JPH01270903A - 有機溶剤を用いる洗浄装置に於ける有機溶剤蒸気の回収方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明に係る有機溶剤を用いる洗浄装置に於ける有機
溶剤蒸気の回収方法は、フロン、或はトリクロルエチレ
ン等の有機溶剤を用いる事により、金型、空気軸受用の
多孔質焼結金属、ＩＣ基板等の各種物品の洗浄処理を行
なう洗浄装置に於いて、洗浄処理後に洗浄槽内に残留す
る有機溶剤の蒸気が、大気中に放散されない様にするの
に利用する。

（従来の技術） 各種物品の表面に付着した油等の汚れを落とす為に、フ
ロン等、各種の有機溶剤を用いる洗浄装置が使用されて
いる。

この様な洗浄装置により洗浄作業を行なう場合、密閉自
在な洗浄槽内に被洗浄物を収納し、この洗浄槽内に液状
の有機溶剤を注入し、更にこの液状の有機溶剤を超音波
振動子により加振する等により、液状の有機溶剤中に浸
漬された被洗浄物の表面に付着した油等の汚れを落とす
。

上述の様な洗浄作業の終了後、洗浄槽内の液状有機溶剤
は、別途設けた貯溜槽等に戻す。

洗浄槽内には、液状の有機溶剤排出後に於いても、この
有機溶剤の蒸気が残留するが、この蒸気をそのまま大気
中に放散させた場合、作業員の健康に悪影響があるだけ
でなく、オゾン層を破壊する（有機溶剤としてフロンを
使用した場合）等、環境破壊の原因ともなる為、この有
機溶剤の蒸気を回収する必要がある。

この為従来から、第２〜３図に示す様な回収装置を洗浄
装置に組み込む事により、洗浄作業後、洗浄槽内に残留
する有機溶剤の蒸気を回収する様にしていた。

即ち、第２図に示したものは、洗浄作業後、洗浄槽１内
に残留する有機溶剤の蒸気を真空ポンプ２により排出自
在とし、洗浄槽１と真空ポンプ２とを結ぶ配管３の途中
に凝縮器４を設け、洗浄槽１から排出した有機溶剤の蒸
気を、この凝縮器４で凝縮し、別途設けた貯溜槽等に回
収する様に構成している。

又、第３図に示したものは、液状の有機溶剤の貯溜槽５
と、循環ポンプ６と、エジェクタ式の真空ポンプ７とを
、互いに直列に接続して閉回路を構成し、洗浄槽１に一
端を接続した吸気管８の他端を、上記真空ポンプ７の吸
気口に接続している。

この第３図に示した回収装置の場合、循環ポンプ６の運
転に伴なって貯溜槽５内の液状有機溶剤が循環すると、
洗浄Ｍｌ内に残留する有機溶剤の蒸気が吸気管８を通じ
て真空ポンプ７に吸引され、この真空ポンプ７内を流れ
る液状の冷媒に触れて凝縮し、貯溜槽５に回収される。

（発明が解決しようとする課題） ところが、上述の様に構成され作用する従来の回収装置
の場合、それぞれ次に述べる様な不都合を生じる。

即ち、第２図に示した様な回収装置の場合、真空ポンプ
２の運転に伴ない、この真空ポンプ２の上流側部分の圧
力が低下する事等により、配管３中を流れる有機溶剤の
蒸気を凝縮器４で完全に凝縮し、回収する事は難しく、
かなりの蒸気が真空ポンプ２の吐出口から大気中に放散
される事が避けられない。

又、第３図に示した様な回収装置の場合、洗浄槽１内の
圧力低下に伴ない、吸気管８を通じて真空ポンプ７に吸
引された有機溶剤の蒸気が凝縮し難くなって、洗浄槽１
内に残留している有機溶剤蒸気を十分に排出出来なくな
り、排出し切れずに残留した有機溶剤の蒸気は、被洗浄
物９を取り出す為、洗浄槽１のＭｌｏを開いた際に、大
気中に放散されてしまう。

真空ポンプ７の運転に伴なう圧力低下に拘らず、有機溶
剤の蒸気の凝縮を確実に行なわせる為には、貯溜槽５を
冷却する等により、循環ポンプ６により真空ポンプ７に
送られる液状有機溶剤の温度を低下させなければならな
いが、洗浄槽１内に残留する有機溶剤蒸気の残量を充分
に少なくする為には、上記有機溶剤の温度を極端に低く
しなければならず、設備が大型化するだけでなく、設備
費、運転経費が嵩む等、実用的ではない。

本発明の有機溶剤を用いる洗浄装置に於ける有機溶剤蒸
気の回収方法は、上述の様な不都合を何れも解消するも
のである。

（課題を解決する為の手段） 本発明の有機溶剤を用いる洗浄装置に於ける有機溶剤蒸
気の回収方法は、密閉自在な洗浄槽内部に液状の有機溶
剤を注入する事により、この洗浄槽内部に収納された被
洗浄物の洗浄を行なった後、洗浄槽内に残留する有機溶
剤の蒸気を回収する方法である。

即ち、洗浄作業後に於いて洗浄槽内に残留する有機溶剤
の蒸気を真空ポンプにより排出して、液状の有機溶剤を
加熱するヒータを内蔵した加熱器と有機溶剤の蒸気を冷
却し凝縮させる凝縮器とを組み合わせた蒸留器に送り込
み、この蒸留器内で、加熱器で発生した有機溶剤の蒸気
と共に凝縮させて回収する。

（作　　　用） 上述の様に構成される本発明の有機溶剤を用いる洗浄装
置に於ける有機溶剤蒸気の回収方法により、作業終了後
に容器内に残留する有機溶剤の蒸気を回収する場合、真
空ポンプを運転する事により、洗浄槽内に残留する有機
溶剤の蒸気を、蒸気排出管を通じて、蒸留器に送り込む
と、蒸気排出管を通じて凝縮器内に送り込まれた有機溶
剤蒸気は、加熱器で発生した蒸気と共に凝縮器内で凝縮
し、回収される。この場合に於いて、凝縮器内の有機溶
剤蒸気濃度は高い為、有機溶剤蒸気の凝縮、回収は効率
良く行なわれる。

（実施例） 次に、図示の実施例を説明しつつ、本発明を更に詳しく
説明する。

第１図は、本発明の有機溶剤蒸気の回収方法を実施する
洗浄装置を示す略縦断面図である。

１は、上方が開口した有底筒状の洗浄槽で、上端開口を
気密に塞ぐ事の出来る蓋１０を有し、底面には超音波振
動子１１．１１を装着して、洗浄槽１の内部に送り込ん
だ液状の有機溶剤を加振し、この有機溶剤に浸漬された
被洗浄物９の洗浄を効率良く行なえる様にしている。

１２は、洗浄槽１の内部に送り込む為の有機溶剤を貯溜
した貯溜槽で、上記洗浄槽１よりも高所に設けられてお
り、この貯溜槽１２の底部に一端を接続し、途中に電磁
弁１３を設けた給液管１４の他端を洗浄槽１に接続する
事で、電磁弁１３の開放に伴なって、貯溜槽１２内に貯
溜された液状の有機溶剤が、重力により洗浄槽１に流下
する様にしている。

又、上記貯溜槽１２の上部に一端を接続した接続管１５
の他端は、蒸留器１６の中間部に接続して、この蒸留器
１６から貯溜槽１２に、液状の有機溶剤の他、有機溶剤
の蒸気が送り込まれ、貯溜槽１２の上部空間が、常に有
機溶剤の蒸気で満たされる様にしている。

洗浄槽１の底部に一端を接続し、途中に電磁弁１７と送
液ポンプ１８とを設けた排液管１９の他端は、貯溜槽１
２に接続して、上記電磁弁１７の開放と送液ポンプ１８
の運転とに伴なって、洗浄槽ｉ内の液状有機溶剤を貯溜
槽１２に戻せる様にしている。

前記接続管１５により貯溜槽１２と接続された蒸留器１
６は、下半の蒸発器２０と上半の凝縮器２１とを組み合
わせる事で構成されている。液状の有機溶剤を貯溜出来
る様に、有底筒状に形成された蒸発器ケーシング２２の
底部には、液状の有機溶剤を加熱蒸発させる為のヒータ
２３を、上端開口部をＭｌｏで塞いだ筒状の凝縮器ケー
シング２４の内周面には有機溶剤の蒸気を凝縮させる為
の冷却器２５を、それぞれ配設している。

上記蒸発器ケーシング２２の横断面積は、凝縮器ケーシ
ング２４の横断面積よりも小さくし、且つ、蒸発器ケー
シング２２の上端縁を凝縮器ケーシング２４の底面より
も上方に突出させて、この突出部の外側に、凝縮液受部
２６を形成している。そして凝縮器ケーシング２４の内
周面に配設された冷却器２５は、この凝縮液受部２６の
上方に位置させて、冷却器２５に触れて凝縮した有機溶
剤が、凝縮液受部２６に流下する様にしている。

洗浄槽１に一端を接続し、途中に電磁弁２７と真空ポン
プ２８とを接続した蒸気排出管２９の他端は、蒸留器１
６を構成する凝縮器２１に接続して、洗浄ＩＪ１から排
出した有機溶剤蒸気を凝縮器２１に送り込み、この凝縮
器２１内で凝縮させる様にしている。

第１図に於いて、３０は洗浄槽１内に大気を導入する為
の吸気管、３１はこの吸気管３０の途中に設けた電磁弁
である。

上述の様に構成される洗浄装置により、被洗浄物９の洗
浄を行ない、更に本発明の回収方法によって、洗浄槽１
内に残留する有機溶剤の蒸気を回収する場合、次の様に
して行なう。

先ず、洗浄槽１内に液状の有機溶剤を送り込み、所定の
洗浄作業を行なってから、この洗浄槽１中の液状有機溶
剤を総て貯溜４９１２に戻したならば、蒸気排出管２９
の途中に設けた電磁弁２７を開放すると共に真空ポンプ
２８を起動して、洗浄槽１内に残留していた有機溶剤蒸
気を、蒸留器１６内に排出する。

この様に、蒸気排出管２９を通じて蒸留器１６に排出さ
れた有機溶剤の蒸気は、元々この蒸留器１６内に存在し
ていた有機溶剤の蒸気と共に、この蒸留器１６に設けた
冷却器２５によってａ１ｉｉ液化され、凝縮液受部２６
に捕集されて、接続管１５を通じて貯溜槽１２に回収さ
れる。

凝縮器ケーシング２４内に存在する有機溶剤の蒸気は、
蒸発器２０で発生した蒸気と洗浄槽１から排出された蒸
気とが合わさったものとなり、濃度が高い為、凝縮器２
１での凝縮は効率良く行なわれる。

真空ポンプ２８の運転に伴なって、洗浄槽１内が所定の
真空度に達したならば、電磁弁２７を閉じ、真空ポンプ
２８を停止すると共に、それ迄閉じていた電磁弁３１を
開き、吸気管３０を通じて洗浄槽１内に空気を送り込む
。

この結果、洗浄槽１内の圧力が上昇する為、この圧力が
大気圧程度に迄上昇したならば、洗浄槽１のＭｌｏを開
き、洗浄作業が完了した被洗浄物９の取り出しを行なう
。

尚、図示は省略したが、貯溜槽１２内の液状有機溶剤は
、適宜蒸留器１６の蒸発器２０に送り込める様に構成し
て、洗浄作業の繰り返しに伴なって汚れた有機溶剤を再
生出来る様にする。

又、蒸留器１６を構成する蒸発器２０と凝縮器２１とは
、第１図に示した様に一体に組み合わせても良いが、互
いに独立した状態で、別体に構成しても良い。

更に、凝縮器ケーシング２４は、第１図に示した様に密
閉式としても良いが、上端部に設けた吸排管を通じて大
気と連通させる事も出来る。但し、何れの場合に於いて
も、蒸発器２０に組み込んだヒータ２３への通電量と冷
却器２５への冷媒送り込み量とを調節する事により、凝
縮器２１内の圧力が規定値から外れたり（凝縮器ケーシ
ング２４を密閉式とする場合）、或は吸排管を通じて凝
縮器ケーシング２４から有機溶剤の蒸気が大気中に放散
されない様に（凝縮器ケーシング２４を開放式とする場
合）、有機溶剤蒸気のレベル（有機溶剤蒸気と空気との
境界層の高さ）を調整する。

（発明の効果） 本発明の有機溶剤を用いる洗浄装置に於ける有機溶剤蒸
気の回収方法は、以上に述べた通り構成される為、回収
装置を特に大型化したりする事なく、有機溶剤の蒸気の
回収効率を向上させる事が可能となり、周囲の環境を保
護する効果が大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の有機溶剤蒸気の回収方法を実施する
洗浄装置を示す略縦断面図、第２〜３図は従来の有機溶
剤蒸気の回収装置の２例を示す、それぞれ略縦断面図で
ある。 １：洗浄槽、２：真空ポンプ、３：配管、４：凝縮器、
５：貯溜槽、６：循環ポンプ、７：真空ポンプ、８：吸
気管、９：被洗浄物、１０：蓋、１１：超音波振動子、
１２：貯溜槽、１３：電磁弁、１４：給液管、１５：接
続管、１６：蒸留器、１７二電磁弁、１８：送液ポンプ
、１９：排液管、２０：蒸発器、２１：凝縮器、２２：
蒸発器ケーシング、２３：ヒータ、２４：凝縮器ケーシ
ング、２５：冷却器、２６：凝縮液受部、２７・電磁弁
、２８二真空ポンプ、２９：蒸気排出管、３０：吸気管
、３１：電磁弁。 特許出願人　株式会社千代田製作所 代　　理　　人　小　山　成造（ほか１名）第　１　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）密閉自在な洗浄槽内部に液状の有機溶剤を注入す
   る事により、この洗浄槽内部に収納された被洗浄物の洗
   浄を行なった後、洗浄槽内に残留する有機溶剤の蒸気を
   回収する方法であって、洗浄槽内に残留する有機溶剤の
   蒸気を真空ポンプにより排出して、液状の有機溶剤を加
   熱するヒータを内蔵した加熱器と有機溶剤の蒸気を冷却
   し凝縮させる凝縮器とを組み合わせた蒸留器に送り込み
   、この蒸留器内で、加熱器で発生した有機溶剤の蒸気と
   共に凝縮させて回収する、有機溶剤を用いる洗浄装置に
   於ける有機溶剤蒸気の回収方法。