JPH0572106B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0572106B2 JPH0572106B2 JP63103473A JP10347388A JPH0572106B2 JP H0572106 B2 JPH0572106 B2 JP H0572106B2 JP 63103473 A JP63103473 A JP 63103473A JP 10347388 A JP10347388 A JP 10347388A JP H0572106 B2 JPH0572106 B2 JP H0572106B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- basket
- lid
- wafers
- case
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体ウエーハを輸送する際に損壊
および汚染から保護するウエーハ輸送用ケースに
関するものである。 〔従来の技術〕 半導体ウエーハは、片面が鏡面研磨された状態
でケースに収納されて輸送される。輸送用ケース
は、輸送中の振動等によつてウエーハが損傷され
ない構造でなければならない。また、ウエーハの
鏡面がケースに接触すると、ケースを構成してい
るプラスチツク材料の摩耗粉（パーテイクル）等
により汚染されるので、無接触の状態で保持され
なければならない。 従来のウエーハ輸送用ケースとして、多数枚の
ウエーハを平行に立てた状態でかごに収容し、該
がこを箱に収容して蓋をする形式のものが使用さ
れている。かごの側壁の両内面には複数の隔置リ
ブが対向して設けられていて、各ウエーハが位置
決めされ、蓋の内面にはウエーハ押さえが設けら
れていて、蓋をした状態で、各ウエーハが上下左
右に遊動しないように、また隔置リブに接触しな
いように支持される。 ウエーハ押さえには、多数のウエーハを同時に
支持する鋸状の連続式のものと、個々に押える櫛
状の非連続式のものがある。連続式のものを使用
した場合、ウエーハの収納枚数が少ないときは、
押さえが各ウエーハに均一にかからなくて、輸送
中の振動等によりウエーハが遊動して損壊された
り、鏡面が汚染されたりするおそれがあるのに対
し、非連続式の場合は、個々に押さえが働くので
ウエーハの押さえ効果が優れている。 〔発明が解決しようとする課題〕 従来のウエーハ輸送用ケースにおいて、蓋の内
面に非連続式のウエーハ押さえを設けた場合、蓋
をするときの位置決めの問題等により、ウエーハ
がウエーハ押さえの間隙に狭まつて、支持効果が
得られないという問題がある。 本発明は、ウエーハ輸送用ケースにおいて、ウ
エーハをケース内に確実に支持させることによ
り、輸送中のウエーハを汚染および損壊から保護
することを目的とする。 〔課題を解決するための手段〕 本発明の具体例を図面により説明する。本発明
のウエーハ輸送用ケースは、第１図に示すよう
に、箱１とかご２と蓋４で構成されている。 第１図ｂに示すように、かご２の上面および底
面２１が開放され、対向する一対の側壁２２，２
３が底面２１側で内方に向けて湾曲しており、側
壁２２，２３の左右周端は端壁２４，２５で連結
され、側壁２２，２３の両内面には複数の隔置リ
ブ２６，２７が対向して設けられ、側壁２２，２
３の底面２１側の終焉部に可撓性支持機構２８，
２９が設けられている。可撓性支持機構２８，２
９は隔置リブ２６，２７の間隙のそれぞれに、互
いに非連続に設けられている。 〔作用〕 ウエーハは、第１図ｂに示すかご２の開放され
た上部から、側壁２２，２３の両内面に対向して
設けられた隔置リブ２６，２７の各間隔に挿入さ
れ、可撓性支持機構２８，２９で支持される。な
お、かご２の一方の端壁２５は、ウエーハを自動
機あるいは真空ピンセツトで取り出すために開放
されており、割り出しバー３０が中間部に延在し
ている。 ウエーハを支持したかご２は、第１図ａに示す
ガイド１１に誘導されて箱１に装入され、第１図
ｃの蓋４が被せられ、係合凸部４３，４４が係合
凹部１２，１３に係合し、かご２は、箱１内のガ
イド１１と蓋４内の押さえ具４１によつて固定さ
れる。 ウエーハＷを支持したかご２を箱１に収容し蓋
４をした状態を示すと、第２図（第１図ｂのＡ−
Ａ視に相当する一部断面図）のように、ウエーハ
Ｗは、可撓性支持機構２８，２９（２９は図示さ
れない）と蓋４内のウエーハ押さえ４２によつて
上下方向に固定される。 可橈性支持機構２８，２９は側壁２２，２３の
底面側の終焉部に設けられているので、装入され
たウエーハＷは非連続に設けられた各可撓性支持
機構２８の間隙に挟まることなく確実に支持され
る。また、各ウエーハＷは、非連続に設けられた
各可撓性支持機構２８，２９によつて個々に支持
されるので、第２図に示すようにウエーハＷの装
入されていない箇所があつてもその影響を受けな
い。 なお、第３図に示すように、可撓性支持機構２
８，２９の溝３１を隔置リブ２６，２７の間隙の
中心線上からずらせておくと、蓋４を装着しない
状態で、ウエーハＷを常に一定の方向に傾斜させ
ることができるので、ウエーハＷの出し入れの際
にも鏡面が隔置リブ２６，２７と接触することが
防止される。この効果は、ウエーハＷを傾斜させ
たい側に隔置リブ２６，２７を傾斜させておく
と、より確実に発揮される。したがつて、このよ
うな構造のかご２を使用すると、ウエーハＷを処
理する過程において、蓋４を装着しない状態で、
あるいはかご２を箱１から取り出した状態で搬送
する際にも、ウエーハＷの鏡面を無接触状態に保
持することができる。 〔発明の効果〕 本発明のウエーハ輸送用ケースを使用すること
により、ウエーハ装入の際には各ウエーハが確実
かつ容易に支持機構にセツトされ、輸送中にはケ
ース内にウエーハの空きがあつても、各ウエーハ
は個々に支持されているので遊動することなく、
損壊および汚染が確実に防止される。
および汚染から保護するウエーハ輸送用ケースに
関するものである。 〔従来の技術〕 半導体ウエーハは、片面が鏡面研磨された状態
でケースに収納されて輸送される。輸送用ケース
は、輸送中の振動等によつてウエーハが損傷され
ない構造でなければならない。また、ウエーハの
鏡面がケースに接触すると、ケースを構成してい
るプラスチツク材料の摩耗粉（パーテイクル）等
により汚染されるので、無接触の状態で保持され
なければならない。 従来のウエーハ輸送用ケースとして、多数枚の
ウエーハを平行に立てた状態でかごに収容し、該
がこを箱に収容して蓋をする形式のものが使用さ
れている。かごの側壁の両内面には複数の隔置リ
ブが対向して設けられていて、各ウエーハが位置
決めされ、蓋の内面にはウエーハ押さえが設けら
れていて、蓋をした状態で、各ウエーハが上下左
右に遊動しないように、また隔置リブに接触しな
いように支持される。 ウエーハ押さえには、多数のウエーハを同時に
支持する鋸状の連続式のものと、個々に押える櫛
状の非連続式のものがある。連続式のものを使用
した場合、ウエーハの収納枚数が少ないときは、
押さえが各ウエーハに均一にかからなくて、輸送
中の振動等によりウエーハが遊動して損壊された
り、鏡面が汚染されたりするおそれがあるのに対
し、非連続式の場合は、個々に押さえが働くので
ウエーハの押さえ効果が優れている。 〔発明が解決しようとする課題〕 従来のウエーハ輸送用ケースにおいて、蓋の内
面に非連続式のウエーハ押さえを設けた場合、蓋
をするときの位置決めの問題等により、ウエーハ
がウエーハ押さえの間隙に狭まつて、支持効果が
得られないという問題がある。 本発明は、ウエーハ輸送用ケースにおいて、ウ
エーハをケース内に確実に支持させることによ
り、輸送中のウエーハを汚染および損壊から保護
することを目的とする。 〔課題を解決するための手段〕 本発明の具体例を図面により説明する。本発明
のウエーハ輸送用ケースは、第１図に示すよう
に、箱１とかご２と蓋４で構成されている。 第１図ｂに示すように、かご２の上面および底
面２１が開放され、対向する一対の側壁２２，２
３が底面２１側で内方に向けて湾曲しており、側
壁２２，２３の左右周端は端壁２４，２５で連結
され、側壁２２，２３の両内面には複数の隔置リ
ブ２６，２７が対向して設けられ、側壁２２，２
３の底面２１側の終焉部に可撓性支持機構２８，
２９が設けられている。可撓性支持機構２８，２
９は隔置リブ２６，２７の間隙のそれぞれに、互
いに非連続に設けられている。 〔作用〕 ウエーハは、第１図ｂに示すかご２の開放され
た上部から、側壁２２，２３の両内面に対向して
設けられた隔置リブ２６，２７の各間隔に挿入さ
れ、可撓性支持機構２８，２９で支持される。な
お、かご２の一方の端壁２５は、ウエーハを自動
機あるいは真空ピンセツトで取り出すために開放
されており、割り出しバー３０が中間部に延在し
ている。 ウエーハを支持したかご２は、第１図ａに示す
ガイド１１に誘導されて箱１に装入され、第１図
ｃの蓋４が被せられ、係合凸部４３，４４が係合
凹部１２，１３に係合し、かご２は、箱１内のガ
イド１１と蓋４内の押さえ具４１によつて固定さ
れる。 ウエーハＷを支持したかご２を箱１に収容し蓋
４をした状態を示すと、第２図（第１図ｂのＡ−
Ａ視に相当する一部断面図）のように、ウエーハ
Ｗは、可撓性支持機構２８，２９（２９は図示さ
れない）と蓋４内のウエーハ押さえ４２によつて
上下方向に固定される。 可橈性支持機構２８，２９は側壁２２，２３の
底面側の終焉部に設けられているので、装入され
たウエーハＷは非連続に設けられた各可撓性支持
機構２８の間隙に挟まることなく確実に支持され
る。また、各ウエーハＷは、非連続に設けられた
各可撓性支持機構２８，２９によつて個々に支持
されるので、第２図に示すようにウエーハＷの装
入されていない箇所があつてもその影響を受けな
い。 なお、第３図に示すように、可撓性支持機構２
８，２９の溝３１を隔置リブ２６，２７の間隙の
中心線上からずらせておくと、蓋４を装着しない
状態で、ウエーハＷを常に一定の方向に傾斜させ
ることができるので、ウエーハＷの出し入れの際
にも鏡面が隔置リブ２６，２７と接触することが
防止される。この効果は、ウエーハＷを傾斜させ
たい側に隔置リブ２６，２７を傾斜させておく
と、より確実に発揮される。したがつて、このよ
うな構造のかご２を使用すると、ウエーハＷを処
理する過程において、蓋４を装着しない状態で、
あるいはかご２を箱１から取り出した状態で搬送
する際にも、ウエーハＷの鏡面を無接触状態に保
持することができる。 〔発明の効果〕 本発明のウエーハ輸送用ケースを使用すること
により、ウエーハ装入の際には各ウエーハが確実
かつ容易に支持機構にセツトされ、輸送中にはケ
ース内にウエーハの空きがあつても、各ウエーハ
は個々に支持されているので遊動することなく、
損壊および汚染が確実に防止される。
第１図は本発明ケースの全体構造を示す図、第
２図および第３図は本発明ケースの一部断面を示
す図である。 １：箱、１１：ガイド、１２，１３：係合凹
部、２：かご、２１：底面、２２，２３：側壁、
２４，２５：端壁、２６，２７：隔置リブ、２
８，２９：可撓性支持機構、３０：割り出しバ
ー、３１：溝、４：蓋、４１：押さえ具、４２：
ウエーハ押さえ、４３，４４：係合凸部。
２図および第３図は本発明ケースの一部断面を示
す図である。 １：箱、１１：ガイド、１２，１３：係合凹
部、２：かご、２１：底面、２２，２３：側壁、
２４，２５：端壁、２６，２７：隔置リブ、２
８，２９：可撓性支持機構、３０：割り出しバ
ー、３１：溝、４：蓋、４１：押さえ具、４２：
ウエーハ押さえ、４３，４４：係合凸部。
Claims (1)
- １ ウエーハを保持するかごと該かごを収容する
箱と蓋とで構成され、該かごの上面および底面が
開放され、対向する一対の側壁が該底面側で内方
に向けて湾曲しており、該側壁の左右両端は端壁
で連結され、該側壁の両内面には複数の隔置リブ
が対向して設けられ、該側壁の前記底面側の終焉
部に非連続の可撓性支持機構が設けられているこ
とを特徴とするウエーハ輸送用ケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63103473A JPH01274447A (ja) | 1988-04-26 | 1988-04-26 | ウェーハ輸送用ケース |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63103473A JPH01274447A (ja) | 1988-04-26 | 1988-04-26 | ウェーハ輸送用ケース |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01274447A JPH01274447A (ja) | 1989-11-02 |
| JPH0572106B2 true JPH0572106B2 (ja) | 1993-10-08 |
Family
ID=14354977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63103473A Granted JPH01274447A (ja) | 1988-04-26 | 1988-04-26 | ウェーハ輸送用ケース |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01274447A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4966284A (en) * | 1987-07-07 | 1990-10-30 | Empak, Inc. | Substrate package |
| US6267245B1 (en) * | 1998-07-10 | 2001-07-31 | Fluoroware, Inc. | Cushioned wafer container |
-
1988
- 1988-04-26 JP JP63103473A patent/JPH01274447A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01274447A (ja) | 1989-11-02 |
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