JPH01258794A - 紫外線酸化分解装置 - Google Patents
紫外線酸化分解装置Info
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- JPH01258794A JPH01258794A JP8289688A JP8289688A JPH01258794A JP H01258794 A JPH01258794 A JP H01258794A JP 8289688 A JP8289688 A JP 8289688A JP 8289688 A JP8289688 A JP 8289688A JP H01258794 A JPH01258794 A JP H01258794A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、半導体製造工場等で使用される純水の再生利
用時に問題となる有機物を分解して除去するため、被処
理水に紫外線を照射して、他の手段では分解処理できな
い有機物、特に低分子のアルコール類を酸化分解する紫
外線酸化分解装置に関する。
用時に問題となる有機物を分解して除去するため、被処
理水に紫外線を照射して、他の手段では分解処理できな
い有機物、特に低分子のアルコール類を酸化分解する紫
外線酸化分解装置に関する。
［従来の技術］
近年、半専体集積回路等の製造用水や洗浄用水として、
再利用水を用いて高純度の純水や超純水を生成すること
が行われている。
再利用水を用いて高純度の純水や超純水を生成すること
が行われている。
そこで、被処理水中に含まれるイオン源、粒子、生菌及
び塩類等の不純物の除去を行なうためにイオン交換樹脂
塔、膜処理装置又は活性炭塔等に前記被処理水を流通し
て処理している。
び塩類等の不純物の除去を行なうためにイオン交換樹脂
塔、膜処理装置又は活性炭塔等に前記被処理水を流通し
て処理している。
更に、被処理水中に含有する全有機炭素量（Ｔｏ−ｔａ
ｌ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｃａｒｂｏｎ、以下ＴＯＣという
。）としての溶存有機物の分解処理が検討されており、
高分子有機物については膜分離処理が、また、低分子有
機物については紫外線酸化処理が行なわれている。
ｌ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｃａｒｂｏｎ、以下ＴＯＣという
。）としての溶存有機物の分解処理が検討されており、
高分子有機物については膜分離処理が、また、低分子有
機物については紫外線酸化処理が行なわれている。
［発明が解決しようとする課題］
そこで、前記低分子有機物のうち従来の方法では特に分
解処理が困難であったイソプロピルアルコールを含有す
る被処理水の紫外Ｐ；Ａ酸化処理について種々の検討を
行ない、紫外線酸化分解装置に用いる紫外線放射ランプ
からの被処理水１ｍ３当りのランプ電力量に着目して、
その最適な酸化条件を設定した。
解処理が困難であったイソプロピルアルコールを含有す
る被処理水の紫外Ｐ；Ａ酸化処理について種々の検討を
行ない、紫外線酸化分解装置に用いる紫外線放射ランプ
からの被処理水１ｍ３当りのランプ電力量に着目して、
その最適な酸化条件を設定した。
まず、被処理水を流通する処理槽内に設置する紫外線酸
化分解装置として、紫外線透過率の良好な石英ガラス等
よりなるジャケットを用いその内部に低圧水銀ランプ又
は高圧水銀ランプを装着した。
化分解装置として、紫外線透過率の良好な石英ガラス等
よりなるジャケットを用いその内部に低圧水銀ランプ又
は高圧水銀ランプを装着した。
次に、被処理水が流通する前記処理槽内面とジャケット
外面との間の距離、即ちその水層厚を前記各ランプ毎に
所定の範囲に設定した。
外面との間の距離、即ちその水層厚を前記各ランプ毎に
所定の範囲に設定した。
又、前記処理槽内の被処理水には過酸化水素等の酸化剤
を混入し、紫外線照射による有機物の酸化分解反応を利
用した。
を混入し、紫外線照射による有機物の酸化分解反応を利
用した。
そして、被処理水中のＴＯＣ濃度の変化により、その処
理効率が影響されることに鑑み、前記被処理水の初期Ｔ
ＯＣ濃度を９０％まで分解処理するのに必要な被処理水
１ｍ３当りのランプ電力量を実験により求め、その計算
式を算出した。
理効率が影響されることに鑑み、前記被処理水の初期Ｔ
ＯＣ濃度を９０％まで分解処理するのに必要な被処理水
１ｍ３当りのランプ電力量を実験により求め、その計算
式を算出した。
［課題を解決するための手段］
本発明は前記に鑑みなされたもので、ジャケット内に支
持した低圧水銀ランプ又は高圧水銀ランプよりなる紫外
線酸化分解装置を処理槽内に設置し、該処理槽内に被処
理水を流通しかつ酸化剤を混入すると共に前記ランプよ
り紫外線を照射するようにした装置おいて、 前記ジャケット外面と処理槽内面との水層厚を低圧水銀
ランプの場合は１００〜２００ ｍ ｍ 。
持した低圧水銀ランプ又は高圧水銀ランプよりなる紫外
線酸化分解装置を処理槽内に設置し、該処理槽内に被処
理水を流通しかつ酸化剤を混入すると共に前記ランプよ
り紫外線を照射するようにした装置おいて、 前記ジャケット外面と処理槽内面との水層厚を低圧水銀
ランプの場合は１００〜２００ ｍ ｍ 。
高圧水銀ランプの場合は２００〜４００ ｍ ｍとし、
更に、有機物の初期ＴＯＣ濃度に対応する９０％の有機
物の分解処理に必要な前記ランプからの被処理水１−当
りのランプ電力量（Ｅ！。
更に、有機物の初期ＴＯＣ濃度に対応する９０％の有機
物の分解処理に必要な前記ランプからの被処理水１−当
りのランプ電力量（Ｅ！。
：ＫＷ−ｈｒ／ｍＩ′）を次の計算式により算出するこ
とを特徴とする。
とを特徴とする。
ここで、
ａ：定数（低圧水銀ランプ： ０．４５〜０．５５高圧
水銀ランプ： ０．５５〜０．６５）、ｂ：定数（低圧
水銀ランプ： −０，１〜−０，２高圧水銀ランプ二０
．３〜０．４）、 Ｃ０：初期ＴＯＣ濃度（ｐｐｍ）、 とする。
水銀ランプ： ０．５５〜０．６５）、ｂ：定数（低圧
水銀ランプ： −０，１〜−０，２高圧水銀ランプ二０
．３〜０．４）、 Ｃ０：初期ＴＯＣ濃度（ｐｐｍ）、 とする。
そして、被処理水中の低分子有機物であるイソプロピル
アルコールを分解し、高純度の純水又は超純水を提供し
ようとするものである。
アルコールを分解し、高純度の純水又は超純水を提供し
ようとするものである。
更に、被処理水中の初期ＴＯＣｉＪ度の相異にかかわら
ず、紫外線酸化分解処理に必要な紫外線量を有する紫外
線酸化分解装置を提供することを目的とする。
ず、紫外線酸化分解処理に必要な紫外線量を有する紫外
線酸化分解装置を提供することを目的とする。
［実施例］
以下、本発明を図示の一実施例に基づき説明する。第１
図は本発明に係るパイロットナス１〜装置を示すもので
５図中１はステンレス材等で構成された円筒状の処理槽
であり、その内部には紫外線透過率の良好な石英ガラス
よりなる円筒状のジャケット２が配置しである。そして
、このジャケット内には低圧水銀ランプ３が支持しであ
る。又、前記処理槽の一端には被処理水を流出する流出
口１ａ及びその他端には同じく注入する注入口１ｂが形
成されている。４は前記処理槽１の内面とジャケット２
の外面との間の被処理水が流通するその水層環を示す。
図は本発明に係るパイロットナス１〜装置を示すもので
５図中１はステンレス材等で構成された円筒状の処理槽
であり、その内部には紫外線透過率の良好な石英ガラス
よりなる円筒状のジャケット２が配置しである。そして
、このジャケット内には低圧水銀ランプ３が支持しであ
る。又、前記処理槽の一端には被処理水を流出する流出
口１ａ及びその他端には同じく注入する注入口１ｂが形
成されている。４は前記処理槽１の内面とジャケット２
の外面との間の被処理水が流通するその水層環を示す。
又、６は有機物としてイソプロピルアルコールを含有す
る被処理水８を滞留するタンクであり、その内部中央に
攪拌機７が設置しである。なお、５は被処理水を循環す
るためのポンプを示す。
る被処理水８を滞留するタンクであり、その内部中央に
攪拌機７が設置しである。なお、５は被処理水を循環す
るためのポンプを示す。
このように構成された装置を運転する場合は、まず、タ
ンク６内に滞留したイソプロピルアルコールを含有する
被処理水８に所要量の過酸化水素を添加して、攪拌機７
を作動させる。
ンク６内に滞留したイソプロピルアルコールを含有する
被処理水８に所要量の過酸化水素を添加して、攪拌機７
を作動させる。
バルブ（図示せず）等を開閉し、又、ポンプ５を作動す
ることにより被処理水は処理槽１の注入口１ｂを通して
処理槽内に注入され、その内部を流通して流出口１ａを
通して処理槽外に流出されてタンク内に注水される。
ることにより被処理水は処理槽１の注入口１ｂを通して
処理槽内に注入され、その内部を流通して流出口１ａを
通して処理槽外に流出されてタンク内に注水される。
そして、被処理水が前記処理槽内を流通する際にジャケ
ット２内に支持した低圧水銀ランプが点灯されて単波長
の紫外線が照射され、有機物が酸化分解される。
ット２内に支持した低圧水銀ランプが点灯されて単波長
の紫外線が照射され、有機物が酸化分解される。
次に、第１図に示すパイロット装置を用い、前記処理槽
内の水層環４を各々３０ｍｍ、９０ｍｍ１４０ｎｏ、２
８０ｎｍ、３８０ｍ＋と相違させ、又初期ＴＯＣ濃度５
ｐｐｍ、更にランプとして低圧水銀ランプ３０Ｗを用
いて、前記各水Ｊ！厚でのイソプロピルアルコールの９
０％までの分解特性を測定した。その測定結果を第２図
に示す。
内の水層環４を各々３０ｍｍ、９０ｍｍ１４０ｎｏ、２
８０ｎｍ、３８０ｍ＋と相違させ、又初期ＴＯＣ濃度５
ｐｐｍ、更にランプとして低圧水銀ランプ３０Ｗを用
いて、前記各水Ｊ！厚でのイソプロピルアルコールの９
０％までの分解特性を測定した。その測定結果を第２図
に示す。
第２図から明らかなように、ＴＯＣ９０％分解紫外線照
射量で示す被処理水１ｍ３当りのランプ電力量で表示さ
れる分解処理効率は水層環が大きくなるに伴ない良好に
なることが分かる。
射量で示す被処理水１ｍ３当りのランプ電力量で表示さ
れる分解処理効率は水層環が大きくなるに伴ない良好に
なることが分かる。
そして、第２図に基づきＴＯＣを９０％まで分解するの
に必要な紫外線照射量を求め、各水層環との関係を表示
したのが第３図である。
に必要な紫外線照射量を求め、各水層環との関係を表示
したのが第３図である。
又、ランプとして高圧水銀ランプを用い前記と同様に各
水層環を相違させかつ初期ＴＯＣ濃度を変化させた場合
、及び低圧水銀ランプでの初期ＴＯＣ濃度を変化させた
場合のそれぞれの紫外線照射量で表示する処理効率を第
４図に示す。
水層環を相違させかつ初期ＴＯＣ濃度を変化させた場合
、及び低圧水銀ランプでの初期ＴＯＣ濃度を変化させた
場合のそれぞれの紫外線照射量で表示する処理効率を第
４図に示す。
ここで、第２図乃至第４図から分かるように、′低圧水
銀ランプを用いる場合被処理水の初期ＴＯＣ濃度に関係
なく、水層環が１００ ｍ ｍ程度からＴＯＣを９０％
まで分解させる紫外線照射量は低い値でほぼ一定の値と
なっている。
銀ランプを用いる場合被処理水の初期ＴＯＣ濃度に関係
なく、水層環が１００ ｍ ｍ程度からＴＯＣを９０％
まで分解させる紫外線照射量は低い値でほぼ一定の値と
なっている。
又、前記水層環を大きくしていっても紫外線照射量、す
なわち有機物の分解処理に必要なランプ電力量はほぼ一
定値であるので、この水層環は１００〜２００ ｍ ｍ
が最適である。これ以上大きくしても処理効率はほとん
どかわらないので、処理槽が大型となるばかりでなく、
コスト高となる 更に、高圧水銀ランプを用いる場合も前記と同様に水層
環は２００〜４００ｍｍが最適である。
なわち有機物の分解処理に必要なランプ電力量はほぼ一
定値であるので、この水層環は１００〜２００ ｍ ｍ
が最適である。これ以上大きくしても処理効率はほとん
どかわらないので、処理槽が大型となるばかりでなく、
コスト高となる 更に、高圧水銀ランプを用いる場合も前記と同様に水層
環は２００〜４００ｍｍが最適である。
又、前記パイロット装置を用い、水層環を１４０ｍｍに
設定し処理槽内のジャケットに低圧水銀ランプを、又水
層環を２８０ｍｍに設定し同じく高圧水銀ランプを支持
した装置において、被処理水中の初期ＴＯＣ濃度を変化
させ、ＴＯＣを９０％まで分解するのに必要な紫外線照
射量すなわち被処理水１ボ当りのランプ電力量の測定結
果を第５図に示す。
設定し処理槽内のジャケットに低圧水銀ランプを、又水
層環を２８０ｍｍに設定し同じく高圧水銀ランプを支持
した装置において、被処理水中の初期ＴＯＣ濃度を変化
させ、ＴＯＣを９０％まで分解するのに必要な紫外線照
射量すなわち被処理水１ボ当りのランプ電力量の測定結
果を第５図に示す。
同図より、初期ＴＯＣ濃度に対応する９０％の有機物の
分解処理に必要な被処理水１ｍ３当りのランプ電力量（
ＥＬ ： ＫＷ−ｈ ｒ ／ ｒｎ’）は次式により決
定される。
分解処理に必要な被処理水１ｍ３当りのランプ電力量（
ＥＬ ： ＫＷ−ｈ ｒ ／ ｒｎ’）は次式により決
定される。
ここで、
ａ：定数（低圧水銀ランプ： ０，４５〜０．５５高圧
水銀ランプ： ０．５５〜０．６５）、ｂ：定数（低圧
水銀ランプ： −０，１〜−０，２高圧水銀ランプ：０
．３〜０．４）、 Ｃ０：初期ＴＯＣ濃度（ｐｐ園）、とする。
水銀ランプ： ０．５５〜０．６５）、ｂ：定数（低圧
水銀ランプ： −０，１〜−０，２高圧水銀ランプ：０
．３〜０．４）、 Ｃ０：初期ＴＯＣ濃度（ｐｐ園）、とする。
なお、低圧水銀ランプ及び高圧水銀ランプの場合の定数
ａ、ｂは第５図より各々定めることができる。
ａ、ｂは第５図より各々定めることができる。
前記実施例では、本発明に係る紫外線酸化分解装置をテ
ストパイロット装置に用いた場合について説明したが、
本装置を純水又は超純水製造装置中の膜分離装置の後段
等に設置することにより、排水回収システム等において
利用する半導体集積回路用の製造用水として利用できる
。
ストパイロット装置に用いた場合について説明したが、
本装置を純水又は超純水製造装置中の膜分離装置の後段
等に設置することにより、排水回収システム等において
利用する半導体集積回路用の製造用水として利用できる
。
［発明の効果］
以上の説明から明らかなように、本発明に係る紫外線酸
化分解装置は、イソプロピルアルコールを含有する被処
理水を最適な酸化条件に基づき、効率よく酸化分解する
ことができるので、半導体集積回路等の製造に用いられ
る超純水の生成及びその排水の再生利用等に広く利用で
きる。
化分解装置は、イソプロピルアルコールを含有する被処
理水を最適な酸化条件に基づき、効率よく酸化分解する
ことができるので、半導体集積回路等の製造に用いられ
る超純水の生成及びその排水の再生利用等に広く利用で
きる。
更に、被処理水中の初期ＴＯＣ濃度の相異にもかかわら
ず、一元的な低圧水銀ランプ又は高圧水銀ランプを有す
る装置を得ることができ、その産業上の利用価値は大き
い。
ず、一元的な低圧水銀ランプ又は高圧水銀ランプを有す
る装置を得ることができ、その産業上の利用価値は大き
い。
第１図は本発明に係る紫外線酸化分解装置を有するテス
トパイロット装置の一例を示す説明図、第２図は紫外線
照射量とＴＯ（Ｊ１度との関係を示す図、第３図及び第
４図は水層厚と所要分解紫外線照射量との関係を示す図
、第５図は初期ＴＯＣ濃度と所要分解紫外線照射量との
関係を示す図である。
トパイロット装置の一例を示す説明図、第２図は紫外線
照射量とＴＯ（Ｊ１度との関係を示す図、第３図及び第
４図は水層厚と所要分解紫外線照射量との関係を示す図
、第５図は初期ＴＯＣ濃度と所要分解紫外線照射量との
関係を示す図である。
Claims (2)
- （１）有機物としてイソプロピルアルコールを含有する
被処理水を、紫外線酸化分解装置を有する処理槽内に流
通し、被処理水に酸化剤を混入すると共に前記紫外線酸
化分解装置のジャケット内に支持した低圧水銀ランプか
らの光を被処理水に照射して前記有機物を酸化分解する
ようにした装置おいて、 前記ジャケット外面と処理槽内面との間の被処理水の水
層厚を１００〜２００ｍｍとし、前記有機物の初期ＴＯ
Ｃ（全有機炭素量）濃度に対応する９０％の有機物の分
解処理に必要な前記被処理水１ｍ＾３当りの低圧水銀ラ
ンプからのランプ電力量（ＥＬ：ＫＷ・ｈｒ／ｍ＾３）
を、 ＥＬ＝１０＾（＾ａ＾・＾ｌ＾ｏ＾ｇ＾Ｃ＾ｏ＾＋＾ｂ
＾）ここで、 ａ：定数（０．４５〜０．５５）、 ｂ：定数（−０．１〜−０．２）、 Ｃｏ：初期ＴＯＣ濃度（ｐｐｍ）、 とすることを特徴とする紫外線酸化分解装置。 - （２）有機物としてイソプロピルアルコールを含有する
被処理水を、紫外線酸化分解装置を有する処理槽内に流
通し、被処理水に酸化剤を混入すると共に前記紫外線酸
化分解装置のジャケット内に支持した高圧水銀ランプか
らの光を被処理水に照射して前記有機物を酸化分解する
ようにした装置おいて、 前記ジャケット外面と処理槽内面との間の被処理水の水
層厚を２００〜４００ｍｍとし、前記有機物の初期ＴＯ
Ｃ（全有機炭素量）濃度に対応する９０％の有機物の分
解処理に必要な前記被処理水１ｍ＾３当りの高圧水銀ラ
ンプからのランプ電力量（ＥＬ：ＫＷ・ｈｒ／ｍ＾３）
を、 ＥＬ＝１０＾（＾ａ＾・＾ｌ＾ｏ＾ｇ＾Ｃ＾ｏ＾＋＾ｂ
＾）ここで、 ａ：定数（０．５５〜０．６５）、 ｂ：定数（０．３〜０．４）、 Ｃｏ：初期ＴＯＣ濃度（ｐｐｍ）、 とすることを特徴とする紫外線酸化分解装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63082896A JP2666340B2 (ja) | 1988-04-06 | 1988-04-06 | 紫外線酸化分解装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63082896A JP2666340B2 (ja) | 1988-04-06 | 1988-04-06 | 紫外線酸化分解装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01258794A true JPH01258794A (ja) | 1989-10-16 |
| JP2666340B2 JP2666340B2 (ja) | 1997-10-22 |
Family
ID=13787031
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63082896A Expired - Lifetime JP2666340B2 (ja) | 1988-04-06 | 1988-04-06 | 紫外線酸化分解装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2666340B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03128489U (ja) * | 1990-04-05 | 1991-12-25 | ||
| US5348665A (en) * | 1991-11-22 | 1994-09-20 | Degussa Aktiengesellschaft | Method for the degradation of harmful substances in water by means of hydrogen peroxide under UV irradiation |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62234591A (ja) * | 1986-04-04 | 1987-10-14 | Nippon Denki Kankyo Eng Kk | 紫外線酸化分解装置 |
-
1988
- 1988-04-06 JP JP63082896A patent/JP2666340B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62234591A (ja) * | 1986-04-04 | 1987-10-14 | Nippon Denki Kankyo Eng Kk | 紫外線酸化分解装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03128489U (ja) * | 1990-04-05 | 1991-12-25 | ||
| US5348665A (en) * | 1991-11-22 | 1994-09-20 | Degussa Aktiengesellschaft | Method for the degradation of harmful substances in water by means of hydrogen peroxide under UV irradiation |
| JPH06285480A (ja) * | 1991-11-22 | 1994-10-11 | Degussa Ag | 水中の有害物質の分解法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2666340B2 (ja) | 1997-10-22 |
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