JPH01264631A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野］ この発明は磁気記録媒体の製造方法に関し、さらに詳し
くは、金属薄膜磁性層が本来的に有する高密度記録適性
を損ねることかなくて、高性能の磁気記録媒体を製造す
ることのてきる方法に関する。

［従来の技術及び発明か解決しようとする課題］近年、
磁気記録装置の高性能化は］」覚ましく、磁気記録媒体
には一層の高密度化か望まれている。

この要請に応えるために、特に高密度記録に適した磁気
記録媒体を製造する場合には、強磁性粉末と結合剤とを
含有する磁性塗料を非磁性基体上に塗布することにより
磁性層を形成する磁気記録媒体の製造方法（以下、塗布
型記録媒体形成法と言う。）に代わって、たとえば真空
蒸着、スパッタリング、イオンブレーテインク等の方法
により、磁性材料を非磁性基体」―に堆積させることで
金属薄膜からなる磁性層を非磁性基体上に連続的に形成
する方法（以下、薄膜型記録媒体形成法と言う。）か採
用されるに至っている。

すなわち、従来の塗布型記録媒体形成法においては、強
磁性粉末の充填率に限界かあるので、記録密度の向−１
−か困難であるのに対して、φｕ　ＩＩＡ型記短記録媒
体形成法いては、記録密度の高い磁性層の形成か容易で
あるという利点かある。

この薄膜型記録媒体形成法により磁気記録媒体を製造す
るには、たとえば第３図に示すような装置を使用する。

第３図において、送出しロールａに巻回された帯状の非
磁性基体すは巻取ロールＣにより巻取られる。前記送出
しロールａど巻取ロールＣとの間には真空製膜槽Ａが設
けである。真空製膜槽Ａ内には、送出しロールａから巻
取ロールＣに向かって走行する非磁性基体すを保持する
回転可能な基体支持体ｄが設置しである。この基体支持
体ｄに保持された非磁性基体す上に、必要に応じて、た
とえば酸素ガス、ヘリウムガス、−酸化ガス等のガスを
導入しつつ、るつぼｅ内の磁性材料ｆを堆積させること
により、金属薄膜磁性層を非磁性基体す上に連続的に形
成する。なお、るつぼｅ内の磁性材料ｆはたとえば加熱
用の電子ビーム発生装置ｇにより加熱されて、基体支持
体ｄに保持された非磁性基体すに向かう飛翔蒸気流を発
生する。

また、真空製膜槽Ａ内は図示しない排気系により真空に
保たれる。さらに、図中、ｈおよびｈ′は走行する非磁
性基体すを案内するためのフリーロールである。

ところて、従来の薄膜型記録媒体形成法においては、第
４図に示すように、基体支持体ｄに対する非磁性基体す
の巻掛は角度（基体支持体ｄの回転軸に直交する鉛直面
Ｈと非磁性基体すにおける進入側中心線Ｌｉｎまたは進
出側中心線り。ｕｔとのなす角度。図中、αて示す。こ
こて、進入側中心線とは、送出しロールから基体支持体
ｄへ向かう非磁性基体すの長平方向の中心線をいい、進
出側中心線とは基体支持体ｄから巻取ロールへ向かう非
磁性基体すの長平方向の中心線をいう。）か、概略０度
であるのて、磁性材料の結晶成長方向、すなわち得られ
る磁気記録媒体における磁性層の磁化容易軸は非磁性基
体の長平方向に沿ったものになる。

しかしなから、一般に磁気記録装置においては、その装
置か採用する記録方式毎に、たとえば第５図に示したよ
うに、走行時の磁気記録媒体Ａに対するトララフ角度（
図中、γで示す。例；ＶＨ３型ビデオチープレコータの
標準モードにおけるトラック角度γ；５度５８分９．９
秒。）が設定されているのて、従来の薄膜型記録媒体形
成法により得られる磁気記録媒体を使用すると、磁気ヘ
ッドによる記録方向と磁気記録媒体における磁化容易軸
との間に角度差を生じることになる。

この角度差は、記録損失を生しる原因てあり、金属薄膜
磁性層を形成してなる磁気記録媒体が本来的に有する高
密度記録適性を損なうことになる。

さらに、アジマス記録方式においては、この角度差に磁
気記録媒体における磁化容易軸とアジマス角（磁気ヘッ
トのギャップ線と走査線とのなす角度）との角度差か加
わることになるのて、無視し得ない程度の記録損失を生
しることがある。

すなわち、従来の薄膜型記録媒体形成法においては、金
属薄膜磁性層を有する磁気記録媒体が本来的に有する高
密度記録適性を充分に発揮することのできる磁気記録媒
体を製造することかできないという問題かある。

この発明は前記事情に基いてなされたものである。

この発明の目的は、金属薄Ｖ磁性層を有する磁気記録媒
体が本来的に有する高密度記録適性を損なうことかなく
て、高性能の磁気記録媒体を効率良く製造することのて
きる方法を提供することにある。

［前記課題を解決するだめの手段］ 前記課題を解決するために、この発明者が鋭意検討を重
ねた結果、送出ロールに巻回された帯状の非磁性基体を
巻取ロールて巻き取る間に、回転可能な基体支持体に巻
掛けた非磁性基体上に磁性材料の蒸発粒子を堆積させる
ことにより、磁性材料の薄膜からなる磁性層を非磁性基
体上に連続的に形成する磁気記録媒体の製造方法におい
ては、基体支持体に対して特定の角度て非磁性基体を巻
掛けることにより、磁性薄膜を有する磁気記録媒体が本
来的に有する高密度記録適性を損なうことかなくて、高
性能の磁気記録媒体を効率良く製造することのできる方
法を提供することかＣきることを見出して、この発明に
到達した。

この発明の構成は、送出しロールに保持された帯状の非
磁性基体を、基体支持体を介して巻取りロールて巻き取
る間に、前記基体支持体の外周面に巻掛けた前記非磁性
基体」−に磁性材料の蒸発粒子を堆積させて、前記磁性
材料からなる薄膜磁性層を前記非磁性基体−１−に連続
的に形成する磁気記録媒体の製造方法において、前記基
体支持体に対する前記非磁性基体の巻掛は角度を磁気記
録フォーマットのトラック角度に一致させることを特徴
とする磁気記録媒体の製造方法である。

この発明において重要な点の一つば、基体支持体に対す
る前記非磁性基体の巻掛は角度を磁気記録フォーマット
のトラック角度に一致させることにある。

具体的には、たとえば第１図に示すように、基体支持体
ｌの回転軸に直交する鉛直面Ｈと非磁性基体２における
進入側中心線り、ｎまたは進出側中心線り。１１．どの
なす角αが磁気記録フォーマットの）〜ラック角度と一
致するように、非磁性基体２を基体支持体ｌにたすき折
状に巻付ければ良い。

この発明において、前記角αは、１〜ヘラツク角と完全
に一致することか望ましいか、角αと１〜ヘラツク角と
の角度差か±１度の範囲内てあれば、この発明の目的を
達成することかできる。

このような巻掛は角度は、たとえば第２図に示したよう
に、送出しロール３と、基体支持体１と、巻取りロール
４とのなす角度を適宜に設定することにより実現Ｉｔ工
能である。なお、図中、５．５′は非磁性基体２を案内
するフリーロールである。

前記巻掛は角度を一致させるべき、磁気記録フォーマッ
トのトラック角度には特に制限はなく、この発明の方法
により得られる磁気記録媒体の用途に応じて適宜に設定
することがてきる。−例を挙げれば、ＶＨ３型テープレ
コーダの標準モートにおけるトラック角度５度５８分９
．９秒、３倍モートにお番プるトラック角度５度５６分
４８．１秒。

β型ビデオデープレコータのβ−Ｉモー１〜における１
ヘラツク角度５度旧分４２秒、β−■モートにおけるト
ラック角度５度００分５１秒、β−■モー１へにおける
トラック角度５度００分３４秒、８■ビデオフオーマツ
トＡにおけるトラック角度４度５４分１３．２秒、ＤＡ
Ｔビデオトラック角度６度２２分５９．５秒である。

この発明の方法において使用に供される非磁性基体の形
成材料としては、たとえばポリエチレンテレフタレート
、ポリエチレン−２，６−ナフタレート等のポリエステ
ル類；ポリプロピレン等のポリオレフィン類；セルロー
ストリアセテ−１〜、セルロースタイアセテート等のセ
ルロース誘導体：ポリカーボネート等のプラスチックな
どを挙げることがてきる。さらにＣＬＩ、　　Ａｎ、Ｚ
ｎなどの金属、ガラス、いわゆるニューセラミックス（
例えば窒化ホウ素、炭化ケイ素等）等の各種セラミック
スなどを使用することもできる。

前記非磁性基体における最終的な磁気記録媒体としての
形態には特に制限がなく、ディスク状、カー１〜状、テ
ープ状、シート状、ドラム状等のいずれてあっても良く
、使用するレコーターに対応させた形態にすることかで
きる。

前記非磁性基体の厚みは、ディスク状あるいはカート状
の場合には、通常、２０〜８０ｇｍの範囲内である。ま
た、テープ状あるいはシート状の場合には、通常、３〜
１ｆｌＯｇｍの範囲内、好ましくは５〜３０ｐＬｍの範
囲内である。

前記非磁性基体上には、金属薄膜磁性層を形成する。

この発明における前記金属薄膜磁性層は、たとえば、真
空蒸着法、イオンブレーデインク法、スパッタリンク法
等の物理的蒸着法（ＰＶＤ）、プラズマＣＶＤ法、レー
ザー光化学蒸着法等の物理化学的方法（ハイツリッ１〜
法）：化学蒸着法（ＣＶＤ法）なとの方法によって磁性
金属薄膜材料を前記非磁性基体上に堆積させることによ
り、前記非磁性基体上に形成することかてきる。

前記磁性金属薄膜材料としては、たとえばＦｅ、Ｇｏ、
Ｎｉ、　Ｇｄその他の磁性金属；　Ｆｅ−Ｂａ、Ｆｃ　
−Ｇｏ、Ｆｃ−Ａｌ、　Ｇｏ−Ｎｉ、　Ｆｃ−３ｉ、　
Ｆｃ−Ｒ１＋、　Ｆｃ−Ｖ　　、Ｆｅ−Ｃｕ、　　Ｆｅ
−Ａｕ、Ｇｏ−Ｃｒ、Ｇｏ−Ｐ、　　　Ｇｏ−Ｖ　　、
Ｇｏ−８ｉ、　　Ｃｏ−Ｙ、　　Ｃｏ　　−Ｌａ、　　
Ｇｏ−Ｐｒ、　　Ｇｏ−３ｇ＋、　Ｃｏ−Ｍｎ、Ｇｏ−
Ｐｔ、　　Ｎｉ−Ｃｕ、　　Ｇｏ−Ｎｉ−Ｆｅ、　　Ｆ
ｅ　−Ａ１１−Ｎｉ、に０−Ｎｉ−Ａｇ、　　Ｇｏ−Ｎ
ｉ−Ｃｒ、　　Ｇｏ−Ｎｉ−Ｚｎ、　　Ｇｏ−３ｉ　−
１、Ｆｅ−３ｉ−ＡＪＬ、　Ｍｎ−Ｂ１．　　Ｍｎ−３
ｂ、　　Ｍｎ−へ文等の合金系磁性金属などが挙げられ
る。

金属薄膜磁性層の層厚は磁気記録媒体の用途、前記磁性
金属薄膜材料の種類等により異なるのて一概に決定する
ことはできないが、通常、０．０３〜０．６　ｐ、ｍの
範囲内である。この層厚を前記範囲内にすることにより
電磁変換特性および生産効率に優れた磁気記録媒体を得
ることがてきる。

この発明においては、必要に応じて、前記金属薄膜磁性
層上に、たとえば潤滑剤層等の保護層を形成することが
できる。

前記潤滑剤層を設けることにより、この発明の方法を行
なって得られる磁気記録媒体の走行性を向上させること
がてきるとともに、前記金属薄膜磁性層の耐摩耗性およ
び耐候性を改善することかてきる。

潤滑剤層の形成に用いる潤滑剤としては、たとえば脂肪
酸、脂肪酸エステル、炭化水素、脂肪族アミン、シリコ
ーンオイル、変性シリコーン化合物などが挙げられる。

これらは１種単独で使用しても良いし、２種以上を組合
わせて使用しても良い。

前記潤滑剤層を設ける場合に、前記潤滑剤°層の層厚は
、通常、０．００１〜０．Ｏｌルｍの範囲内であり、好
ましくは０．００１〜０．００７　ｇｍの範囲内である
。この層厚を前記範囲内にすることにより、この発明の
方法を行なって得られる磁気記録媒体において電磁変換
特性の低下を伴わずに走行性の向上を図ることかできる
とともに前記金属薄膜磁性層の耐摩耗性および耐腐食性
を改善する効果が充分に奏される。

前記潤滑剤層は、たとえば、連出な溶媒を用いて、ある
いは溶媒を用いることなく、前記の潤滑剤を前記金属薄
膜磁性層上に塗布する方法により形成することがてきる
。

前記潤滑剤の塗布にあたっては、たとえばすハースロー
ルコーティング、グラビアロールコーティング、ワイヤ
ーバーコーティング、ドクターブレードコーティング、
デイツプコーティング、エアーナイフコーティング、カ
レンダーコーティング、スキーズコーティング、キスコ
ーティングおよびファンティンコーティングなどの塗布
方法を採用することかてきる。

さらに、前記非磁性基体の前記金属薄膜磁性層を設けな
い面（裏面）にバックコート層を形成しても良い。

この発明の方法により得られる磁気記録媒体は、たとえ
ば長尺状に裁断することにより、ビデオテープ、オーデ
ィオテープ等の磁気テープとして、あるいは円盤状に裁
断することにより、フロッピーディスクとして使用する
ことかてきる。

さらに、通常の磁気記録媒体と同様に、カード状、円筒
状などの形態ても使用することかてきる。

［実施例］ 次に、この発明の実施例および比較例を示し、この発明
についてさらに具体的に説明する。

（実施例１） 厚み１２．５ｐＬｍのポリエチレンテレフタレートから
なる非磁性基体を速度５０ｍ／分で走行させつつ、巻掛
は角度４度５４分て基体支持体に巻掛けた非磁性基体上
に、０□ガスを導入しつつＧｏ−Ｎｉ合金（Ｎｉ含有率
２０重量％）の蒸発粒子を堆積させることにより非磁性
基体上に膜厚０．１５ＩＬｍのＧｏ−Ｎｉ合金薄膜を連
続的に形成して磁気記録媒体の原反を得た。

なお、蒸発粒子は、るつぼ内のＣｏ−Ｎｉ合金を加熱用
の電子ビーム発生装置を使用して加熱することにより発
生させた。

得られた磁気記録媒体の原反を８　ｍ　ｍ巾のテープに
裁断して８ｍｍｍ型ビデオテープた。

この８　ｍ　ｍ型ビデオテープにつき、録画・再生を行
なって、再生信号における輝度信号（白ピーク５．４Ｍ
Ｈ７）および色信号（変調周波数７４３ｋＨｚ）を測定
した。

結果を第１表に示す。

なお、輝度信号および色信号はそれぞれ次のようにして
測定した。

輝度信号：信号発生器［シバツク社製ｒＴＧ　−７／１
」を使用して１００％ホワイト信号を発生させ、８■型
ビデオデツキ［ソ ニー■製、ｒＥＶ−Ａ３００．　］によりテチーに記録
した。記録したテープを再生 し、再生信号電圧値を基準テープ［ソ ニー■製、ｒＰ５−９０ＭＰ、　］との比較において求
めた。

色信号、信号発生器［シバツク社製ｒＴＧ　−７７１、
を使用して１００％クロマ信号を発生させ、８ＩＩｌ型
ビデオデツキ［ソニー■製、ｒＥＶ−Ａ３００．　］に
よりテチーに記録した。記録したテープを再生し、再 生信号電圧値を基準テープ［ソニー■ 製、ｒＰ６−９０ＭＰ、　］との比較において求めた。

（実施例２） 前記実施例１において、基体支持体に対する巻掛は角度
を４度５４分から３度３０分に変えたほかは前記実施例
１と同様にして実施した。

結果を第１表に示す。

（実施例３） 前記実施例１において、基体支持体に対する巻掛は角度
を４度５４分から５度３０分に変えたほかは前記実施例
１と同様にして実施した。

結果を第１表に示す。

（比較例１） 前記実施例１において、基体支持体に対する巻掛は角度
を４度５４分から０度に変えたほかは前記実施例１と同
様にして８ｍｍ型ビデオテープを作製し、得られた８ｍ
ｍ型ビデオテープにつき、録画・再生を行なって、再生
信号における輝度信号および色信号を測定した。

結果を第１表に示す。

（比較例２） 前記実施例１において、基体支持体に対する巻掛は角度
を４度５４分から６度３（）分に変えたほかは前記実施
例１と同様にして８■型ビデオテープを作製し、得られ
た８ｍｍ型ビデオテープにつき、録画・再生を行なって
、再生信号における輝度信号および色信号を測定した。

結果を第１表に示す。

第　　　１　　　表 （評価） 第１表から明らかなように、この発明の方法により得ら
れた磁気記録媒体は比較例の磁気記録媒体に比較して再
生信号における色信号か高くて、記録損失か低減してい
る。

−・方、輝度信号については色信号はどには向上か見ら
れなかった。この理由は、輝度信号は色信号に比較して
磁気記録媒体の表面性に左右され易いことによると発明
者は推測する。

［発明の効果］ この発明によると、 （１）非磁性基体上に磁性材料の蒸発粒子を堆積させて
金属薄膜磁性層を形成する際に、金属薄膜の結晶成長方
向を、磁気記録フォーマットのトラック角度に一致させ
るのて、磁気ヘラ）〜による記録方向と磁気記録媒体に
おける磁化容易軸との間の角度差に起因する記録損失か
低減して、金属薄膜磁性層か本来的に有する高密度記録
適性の低下かない磁気記録媒体を製造することかてきる
、（２）シたかって、特にアジマス記録方式においても
優れた高密度記録適性を発揮する高性能の磁気記録媒体
を効率良く製造することかできる、等の利点を有する磁
気記録媒体の製造方法を提供することかてきる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の方法における非磁性基体と基体支持
体との関係を示す説明図であり、第２図はこの発明の方
法において好適に使用することのてきる製造装置の一例
を示す概念図であり、第３図は従来法において使用され
ている製造装置の一例を示す概略図であり、第４図は従
来法における非磁性基体と基体支持体との関係を示す説
明図であり、第５図は磁気記録フォーマットのトラック
角度を示す説明図である。 ｌ・・・基体支持体、２・・・非磁性基体、３・・・送
出しロール、４・・・巻取りロール、α・・・巻掛は角
度。 第３図 第４図 笛　ｑ　Ｍ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）送出しロールに保持された帯状の非磁性基体を、
   基体支持体を介して巻取りロールで巻き取る間に、前記
   基体支持体の外周面に巻掛けた前記非磁性基体上に磁性
   材料の蒸発粒子を堆積させて、前記磁性材料からなる薄
   膜磁性層を前記非磁性基体上に連続的に形成する磁気記
   録媒体の製造方法において、前記基体支持体に対する前
   記非磁性基体の巻掛け角度を磁気記録フォーマットのト
   ラック角度に一致させることを特徴とする磁気記録媒体
   の製造方法。