JPH01268148A - ウェーハ輸送用ケース - Google Patents
ウェーハ輸送用ケースInfo
- Publication number
- JPH01268148A JPH01268148A JP63097556A JP9755688A JPH01268148A JP H01268148 A JPH01268148 A JP H01268148A JP 63097556 A JP63097556 A JP 63097556A JP 9755688 A JP9755688 A JP 9755688A JP H01268148 A JPH01268148 A JP H01268148A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- face
- ribs
- cage
- sidewalls
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、輸送中の半導体ウェーハを損壊および汚染か
ら保護するウェーハ用ケースに関するものである。
ら保護するウェーハ用ケースに関するものである。
半導体ウェーハは片面が鏡面研磨された状態でケースに
収容されて輸送される。従来のウェーハ輸送用ケースと
して、多数枚のウェーハを平行に立てた状態でかごに保
持し、該かごを箱に収容して蓋をする形式のものが使用
されている。該かごの側壁の両内面には、複数の隔置リ
ブが対向して設けられていて、該隔置リブの間にウェー
ハを保持するようになっており、該隔置リブは、該かご
の底面および側壁の両内面と垂直な面に対して平行に設
けられている。
収容されて輸送される。従来のウェーハ輸送用ケースと
して、多数枚のウェーハを平行に立てた状態でかごに保
持し、該かごを箱に収容して蓋をする形式のものが使用
されている。該かごの側壁の両内面には、複数の隔置リ
ブが対向して設けられていて、該隔置リブの間にウェー
ハを保持するようになっており、該隔置リブは、該かご
の底面および側壁の両内面と垂直な面に対して平行に設
けられている。
このような従来のウェーハ輸送用ケースにおいて、各ウ
ェーハは、蓋を閉じた状態では蓋内に設けられた押さえ
板の作用により隔置リブと接触しないが、蓋を開放した
状態では接触する。ウェーハが隔置リブにたびたび接触
すると、隔置リブを構成しているプラスチック材料の摩
耗粉（パーティクル）が発生しウェーハの鏡面に付着す
るという欠点があった。
ェーハは、蓋を閉じた状態では蓋内に設けられた押さえ
板の作用により隔置リブと接触しないが、蓋を開放した
状態では接触する。ウェーハが隔置リブにたびたび接触
すると、隔置リブを構成しているプラスチック材料の摩
耗粉（パーティクル）が発生しウェーハの鏡面に付着す
るという欠点があった。
ウェーハの鏡面を隔置リブと接触させない構造のケース
として、箱の内底面を外底面に対して傾斜させることに
より、かごを傾斜させて収容し、ウェーハの裏面が常に
隔置リブと接触するようにしたものが、特開昭６０−２
２３１１１号公報によって知られている。
として、箱の内底面を外底面に対して傾斜させることに
より、かごを傾斜させて収容し、ウェーハの裏面が常に
隔置リブと接触するようにしたものが、特開昭６０−２
２３１１１号公報によって知られている。
ウェーハを処理する過程において、ウェーハを保持した
かごを箱から取り出して搬送することが行われる。特開
昭６０−２２３１］、１号公報ムこ記載されたケースを
使用した場合、かごを箱から取り出したときには、ウェ
ーハの鏡面が隔置リブに接触するという問題がある。
かごを箱から取り出して搬送することが行われる。特開
昭６０−２２３１］、１号公報ムこ記載されたケースを
使用した場合、かごを箱から取り出したときには、ウェ
ーハの鏡面が隔置リブに接触するという問題がある。
本発明は、蓋を開放した状態でも、また、かごを取り出
した状態でも、ウェーハの鏡面が隔置リブに接触しない
ようにし、ウェーハの鏡面を保護することを目的とする
。
した状態でも、ウェーハの鏡面が隔置リブに接触しない
ようにし、ウェーハの鏡面を保護することを目的とする
。
〔課題を解決するための手段］
本発明の具体例を図面により説明する。本発明のウェー
ハ輸送用ケースは、第１図に示すように箱よとかごＩと
蓋主で構成されている。かご１ば、第１図（ｂ）に示す
ように」二面が開放され、側壁２２゜２３の側内面に複
数の隔置リブ２６，２７が対向して設けられている。か
ごＩの底面２４に垂直でかつ側壁２２．２３の側内面に
垂直な面（第２図の２８）に対して、隔置リブ２６．２
７が傾斜して形成されている。第２図は第１図（ｂ）の
Ａ −Ａ断面を示すものであり、隔置リブ２６，２７ば
前記垂直な面２８に対して傾斜角θをなし、割り出しパ
ー２５側に傾斜している。なお、第１図（ｂ）の２１は
端壁、第１図（ａ）の１１ばかご主をガイドするととも
に係止するガイド、１．２，１３ば係合凹部、第１図（
Ｃ）の３１ばかごＩを押える押え具、３２はウェーハ押
さえ、３３，３／Ｉは係合凸部である。
ハ輸送用ケースは、第１図に示すように箱よとかごＩと
蓋主で構成されている。かご１ば、第１図（ｂ）に示す
ように」二面が開放され、側壁２２゜２３の側内面に複
数の隔置リブ２６，２７が対向して設けられている。か
ごＩの底面２４に垂直でかつ側壁２２．２３の側内面に
垂直な面（第２図の２８）に対して、隔置リブ２６．２
７が傾斜して形成されている。第２図は第１図（ｂ）の
Ａ −Ａ断面を示すものであり、隔置リブ２６，２７ば
前記垂直な面２８に対して傾斜角θをなし、割り出しパ
ー２５側に傾斜している。なお、第１図（ｂ）の２１は
端壁、第１図（ａ）の１１ばかご主をガイドするととも
に係止するガイド、１．２，１３ば係合凹部、第１図（
Ｃ）の３１ばかごＩを押える押え具、３２はウェーハ押
さえ、３３，３／Ｉは係合凸部である。
（作 用〕
第１図（ｂ）のように、かご主の側壁２２．２３は底面
２４側で内方に向げて湾曲しており、内面に股＆Ｊられ
た隔置リブ２６．２７の各間隙に、ウェーハが上方から
装入されて保持される。隔置リブ２６．２７ば、底面お
よび側壁２２，２３の側内面に垂直な面２８に対して、
割り出しバー２５側に傾斜しているので、ウェーハの裏
面を割り出しバー２５側に向は鏡面を端壁２１側に向げ
て装入することにより、鏡面が無接触の状態で保持され
る。傾斜角θは１°以」二であればよい。
２４側で内方に向げて湾曲しており、内面に股＆Ｊられ
た隔置リブ２６．２７の各間隙に、ウェーハが上方から
装入されて保持される。隔置リブ２６．２７ば、底面お
よび側壁２２，２３の側内面に垂直な面２８に対して、
割り出しバー２５側に傾斜しているので、ウェーハの裏
面を割り出しバー２５側に向は鏡面を端壁２１側に向げ
て装入することにより、鏡面が無接触の状態で保持され
る。傾斜角θは１°以」二であればよい。
したがって、ウェーハは、かごＩに保持された状態で搬
送される際にも、鏡面の無接触状態が維持され、パーテ
ィクルの付着が回避される。
送される際にも、鏡面の無接触状態が維持され、パーテ
ィクルの付着が回避される。
ウェーハを保持したかご）−ば、第１図（ａ）の箱上に
装入され、第１図（Ｃ）の蓋主が被せられ、保合凸部３
３．３４が保合四部１２．１３に係合して装着される。
装入され、第１図（Ｃ）の蓋主が被せられ、保合凸部３
３．３４が保合四部１２．１３に係合して装着される。
蓋主の内面には第１図（Ｃ）のようにウェーハ押さえ３
２が設けられており、蓋主が装着された状態ではウェー
ハの上端がウェーハ押さえ３２でも支持されているので
ケースを傾けてもウェーハの鏡面は隔置リブ２６．２７
に接触しない。
２が設けられており、蓋主が装着された状態ではウェー
ハの上端がウェーハ押さえ３２でも支持されているので
ケースを傾けてもウェーハの鏡面は隔置リブ２６．２７
に接触しない。
本発明のケースは、かごＩに保持されたウェーハが全て
割り出しバー２５側に傾斜しているので、ウェーハ押さ
え３２は図示のような鋸状の連続方式のほか櫛状の非連
続方式であってもよい。
割り出しバー２５側に傾斜しているので、ウェーハ押さ
え３２は図示のような鋸状の連続方式のほか櫛状の非連
続方式であってもよい。
本発明のウェーハ輸送用ケースを使用することにより、
ウェーハの鏡面は常に無接触状態に維持されるので、鏡
面にパーティクルが付着することがない。この効果は、
ウェーハを処理する過程において蓋を開放した状態で、
あるいはかごを取り出した状態で搬送する際にも発揮さ
れる。
ウェーハの鏡面は常に無接触状態に維持されるので、鏡
面にパーティクルが付着することがない。この効果は、
ウェーハを処理する過程において蓋を開放した状態で、
あるいはかごを取り出した状態で搬送する際にも発揮さ
れる。
第１図（ａ）、 （ｂ）、 （Ｃ）は本発明の全体構成
を示す説明図、第２図は本発明におけるかごの断面を示
す図である。 ±：箱、２Ｌ：かご、主；蓋、１１ニガイド、１２．１
３：係合凹部、２１：端壁、 ２２．２３：側壁、２４：底面、２５；割り出しパー、
２６，２７：隔置リブ、２８：垂直な面、３１：押え具
、３２：ウェーハ押さえ、３３．３４：係合凸部。 第１図 （Ｃ） ｚｌ！
を示す説明図、第２図は本発明におけるかごの断面を示
す図である。 ±：箱、２Ｌ：かご、主；蓋、１１ニガイド、１２．１
３：係合凹部、２１：端壁、 ２２．２３：側壁、２４：底面、２５；割り出しパー、
２６，２７：隔置リブ、２８：垂直な面、３１：押え具
、３２：ウェーハ押さえ、３３．３４：係合凸部。 第１図 （Ｃ） ｚｌ！
Claims (1)
- ウェーハを保持するかごと該かごを収容する箱と蓋と
で構成され、該かごの側壁の両内面には複数の隔置リブ
が対向して設けられ、該かごの底面および該側壁の両内
面と垂直な面に対して該隔置リブが傾斜して形成されて
いることを特徴とするウェーハ輸送用ケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63097556A JPH01268148A (ja) | 1988-04-20 | 1988-04-20 | ウェーハ輸送用ケース |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63097556A JPH01268148A (ja) | 1988-04-20 | 1988-04-20 | ウェーハ輸送用ケース |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01268148A true JPH01268148A (ja) | 1989-10-25 |
Family
ID=14195516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63097556A Pending JPH01268148A (ja) | 1988-04-20 | 1988-04-20 | ウェーハ輸送用ケース |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01268148A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05508748A (ja) * | 1991-05-14 | 1993-12-02 | フルオロウェア・インコーポレーテッド | 傾斜ボックス |
| JPH07307381A (ja) * | 1989-03-31 | 1995-11-21 | Empak Inc | 半導体ウエハー、ディスク若しくは基板用パッケージ |
-
1988
- 1988-04-20 JP JP63097556A patent/JPH01268148A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07307381A (ja) * | 1989-03-31 | 1995-11-21 | Empak Inc | 半導体ウエハー、ディスク若しくは基板用パッケージ |
| JPH05508748A (ja) * | 1991-05-14 | 1993-12-02 | フルオロウェア・インコーポレーテッド | 傾斜ボックス |
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