JPH03128517A - 弾性表面波共振子 - Google Patents
弾性表面波共振子Info
- Publication number
- JPH03128517A JPH03128517A JP26667089A JP26667089A JPH03128517A JP H03128517 A JPH03128517 A JP H03128517A JP 26667089 A JP26667089 A JP 26667089A JP 26667089 A JP26667089 A JP 26667089A JP H03128517 A JPH03128517 A JP H03128517A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- acoustic wave
- surface acoustic
- comb
- wave resonator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
弾性表面波共振子の構造に関し、
共振特性と温度特性が優れ、かつ、広い周波数可変中を
有する弾性表面波共振子を提供すること冬目的とし、 ３６″回転ＹカットＸ伝播リチウム・タンクレート（３
６°Ｙ −Ｘ ＬｉＴａ０ｓ）基板と、前記基板上に櫛
形電極の各交叉ピッチがλ／２ （λは弾性表面波の波
長〉の等間隔で形成され外部リード導出部を有する櫛形
駆動電極と、前記櫛形駆動電極の両側にそれぞれλ／２
の間隔をあけ、同じく前記基板上に形成された各電極指
のピッチがλ／２で、かつ、それぞれの電極指の両端部
が連結導体で接続された２つの反射電極と、前記外部リ
ード導出部を除く前記櫛形駆動電極と前記２つの反射電
極を覆って前記基板上に形成されたｓｔｏｔＭ、とを少
なくとも備えるように弾性表面波共振子を構成する。
有する弾性表面波共振子を提供すること冬目的とし、 ３６″回転ＹカットＸ伝播リチウム・タンクレート（３
６°Ｙ −Ｘ ＬｉＴａ０ｓ）基板と、前記基板上に櫛
形電極の各交叉ピッチがλ／２ （λは弾性表面波の波
長〉の等間隔で形成され外部リード導出部を有する櫛形
駆動電極と、前記櫛形駆動電極の両側にそれぞれλ／２
の間隔をあけ、同じく前記基板上に形成された各電極指
のピッチがλ／２で、かつ、それぞれの電極指の両端部
が連結導体で接続された２つの反射電極と、前記外部リ
ード導出部を除く前記櫛形駆動電極と前記２つの反射電
極を覆って前記基板上に形成されたｓｔｏｔＭ、とを少
なくとも備えるように弾性表面波共振子を構成する。
本発明は弾性表面波共振子、とくに、電圧制御発振器（
ＶＣＯ）に用いる周波数可変中の広い高安定の弾性表面
波共振子の構成に関する。
ＶＣＯ）に用いる周波数可変中の広い高安定の弾性表面
波共振子の構成に関する。
弾性表面波共振子は、一般に素子構成が単純であるとい
う特徴があるが、その一方、素子性能の作り込みが難し
いという一面があり、共振特性。
う特徴があるが、その一方、素子性能の作り込みが難し
いという一面があり、共振特性。
温度特性が優れ、かつ、周波数可変中の広い弾性表面波
共振子の開発が求められている。
共振子の開発が求められている。
従来９通信機器の高い周波数帯の発振器に対しては、水
晶のバルク波を用いた振動子を逓倍回路で高周波化して
用いたり、水晶の表面波を直接に基本発振するものなど
があるが、周辺回路が大きくなったり、水晶の電気−機
械結合係数が小さいためにｖＣＯに使用するには周波数
可変中が小さく通用範囲が制限されていた。
晶のバルク波を用いた振動子を逓倍回路で高周波化して
用いたり、水晶の表面波を直接に基本発振するものなど
があるが、周辺回路が大きくなったり、水晶の電気−機
械結合係数が小さいためにｖＣＯに使用するには周波数
可変中が小さく通用範囲が制限されていた。
これに対して、新しい圧電単結晶であるリチウム・タン
タレート （ＬｉＴａＯ３）は電気−機械結合係数が大
きく、温度特性も比較的優れているために、それを用い
た弾性表面波フィルタや弾性表面波共振子が実用化され
、カラーＴＶ用のＩＰフィルタや一部通信機器用の振動
子として使用されている。
タレート （ＬｉＴａＯ３）は電気−機械結合係数が大
きく、温度特性も比較的優れているために、それを用い
た弾性表面波フィルタや弾性表面波共振子が実用化され
、カラーＴＶ用のＩＰフィルタや一部通信機器用の振動
子として使用されている。
たとえば、ＸカットＬｉＴａＯ３−１１２’ Ｙ方向伝
播を用いた弾性表面波共振子の例などが知られている（
特開昭５５−１５９６１２）。しかし、この場合には使
用する目的によっては電気−機械結合係数や温度特性が
未だ不充分であり改善が必要であった。
播を用いた弾性表面波共振子の例などが知られている（
特開昭５５−１５９６１２）。しかし、この場合には使
用する目的によっては電気−機械結合係数や温度特性が
未だ不充分であり改善が必要であった。
その後、同じＬｉＴａＯ３単結晶であるが、より電気−
機械結合係数が大きく、しかも周波数の温度係数が比較
的小さい基板、たとえば、３６°回転Ｙ力７ト Ｘ伝播
ＬｉＴａ０ｓ（３６” Ｙ Ｘ ＬｉＴａ０．）単結
晶基板の上に、櫛形駆動電極を設け、その両側に反射電
極、たとえば、複数の電極指を並列に形成し、それら電
極指の両端部を連結導体で接続した。いわゆる、ショー
トストリップ型の反射電極を配設した弾性表面波共振子
が開発された。
機械結合係数が大きく、しかも周波数の温度係数が比較
的小さい基板、たとえば、３６°回転Ｙ力７ト Ｘ伝播
ＬｉＴａ０ｓ（３６” Ｙ Ｘ ＬｉＴａ０．）単結
晶基板の上に、櫛形駆動電極を設け、その両側に反射電
極、たとえば、複数の電極指を並列に形成し、それら電
極指の両端部を連結導体で接続した。いわゆる、ショー
トストリップ型の反射電極を配設した弾性表面波共振子
が開発された。
第７図は従来の弾性表面波共振子の構成の例を示す図で
、同図（イ）は上面図、同図（ロ）はＡ−Ａ’断面図で
ある。図中、１は３６°Ｙ −Ｘ ＬｉＴａＯ３基板で
ある。２は櫛形駆動電極で、たとえば、Ａｎからなる櫛
形電極２ａおよび２ｂが交互に差し挟まれており、それ
ぞれに設けられた外部リード導出部６ａおよび６ｂに接
続された。こ＼には図示してない高周波電源により交流
電圧が印加されるようになっている。
、同図（イ）は上面図、同図（ロ）はＡ−Ａ’断面図で
ある。図中、１は３６°Ｙ −Ｘ ＬｉＴａＯ３基板で
ある。２は櫛形駆動電極で、たとえば、Ａｎからなる櫛
形電極２ａおよび２ｂが交互に差し挟まれており、それ
ぞれに設けられた外部リード導出部６ａおよび６ｂに接
続された。こ＼には図示してない高周波電源により交流
電圧が印加されるようになっている。
３および４は、たとえば、同じ＜ Ａｌからなる反射電
極で、複数の電極指を並列に形威しそれら電極指の両端
部を連結導体で接続した。いわゆる、ショートストリッ
プ型と呼ばれる形状にしである。
極で、複数の電極指を並列に形威しそれら電極指の両端
部を連結導体で接続した。いわゆる、ショートストリッ
プ型と呼ばれる形状にしである。
こ覧で、ｄｏは櫛形駆動電極２および２つの反射電極（
３，４）の各電極指間のピッチで、ｄは櫛形駆動電極２
の最外側の電極指の中心と反射電極（３゜４）の櫛形駆
動電極２に対面した最外側の電極指の中心との距離であ
る。
３，４）の各電極指間のピッチで、ｄは櫛形駆動電極２
の最外側の電極指の中心と反射電極（３゜４）の櫛形駆
動電極２に対面した最外側の電極指の中心との距離であ
る。
基板（１）の表面を伝播する表面波の波長をλとして、
ｄ、＝λ／２．ｄ＝７／８λとすることにより、いわゆ
る、ファブリ・ペロ干渉型と呼ばれる電極配置を構成し
、反射電極（３，４）からの反射を利用して定在波を発
生させ共振させる。なお、電極指の巾および電極間隔（
スペース）はいずれもλ／４である。
ｄ、＝λ／２．ｄ＝７／８λとすることにより、いわゆ
る、ファブリ・ペロ干渉型と呼ばれる電極配置を構成し
、反射電極（３，４）からの反射を利用して定在波を発
生させ共振させる。なお、電極指の巾および電極間隔（
スペース）はいずれもλ／４である。
具体的には、この例では共振周波数１８１ＭＨｚｆｃ得
るために、前記基板１のＸ伝播表面波の音速４０９０ｍ
／ｓからλ＝２２．７μｍとして電極が形成されている
。
るために、前記基板１のＸ伝播表面波の音速４０９０ｍ
／ｓからλ＝２２．７μｍとして電極が形成されている
。
第５図は従来の弾性表面波共振子のインピーダンス特性
の例を示す図である。
の例を示す図である。
共振周波数と反共振周波数の差（ダイナミックレンジ）
が水晶に比較して大巾に広くなっている。
が水晶に比較して大巾に広くなっている。
第６図は従来の弾性表面波共振子の温度特性の例を示す
図で、このカットによる基板の場合は約−３３ｐｐｍ／
’Ｃである。
図で、このカットによる基板の場合は約−３３ｐｐｍ／
’Ｃである。
しかし、第５図のインピーダンス特性の図に示したよう
に、このカット基板（３６’Ｙ −Ｘ ＬｉＴａ０ｚ）
の場合、電気−機械結合係数が約５％と大きいことが原
因すると思われる多重共振モードのスプリアス（たとえ
ば、図中の■の部分）が発生し、その結果、ＶＣＯにお
ける周波数変化を行う際に、発振点がジャンプしたり周
波数可変中が大きく取れなくなったりする。また、用途
によっては−３３１）ｐｍｌｏＣという周波数温度係数
は大き過ぎて実用に耐えないといった諸問題が生じてお
り、それらの解決が求められていた。
に、このカット基板（３６’Ｙ −Ｘ ＬｉＴａ０ｚ）
の場合、電気−機械結合係数が約５％と大きいことが原
因すると思われる多重共振モードのスプリアス（たとえ
ば、図中の■の部分）が発生し、その結果、ＶＣＯにお
ける周波数変化を行う際に、発振点がジャンプしたり周
波数可変中が大きく取れなくなったりする。また、用途
によっては−３３１）ｐｍｌｏＣという周波数温度係数
は大き過ぎて実用に耐えないといった諸問題が生じてお
り、それらの解決が求められていた。
上記の課題は、３６°回転Ｙカット−Ｘ伝播リチウム・
タンクレート（３６’ Ｙ Ｘ ＬｉＴａ０ｉ）基板
１と、前記基板１上に、櫛形電極２ａおよび２ｂの各交
叉ピッチがλ／２（λは弾性表面波の波長）の等間隔で
形成され外部リード導出部６ａおよび６ｂを有する櫛形
駆動電極２と、前記櫛形駆動電極２の両側に、それぞれ
λ／２の間隔をあけ、同じく前記基板Ｉ上に形成された
各電極指のピッチがλ／２で、かつ、それぞれの電極指
の両端部が連結導体で接続された２つの反射電極３およ
び４と、前記外部リード導出部６ａおよび６ｂを除く前
記櫛形駆動電極２と前記２つの反射電極３および４を覆
って前記基板ｌ上に形成されたＳｉＯ□膜とを少なくと
も備えた弾性表面波共振子によって解決することができ
る。
タンクレート（３６’ Ｙ Ｘ ＬｉＴａ０ｉ）基板
１と、前記基板１上に、櫛形電極２ａおよび２ｂの各交
叉ピッチがλ／２（λは弾性表面波の波長）の等間隔で
形成され外部リード導出部６ａおよび６ｂを有する櫛形
駆動電極２と、前記櫛形駆動電極２の両側に、それぞれ
λ／２の間隔をあけ、同じく前記基板Ｉ上に形成された
各電極指のピッチがλ／２で、かつ、それぞれの電極指
の両端部が連結導体で接続された２つの反射電極３およ
び４と、前記外部リード導出部６ａおよび６ｂを除く前
記櫛形駆動電極２と前記２つの反射電極３および４を覆
って前記基板ｌ上に形成されたＳｉＯ□膜とを少なくと
も備えた弾性表面波共振子によって解決することができ
る。
本発明の弾性表面波共振子は、電気−機械結合係数が大
きい３６ ’ Ｙ −Ｘ ＬｉＴａＯ３基板ｌを用基板
中るので、ＶＣＯ用の共振子として広い周波数可変中を
与えることが可能であり、しかも、櫛形駆動電極２と反
射電極３および４のそれぞれ相対する最外側の電極指の
中心の間隔をλ／２とし、また、全ての電極指のピッチ
をλ／２とする。いわゆる、連続等ピッチのエネルギー
閉じ込め構造の電極配置を用いているので、多重共振モ
ードその他に起因するスプリアスの発生を防止できる。
きい３６ ’ Ｙ −Ｘ ＬｉＴａＯ３基板ｌを用基板
中るので、ＶＣＯ用の共振子として広い周波数可変中を
与えることが可能であり、しかも、櫛形駆動電極２と反
射電極３および４のそれぞれ相対する最外側の電極指の
中心の間隔をλ／２とし、また、全ての電極指のピッチ
をλ／２とする。いわゆる、連続等ピッチのエネルギー
閉じ込め構造の電極配置を用いているので、多重共振モ
ードその他に起因するスプリアスの発生を防止できる。
さらに、櫛形駆動電極２と２つの反射電極３および４を
覆って、基板１上に３６ ” Ｙ −Ｘ ＬｉＴａ０ａ
と温度係数が逆符号のＳｉＯ□膜を形成しであるので、
水晶振動子に匹敵する極めて高安定の弾性表面波共振子
が実現可能となる。
覆って、基板１上に３６ ” Ｙ −Ｘ ＬｉＴａ０ａ
と温度係数が逆符号のＳｉＯ□膜を形成しであるので、
水晶振動子に匹敵する極めて高安定の弾性表面波共振子
が実現可能となる。
第１図は本発明実施例の構成を示す図で、同図（イ）は
上面図、同図（ロ）はＡ−Ａ″断面図である。
上面図、同図（ロ）はＡ−Ａ″断面図である。
図中、■は３６°’ｌ Ｘ ＬｉＴａ０ｚ基板で、た
とえば、寸法は厚さ０．３５ｍｍ、巾２ｍｍ、長さ６ｍ
ｍ、表面は平滑に研磨しである。表面波はＸ方向に伝播
するように電極を配置した。２は櫛形駆動電極で、それ
ぞれ５０本の櫛歯を有する一対の櫛形電極２ａと２ｂと
が互いに櫛歯を差し挟んで配置されている。３．４は反
射電極で、それぞれ１００本のストリップ状の電極指を
並列に形成し、それら電極指の両端部を連結導体で接続
した。いわゆる、ショートストリップ型のものである。
とえば、寸法は厚さ０．３５ｍｍ、巾２ｍｍ、長さ６ｍ
ｍ、表面は平滑に研磨しである。表面波はＸ方向に伝播
するように電極を配置した。２は櫛形駆動電極で、それ
ぞれ５０本の櫛歯を有する一対の櫛形電極２ａと２ｂと
が互いに櫛歯を差し挟んで配置されている。３．４は反
射電極で、それぞれ１００本のストリップ状の電極指を
並列に形成し、それら電極指の両端部を連結導体で接続
した。いわゆる、ショートストリップ型のものである。
これら電極パターンの形成は、具体的には前記基板１上
に約８００ｎｍの一定膜厚のＡｌ膜または電極のマイグ
レーションを抑えるように若干のＣｕを混入したＡ１膜
を真空蒸着し、通常のホトリソグラフィ法で前記櫛形駆
動電極２と反射電極３および４を同時形成した。
に約８００ｎｍの一定膜厚のＡｌ膜または電極のマイグ
レーションを抑えるように若干のＣｕを混入したＡ１膜
を真空蒸着し、通常のホトリソグラフィ法で前記櫛形駆
動電極２と反射電極３および４を同時形成した。
電極間隔は櫛形駆動電極と再反射電極の間も含めて全て
λ／２（ｄｏ”ｄ−λ／２）、すなわち、連続等ピッチ
配置になるように形成した。
λ／２（ｄｏ”ｄ−λ／２）、すなわち、連続等ピッチ
配置になるように形成した。
なお、共振周波数１５５ＭＨｚを得るために、前記基板
１のＸ伝播表面波の音速４０９０ ｍ ／ ｓからλ＝
２６．４μｍを算出し、電極ピッチをλ／２．電極巾お
よび電極間（スペース）をλ／４として設計した。
１のＸ伝播表面波の音速４０９０ ｍ ／ ｓからλ＝
２６．４μｍを算出し、電極ピッチをλ／２．電極巾お
よび電極間（スペース）をλ／４として設計した。
５はＳｉｎ、膜で表面伝播速度の温度係数がＬｉＴａＯ
３の温度係数と逆符号であり、周波数温度特性の改善に
有効なことが知られている（特願昭５５−１５９６１２
および特願昭６３−１８７７０５参照）。
３の温度係数と逆符号であり、周波数温度特性の改善に
有効なことが知られている（特願昭５５−１５９６１２
および特願昭６３−１８７７０５参照）。
Ｓｉ０ｇ膜の形成は、外部リード導出部６ａおよび６ｂ
を除く櫛形駆動電極２と反射電極３および４を覆って、
基板１上に表面波波長λの２０％前後の厚さにプラズマ
ＣＶＩ）法で生成した。
を除く櫛形駆動電極２と反射電極３および４を覆って、
基板１上に表面波波長λの２０％前後の厚さにプラズマ
ＣＶＩ）法で生成した。
６ａ、６ｂは櫛形駆動電極２を駆動する９図には示して
ない電源を接続するための外部リード導出部で、一対の
櫛形電極のそれぞれの接続部の一部に投法光電極露出部
である。
ない電源を接続するための外部リード導出部で、一対の
櫛形電極のそれぞれの接続部の一部に投法光電極露出部
である。
第４図は連続等ピツチ電極配置型表面波共振子のインピ
ーダンス特性を示す図で、基板１と電極配置は上記の本
発明実施例の構成と同様であるが、ＳｉＯ□膜がない、
すなわち、Ｓｉｎ、膜を被覆する前の試料の特性を参考
のために示したものである。連続等ピツチのエネルギー
閉じ込め構造の電極配置を用いてので、多重共振モード
その他に起因する又ブリアスの発注はなく、良好な共振
特性を示している。
ーダンス特性を示す図で、基板１と電極配置は上記の本
発明実施例の構成と同様であるが、ＳｉＯ□膜がない、
すなわち、Ｓｉｎ、膜を被覆する前の試料の特性を参考
のために示したものである。連続等ピツチのエネルギー
閉じ込め構造の電極配置を用いてので、多重共振モード
その他に起因する又ブリアスの発注はなく、良好な共振
特性を示している。
第２図は本発明実施例のインピーダンス特性を示す図で
、Ｓｉ０ｇ膜を５．５μｍの厚さに形威しである。前記
の第４図の特性と比較してわかるように、Ｓｉｎ、膜の
形成によって特性の変化は殆ど見られず優れた共振特性
を維持している。
、Ｓｉ０ｇ膜を５．５μｍの厚さに形威しである。前記
の第４図の特性と比較してわかるように、Ｓｉｎ、膜の
形成によって特性の変化は殆ど見られず優れた共振特性
を維持している。
第３図は本発明実施例の温度特性を示す図で、縦軸に共
振周波数変化率を、横軸に温度を取っである。パラメー
タのＨ／λはＳｉ０ｇ膜のｒｓ、厚（Ｈ）と弾性表面波
の波長（λ）との比である。
振周波数変化率を、横軸に温度を取っである。パラメー
タのＨ／λはＳｉ０ｇ膜のｒｓ、厚（Ｈ）と弾性表面波
の波長（λ）との比である。
図かられかるように、Ｈ／λが０．２０５と０．２１２
の間で共振子としての温度係数の符号が逆転しており、
この近辺で温度係数がＯのものが得られる筈であり、実
際にＳｉＯ□膜を付けない場合の一３３ｐｐｍに比較し
てｌ／１０以下の±３ｐｐｍ以内の弾性表面波共振子を
容易に得ることができた。
の間で共振子としての温度係数の符号が逆転しており、
この近辺で温度係数がＯのものが得られる筈であり、実
際にＳｉＯ□膜を付けない場合の一３３ｐｐｍに比較し
てｌ／１０以下の±３ｐｐｍ以内の弾性表面波共振子を
容易に得ることができた。
なお、上記実施例では共振周波数１５５ＭＨｚの場合に
ついて示したが、その他の周波数帯の弾性表面波共振子
であっても同様の効果が得られることは言うまでもない
。
ついて示したが、その他の周波数帯の弾性表面波共振子
であっても同様の効果が得られることは言うまでもない
。
以上詳しく述べたように、本発明の弾性表面波共振子は
、電気−機械結合係数が大きい３６°Ｙ−Ｘ ＬｉＴａ
Ｏ３基板ｌを用基板列るので、Ｖｃｏ用の共振子として
広い周波数可変中を与えることが可能であり、しかも、
櫛形駆動電極２と反射電極３および４のそれぞれ相対す
る電極指の中心の間隔をλ／２とし、また、全ての電極
指のピッチをλ／２とする。いわゆる、連続等ピツチの
エネルギー閉じ込め構造の電極配置を用いてので、多重
共振モードその他に起因するスプリアスの発生を防止で
きる。さらに、櫛形駆動電極２と２つの反射電極３およ
び４を覆って、基板１上に３６°Ｙ −Ｘ ＬｉＴａＯ
３と温度係数が逆符号の５ｉＯｔ膜を形威しであるので
、温度係数は±３ｐｐｍ以内と極めて高安定であり、Ｖ
ＣＯ用の弾性表面波共振子の性能および品質の向上に寄
与するところが極めて大きい。
、電気−機械結合係数が大きい３６°Ｙ−Ｘ ＬｉＴａ
Ｏ３基板ｌを用基板列るので、Ｖｃｏ用の共振子として
広い周波数可変中を与えることが可能であり、しかも、
櫛形駆動電極２と反射電極３および４のそれぞれ相対す
る電極指の中心の間隔をλ／２とし、また、全ての電極
指のピッチをλ／２とする。いわゆる、連続等ピツチの
エネルギー閉じ込め構造の電極配置を用いてので、多重
共振モードその他に起因するスプリアスの発生を防止で
きる。さらに、櫛形駆動電極２と２つの反射電極３およ
び４を覆って、基板１上に３６°Ｙ −Ｘ ＬｉＴａＯ
３と温度係数が逆符号の５ｉＯｔ膜を形威しであるので
、温度係数は±３ｐｐｍ以内と極めて高安定であり、Ｖ
ＣＯ用の弾性表面波共振子の性能および品質の向上に寄
与するところが極めて大きい。
第１図は本発明実施例の構成を示す図、第２図は本発明
実施例のインピーダンス特性を示す図、 第３図は本発明実施例の温度特性を示す図、第４図は連
続等ピツチ電極配置型表面波共振子のインピーダンス特
性を示す図、 第５図は従来の弾性表面波共振子のインピーダンス特性
の例を示す図、 第６図は従来の弾性表面波共振子の温度特性の例を示す
図、 第７図は従来の弾性表面波共振子の構成の例を示す図で
ある。 図において、 ■は３６ ” Ｙ Ｘ ＬｉＴａＯ３基板、２は櫛形
駆動電極、 ２ａ、２ｂは櫛形電極、 ３および４は反射電極、 ５はＳｉＯ□膜、 ６ａ、６ｂは外部リード導出部である。
実施例のインピーダンス特性を示す図、 第３図は本発明実施例の温度特性を示す図、第４図は連
続等ピツチ電極配置型表面波共振子のインピーダンス特
性を示す図、 第５図は従来の弾性表面波共振子のインピーダンス特性
の例を示す図、 第６図は従来の弾性表面波共振子の温度特性の例を示す
図、 第７図は従来の弾性表面波共振子の構成の例を示す図で
ある。 図において、 ■は３６ ” Ｙ Ｘ ＬｉＴａＯ３基板、２は櫛形
駆動電極、 ２ａ、２ｂは櫛形電極、 ３および４は反射電極、 ５はＳｉＯ□膜、 ６ａ、６ｂは外部リード導出部である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ３６°回転Ｙカット−Ｘ伝播リチウム・タンタレート
（３６°Ｙ−ＸＬｉＴａＯ＿３）基板（１）と、前記基
板（１）上に、櫛形電極（２ａ、２ｂ）の各交叉ピッチ
がλ／２（λは弾性表面波の波長）の等間隔で形成され
、外部リード導出部（６ａ，６ｂ）を有する櫛形駆動電
極（２）と、 前記櫛形駆動電極（２）の両側に、それぞれλ／２の間
隔をあけ、同じく前記基板（１）上に形成された各電極
指のピッチがλ／２で、かつ、それぞれの電極指の両端
部が連結導体で接続された２つの反射電極（３，４）と
、 前記外部リード導出部（６ａ，６ｂ）を除く前記櫛形駆
動電極（２）と前記２つの反射電極（３，４）を覆って
前記基板（１）上に形成されたＳｉＯ＿２膜とを少なく
とも備えることを特徴とした弾性表面波共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26667089A JPH03128517A (ja) | 1989-10-13 | 1989-10-13 | 弾性表面波共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26667089A JPH03128517A (ja) | 1989-10-13 | 1989-10-13 | 弾性表面波共振子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03128517A true JPH03128517A (ja) | 1991-05-31 |
Family
ID=17434062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26667089A Pending JPH03128517A (ja) | 1989-10-13 | 1989-10-13 | 弾性表面波共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03128517A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5703427A (en) * | 1993-03-19 | 1997-12-30 | Thomson-Csf | Surface-wave distributed acoustic reflection transducer and filter including such a transducer |
| US5726610A (en) * | 1995-06-19 | 1998-03-10 | Motorola Inc. | Saw filter device for radio tranceiver utilizing different coupling coefficient ratios |
| WO2005050836A1 (ja) * | 2003-11-19 | 2005-06-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 端面反射型弾性表面波装置及びその製造方法 |
| WO2005088835A1 (ja) * | 2004-03-12 | 2005-09-22 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 分波器及び弾性表面波フィルタ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60171823A (ja) * | 1984-02-16 | 1985-09-05 | Toshiba Corp | 弾性表面波共振子 |
| JPS61142811A (ja) * | 1984-12-17 | 1986-06-30 | Toshiba Corp | 弾性表面波共振子 |
| JPH01252016A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-06 | Toshiba Corp | 弾性表面波装置 |
-
1989
- 1989-10-13 JP JP26667089A patent/JPH03128517A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60171823A (ja) * | 1984-02-16 | 1985-09-05 | Toshiba Corp | 弾性表面波共振子 |
| JPS61142811A (ja) * | 1984-12-17 | 1986-06-30 | Toshiba Corp | 弾性表面波共振子 |
| JPH01252016A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-06 | Toshiba Corp | 弾性表面波装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5703427A (en) * | 1993-03-19 | 1997-12-30 | Thomson-Csf | Surface-wave distributed acoustic reflection transducer and filter including such a transducer |
| US5726610A (en) * | 1995-06-19 | 1998-03-10 | Motorola Inc. | Saw filter device for radio tranceiver utilizing different coupling coefficient ratios |
| WO2005050836A1 (ja) * | 2003-11-19 | 2005-06-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 端面反射型弾性表面波装置及びその製造方法 |
| WO2005088835A1 (ja) * | 2004-03-12 | 2005-09-22 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 分波器及び弾性表面波フィルタ |
| US7327205B2 (en) | 2004-03-12 | 2008-02-05 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Demultiplexer and surface acoustic wave filter |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4081769A (en) | Acoustic surface wave resonator with suppressed direct coupled response | |
| US4249146A (en) | Surface acoustic wave resonators utilizing harmonic frequencies | |
| CN115001438B (zh) | 一种纵向泄漏声表面波谐振器的结构及滤波器 | |
| JP3950611B2 (ja) | 弾性表面波共振器 | |
| WO2023097531A1 (zh) | 一种体声波谐振器、滤波器及电子设备 | |
| JP2024001367A (ja) | Ｓａｗフィルタデバイスにおける発生源抑制のための変換器構造 | |
| JPS5945286B2 (ja) | 弾性表面波先振器用素子 | |
| JPH09298446A (ja) | 弾性表面波装置及びその設計方法 | |
| JPS632414A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| JPH1084245A (ja) | 弾性表面波素子 | |
| JPH02295211A (ja) | エネルギー閉じ込め型弾性表面波素子 | |
| JPH05347535A (ja) | 弾性表面波フィルタ装置 | |
| JPS62160807A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| JPH02295212A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| JPH08204498A (ja) | 端面反射型表面波装置 | |
| US6335584B1 (en) | Edge reflection type surface acoustic wave device | |
| JPH10335966A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPS63285018A (ja) | 弾性表面波多重モ−ドフィルタ | |
| US6847154B2 (en) | Surface acoustic wave device and communication device | |
| JPS6247206A (ja) | 弾性表面波多重モ−ドフイルタ | |
| JPS58687B2 (ja) | デンキキカイテキキヨウシンソウチ | |
| JP3436812B2 (ja) | 弾性表面波変換器 | |
| JP4395228B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| US20250112622A1 (en) | Acoustic wave device | |
| JP3597483B2 (ja) | 弾性表面波装置 |