JPH0545013Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0545013Y2 JPH0545013Y2 JP1982141524U JP14152482U JPH0545013Y2 JP H0545013 Y2 JPH0545013 Y2 JP H0545013Y2 JP 1982141524 U JP1982141524 U JP 1982141524U JP 14152482 U JP14152482 U JP 14152482U JP H0545013 Y2 JPH0545013 Y2 JP H0545013Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- rectifier circuit
- transformer
- output
- frequency inverter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は電子顕微鏡、イオンビーム装置等に使
用される荷電粒子源用高圧電源に関する。
用される荷電粒子源用高圧電源に関する。
一般に、電子顕微鏡、イオンビーム装置等に使
用される荷電粒子源用高圧電源としては、第１図
に示す如き装置が提供されている。第１図は電界
放出型電子銃に使用されている電源回路を示して
おり、１は直流電源であり、２は高周波インバー
タ、３は高周波で励磁される直流絶縁トランスで
あり、４は整流器である。即ち、直流電源１の電
力を高周波インバータ２で高周波の交流に変換
し、直流絶縁トランス３で高電位側に電力を伝送
し、ここで再び整流回路４にて直流電圧に変換し
ている。整流回路４の出力は、可変抵抗５、トラ
ンジスタ６、同じく可変抵抗７、トランジスタ８
で構成される二つの電圧制御部を通じて高周波イ
ンバータ９，１０に入力される。該高周波インバ
ータ９，１０の出力は、ステツプアツプトランス
１１，１２により高周波高電圧としてコンデン
サ、ダイオード等で構成されたコツククロフト、
ウオルトン回路よりなる整流回路１３，１４に供
給され整流逓倍される。ここで、整流１３及び１
４の出力は、エミツタ１５先端部以外の表面より
出る熱電子を抑制するための熱電子抑制用電極１
６及び引出し電極１７にそれぞれ供給される。１
８は接地電位に保たれた加速電極で１９はエミツ
タ１５に加速電位を与える加速電源である。又、
エミツタ１５と熱電子抑制用電極１６及び引出し
電極１７間のそれぞれの印加電圧の調整は、可変
抵抗５又は７を絶縁ロツド等にて接地電位側より
行いフイールドエミツシヨンの電子流を最も安定
な状態に調整する。ところで、以上の如く構成さ
れた従来装置の問題点としては、可変抵抗５、ダ
イオード６、高周波インバータ９、ステツプアツ
プトランス１１及び整流回路１３で構成される負
極性の直流電源と、可変抵抗７、コンデンサ８、
高周波インバータ１０、ステツプアツプトランス
１２，及び整流回路１４で構成される正極性の直
流電源の２つの電源を備えなければならず装置が
大型化することである。
用される荷電粒子源用高圧電源としては、第１図
に示す如き装置が提供されている。第１図は電界
放出型電子銃に使用されている電源回路を示して
おり、１は直流電源であり、２は高周波インバー
タ、３は高周波で励磁される直流絶縁トランスで
あり、４は整流器である。即ち、直流電源１の電
力を高周波インバータ２で高周波の交流に変換
し、直流絶縁トランス３で高電位側に電力を伝送
し、ここで再び整流回路４にて直流電圧に変換し
ている。整流回路４の出力は、可変抵抗５、トラ
ンジスタ６、同じく可変抵抗７、トランジスタ８
で構成される二つの電圧制御部を通じて高周波イ
ンバータ９，１０に入力される。該高周波インバ
ータ９，１０の出力は、ステツプアツプトランス
１１，１２により高周波高電圧としてコンデン
サ、ダイオード等で構成されたコツククロフト、
ウオルトン回路よりなる整流回路１３，１４に供
給され整流逓倍される。ここで、整流１３及び１
４の出力は、エミツタ１５先端部以外の表面より
出る熱電子を抑制するための熱電子抑制用電極１
６及び引出し電極１７にそれぞれ供給される。１
８は接地電位に保たれた加速電極で１９はエミツ
タ１５に加速電位を与える加速電源である。又、
エミツタ１５と熱電子抑制用電極１６及び引出し
電極１７間のそれぞれの印加電圧の調整は、可変
抵抗５又は７を絶縁ロツド等にて接地電位側より
行いフイールドエミツシヨンの電子流を最も安定
な状態に調整する。ところで、以上の如く構成さ
れた従来装置の問題点としては、可変抵抗５、ダ
イオード６、高周波インバータ９、ステツプアツ
プトランス１１及び整流回路１３で構成される負
極性の直流電源と、可変抵抗７、コンデンサ８、
高周波インバータ１０、ステツプアツプトランス
１２，及び整流回路１４で構成される正極性の直
流電源の２つの電源を備えなければならず装置が
大型化することである。
本考案は以上の点に鑑みてなされたもので、直
流高電位部に設けられた整流回路へ絶縁トランス
を介して接地電位側より高周波電力を供給する手
段と、前期整流回路の出力電圧が１つの電圧制御
部を介して供給される１つの高周波インバータ
と、害高周波インバーターの出力が供給される１
つのステツプアツプトランスと、及び、該１つの
ステツプアツプトランスの出力側に、互いが並列
接続される様に接続された定電圧整流回路と高電
圧整流回路とを備えた事を特徴としている。
流高電位部に設けられた整流回路へ絶縁トランス
を介して接地電位側より高周波電力を供給する手
段と、前期整流回路の出力電圧が１つの電圧制御
部を介して供給される１つの高周波インバータ
と、害高周波インバーターの出力が供給される１
つのステツプアツプトランスと、及び、該１つの
ステツプアツプトランスの出力側に、互いが並列
接続される様に接続された定電圧整流回路と高電
圧整流回路とを備えた事を特徴としている。
以下本考案の一実施例を添付図面に基づき詳細
する。
する。
第２図は、本考案の一実施例を示す構成図であ
る。尚第１図と同一部分には同一符号を付してそ
の説明は省略する。第２図は、第１図の従来の電
界放出型荷電粒子源用高圧電源のトランジスタ
８、可変抵抗７より構成される電圧制御部、高周
波インバータ１０、ステツプアツプトランス１２
を削除し、もう一方のステツプアツプトランス１
１の２次側に整流回路１４を接続し、更に整流回
路１３に代えて定電圧整流回路２０が接続されて
いる。この定電圧整流回路２０は定電圧素子Ｄ、
直列高抵抗Ｒ、コンデンサＣの組み合せより成
り、その出力は熱電子抑制用電極１６に接続され
ている。この熱電子抑制用電極１６はエミツタ１
５の先端部以外から放出される熱電子を抑制する
ために設けられたものであるから、整流回路１４
より引出し電極１７に供給される引出し電圧とは
無関係に定電圧整流回路２０より常に一定電圧が
供給される。ここで、電極の構造配置にもよるが
熱電子抑制用電圧と電界放出電子を発生させる引
出し電圧との比は、通常１／20程度以下であり、
例えば第２図の実施例においては、整流回路１４
の出力、つまり引出し電圧が略500V以上になれ
ば、定電圧整流回路２０の出力、つまり熱電子抑
制用の電圧を、250Vの一定電圧に保つことがで
き、熱電子抑制用の効果を発揮する。一方整流回
路１４の出力の可変（引出し電圧の可変）は可変
抵抗５を変化させることにより行うが、この場合
でも定電圧整流回路２０の出力（熱電子抑制用の
電圧）は変化しない。又定電圧整流回路２０の出
力を変化させたい場合には定電圧素子の数、又は
素子電圧を選択するような構成とすればよく、従
つて従来装置の可変抵抗７及びトランジスタ８か
らなる電圧制御部、高周波インバータ１０、ステ
ツプアツプトランス１２を削除することができ装
置を小型化することができる。
る。尚第１図と同一部分には同一符号を付してそ
の説明は省略する。第２図は、第１図の従来の電
界放出型荷電粒子源用高圧電源のトランジスタ
８、可変抵抗７より構成される電圧制御部、高周
波インバータ１０、ステツプアツプトランス１２
を削除し、もう一方のステツプアツプトランス１
１の２次側に整流回路１４を接続し、更に整流回
路１３に代えて定電圧整流回路２０が接続されて
いる。この定電圧整流回路２０は定電圧素子Ｄ、
直列高抵抗Ｒ、コンデンサＣの組み合せより成
り、その出力は熱電子抑制用電極１６に接続され
ている。この熱電子抑制用電極１６はエミツタ１
５の先端部以外から放出される熱電子を抑制する
ために設けられたものであるから、整流回路１４
より引出し電極１７に供給される引出し電圧とは
無関係に定電圧整流回路２０より常に一定電圧が
供給される。ここで、電極の構造配置にもよるが
熱電子抑制用電圧と電界放出電子を発生させる引
出し電圧との比は、通常１／20程度以下であり、
例えば第２図の実施例においては、整流回路１４
の出力、つまり引出し電圧が略500V以上になれ
ば、定電圧整流回路２０の出力、つまり熱電子抑
制用の電圧を、250Vの一定電圧に保つことがで
き、熱電子抑制用の効果を発揮する。一方整流回
路１４の出力の可変（引出し電圧の可変）は可変
抵抗５を変化させることにより行うが、この場合
でも定電圧整流回路２０の出力（熱電子抑制用の
電圧）は変化しない。又定電圧整流回路２０の出
力を変化させたい場合には定電圧素子の数、又は
素子電圧を選択するような構成とすればよく、従
つて従来装置の可変抵抗７及びトランジスタ８か
らなる電圧制御部、高周波インバータ１０、ステ
ツプアツプトランス１２を削除することができ装
置を小型化することができる。
尚本考案は以上の実施例に限定されるものでは
なく、本実施例においては電界放出型電子銃の高
圧電源として説明したが、第３図に示す如く電界
放出型イオン源の高圧電源としても各電極に印加
する電圧の極性を変えることにより適用すること
ができる。つまり第３図２１に示す金属フイラメ
ント２２により加熱溶融され、該液体金属はエミ
ツタ１５と引出し電極１７との間に整流回路１
４′より印加される電圧によつて生じる電界によ
る静電応力と、液体自身の表面張力との均衝を保
ち、所謂テーラーの円錐（Taylr Cone）を形成
し、その先端において液体金属２１は、電界蒸発
しイオン化して接地電極１８によつて加速され
て、イオンビームとして取り出される。この場
合、エミツタ１５の上部に蓄えられた液体金属２
１の塊りが、引出し電極１７による電界により垂
れてくる場合にも、同様に電極１６に定電圧整流
回路２０′から正電位を与えることによりこれを
防止することができる。
なく、本実施例においては電界放出型電子銃の高
圧電源として説明したが、第３図に示す如く電界
放出型イオン源の高圧電源としても各電極に印加
する電圧の極性を変えることにより適用すること
ができる。つまり第３図２１に示す金属フイラメ
ント２２により加熱溶融され、該液体金属はエミ
ツタ１５と引出し電極１７との間に整流回路１
４′より印加される電圧によつて生じる電界によ
る静電応力と、液体自身の表面張力との均衝を保
ち、所謂テーラーの円錐（Taylr Cone）を形成
し、その先端において液体金属２１は、電界蒸発
しイオン化して接地電極１８によつて加速され
て、イオンビームとして取り出される。この場
合、エミツタ１５の上部に蓄えられた液体金属２
１の塊りが、引出し電極１７による電界により垂
れてくる場合にも、同様に電極１６に定電圧整流
回路２０′から正電位を与えることによりこれを
防止することができる。
以上本考案を詳述したが、本考案に基ずく、荷
電粒子源用高圧電源は、１つの高周波インバー
タ、ステツプアツプトランスに２つの異なつた出
力を有する整流回路を設けたことにより装置も小
型化すると共に簡易化を図ることができる。
電粒子源用高圧電源は、１つの高周波インバー
タ、ステツプアツプトランスに２つの異なつた出
力を有する整流回路を設けたことにより装置も小
型化すると共に簡易化を図ることができる。
第１図は従来の電界放出型荷電粒子源用高圧電
源の構成図、第２図は本考案の一実施例を示す構
成図、第３図は本考案の他の実施例を示す構成図
である。 １……直流電源、２……高周波インバータ、３
……絶縁トランス、４……整流器、５，７……可
変抵抗、６，８……トランジスタ、９，１０……
高周波インバータ、１１，１２……ステツプアツ
プトランス、１３，１４，１４′……整流回路、
１５……エミツタ、１６……熱電子抑制用電極、
１７……引出し電極、１８……接地電極、１９，
１９′……加速電源、２０，２０′……定電圧整流
回路、２１……液体金属、２２……フイラメン
ト。
源の構成図、第２図は本考案の一実施例を示す構
成図、第３図は本考案の他の実施例を示す構成図
である。 １……直流電源、２……高周波インバータ、３
……絶縁トランス、４……整流器、５，７……可
変抵抗、６，８……トランジスタ、９，１０……
高周波インバータ、１１，１２……ステツプアツ
プトランス、１３，１４，１４′……整流回路、
１５……エミツタ、１６……熱電子抑制用電極、
１７……引出し電極、１８……接地電極、１９，
１９′……加速電源、２０，２０′……定電圧整流
回路、２１……液体金属、２２……フイラメン
ト。
Claims (1)
- 直流高電位部に設けられた整流回路へ絶縁トラ
ンスを介して接地電位側より高周波電力を供給す
る手段と、前記整流回路の出力電圧が１つの電圧
制御部を介して供給される１つの高周波インバー
タと、該高周波インバーターの出力が供給される
１つのステツプアツプトランスと、及び、該１つ
のステツプアツプトランスの出力側に、互いが並
列接続される様に接続された定電圧整流回路と高
電圧整流回路とを備えた荷電粒子源用高圧電源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14152482U JPS5945850U (ja) | 1982-09-18 | 1982-09-18 | 荷電粒子源用高圧電源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14152482U JPS5945850U (ja) | 1982-09-18 | 1982-09-18 | 荷電粒子源用高圧電源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5945850U JPS5945850U (ja) | 1984-03-27 |
| JPH0545013Y2 true JPH0545013Y2 (ja) | 1993-11-16 |
Family
ID=30316509
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14152482U Granted JPS5945850U (ja) | 1982-09-18 | 1982-09-18 | 荷電粒子源用高圧電源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5945850U (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51127671A (en) * | 1975-04-30 | 1976-11-06 | Hitachi Ltd | Power supply for electron gun |
-
1982
- 1982-09-18 JP JP14152482U patent/JPS5945850U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5945850U (ja) | 1984-03-27 |
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