JPH01265529A - ワイヤーボンディング装置のエアーテンション装置 - Google Patents

ワイヤーボンディング装置のエアーテンション装置

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Publication number
JPH01265529A
JPH01265529A JP63093045A JP9304588A JPH01265529A JP H01265529 A JPH01265529 A JP H01265529A JP 63093045 A JP63093045 A JP 63093045A JP 9304588 A JP9304588 A JP 9304588A JP H01265529 A JPH01265529 A JP H01265529A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
air
fine wire
thin metal
metal wire
wire bonding
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Pending
Application number
JP63093045A
Other languages
English (en)
Inventor
Atsushi Okamoto
淳 岡本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Publication of JPH01265529A publication Critical patent/JPH01265529A/ja
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/071—Connecting or disconnecting
    • H10W72/0711—Apparatus therefor
    • H—ELECTRICITY
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    • H10W72/071—Connecting or disconnecting
    • H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
    • H10W72/07502—Connecting or disconnecting of bond wires using an auxiliary member

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はワイヤーボンディング装置のエアーテンション
装置に関する。
〔従来の技術〕
従来のワイヤーボンディング装置のエアーテンション装
置は、金属細線を指示する押えこまと、空気を流出する
エアーパイプとを含んで構成される。
次に、従来のワイヤーボンディング装置のエアーテンシ
ョン装置について図面を参照して詳細に説明する。
第３図は従来のワイヤーボンディング装置のエアーテン
ション装置の一例を示す斜視図である。
第３図に示すワイヤーボンディング装置のエアーテンシ
ョン装置は、押えこま３１とエアーパイプ３２とを含ん
で構成されている。
ここで、エアーパイプ３２は押えこま３１で支持された
金属細線３３に空気を吹き付けることによって、テンシ
ョンを与えている。
従来のワイヤーボンディング装置では金属細線にテンシ
ョンを与えた後、金属細線３３とトーチの間にスパーク
を飛ばし、金属細線３３の先端をボール状に変形させ、
それをパッドに押しつけボンディングする。
第４図は従来のワイヤーボンディング装置の二アーテン
ション装置の動作説明図である。
従来のワイヤーボンディング装置のエアーテンション装
置は空気の流出方向りが金属細線の方向Ｅに対して直交
しているので、テンションＦも金属細線の方向Ｅに対し
て直交するため、金属細線は湾曲する。
金属細線は湾曲した状態で塑性変形を起こし、金属細線
の先端とトーチ間の距離にばらつきがでるなめ、金属細
線の先端に形成されるボールの形状が変形する場合ああ
り、そのなめ、ボンディング状態が不良になったり、ボ
ンディングが不可能になったりする。
また、押えこま４１と金属細線４３との間に摩擦力が生
じるので、テンションＦが不安定になる。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述した従来のワイヤーボンディング装置のエアーテン
ション装置は、テンションが不安定であると共に、金属
細線が湾曲し金属細線の先端に形成されるボールの形状
が変形するため、ボンディング状態が不良になったり、
ボンディングが不可能になったりして、製品の歩留りが
悪くなるという欠点があった。
〔課題を解決するための手段〕
本発明のワイヤーボンディング装置のエアーテンション
装置は、ワイヤーボンディングに使用する金属細線を通
ず円筒形状のエアーガイドと前記エアーガイドの軸方向
に関して斜めの角度に前記エアーガイドの中に挿入され
た１本以上のエアーパイプとを含んで構成される。
〔実施例〕
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図である。
第１図に示すワイヤーボンディング装置のエアーテンシ
ョン装置は、エアーガイド１１とエアーパイプ１２とを
含んで構成されている。
次に、本発明のワイヤーボンディング装置のエアーテン
ション装置の動作について説明する。
第２図は本発明の動作例を示す動作説明図である。
エアーパイプ２１からエアーガイド２２内に空気が吹き
出し、金属細線２３の周囲に空気の流れが生じる。この
とき、空気の流れの方向Ａは金属細線の方向Ｂと一致し
ている。そのため、空気の粘性により金属細線２３の表
面に摩擦力が働き、方向Ｃにテンションがかかる。
〔発明の効果〕
本発明のワイヤーボンディング装置のエアーテンション
装置は、テンションの方向と金属細線の方向を直交させ
る代わりに、テンションの方向と金属細線の方向と一致
させることにより、金属細線の湾曲が起こらず金属細線
の先端とトーチ間の距離は一定になり、形成されるボー
ルの形状は安定するので、ボンディング状態も安定して
製品の歩留りが向上するという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は本発
明の動作例を示す動作説明図、第３図は従来の一例を示
す斜視図、第４図は従来の動作例を示す動作説明図であ
る。 １１・・・エアーガイド、１２・・・エアーパイプ、１
３・・・金属細線、２１・・・エアーパイプ、２２・・
・エアーガイド、２３・・・金属細線、３１・・・押え
ζま、３２・・・エアーパイプ、３３・・・金属細線、
４１・・・押えこま、４２・・・エアーパイプ、４３・
・・金属細線。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 　ワイヤーボンディングに使用する金属細線を通す円筒
    形状のエアーガイドと前記エアーガイドの軸方向に関し
    て斜めの角度に前記エアーガイドの中に挿入された１本
    以上のエアーパイプとを含むことを特徴とするワイヤー
    ボンディング装置のエアーテンション装置。
JP63093045A 1988-04-15 1988-04-15 ワイヤーボンディング装置のエアーテンション装置 Pending JPH01265529A (ja)

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JP63093045A JPH01265529A (ja) 1988-04-15 1988-04-15 ワイヤーボンディング装置のエアーテンション装置

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JPH01265529A true JPH01265529A (ja) 1989-10-23

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JP63093045A Pending JPH01265529A (ja) 1988-04-15 1988-04-15 ワイヤーボンディング装置のエアーテンション装置

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