JPH01252016A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPH01252016A JPH01252016A JP7931788A JP7931788A JPH01252016A JP H01252016 A JPH01252016 A JP H01252016A JP 7931788 A JP7931788 A JP 7931788A JP 7931788 A JP7931788 A JP 7931788A JP H01252016 A JPH01252016 A JP H01252016A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- reflector
- resistor
- electrodes
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- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的コ
（産業上の利用分野）
この発明は、例えば電圧制御発振器に使用される弾性表
面波装置に関する。
面波装置に関する。
（従来の技術）
弾性表面波共振子は、圧電基板上にインタディジタル変
換器とグレーティング反射電極とを形設したものが一般
的構造であり、近年ではＲＦモジュレータ回路、電圧制
御発振器等の各種発振回路に使用される傾向にある。
換器とグレーティング反射電極とを形設したものが一般
的構造であり、近年ではＲＦモジュレータ回路、電圧制
御発振器等の各種発振回路に使用される傾向にある。
第７図はこのような弾性表面波共振子の等価回路であり
、インタディジタル変換器を構成する櫛歯電極間に圧電
基板が介在した単なるコンデンサとしての容量Ｃｏと共
振子固有の容ＪＷＣ＋との直列容量と、共振子固有のイ
ンダクタンスＬ１との並列共振回路として表される。な
お、Ｒ１は共振子損失である。
、インタディジタル変換器を構成する櫛歯電極間に圧電
基板が介在した単なるコンデンサとしての容量Ｃｏと共
振子固有の容ＪＷＣ＋との直列容量と、共振子固有のイ
ンダクタンスＬ１との並列共振回路として表される。な
お、Ｒ１は共振子損失である。
第８図はこのような弾性表面波共振子が電圧制御発振器
に使用された例である。図中符号１は弾性表面波共振子
であり、この共振子１が有するインタディジタル変換器
の各櫛歯電極２．２はそれぞれＤＣカットコンデンサ３
．３を介して入力端、出力側に接続される。
に使用された例である。図中符号１は弾性表面波共振子
であり、この共振子１が有するインタディジタル変換器
の各櫛歯電極２．２はそれぞれＤＣカットコンデンサ３
．３を介して入力端、出力側に接続される。
ところで、このような電圧制御発振器による発振周波数
の可変幅を大きくとるためには、弾性表面波共振子の共
振周波数（ｆ’ｒ）と反共振周波数（（’ａ）との周波
数差を大きくする必要がある。−般的に、このような周
波数差を大きくするためには、第７図に示した等価回路
におけるＣｏとＣ１との比率が小さくすれば良いことが
知られており、この比率は容量比γ＝ Ｃｏ ／ Ｃ＋
とじて表される。
の可変幅を大きくとるためには、弾性表面波共振子の共
振周波数（ｆ’ｒ）と反共振周波数（（’ａ）との周波
数差を大きくする必要がある。−般的に、このような周
波数差を大きくするためには、第７図に示した等価回路
におけるＣｏとＣ１との比率が小さくすれば良いことが
知られており、この比率は容量比γ＝ Ｃｏ ／ Ｃ＋
とじて表される。
そして、こうした共振・反共振周波数差を△ｆｒａとす
ると、 △ｒｒａ ／ｆ’ｒ−１／２７ となり、これらの関係は第９図に示すようになる。
ると、 △ｒｒａ ／ｆ’ｒ−１／２７ となり、これらの関係は第９図に示すようになる。
弾性表面波共振子における容量比γは圧電基板の材料に
よっても決り、その関係は γ−α・ （π２／８・ｋ２） として表される。したがって、電気・機械結合係数（ｋ
２）の大きな材料の方が容量比γを小さくできるため、
広帯域に対応する弾性表面波共振子の圧？ｌＪ板の材料
としては、比較的に２が大きい３６°Ｙ−Ｘ ＬｉＴａ
０３ 、 Ｘ−１１２°Ｙ ＬＩＴａＯ３、４５’ Ｘ
−ＺＬ１２Ｂ４０７等が使用されている。
よっても決り、その関係は γ−α・ （π２／８・ｋ２） として表される。したがって、電気・機械結合係数（ｋ
２）の大きな材料の方が容量比γを小さくできるため、
広帯域に対応する弾性表面波共振子の圧？ｌＪ板の材料
としては、比較的に２が大きい３６°Ｙ−Ｘ ＬｉＴａ
０３ 、 Ｘ−１１２°Ｙ ＬＩＴａＯ３、４５’ Ｘ
−ＺＬ１２Ｂ４０７等が使用されている。
しかしながら、このようにに２が大きいことにより、各
電極間で放電を生じるという問題がある。
電極間で放電を生じるという問題がある。
これは、一般的に弾性表面波共振子における各電極は薄
膜技術により形成されるのであるが、その際の温度変化
により圧電基板の表面に焦電効果により電荷が帯電し、
この電荷により放電作用が生じるからである。そして、
電圧制御発振器は、制御電圧に入力信号を加えてＦＭ変
調信号にしたり、制御電圧に直流電圧を加えて数チャン
ネルをカバーする発振器として使用されるため、制御電
圧に対し連続的に発振周波数が変化する必要があるが、
上述した放電作用が生じると発振周波数に不連続点を生
じ、ＦＭ変調信号に異常をきたしたり必要なチャンネル
が得られないといった問題すなわち発振特性が不安定に
なるという問題が生じる。
膜技術により形成されるのであるが、その際の温度変化
により圧電基板の表面に焦電効果により電荷が帯電し、
この電荷により放電作用が生じるからである。そして、
電圧制御発振器は、制御電圧に入力信号を加えてＦＭ変
調信号にしたり、制御電圧に直流電圧を加えて数チャン
ネルをカバーする発振器として使用されるため、制御電
圧に対し連続的に発振周波数が変化する必要があるが、
上述した放電作用が生じると発振周波数に不連続点を生
じ、ＦＭ変調信号に異常をきたしたり必要なチャンネル
が得られないといった問題すなわち発振特性が不安定に
なるという問題が生じる。
（発明が解決しようとする課題）
このように従来の弾性表面波共振子は圧電基板の材料と
して電気・機械結合係数（ｋ２）の大きなものを用いる
ことにより、電圧制御発振器のような広帯域の発振回路
に適応可能となるが、温度変化による放電作用が生じや
すく、発振特性を不安定にさせるという問題がある。
して電気・機械結合係数（ｋ２）の大きなものを用いる
ことにより、電圧制御発振器のような広帯域の発振回路
に適応可能となるが、温度変化による放電作用が生じや
すく、発振特性を不安定にさせるという問題がある。
そこで、この発明の目的は、広帯域の発振特性に対応で
き、しかも安定した発振特性を得ることかてきる弾性表
面波装置の提供にある。
き、しかも安定した発振特性を得ることかてきる弾性表
面波装置の提供にある。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
この発明は、圧電基板の一主面上に、一対の櫛歯電極を
交差させてなるインタディジタル変換器と、グレーティ
ング反射器とが形設された弾性表面波装置において、前
記櫛歯電極間が抵抗を介して接続されるとともに、これ
ら櫛歯電極が抵抗を介して接地されたものである。
交差させてなるインタディジタル変換器と、グレーティ
ング反射器とが形設された弾性表面波装置において、前
記櫛歯電極間が抵抗を介して接続されるとともに、これ
ら櫛歯電極が抵抗を介して接地されたものである。
（作 用）
この発明では、圧電基板として電気・機械結合係数（ｋ
２）の大きな材料を用い広帯域の発振特性に対応させた
としても、櫛歯電極間が抵抗を介して接続され、かつこ
れらが抵抗を介して接地されているので、温度変化によ
る放電作用が防止され、安定した発振特性が得られる。
２）の大きな材料を用い広帯域の発振特性に対応させた
としても、櫛歯電極間が抵抗を介して接続され、かつこ
れらが抵抗を介して接地されているので、温度変化によ
る放電作用が防止され、安定した発振特性が得られる。
（実施例）
次に、この発明に関しいくつかの実施例を説明する。
第１図はこの発明の一実施例に係る弾性表面波共振子の
平面図、第２図は正面図である。
平面図、第２図は正面図である。
これらの図において、符号１１は３６°Ｙ−Ｘ ＬｉＴ
ａＯ３からなり厚さが０．５ｍｆｆ１の圧電基板であり
、この圧電基板１１上にはＡ℃からなり厚さが約０．５
μ■のインタディジタル変換器１２．２組のグレーティ
ング反射器１３がフォトリソグラフィにより形成されて
いる。
ａＯ３からなり厚さが０．５ｍｆｆ１の圧電基板であり
、この圧電基板１１上にはＡ℃からなり厚さが約０．５
μ■のインタディジタル変換器１２．２組のグレーティ
ング反射器１３がフォトリソグラフィにより形成されて
いる。
インタディジタル変換器１２は一対の櫛歯電極を交差し
てなるもので、これらの電極指数はｌｏ。
てなるもので、これらの電極指数はｌｏ。
本とされている。また、各グレーティング反射器１３の
電極指数はそれぞれ２００本とされ、各電極指は共通の
短絡電極により短絡されている。また、これらグレーテ
ィング反射器１３も、短絡電極１４により短絡されてる
。
電極指数はそれぞれ２００本とされ、各電極指は共通の
短絡電極により短絡されている。また、これらグレーテ
ィング反射器１３も、短絡電極１４により短絡されてる
。
インタディジタル変換器１２、グレーティング反射器１
３が形成された圧電基板１１上には、その表面の中央約
１／３を覆うように薄膜抵抗１５が蒸管により形成され
ている。したがって、インタディジタル変換器１２を構
成する２組の櫛歯電極間およびインタディジタル変換器
１２とグレーテインク反射器１３間はそれぞれこの薄膜
抵抗１５を介して接続されていることになる。なお、こ
の実施例では、これらの間の抵抗値を約１００にΩに設
定している。
３が形成された圧電基板１１上には、その表面の中央約
１／３を覆うように薄膜抵抗１５が蒸管により形成され
ている。したがって、インタディジタル変換器１２を構
成する２組の櫛歯電極間およびインタディジタル変換器
１２とグレーテインク反射器１３間はそれぞれこの薄膜
抵抗１５を介して接続されていることになる。なお、こ
の実施例では、これらの間の抵抗値を約１００にΩに設
定している。
そして、金属板にガラス等の絶縁物でハーメチックした
導電性のピンが植設されたステム（図示省略）上に、こ
の圧電基板１１を接着し、ボンディング技術により、イ
ンタディジタル変換器１２と所定のピンおよびグレーテ
ィング反射器１３とステムとを接続している。
導電性のピンが植設されたステム（図示省略）上に、こ
の圧電基板１１を接着し、ボンディング技術により、イ
ンタディジタル変換器１２と所定のピンおよびグレーテ
ィング反射器１３とステムとを接続している。
ここで、ステムは実装時に接地されるので、グレーティ
ング反射器１３もグランドレベルとなる。
ング反射器１３もグランドレベルとなる。
第３図はこのような弾性表面波共振子を電圧制御発振器
に使用した例である。
に使用した例である。
この発振器に使用された弾性表面波共振子１６は圧電基
板として電気・機械結合係数（ｋ２）の大きな材料であ
る３Ｂ’ Ｙ−Ｘ ＬｉＴａ０３が用られているので、
広帯域の発振特性に対応できる。
板として電気・機械結合係数（ｋ２）の大きな材料であ
る３Ｂ’ Ｙ−Ｘ ＬｉＴａ０３が用られているので、
広帯域の発振特性に対応できる。
また、インタディジタル変換器１２を構成する２組の櫛
歯電極間およびインタディジタル変換器１２とグレーテ
ィング反射器１３間はそれぞれこの薄膜抵抗１５を介し
て接続され、かつグレーティング反射器１３は薄膜抵抗
１５を介して接地されているので、温度変化による放電
作用が防止され、安定した発振特性が得られる。
歯電極間およびインタディジタル変換器１２とグレーテ
ィング反射器１３間はそれぞれこの薄膜抵抗１５を介し
て接続され、かつグレーティング反射器１３は薄膜抵抗
１５を介して接地されているので、温度変化による放電
作用が防止され、安定した発振特性が得られる。
さらに、従来発生していた金属破片等の異物がインタデ
ィジタル変換器１２あるいはグレーティング反射器１３
等の電極面に付着して起こる発振周波数の変動や発振停
止等は、これら電極面に形成した薄膜抵抗１５により異
物が直接電極面に触れなくなることにより、はとんど発
生しなくなる。
ィジタル変換器１２あるいはグレーティング反射器１３
等の電極面に付着して起こる発振周波数の変動や発振停
止等は、これら電極面に形成した薄膜抵抗１５により異
物が直接電極面に触れなくなることにより、はとんど発
生しなくなる。
なお、この実施例の弾性表面波共振子はたとえばデスク
リート回路にも適用できる。この場合、信頼性はやや劣
るものの、上述した実施例と同様に安定した発振特性が
得られる。
リート回路にも適用できる。この場合、信頼性はやや劣
るものの、上述した実施例と同様に安定した発振特性が
得られる。
次に、第２の実施例を説明する。
この実施例の弾性表面波共振子は、第３図に示した電圧
制御発振器における弾性表面波共振子１６の入出力側に
それぞれ介挿されているコンデンサ１７．１７を、第４
図に示すように、該弾性表面波共振子１６自体が具備す
るようにしたものである。
制御発振器における弾性表面波共振子１６の入出力側に
それぞれ介挿されているコンデンサ１７．１７を、第４
図に示すように、該弾性表面波共振子１６自体が具備す
るようにしたものである。
第５図はこのような弾性表面波共振子の平面図、第６図
は正面図である。
は正面図である。
これらの図に示す弾性表面波共振子は、インタディジタ
ル変換器１２を構成する各櫛歯電極のショートブスバー
１８上に容量薄膜１９、導電薄膜２０を積層し、これら
導電薄膜２０をそれぞれ入出力端子としたものである。
ル変換器１２を構成する各櫛歯電極のショートブスバー
１８上に容量薄膜１９、導電薄膜２０を積層し、これら
導電薄膜２０をそれぞれ入出力端子としたものである。
この実施例では、容量薄膜１９がＤＣカットコンデンサ
の機能を果すことにより、電圧制御発振器の部品点数の
削減を図ることができる。
の機能を果すことにより、電圧制御発振器の部品点数の
削減を図ることができる。
［発明の効果］
以上のように、この発明では、広帯域の発振特性に対応
でき、しかも安定した発振特性を得ることができる。
でき、しかも安定した発振特性を得ることができる。
第１図のこの発明の一実施例に係る弾性表面波共振子の
平面図、第２図は第１図の正面図、第３図はこの実施例
の弾性表面波共振子が使用された電圧制御発振器の回路
図、第４図は第２の実施例に係る弾性表面波共振子が使
用された電圧制御発振器の回路図、第５図はこの第２の
実施例に係る弾性表面波共振子の平面図、第６図は第５
図の正面図、第７図は弾性表面波共振子の等価回路図、
第８図は従来の電圧制御発振器の回路図、第９図は弾性
表面波共振子の共振、反共振周波数を示す図である。 １１・・・圧電基板、１２・・・インタディジタル変換
器、１３・・・グレーティング反射器、１４・・・短絡
電極、１５・・・薄膜抵抗。 出願人 株式会社 東芝 代理人 弁理士 須 山 佐 −
平面図、第２図は第１図の正面図、第３図はこの実施例
の弾性表面波共振子が使用された電圧制御発振器の回路
図、第４図は第２の実施例に係る弾性表面波共振子が使
用された電圧制御発振器の回路図、第５図はこの第２の
実施例に係る弾性表面波共振子の平面図、第６図は第５
図の正面図、第７図は弾性表面波共振子の等価回路図、
第８図は従来の電圧制御発振器の回路図、第９図は弾性
表面波共振子の共振、反共振周波数を示す図である。 １１・・・圧電基板、１２・・・インタディジタル変換
器、１３・・・グレーティング反射器、１４・・・短絡
電極、１５・・・薄膜抵抗。 出願人 株式会社 東芝 代理人 弁理士 須 山 佐 −
Claims (1)
- 圧電基板の一主面上に、一対の櫛歯電極を交差させてな
るインタディジタル変換器と、グレーティング反射器と
が形設された弾性表面波装置において、前記櫛歯電極間
が抵抗を介して接続されるとともに、これら櫛歯電極が
抵抗を介して接地されていることを特徴とする弾性表面
波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7931788A JPH01252016A (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7931788A JPH01252016A (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01252016A true JPH01252016A (ja) | 1989-10-06 |
Family
ID=13686492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7931788A Pending JPH01252016A (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01252016A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03128517A (ja) * | 1989-10-13 | 1991-05-31 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波共振子 |
| US5889446A (en) * | 1996-01-19 | 1999-03-30 | Nec Corporation | Surface acoustic wave device with a resistor thin film to remove pyroelectric effect charges |
| JP2007129299A (ja) * | 2005-11-01 | 2007-05-24 | Seiko Epson Corp | Ｆｓｋ変調器 |
| US7786827B2 (en) | 2006-11-29 | 2010-08-31 | Epson Toyocom Corporation | Surface acoustic wave device, transmitter, and transceiver |
| CN118136615A (zh) * | 2024-05-06 | 2024-06-04 | 北京智芯微电子科技有限公司 | 薄膜电阻及其制备方法、电子器件、芯片和电子设备 |
-
1988
- 1988-03-31 JP JP7931788A patent/JPH01252016A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03128517A (ja) * | 1989-10-13 | 1991-05-31 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波共振子 |
| US5889446A (en) * | 1996-01-19 | 1999-03-30 | Nec Corporation | Surface acoustic wave device with a resistor thin film to remove pyroelectric effect charges |
| JP2007129299A (ja) * | 2005-11-01 | 2007-05-24 | Seiko Epson Corp | Ｆｓｋ変調器 |
| US7786827B2 (en) | 2006-11-29 | 2010-08-31 | Epson Toyocom Corporation | Surface acoustic wave device, transmitter, and transceiver |
| CN118136615A (zh) * | 2024-05-06 | 2024-06-04 | 北京智芯微电子科技有限公司 | 薄膜电阻及其制备方法、电子器件、芯片和电子设备 |
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