JPH01267946A - 解折装置用試料ステージ - Google Patents
解折装置用試料ステージInfo
- Publication number
- JPH01267946A JPH01267946A JP63098585A JP9858588A JPH01267946A JP H01267946 A JPH01267946 A JP H01267946A JP 63098585 A JP63098585 A JP 63098585A JP 9858588 A JP9858588 A JP 9858588A JP H01267946 A JPH01267946 A JP H01267946A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylinder
- specimen
- screw
- gap
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は解析装置用試料ステージに関するものである。
従来の技術
解析装置の１つとして従来よりＸ線マイクロアナライザ
ーが知られており、このＸ線マイクロアナライザーは飲
物試料から生物試料にわたる広範囲の物質において元素
同定や濃度測定を行なうのに非常に有益な分析装置であ
る。また、数μｍ前後の微小部の元素分析を行なうため
には試料位置を再現性良く移動させることが分析時間の
短縮や分析データの信頼性にとって重要なこととなって
いる。
ーが知られており、このＸ線マイクロアナライザーは飲
物試料から生物試料にわたる広範囲の物質において元素
同定や濃度測定を行なうのに非常に有益な分析装置であ
る。また、数μｍ前後の微小部の元素分析を行なうため
には試料位置を再現性良く移動させることが分析時間の
短縮や分析データの信頼性にとって重要なこととなって
いる。
従来の試料ステージは第４図および第５図に示すように
、試料台１をシリンダ２にねじ込み式に装着し、このシ
リンダ２をほぼ円筒状の試料ホルダー３に挿入して試料
ホルダー３にねじ４で固定し、試料交換棒５で試料の交
換を行なうように構成されている。６は試料で、前記試
料台１に導電性塗料で固定される。
、試料台１をシリンダ２にねじ込み式に装着し、このシ
リンダ２をほぼ円筒状の試料ホルダー３に挿入して試料
ホルダー３にねじ４で固定し、試料交換棒５で試料の交
換を行なうように構成されている。６は試料で、前記試
料台１に導電性塗料で固定される。
発明が解決しようとする課題
上記従来の試料ステージにおいて、試料台１はシリンダ
２にねじ込み式で取り付けられているだけであるため、
試料台１の試料装置をコンピューターなどにより自動変
更する場合、試料台１とシリンダ２との間にねじの遊び
が存在するために分析位置が１０μｍ以上ずれるという
問題がある。そのため、自動測定により精度良く複数個
所の分析を行なうことが不可能であった。
２にねじ込み式で取り付けられているだけであるため、
試料台１の試料装置をコンピューターなどにより自動変
更する場合、試料台１とシリンダ２との間にねじの遊び
が存在するために分析位置が１０μｍ以上ずれるという
問題がある。そのため、自動測定により精度良く複数個
所の分析を行なうことが不可能であった。
本発明はこのような問題を解決するもので、試料台とシ
リンダとの遊びをなくし、複数個所の分析を精度良く行
なえるようにすることを目的とするものである。
リンダとの遊びをなくし、複数個所の分析を精度良く行
なえるようにすることを目的とするものである。
課題を解決するための手段
この問題を解決するために本発明は、試料台を螺入させ
て装着するシリンダの周方向の一部に軸芯方向に隙間を
設け、前記シリンダを挿入する試料ホルダーにシリンダ
固定用のねじを設け、前記ねじの締め付けによってシリ
ンダの隙間を縮めてシリンダと試料台との遊びをなくす
ように構成したものである。
て装着するシリンダの周方向の一部に軸芯方向に隙間を
設け、前記シリンダを挿入する試料ホルダーにシリンダ
固定用のねじを設け、前記ねじの締め付けによってシリ
ンダの隙間を縮めてシリンダと試料台との遊びをなくす
ように構成したものである。
作用
この構成により、試料ホルダーのねじの締め付けによっ
てシリンダと試料台との間の遊びをなくすことができ、
その結果分析位置が大きくずれることなく、試料の複数
個所の分析を精度良く行なうことができる。
てシリンダと試料台との間の遊びをなくすことができ、
その結果分析位置が大きくずれることなく、試料の複数
個所の分析を精度良く行なうことができる。
実施例
以下、本発明の一実施例について、図面に基づいて説明
する。
する。
第１図〜第３図において、１１は真鍮製のシリンダで、
このシリンダ１１の周方向の一部に縦方向（軸芯方向）
に幅がｌｌｌ１１程度の隙間１２が形成されている。ま
た、このシリンダ１１の内面にはねじが形成されており
、シリンダ１１の内部に試料台１３がねじ込まれて装着
されるように構成されている。
このシリンダ１１の周方向の一部に縦方向（軸芯方向）
に幅がｌｌｌ１１程度の隙間１２が形成されている。ま
た、このシリンダ１１の内面にはねじが形成されており
、シリンダ１１の内部に試料台１３がねじ込まれて装着
されるように構成されている。
１４はほぼ円筒状の試料ホルダーで、この内部に前記試
料台１３を装着したシリンダ１１を挿入して、試料台１
３をシリンダ１１にねじ１５で固定するように構成され
ている。前記シリンダ１１を試料ホルダー１４に挿入す
るとき、前記隙間１２がねじ１５による締め付は方向に
対して直角に向かせることにより、ねじ１５の締め付は
力によってねじ１５の先端で前記シリンダ１１の外面が
押されて前記隙間１２の幅が小さくなり、シリンダ１１
と試料台１３との遊びがなくなる。この状態で試料台１
３上の試料の微小部分の多点自動測定を行なう、このと
きの分析煮付１の精度はＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に試料ホルダ
ー１４を動かすステップモーターの精度と同等の１μｍ
程度を得ることができる。
料台１３を装着したシリンダ１１を挿入して、試料台１
３をシリンダ１１にねじ１５で固定するように構成され
ている。前記シリンダ１１を試料ホルダー１４に挿入す
るとき、前記隙間１２がねじ１５による締め付は方向に
対して直角に向かせることにより、ねじ１５の締め付は
力によってねじ１５の先端で前記シリンダ１１の外面が
押されて前記隙間１２の幅が小さくなり、シリンダ１１
と試料台１３との遊びがなくなる。この状態で試料台１
３上の試料の微小部分の多点自動測定を行なう、このと
きの分析煮付１の精度はＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に試料ホルダ
ー１４を動かすステップモーターの精度と同等の１μｍ
程度を得ることができる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、シリンダと試料台との間
の遊びをなくすことができ、その結果分析位置が大きく
ずれることなく、試料の複数個所の分析を精度良く行な
うことができる。
の遊びをなくすことができ、その結果分析位置が大きく
ずれることなく、試料の複数個所の分析を精度良く行な
うことができる。
第１図〜第３図は本発明の一実論例を示ずもので、第１
図は試料台を装着したシリンダと試料ホルダーの斜視図
、第２図はシリンダの正面図、第３図はシリンダを試料
ホルダーに挿入して固定した状態を示す平面図、第４図
および第５図は従来例を示し、第４図は試料台を装着し
たシリンダの斜視図、第５図は試料ステージの全体の一
部切欠斜視図である。 １１・・・シリンダ、１２・・・隙間、１３・・・試料
台、１４・・・試料ホルダー、１５・・・ねじ。 代理人 森 本 義 弘 第１図 第２図 第３図 １ター＋７’４１．” 第４工 第Ｓ図
図は試料台を装着したシリンダと試料ホルダーの斜視図
、第２図はシリンダの正面図、第３図はシリンダを試料
ホルダーに挿入して固定した状態を示す平面図、第４図
および第５図は従来例を示し、第４図は試料台を装着し
たシリンダの斜視図、第５図は試料ステージの全体の一
部切欠斜視図である。 １１・・・シリンダ、１２・・・隙間、１３・・・試料
台、１４・・・試料ホルダー、１５・・・ねじ。 代理人 森 本 義 弘 第１図 第２図 第３図 １ター＋７’４１．” 第４工 第Ｓ図
Claims (1)
- １、試料台を螺入させて装着するシリンダの周方向の一
部に軸芯方向に隙間を設け、前記シリンダを挿入する試
料ホルダーにシリンダ固定用のねじを設け、前記ねじの
締め付けによってシリンダの隙間を縮めてシリンダと試
料台との遊びをなくすように構成した解析装置用試料ス
テージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63098585A JPH01267946A (ja) | 1988-04-20 | 1988-04-20 | 解折装置用試料ステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63098585A JPH01267946A (ja) | 1988-04-20 | 1988-04-20 | 解折装置用試料ステージ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01267946A true JPH01267946A (ja) | 1989-10-25 |
Family
ID=14223727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63098585A Pending JPH01267946A (ja) | 1988-04-20 | 1988-04-20 | 解折装置用試料ステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01267946A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102564367A (zh) * | 2010-12-30 | 2012-07-11 | 中国第一汽车集团公司 | 可变多点定位缸筒变形测量夹具及测量方法 |
| JPWO2015115502A1 (ja) * | 2014-01-29 | 2017-03-23 | 国立研究開発法人科学技術振興機構 | 含水状態の生物試料の電子顕微鏡観察用保護剤、電子顕微鏡観察用キット、電子顕微鏡による観察、診断、評価、定量の方法並びに試料台 |
-
1988
- 1988-04-20 JP JP63098585A patent/JPH01267946A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102564367A (zh) * | 2010-12-30 | 2012-07-11 | 中国第一汽车集团公司 | 可变多点定位缸筒变形测量夹具及测量方法 |
| JPWO2015115502A1 (ja) * | 2014-01-29 | 2017-03-23 | 国立研究開発法人科学技術振興機構 | 含水状態の生物試料の電子顕微鏡観察用保護剤、電子顕微鏡観察用キット、電子顕微鏡による観察、診断、評価、定量の方法並びに試料台 |
| US10128078B2 (en) | 2014-01-29 | 2018-11-13 | Japan Science And Technology Agency | Protective agent for electron microscopic observation of biological sample in water-containing state, kit for electron microscopic observation, methods for observation, diagnosis, evaluation, and quantification by electron microscope, and sample stage |
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