPH01253232A (ja) | 1989-10-09 |
| JP2670503B2 JP2670503B2 (ja) | 1997-10-29 |
Family
ID=13736129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63081070A Expired - Fee Related JP2670503B2 (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 | 半導体ウエハの熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2670503B2 (ja) |
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-
1988
- 1988-04-01 JP JP63081070A patent/JP2670503B2/ja not_active Expired - Fee Related
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