JPH01270055A - フォトレジストの露光方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、フォトレジストの露光方法、特に例えばプ
リント基板等におけるフォトレジスト膜を露光し、所定
パターンのレジスト膜とするフォトレジストの露光方法
に関するものである。

〔従来の技術〕

第３図および第４図は従来の露光方法を示す断面図であ
り、図において、１は透明ガラス板からなる下側板で、
この下側板１は両面露光機内の図示されない下側の紫外
線ＵＶの光源と対向して設けられており、２はこの下側
板ｌの上に載置された遮光フィルムで、この遮光フィル
ム２により前記光源からの光を遮光するようになってお
り、３はこの遮光フィルム２の上に載置されたプリント
基板であるプリント配線板で、このプリント配線板３は
少なくとも上面３ａに感光性フォトレジスト膜が設けら
れており、４はこのプリント配線板３の上に配置された
マスクフィルムで、このマスクフィルム４によりラオト
レジスト膜を所定のパターンで露光するようになってお
り、５はこのマスクフィルム４の上からカバーする上部
カバーである。

従来は上記のように下側板１の上に、遮光フィルム２．
プリント基板３．マスクフィルム４．上部カバー５を配
置し、光源からの光により露光していた。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、従来のフォトレジストの露光方法におい
ては、以上のように実施されていたので、両面露光機を
用いても光源からの光は上部カバーフィルム５．マスク
フィルム４を通してプリント基板３の片側（上側）の面
しか露光しないため、露光についての処理能力か半減し
てしまうという問題点があった。

この発明は、前記のような課題を解決するためになされ
たもので、両面露光機を用いて片面露光を効率よ〈実施
するとともに安定した品質で露光するフォトレジストの
露光方法を提供することを目的としている。

〔課題を解決するための手段〕

このため、この発明に係るフォトレジストの露光方法は
、非露光面を向き合わせたプリント基板の間に遮光性軟
質シートを位置させて積み重ねたのち、両面露光機に組
み込み、つぎに、両側から露光させることにより両側の
露光すべきそれぞれの片面を同時に２面露光するように
した方法である。

〔作用〕 この発明における露光方法は、露光しない而を対向させ
、その間に遮光シートを挟み込んだのち、両面露光機に
組み込み両側から露光することにより２つの片面を同時
に露光できる。

（実施例） 以下に、この発明の一実施例による露光方法について図
に基づいて説明する。

第１図は、この発明の一実施例による露光方法における
遮光性軟質フィルム、プリント基板、マスクフィルム挿
入時を示す断面図、第２図は同露光時を示す断面図であ
る。符号１．５は従来例において説明したものと同じ部
分を示すものであり説明の重複をさける。図において、
６は下側板１の上に置かれたマスクフィルムで、所定の
パターンが印刷されている。７はこのマスクフィルム６
の上に位置を合わせて載置されたプリント基板で、感光
性フォトレジスト膜が表面に形成されている。８はこの
プリント基板７の上に載置された遮光性軟質シートであ
る遮光性軟質フィルムで、例えば黒色ゴムフィルム等が
用いられ、プリント基板７およびマスクフィルム６全体
におおいかぶせている。９はこの遮光性軟質フィルム８
の上に載置されたプリント基板で、感光性フォトレジス
ト膜が表面に形成されている。１０はこのプリント基板
９の上に！！置されたマスクフィルムで、プリント基板
９と位置を合わせて載置されており、このマスクフィル
ム１０には所定のパターンが印刷されている。　　　　
　″ つぎに、この発明の一実施例によるフォトレジスト膜の
露光方法を説明する。

まず、下側板１の上にマスクフィルム６とプリント基板
７を位置を合わせて配置し、その上に遮光性軟質フィル
ム８を全体がおおわれるように置く。

次に、この遮光性軟質フィルム８の上にマスクフィルム
１０とプリント基板９を、プリント基板９が下側となる
ように位置を合わせて載置し、向き合ったプリント基板
７．９の非露光面７ｂ。

９ｂの間に、遮光性軟質フィルム８を挿入した状態で、
その上に上部カバーフィルム５をかぶせてｈｌみ重ね、
全体を密着固定する。

ｈｌみ重ね終了後、両面露光機にセットし、上下両面よ
り露光することによりプリント基板７゜９のそれぞれの
片面７ａ、９ａを同時に露光し、２面露光できる。

さらに、厚みの異なるプリント基板でも両面露光機の上
下の方向の高さ以内であればセットすることが可能とな
り、処理能力が向上する。

また、遮光性軟質フィルム８および上部カバーフィルム
５を用いて密着性良くプリント基板７゜９およびマスク
フィルム６．１０を配置することができ、かつ周囲から
の光の回り込みを完全に防ぐことができるので、品質の
安定、向上に寄与することができる。

この発明の一実施例によれば、非露光面７ｂ。

９ｂの間に遮光性軟質フィルム８を位置させて積み重ね
たことにより、プリント基板７．９の裏側への光の回り
込みを完全に防げるため、未露光や穴内露光がなくなり
、つぎに、両面露光機に組み込み、両側から露光するこ
とにより対向したそれぞれのプリント基板７，９の露光
ずべき片面７ａ、９ａを同時に２面露光するので、遮光
性軟質フィルム８を介して」皿上に１段つつ処理品であ
るプリント基板７．９が入れられたため、処理効率が向
上するという効果を有する。

なお、この発明に係るフォトレジストの露光方法は、フ
ォトエツチング、フォトソルダレジストいずれの工程に
も有効であることは説明するまでもない。

（発明の効果） 以上に、説明してきたように、この発明によれば、非露
光面を向き合わせたプリント基板の間に遮光性軟質シー
トを挟み込んだことにより、基板裏側への光の回り込み
が完全に防げるため、未露光や穴内露光がなくなり、つ
ぎに、両面露光機に組み込み、両側から露光させること
により、露光すべき片面を同時に２面露光するため、遮
光シートを介して上１に１段ずつ処理品であるプリント
基板が入れられるので、処理効率が向上するという効果
を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はこの発明の一実施例による露光方
法を示す断面図、第３図および第４図は従来例による露
光方法を示す断面図である。 図において、１はＦ側板、６．１０はマスクフィルム、
７．９はプリント基板、７ａ、９ａは片面、７ｂ、９ｂ
は非露光面、８は遮光性軟質フィルムを示す。 図中、同一符号は同一部分または相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 非露光面を向き合わせたプリント基板の間に、遮光性軟
   質シートを位置させて積み重ねたのち、両面露光機に組
   み込み、つぎに、両側から露光させることにより前記向
   き合ったプリント基板のそれぞれの露光すべき片面を、
   同時に２面露光することを特徴とするフォトレジストの
   露光方法。