JPH0125237B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0125237B2 JPH0125237B2 JP16353383A JP16353383A JPH0125237B2 JP H0125237 B2 JPH0125237 B2 JP H0125237B2 JP 16353383 A JP16353383 A JP 16353383A JP 16353383 A JP16353383 A JP 16353383A JP H0125237 B2 JPH0125237 B2 JP H0125237B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser tube
- laser
- pipe
- piping
- tube holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はレーザ発振器に関するものである。
従来例の構成とその問題点
レーザ発振器としては封止切り型、ガス循環型
等種々の方式があるが、第１図にガス循環型レー
ザ発振器の従来例を示す。
等種々の方式があるが、第１図にガス循環型レー
ザ発振器の従来例を示す。
１は基板、２がミラー及びミラー調整機構支持
体３がレーザ管でレーザ管ホルダ４及び５により
支持される。５１は絶縁碍子である。６はガス循
環ポンプで系内のガスはこのガス循環ポンプ６に
より矢印７１の様に配管７，８，９を通りレーザ
管３を経て再びポンプ６に戻つて来る。
体３がレーザ管でレーザ管ホルダ４及び５により
支持される。５１は絶縁碍子である。６はガス循
環ポンプで系内のガスはこのガス循環ポンプ６に
より矢印７１の様に配管７，８，９を通りレーザ
管３を経て再びポンプ６に戻つて来る。
ガス循環ポンプ６でレーザ管３内に媒質ガスを
循環させながら、レーザ管３内で放電を起させレ
ーザ光線１０を得ている。図は２段折り返し型の
場合を示しているが、真空排気系、レーザガス導
入系、それに支持体２の一端に設けられている折
返し鏡は省略してある。
循環させながら、レーザ管３内で放電を起させレ
ーザ光線１０を得ている。図は２段折り返し型の
場合を示しているが、真空排気系、レーザガス導
入系、それに支持体２の一端に設けられている折
返し鏡は省略してある。
第２図は中央のレーザ管ホルダ部の拡大断面図
である。レーザ管３内を通過したガスはレーザ管
ホルダ５の内部を経て配管９を通りガス循環ポン
プ６に至る。レーザ管ホルダ５は絶縁碍子５１を
はさんで基板１に、ポンプ６も基板１にそれぞれ
固定される。レーザ管ホルダ５とポンプ６の間は
相互の熱膨張や基板１の変形等を吸収するために
Ｏリングシール５２，６１等により摺動が可能な
構造となつており、レーザ管３位置を変動させる
ことのない様工夫されている。
である。レーザ管３内を通過したガスはレーザ管
ホルダ５の内部を経て配管９を通りガス循環ポン
プ６に至る。レーザ管ホルダ５は絶縁碍子５１を
はさんで基板１に、ポンプ６も基板１にそれぞれ
固定される。レーザ管ホルダ５とポンプ６の間は
相互の熱膨張や基板１の変形等を吸収するために
Ｏリングシール５２，６１等により摺動が可能な
構造となつており、レーザ管３位置を変動させる
ことのない様工夫されている。
ところが今大気圧をP0、系内の圧力をＰとす
ると、系内のレーザガス圧ＰがP0と等しい場合
はレーザ管ホルダ５には何らの力も発生しない
が、一般のガスレーザでは数10Torrの低圧で運
転されるため、 Ｆ＝（π／４）×D2×（P0−Ｐ）Kg の力Ｆが図中矢印方向に働く。（ただしＤは配管
９の外径である。） たとえばＤ＝６cm，P0＝760Torr，Ｐ＝
20Torrとすると、Ｆ＝27.5Kgとなり絶縁碍子５
１には大きな負担がかかるばかりでなくこの曲げ
モーメントによるたわみによりレーザ管３位置が
変動しレーザ出力やモードに大きな影響を与える
結果となつていた。
ると、系内のレーザガス圧ＰがP0と等しい場合
はレーザ管ホルダ５には何らの力も発生しない
が、一般のガスレーザでは数10Torrの低圧で運
転されるため、 Ｆ＝（π／４）×D2×（P0−Ｐ）Kg の力Ｆが図中矢印方向に働く。（ただしＤは配管
９の外径である。） たとえばＤ＝６cm，P0＝760Torr，Ｐ＝
20Torrとすると、Ｆ＝27.5Kgとなり絶縁碍子５
１には大きな負担がかかるばかりでなくこの曲げ
モーメントによるたわみによりレーザ管３位置が
変動しレーザ出力やモードに大きな影響を与える
結果となつていた。
発明の目的
本発明は上記従来の欠点を解消するもので共振
器や配管系が、真空排気やいかなる低圧のレーザ
ガスによる運転時にも大気圧の影響を受けること
なく安定にレーザ発振を行なわせると共に装置を
構成する主要な部品に負担をかけず小型化を達成
し、それら部品の耐久性を増大させるものであ
る。
器や配管系が、真空排気やいかなる低圧のレーザ
ガスによる運転時にも大気圧の影響を受けること
なく安定にレーザ発振を行なわせると共に装置を
構成する主要な部品に負担をかけず小型化を達成
し、それら部品の耐久性を増大させるものであ
る。
発明の構成
本発明は上記目的を達成するもので、レーザ管
と、前記レーザ管を保持するレーザ管保持部と、
前記レーザ管保持部に接続された第１の配管と、
前記第１の配管に対向し、一端がレーザ管保持部
に接続された第２の配管とを備え、前記レーザ管
はレーザ管保持部を介し、前記第２の配管の他端
は固定手段を介してそれぞれ基板上に設置されて
おり、前記第１の配管及びレーザ管保持部を介し
てレーザ管内に媒質ガスを循環させるとともに、
前記第１と第２の配管がほぼ同径をなし、かつ両
配管内の圧力が同圧となく如く構成されているこ
とを特徴とするレーザ発振器を提供するものであ
る。
と、前記レーザ管を保持するレーザ管保持部と、
前記レーザ管保持部に接続された第１の配管と、
前記第１の配管に対向し、一端がレーザ管保持部
に接続された第２の配管とを備え、前記レーザ管
はレーザ管保持部を介し、前記第２の配管の他端
は固定手段を介してそれぞれ基板上に設置されて
おり、前記第１の配管及びレーザ管保持部を介し
てレーザ管内に媒質ガスを循環させるとともに、
前記第１と第２の配管がほぼ同径をなし、かつ両
配管内の圧力が同圧となく如く構成されているこ
とを特徴とするレーザ発振器を提供するものであ
る。
実施例の説明
第３図に本発明の一実施例であるレーザ発振器
の斜視図を示す。
の斜視図を示す。
本実施例は大気圧を相殺するためにレーザ管ホ
ルダ４及び５に、配管４１及び５３、固定板４２
及び５４を設けたことが特徴であり、他の部位に
は第１図と同じ番号を付してその説明を省略す
る。本構成で配管９と５３，８と４１のシール部
の径を同一又はそれに近い値にしておけば大気圧
による力Ｆは固定板５４及び４２が受けることに
なり、レーザ管ホルダ５及び４は外力の影響をさ
けることができる。
ルダ４及び５に、配管４１及び５３、固定板４２
及び５４を設けたことが特徴であり、他の部位に
は第１図と同じ番号を付してその説明を省略す
る。本構成で配管９と５３，８と４１のシール部
の径を同一又はそれに近い値にしておけば大気圧
による力Ｆは固定板５４及び４２が受けることに
なり、レーザ管ホルダ５及び４は外力の影響をさ
けることができる。
第４図に中央のレーザ管ホルダ部の拡大断面図
を示す。
を示す。
レーザ管ホルダ５の一方側は配管９を介してガ
ス循環ポンプ６に結合されており、反対側には圧
力相殺用の配管５３が設けられており、配管５３
は固定板５４で支持されている。配管９と配管５
３との外径Ｄは等しく設定してあるので、レーザ
管３を挾んで両側の圧力は等しく保たれ、大気圧
とレーザガス圧との差により発生する力Ｆは固定
板５４で防禦されるため、絶縁碍子５１に不当な
負担がかかることもなく、レーザ管３は安定に保
たれ常に安定な出力が得られる。
ス循環ポンプ６に結合されており、反対側には圧
力相殺用の配管５３が設けられており、配管５３
は固定板５４で支持されている。配管９と配管５
３との外径Ｄは等しく設定してあるので、レーザ
管３を挾んで両側の圧力は等しく保たれ、大気圧
とレーザガス圧との差により発生する力Ｆは固定
板５４で防禦されるため、絶縁碍子５１に不当な
負担がかかることもなく、レーザ管３は安定に保
たれ常に安定な出力が得られる。
第５図に本発明の他の実施例を示す。
本実施例は圧力相殺用の配管５５に伸縮自在管
（ベーローズ等）を用いており、さらに固定板５
４を貫通して配管５５と連通する給排気管５６を
設け、給排気管５６によりレーザガスの補給や排
気を行うようにしたもので、固定板５４と伸縮自
在の配管５５により、レーザ管は安定に保たれ
る。
（ベーローズ等）を用いており、さらに固定板５
４を貫通して配管５５と連通する給排気管５６を
設け、給排気管５６によりレーザガスの補給や排
気を行うようにしたもので、固定板５４と伸縮自
在の配管５５により、レーザ管は安定に保たれ
る。
第６図に本発明の別の実施例を示す。
本実施例ではレーザ管ホルダ５の配管９の反対
側は閉じられており、配管５３とは連通していな
い。しかしながら、配管５３と配管９とは破線で
示した連結管５７により、必要に応じて給排気管
５６を介して連結されており同一圧力に保たれて
いるものである。
側は閉じられており、配管５３とは連通していな
い。しかしながら、配管５３と配管９とは破線で
示した連結管５７により、必要に応じて給排気管
５６を介して連結されており同一圧力に保たれて
いるものである。
上記実施例は中央部のレーザ管ホルダ５を例に
とつて説明したが、両端のレーザ管ホルダ４の場
合についても同様のことが云えることはもちろん
である。
とつて説明したが、両端のレーザ管ホルダ４の場
合についても同様のことが云えることはもちろん
である。
発明の効果
以上要するに本発明は、レーザ管と、前記レー
ザ管を保持するレーザ管保持部と、前記レーザ管
保持部に接続された第１の配管と、前記第１の配
管に対向し、一端がレーザ管保持部に接続された
第２の配管とを備え、前記レーザ管はレーザ管保
持部を介し、前記第２の配管の他端は固定手段を
介してそれぞれ基板上に設置されており、前記第
１の配管及びレーザ管保持部を介してレーザ管内
に媒質ガスを循環させるとともに、前記第１の第
２の配管がほぼ同径をなし、かつ両配管内の圧力
が同圧となるように構成されていることを特徴と
するレーザ発振器を提供するもので、レーザ発振
器を停止して、大気圧を導入した場合でも又いか
なる圧力のレーザガス圧で運転時も共振器や配管
が大気圧の影響で変動することがないため出力や
モードの安定性が高い。又大気圧の影響をさける
ため共振器本体の主要部を従来の様に堅牢に作る
必要がないため小型化が可能でコストダウンがは
かれる。運転停止の繰返しや、圧力変動によるく
り返し荷重による材料の疲労を発生させることが
ないから耐久性と信頼性が飛躍的に向上するなど
のさまざまな効果を発揮することができる。
ザ管を保持するレーザ管保持部と、前記レーザ管
保持部に接続された第１の配管と、前記第１の配
管に対向し、一端がレーザ管保持部に接続された
第２の配管とを備え、前記レーザ管はレーザ管保
持部を介し、前記第２の配管の他端は固定手段を
介してそれぞれ基板上に設置されており、前記第
１の配管及びレーザ管保持部を介してレーザ管内
に媒質ガスを循環させるとともに、前記第１の第
２の配管がほぼ同径をなし、かつ両配管内の圧力
が同圧となるように構成されていることを特徴と
するレーザ発振器を提供するもので、レーザ発振
器を停止して、大気圧を導入した場合でも又いか
なる圧力のレーザガス圧で運転時も共振器や配管
が大気圧の影響で変動することがないため出力や
モードの安定性が高い。又大気圧の影響をさける
ため共振器本体の主要部を従来の様に堅牢に作る
必要がないため小型化が可能でコストダウンがは
かれる。運転停止の繰返しや、圧力変動によるく
り返し荷重による材料の疲労を発生させることが
ないから耐久性と信頼性が飛躍的に向上するなど
のさまざまな効果を発揮することができる。
第１図は従来のガス循環型レーザ発振器の斜視
図、第２図はレーザ管ホルダ部の部分拡大断面
図、第３図は本発明の一実施例としてのレーザ発
振器の斜視図、第４図〜第６図は本発明の実施例
であるレーザ管ホルダ部の部分拡大断面図であ
る。 １……基板、２……ミラー部支持体、３……レ
ーザ管、４，５……レーザ管ホルダ、５１……絶
縁碍子、５３……配管、５４……固定板、５５…
…伸縮自在管（ベローズ等）、５６……給排気管、
５７……連結管、６……循環ポンプ、７，８，９
……配管、１０……レーザ光線。
図、第２図はレーザ管ホルダ部の部分拡大断面
図、第３図は本発明の一実施例としてのレーザ発
振器の斜視図、第４図〜第６図は本発明の実施例
であるレーザ管ホルダ部の部分拡大断面図であ
る。 １……基板、２……ミラー部支持体、３……レ
ーザ管、４，５……レーザ管ホルダ、５１……絶
縁碍子、５３……配管、５４……固定板、５５…
…伸縮自在管（ベローズ等）、５６……給排気管、
５７……連結管、６……循環ポンプ、７，８，９
……配管、１０……レーザ光線。
Claims (1)
- １ レーザ管と、前記レーザ管を保持するレーザ
管保持部と、前記レーザ管保持部に接続された第
１の配管と、前記第１の配管に対向し、一端がレ
ーザ管保持部に接続された第２の配管とを備え、
前記レーザ管はレーザ管保持部を介し、前記第２
の配管の他端は固定手段を介してそれぞれ基板上
に設置されており、前記第１の配管及びレーザ管
保持部を介してレーザ管内に媒質ガスを循環させ
るとともに、前記第１と第２の配管がほぼ同径を
なしかつ両配管内の圧力が同圧となるように構成
されていることを特徴とするレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58163533A JPS6054488A (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58163533A JPS6054488A (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | レ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6054488A JPS6054488A (ja) | 1985-03-28 |
| JPH0125237B2 true JPH0125237B2 (ja) | 1989-05-16 |
Family
ID=15775682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58163533A Granted JPS6054488A (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6054488A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0183023B1 (de) * | 1984-11-24 | 1991-02-20 | Trumpf GmbH & Co | Gas-Laser mit Quereinkopplung von Hochfrequenzenergie |
| JP2001211448A (ja) * | 2000-01-27 | 2001-08-03 | Olympus Optical Co Ltd | 内視鏡装置 |
-
1983
- 1983-09-05 JP JP58163533A patent/JPS6054488A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6054488A (ja) | 1985-03-28 |
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