JPS6267432A - Ｘ線ｃｔ装置 - Google Patents

Ｘ線ｃｔ装置

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JPS6267432A
JPS6267432A JP60208086A JP20808685A JPS6267432A JP S6267432 A JPS6267432 A JP S6267432A JP 60208086 A JP60208086 A JP 60208086A JP 20808685 A JP20808685 A JP 20808685A JP S6267432 A JPS6267432 A JP S6267432A
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ray
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fan beam
turntable
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伊東　新一
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、ｘｇｃ’ｒ装置に係り、特に多数個の小さな
被検体を同時に測定するのに好適なＸ線Ｃ装置に関する
。
〔発明の背景〕
たとえば、ＩＣ等の製造ラインの自動検査システムとし
てＸ線Ｃ′Ｆ装置がある。
一般に、この種のＸＡＩＣＴ装置の代表的なシステムと
して、第１図（ａ）、（ｂ）に示す様に２方式が知られ
ており、実際に各々の目的に対応して製造されている。
すなわち、第１図（ａ）はターンテーブル４の円周部に
被検体４が等間隔に配置され、前記ターンテーブル３を
挾んで、Ｘ線源１と検出器５とがそれぞれ対向して直線
往復運動を行なっている。
また、第１図（ｂ）は前記Ｘ線源１を固定させ。
前記検出器５を前記ｘｗＡ源１の有効視野内に円弧形状
に固定配置させたものである。被検体が、多数個でかつ
小さい場合でも、各図に示した様な配置により測定する
ことは可能であるが、下記の技術的問題がある。
（１）被検体３に比べて、有効視野２が大きいため。
画素寸法を小さくとることが出来ず、高い分解能を得る
ことは、困難になり、小さな被検体の精度検査には、適
していない。
（２）Ｘ線源１と検出器５間の距離は、必然的に大きく
なり、高いＸ線強度が必要になる。検出器も大きく、装
置全体が大型になる。
上記の理由により、例えば、小さな部品等の製造ライン
にＣＴ表装置自動検査システムを信頼性よく設置するこ
とを難しくしている。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、同時に多数個の小さな被検体を高い精
度でかつ早いスピードで検査することが可能で、かつ装
置を小型化して、工場等の製造ラインにおける自動検査
装置として適用することが可能なＸ線ＣＴ装置を提供す
ることにある。
〔発明の実施例〕
第２図は、本発明によるＸ線ＣＴ装置の一実施例を示す
平面図である。
同図において、Ｘ線ＣＴ装置は、Ｘ線源１、Ｘ線ファン
ビーム２、被検体３、テーンテーブル４および検出器５
から構成され、本実施例の場合、小さな被検体に対応し
た小型のターンテーブル４とし、それらを多数台、Ｘ線
源１の移動方向に並列に配置している。このＣＴ表装置
測定方法は、Ｘ線源１と検出器５を同期させて、Ｘ線を
被検体３に照射させつつ平行に等速度で移動される。そ
の際、Ｘｆｉ＠１の１回の並進動作ごとに、ターンテー
ブル４は、ｘｍファンビームの拡り角度で回転させる。
１つのスライス面の測定が完了するとターンテーブル４
が紙面に垂直方向に移動して次のスライス面を測定する
。
このシステムは、１つの被検体３に注目すれば、従来の
ＣＴ表装置全く同様であるが、ｘＢＢ１０検出器５の間
隔を小さくすることができ、その結果、有効視野６が小
さくなり１画素寸法を小さくとれ、高精度の画像が得ら
れる。また、被検体３を設置するターンテーブル４を多
数台、直線上に配置することが可能になる。その結果、
このＣＴ表装置コンパクトになる故、例えば、製造ライ
ンの自動検査システムとして組合せることができる。
第３図は、本発明によるＸ線ＣＴ装置の他の実施例を示
す構成図である。重連した第２図と対応する４１が成と
なっており、１つのＸ線源１のＸａミツアンビームを数
分割し、各ファンビームごとにターンテーブル４と検出
器５が設けられている。
従って、Ｘ線ファンビーム角度α、に対応して、１つの
ＣＴ表装置構成することになり、１つのＸ線源１に関し
て分割数だけのＣＴ装置数が可能になる。
このようにした場合であっても、第２図に示したＸ腺Ｃ
Ｔ装置と同様な効果が得られ、Ｘ線源１における走査速
度の高速化は当然のことながら実現されるものである。
〔発明の効果〕
以上説明したことから明らかなように、本発明によるＸ
線Ｃ′ｒ装置によれば、同時に多数個の小さな被検体を
高い精度でかつ速いスピードで検査することができ、か
つ装置自体の小型化を達成させることが可能となる６
【図面の簡単な説明】
第１図（ａ）、（ｂ）はそれぞれ従来のＸ線ＣＴ装置の
例を示す平面図、第２図は本発明によるＸ線ＣＴ装置の
一実施例を示す平面図、第３図は本発明によるＸ線ＣＴ
装置の他の実施例を示す平面図である。 １・・・Ｘ線源、２・・・Ｘ線ファンビーム、３・・・
被検体、４・・・ターンテーブル、５・・・検出器、６
・・・有効視野。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、Ｘ線源と、このＸ線源からのＸ線を検出する検出器
    と、前記Ｘ線の有効視野内に配置される１個の被検体と
    、この被検体を載置する１個のターンテーブルとから構
    成されていることを特徴とするＸ線ＣＴ装置。 ２、前記Ｘ線源と検出器はともに直線往復動し、前記タ
    ーンテーブルは前記往復動方向に並設されている特許請
    求の範囲第１項記載のＸ線ＣＴ装置。 ３、前記Ｘ線源はＸ線ファンビーム角度が複数個に分割
    され、各分割されたファンビームに対応して検出器が配
    置され、前記ターンビームは各ファンビーム毎に並設さ
    れている特許請求の範囲第１項記載のＸ線ＣＴ装置。
JP60208086A 1985-09-20 1985-09-20 Ｘ線ｃｔ装置 Expired - Lifetime JPH0680420B2 (ja)

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JPH0680420B2 JPH0680420B2 (ja) 1994-10-12

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