JPH0125412B2

JPH0125412B2 -

Info

Publication number: JPH0125412B2
Application number: JP55047413A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Takamya
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 1980-04-09
Filing date: 1980-04-09
Publication date: 1989-05-17
Also published as: JPS56143940A

Description

【発明の詳細な説明】この発明はヘリウムリークデテクタを組込んだ
チヤンバ式漏れ検査装置を使用し、真空内圧法に
よつて行う被検査部品の漏れ検査方式に関するも
のである。

空調用や冷凍用圧縮機の気密部品、自動車関連
気密部品はいずれも大量に生産される部品であ
り、かつその気密度に高い信頼性が要求されるこ
とから、その漏れ検査方式はオンラインで行うこ
とができ、微小漏れを見逃がすことのない厳密な
漏れ検査でなければならず、しかも迅速かつ省力
的に実施できることが要請される。

ところで、従来のチヤンバ式漏れ検査装置は第
１図に示すようにヘリウムを封入した被検査部品
１を油圧シリンダなどを利用した昇降装置付きの
チヤンバ２の中に収容し、その中の空気を、たと
えば拡散ポンプ３および油回転式真空ポンプ４と
からなる排気装置によつて排気し、チヤンバ２内
をたとえば10^-2Torr程度の真空状態とすると、
前記部品１に微細なピンホール、ヒビ割れなどの
欠陥が存在するときは、その中に封入されている
ヘリウムがチヤンバ２内に漏れだし、拡散し図示
のように排気装置の管路をとおり、それに接続さ
れたヘリウムリークデテクタ（LD）に到達する
こととなるが、このヘリウムをヘリウムリークデ
テクタ（以下LDと略記する。）で検出し、さらに
その検出値を予め定められた基準値と比較して前
記部品１の漏れ検査における合否を判定するよう
にされているものである。

したがつてチヤンバ２内に被検査部品１（以下
ワークと称する。）を収容するに先立つてこの中
にヘリウムを封入する準備工程が必要であり、た
とえば第２図に示すように高圧バルブ５を装着し
た漏れのない補助カバー６をワーク１に取付けて
密閉容器を形成し、その内部を十分に排気した後
でその中へヘリウムをヘリウムボンベ７から減圧
弁８、チユーブ９、着脱継手１０およびバルブ５
を介して導入し、ついでバルブ５を閉じて継手１
０をはずすといつたヘリウム封入作業を行つてお
かなければならない。

さらにヘリウムは高価な気体であるので、その
有効利用をはかるため、大量の部品の漏れ検査を
行う場合には、検査後にワーク内の残留ヘリウム
の回収がなされるのが通常である。

微小漏れを見逃がさない厳密な漏れ検査にはこ
のようなLDを組込んだ漏れ検査装置を用いるの
がもつとも適しているが、ワークの品質にばらつ
きがあり、かなり大きい漏れ欠陥のあるものも予
想される場合には、前記のように密閉したワーク
１をバルブ５を介して排気セツトに接続し、その
内部を排気する際に生ずる排気系の圧力変動のパ
ターン異常を真空計にて検知するたとえば真空排
気形リークテスト装置によるググロースリークテ
ストを行い、あらかじめグロースリークをもつ不
合格品を排除してからLDを組込んだ漏れ検査装
置にかけられる。

したがつてヘリウムLDを利用した漏れ検査の
省力化ならびに迅速化をはかるには、ワークの密
閉、密閉したワーク内部の排気、それと併せて行
うグロースリークテスト、その合格品に対して行
うヘリウムの封入、それをチヤンバ内に収容して
前記チヤンバ内の排気を行い、その排気の一部を
ヘリウムLDに導き、排気中に含まれる漏れヘリ
ウムを検出するワークの微小漏れ検査、さらにワ
ークに封入した残留ヘリウムの回収といつた主要
な諸工程を前記したように分離した工程で処理す
るのではなく、連続した工程として一連のシーケ
ンス動作によつて処理するようにすることが望ま
しい。

第３図は、前記各主要工程を連続した工程とし
て一連のシーケンス動作によつて処理するように
した漏れ検査装置の回路系統図の１例である。図
中１は下端部にフランジを有するワーク、２はそ
れを収容する釣鐘形のチヤンバ、１２はその底板
で、基台（図示せず）に固定されており、チヤン
バ２をたとえば油圧シリンダによつて下降させる
と、その下端フランジ面が底板１２に押圧され、
チヤンバ２内の気密が保持される。１３は加圧ブ
ロツクで、チヤンバ２の天井部に取付けられてお
り、チヤンバ２が前記のように降下押圧されると
きは、並列矢印で示したようにその下端面が、ワ
ーク１の前記フランジを底板１２に押圧し、ワー
ク１と底板１２とで密閉容器が形成される。そし
てこの密閉ワーク１の気密はその中に加圧ヘリウ
ムが導入される場合においても保持されるように
なつている。１４はパツキングブロツクで、ワー
ク１に対してその内周面とわずかの隙間を保つて
取付けられ、ワーク１の内部の空気のパージ容量
を小さくする用をなし、その下端部外周面がワー
ク１の下端面内周面とほとんど隙間なしに接する
ようにされ、この部分と、底板１２のワーク１の
フランジ面と接する部分とにはそれぞれＯ―リン
グが装着されている。ワーク１内に封入されたヘ
リウムはこれらＯ―リングがゴムまたはシリコン
ゴムのときはそれを徐々に透過し、ワーク１のフ
ランジ面と底板１２との接触部から、チヤンバ２
内に漏れだし、漏れ検査の合否の判定を狂わすこ
ととなるので、このような事態の発生を防止する
ため、ヘリウムを封入すると直ちに前記両Ｏ―リ
ング間の隙間の排気をそれと接続される排気管路
２８を介してリークテスト間継続して行うように
されている。３１は密閉したワーク１内に封入す
るヘリウムもしくはヘリウムと窒素との混合ガス
を導入するための貫通路で、導入管路３２と連通
するようにされており、３３は主排気管路であ
る。４０，４１，４２および４３は油回転形真空
ポンプ、４４はルーツ式のメカニカルブースタ、
４５は三方電磁開閉弁、４６，４７，４８，４
９，５０，５１は空気作動開閉弁、５２，５３，
５４，５５，５６，５７は電磁開閉弁、６０，６
１は連成計で、上下限圧接点付き、６２は下限接
点付きブルドン管真空計、６３はピラニ真空計、
６４は圧力計である。３２はヘリウムもしくはヘ
リウムと窒素の混合ガスの導入管路、３２―１は
ヘリウムの回収管路、３２―２はワーク１内の空
気の排気管路である。そして第３図の回路系統を
有する装置での漏れ検査はつぎのようなシーケン
ス動作によつて行われる。

チヤンバ２は油圧シリンダによつて上方へ引上
げられているものとする。ワーク１をパツキング
ブロツク１４の上にかぶせるように底板１２上に
セツトする。スタートスイツチをいれると、チヤ
ンバ２に対して上、下それぞれ一定位置に取付け
られたリミツトスイツチLS₁，LS₂がドツグ（図
示せず）と接触することによつて油圧シリンダの
動きが規制され、チヤンバ２の下降開始、加圧が
行われて停止する。この動作によつてチヤンバ２
のフランジ部が底板１２に押圧されるとともに、
ワーク１のフランジ面が底板１２に加圧される。
このようにしてワーク１およびチヤンバ２が密閉
されると、油回転ポンプ４０，４１，４２，４
３、メカニカルブースタ４４が運転する。ついで
主排気管３３に接続される電磁開閉弁５５が開か
れ、チヤンバ２内の空気が排気され、その内圧が
連成計６１に設定された値（たとえば90Torr）
に減圧されると、その信号によつて電磁弁５５は
閉、空気作動開閉弁５１は開になり、ひき続きチ
ヤンバ２内が排気される。この間空気作動開閉弁
４６は開とされ、ワーク１の内部は導入管路３２
を介して外気と連通されているから、ワーク１に
かなり大きい漏れ欠陥が存在する場合には、一定
時間たとえば25〜30秒排気を継続してもチヤンバ
２内が所定の真空圧たとえば0.04Torrに到達し
ないことから、ピラニ真空計６３から信号が出さ
れ、ブザーおよびランプが作動してワーク１のグ
ロースリークが表示される。

そしてフローは中断され、それ以後の進行に対
してはオペレータの適宜処置を必要とする。ワー
ク１にグロースリークが存在しないときは、チヤ
ンバ２内が前記所定の真空度になるので、それを
検知したピラニ真空計６３の信号によつてヘリウ
ムガス封入工程に移行する。

つぎにワーク１の内部にヘリウムが封入される
のであるが、この封入は通常ワーク１の使用時の
圧力と同等の圧力でなされ、使用圧力が数10気圧
と高い場合には、たとえばヘリウムと窒素とをそ
れぞれ10％、90％の割合に均一に混合した高圧混
合ガスが用いられる。さてこの高圧混合ガスの封
入に当つては、空気作動開閉弁４６が閉、同じく
開閉弁４８が開とされ、導入管路３２、貫通路３
１をへて、ワーク１内に残留する空気をパージす
ることなくその内部に封入される。ワーク１の使
用圧力が低いときは、たとえば３〜５Kg／cm²Ｇ程
度のヘリウムのみが封入され、この場合には、空
気作動開閉弁４６は閉、同じく開閉弁４９は開と
され、回転ポンプ４１によつてワーク１内の残留
空気がパージされてから、前記開閉弁４９が閉じ
られ、前記した高圧混合ガスの封入に準じてヘリ
ウムの封入がなされる。

ワーク１にクロースリークをおこすにはいたら
ぬ微細なピンホールもしくはヒビ割れなどの欠陥
でもそれが存在するときは、前記封入ヘリウムが
チヤンバ２内に漏れだしてくることとなるから、
テストバルブ（電磁開閉弁）５７が開とされる
と、主排気管路３３から分岐管路に吸引される排
気の一部に含まれる漏れヘリウムがLDへ送りこ
まれ、LDによるワーク１の微小漏れに対するリ
ークテストが行われる。

LDによるリークテストが終了すると空気作動
開閉弁４８、テストバルブ５７がともに閉とさ
れ、空気作動開閉弁４７が開とされ、貫通路３
１、管路３２およびヘリウム回収管路３２―１を
へてワーク１内に封入されたヘリウムが回収され
る。そして回収管路３２―１のヘリウムの圧力が
大気圧状態になつたことを接点付き連成形６０が
検出すると、それからの信号によつて空気作動開
閉弁４７が閉、三方電磁弁４５、空気作動開閉弁
５１がともに閉とされ、ついで同じく開閉弁４９
が開とされ、大気圧状態となつたワーク１内の残
留ヘリウムが外気へ排出される。

そしてワーク１内がたとえば10^-2Torr程度の
真空にされると前記開閉弁４９が閉とされる。一
方空気作動開閉弁４９が開かれたときに同時に空
気作動開閉弁５０が開とされ、外気が主排気管路
３３を逆流してチヤンバ２の内部に導入されると
ともに、空気作動開閉弁４６が開とされ、同じく
外気が導入管路３２、貫通路３１をへてワーク１
に導入され、さらに三方電磁開閉弁４５が排気管
路２８を外気と連通するように切換えられ、チヤ
ンバ２、ワーク１の真空状態が破られる。このよ
うに所要箇所にすべて大気が導入されると、チヤ
ンバ２が油圧シリンダによつて上方へ引上げら
れ、ワーク１が自由に取りはずされ、ワーク１の
漏れ検査の１サイクルが完了する。

以上説明したとおり、第３図に回路系統を示し
たヘリウムリークデテクタを組込んだチヤンバ式
漏れ検査装置を使用し、真空内圧法によつて行う
ワークの漏れ検査方式は、ワークの品質にばらつ
きが少く、かなり大きい漏れ欠陥がなく微小漏れ
欠陥を有するワークを主として排除するために実
施される場合には、検査各工程が連続した工程と
して一連のシーケンス動作によつて処理でき、漏
れ検査における迅速化ならびに省力化が達成され
るのであるが、ワークにグロースリークが間々存
在する場合には、前記したとおり、ピラニ真空計
６３から信号が出され、ブザーおよびランプが作
動してワークのグロースリークが表示されると、
そこでフローが中断されるので、その後の進行に
対してオペレータが適宜処置をしなければならな
いという不都合を有する。さらにワークの使用時
の圧力と同程度の圧力の前記高圧混合ガスが密閉
したワーク内に封入されたとき、封入ガスの圧力
によつてワークがひずみ、隙間漏れを生じる場合
には、かなりの漏れが主排気管路３３に流入する
ことから、LDにより漏れヘリウムを検知するま
でもなく、ピラニ真空計６３により、グロースリ
ークに準じてそれが捕捉できる。したがつてこの
ような隙間漏れを生じたワークに対してLDによ
るリークテストを実施することは無意味であり、
無駄な検査を行うことになる。なおまずいこと
に、このような隙間漏れを含んだ排気をLDに送
りこむことからかなり大量のヘリウムによつて
LDのバツクグラウンドが乱され、その後のLDに
よるヘリウムの検出に対して誤差を招くこととな
り、このような事態が生じた場合には、LDへい
たる管路３３を十分にクリーンアツプしなければ
ならず、それだけ手間と時間を要するという不都
合がしゆつたいする。

この発明は前記した装置と同類の装置を用いて
従来から行われている漏れ検査方式における無駄
ならびに不都合の解消をはかつたものであつて、
排気密閉チヤンバ内に収容した被検査部品に加圧
ヘリウムを封入し、前記密閉チヤンバ内への漏れ
ヘリウムをヘリウムリークデテクタによつて検出
するようにした漏れ検査方式において、その漏れ
検査の前段において前記密閉検査部品の内部に前
記ヘリウムによる漏れ検査とほぼ等しい圧力の加
圧気体を封入し、前記密閉チヤンバ内の排気を行
い、その内圧が一定時間内に所定の真空度に到達
するか否かによつて前記被検査部品の封入気体の
加圧によるひずみから生ずる隙間漏れを検査する
予備的漏れ検査を行うようにし、またヘリウムに
よる漏れ検査の後段において前記被検査部品の内
部に封入したヘリウムを回収する工程と、その回
収工程の後段に前記被検査部品および排気密閉チ
ヤンバの真空を破る工程とを設け、前記予備的漏
れ検査において不合格のときはその被検査部品に
対しては前記ヘリウムによる漏れ検査をとばして
前記ヘリウム回収工程および真空破壊工程へ移行
するようにし、予備的漏れ検査において不合格の
場合においても検査工程を停滞させることなく進
行させるようにしたことを特徴とする漏れ検査方
式にかかるものである。

以下、この発明にかかる漏れ検査方式の実施例
について図面にもとづいて説明する。

第４図はこの発明にかかる漏れ検査方式の実施
例のフローダイヤフラムの主要部を第３図に示し
た回路系統を有する漏れ検査装置の運転に対して
示したもので、図中の番号は第３図に示した各開
閉弁、計器と同一のものについてはそれぞれ同一
番号が付してあり、このフローダイヤフラムと第
３図の回路系統図とを併用して、この検査方式を
その主要検査ごとに説明する。

(i) ワークの一次グロースリークテスト：前記したとおりワーク１がチヤンバ２の底板
１２上にセツトされ、スタートスイツチが押さ
れると、図示のとおりフローが進行し、ランプ
LOが点灯し、ワーク１およびチヤンバ２の底
板１２に対する加圧が終り、両者の密閉完了を
表示する。ついでフローが進行すると、前記し
たとおり空気作動開閉弁４６は開とされ、密閉
ワーク１の内部が大気と連通されているから、
ワーク１にグロースリークをおこす欠陥が存在
するときは、チヤンバ２の内圧は排気が一定時
間（たとえば25〜30秒）なされても、所定の真
空度（たとえば0.04Torr）に到達せず、それ
がピラニ真空計６３によつて検出される。時間
遅れT₁は前記した一定時間の排気時間にあわ
せられる。

この場合には、ランプL₁が点灯し、ブザー
B₁がなつて警報をだし、ワーク１が一次グロ
ースリークテストに不合格であることを表示す
る。そこでリセツトスイツチがおされると、ラ
ンプL₁、ブザーB₁の作動がとめられ、フロー
はＰまで中間工程をとびこして進められ、空気
作動開閉弁５１が閉じられ、ついで同じく開閉
弁５０が開けられてチヤンバ２の排気がとめら
れ、その内部に外気が導入され、チヤンバ２内
の真空状態が破られる工程をへて油圧シリンダ
によつてチヤンバ２が上方へ引上げられる。

(ii) ワークの二次グロースリークテスト：前記した一次グロースリークテストにワーク
１が合格した場合には、フローチヤートに示さ
れているとおり、空気作動開閉弁４６が閉じら
れ、密閉ワーク１と外気との連通がたたれ、空
気作動開閉弁４８が開かれ、たとえば20Kg／cm²
Ｇの高圧混合ガスが密閉ワーク１内に導入され
る。ワーク１がこの封入高圧混合ガスの加圧に
よつてひずみ、隙間漏れをおこすときは、前記
混合ガスが主排気管路３３に流出してくること
から、前記管路３３は前記高圧混合ガス封入後
一定時間後においても所定の真空度（たとえば
0.04Torr）に到達せず、これがピラニ真空計
６３によつて検出される。時間遅れT₂はヘリ
ウム封入後の前記した一定の待ち時間にあわせ
られる。

この場合にはランプL₂、ブザーB₂が作動し、
ワーク１が二次グロースリークテストに不合格
であることを表示する。そこでリセツトスイツ
チがおされると、ランプL₂、ブザーB₂の作動
がとめられ、フローはＱまで中間工程をとびこ
して進められ、空気作動開閉弁４８、テストバ
ルブ５７がともに閉とされ、ヘリウムの導入口
が遮断されるとともにチヤンバ２からの排気の
LDへの流入がとめられる。ついで空気作動開
閉弁４７が開とされ、ワーク内に封入されたヘ
リウムは大気圧状態になるまで回収され、大気
圧状態となつたワーク１内の残留ヘリウムは空
気作動弁４９が開とされ、外気へ排出される。
そして一次リークテストのときと同様のフロー
にしたがつてチヤンバ２、ワーク１の真空状態
が破られる工程をへて油圧シリンダによつてチ
ヤンバ２が上方へ引上げられる。

この二次リークテストにおいてはテストバル
ブ５７は閉じられたままであるので、テストバ
ルブ５７より下流の管路にはヘリウムは流入せ
ず、したがつてワーク１のひずみから生ずる隙
間漏れに含まれるかなり大量のヘリウムによつ
てLDのバツクグラウンドが乱されることは防
止され、一方主排気管路３３に流出するヘリウ
ムは空気作動開閉弁５１が閉とされるまでに十
分排出されるので前記管路３３にはLDのバツ
ググラウンドに影響する程のヘリウムは残留せ
ず、吸着ヘリウムガスのクリーンアツプに時間
を余分にかけることを要しない。

(iii) ワークのヘリウムリークテスト；このテストは本来のヘリウムによる漏れ検査
であり、前記した一次、二次グローステストは
いずれも予備的漏れ検査に該当する。

前記した二次グロースリークテストにワーク
１が合格した場合にはLDのリークレートメー
タによつてLDに存在する雰囲気内のヘリウム
の含有量が定められた基準値以下であり、バツ
クグラウンドに異常がないことが確認される
と、テストバルブ５７が開とされ、ワーク１に
存在する微細なピンホールもしくはヒビ割れな
どにより微小漏れが生ずるときは、排気中の漏
れヘリウムがLDのリークレートメータによつ
て検出されると同時にその検出値が予め定めら
れた基準値と比較される。そして検出値が基準
値以上である場合にはランプL₃、ブザーB₃が
作動し、ワーク１がヘリウムリークテストに不
合格であることを表示する。そこでリセツトス
イツチがおされると、ランプL₃、ブザーB₃の
作動がとめられ、二次グロースリークテストの
ときと同様のフローにしたがつてワーク１内の
封入ヘリウムの大気圧状態になるまでの回収、
それ以下の圧力の残留ヘリウムの外気への排
出、ついでチヤンバ２、ワーク１の真空状態が
破られる工程をへて油圧シリンダによつてチヤ
ンバ２が上方へ引上げられる。

漏れヘリウムの検出値が基準値以上でなけれ
ばワーク１はヘリウムリークテストに合格す
る。このときにはランプL₄が点灯し、フロー
は進められるが、リセツトスイツチが押されな
い限り、油圧シリンダによつてチヤンバ２が引
上げられないようにされている。それはこのよ
うなステツプをおくことによつてオペレータに
“合格”を確認させるためである。

なお二次リークテストに当つて、この方式で
はヘリウムもしくはヘリウムと窒素との高圧混
合ガスをワーク１に封入するようにしている
が、ヘリウム導入管路３２に空気作動切換弁を
取付けそれを介してヘリウムを含まない高圧ガ
スたとえば窒素ガスのみを封入し、二次リーク
テストを行い、空気作動開閉弁４９を三方開閉
弁とし、それを介してテスト後残留窒素ガスを
外気に放出するようにしてもよい。

また、チヤンバ２を２組以上設け、その油圧
源装置、排気セツト、LDはそれぞれ１式とし
て、この検査方式によつて並行的に前記検査を
行うようにすることも可能である。第５図はチ
ヤンバ２を２組設けた場合の回路系統図を示し
ている。この図において電磁開閉弁、空気作動
開閉弁、連成計およびピラニ真空計は第３図に
示したチヤンバ２が１つの場合と対応させて、
それぞれ同一の番号が付してあるが、それぞれ
の番号にダツシユ符号を付加したものはNo.２チ
ヤンバ２の作動にかかるものである。そしてNo.
１，No.２各チヤンバ２に対して前記したワーク
１の漏れ検査をこの検査方式によつて交互に行
わせることができるようそのシーケンス回路に
インターロツクを適当にとつておけば、それぞ
れの前記各動作をたがいに干渉しあうことな
く、スタートスイツチを押すのみで自動的に行
わせることができる。

以上の説明によつて明らかなようにこの発明に
かかる漏れ検査方式によれば、たとえば排気密閉
チヤンバ内に収容した被検査部品の開口部を前記
チヤンバの底板に密に押圧せしめる手段を備え、
その手段により密閉した前記検査部品の内部に前
記底板に設けた導入管より加圧ヘリウムを封入
し、前記密閉チヤンバ内への漏れヘリウムをヘリ
ウムリークデテクタによつて検出するようにした
一連もしくは複数連の装置によつて被検査部品の
漏れを検査するに当つて、加圧ヘリウムの封入時
に被検査部品がひずみ、隙間漏れを生ずるものに
対し、予備的漏れ検査を行い不良品として排除で
きるようにされていることから、無意味なヘリウ
ムリークテストを行う無駄が除去され、検査能率
を高めることができ、あわせて、従来このような
被検査部品に対してヘリウムリークテストを行う
ことによる吸着ヘリウムガスに対してクリーンア
ツプに要していた時間をほぼ皆無にすることがで
きるとともに、いかなる漏れ検査不良が生ずる場
合でも検査結果を確認し、リセツトスイツチを押
しさえすれば検査工程を停滞させることなく進行
させることができることから、量産気密部品の厳
密な漏れ検査をオンラインにて従来の検査方式よ
りはるかに迅速かつ省力的に実施することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はヘリウムリークデテクタを組込んだ従
来のチヤンバ式漏れ検査装置の説明図、第２図は
漏れ検査部品への従来のヘリウムの封入動作の説
明図、第３図はワークの密閉、グロースリークテ
スト、ヘリウムリークテスト、ヘリウムの回収な
どの主要工程を一連のシーケンス動作によつて処
理するようにした漏れ検査装置の回路系統図の１
例、第４図はこの発明にかかる漏れ検査方式の実
施例のフローダイヤフラムの主要部を第３図に示
した回路系統を有する漏れ検査装置の運転に対し
て示したもの、第５図はチヤンバを２組設け並行
的に検査を行うようにした漏れ検査装置の回路系
統図の１例である。１…漏れ検査部品（ワーク）、２…チヤンバ、
１２…底板、１３…加圧ブロツク、２８…排気管
路、３２…ヘリウム導入管路、３２―１…ヘリウ
ム回収管路、３２―２…排気管路、３３…主排気
管路、４１，４２，４３…油回転真空ポンプ、４
４…メカニカルブースタ、６３…ピラニ真空計、
LD…ヘリウムリークデテクタ。

Claims

【特許請求の範囲】

１排気密閉チヤンバ内に収容した被検査部品に
加圧ヘリウムを封入し、前記密閉チヤンバ内への
漏れヘリウムをヘリウムリークデテクタによつて
検出するようにした漏れ検査方式において、その
漏れ検査の前段において前記密閉検査部品の内部
に前記ヘリウムによる漏れ検査とほゞ等しい圧力
の加圧気体を封入し、前記密閉チヤンバ内の排気
を行い、その内圧が一定時間内に所定の真空度に
到達するか否かによつて前記被検査部品の封入気
体の加圧によるひずみから生ずる隙間漏れを検査
する予備的漏れ検査を行うようにし、またヘリウ
ムによる漏れ検査の後段において前記被検査部品
の内部に封入したヘリウムを回収する工程と、そ
の回収工程の後段に前記被検査部品および排気密
閉チヤンバの真空を破る工程とを設け、前記予備
的漏れ検査において不合格のときはその被検査部
品に対しては前記ヘリウムによる漏れ検査をとば
して、前記ヘリウム回収工程および真空破壊工程
へ移行するようにしたことを特徴とする漏れ検査
方式。