JPH01274936A - 超高真空用精密テーブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、超高真空環境において、電子ビームやフォー
カストイオンビームにより加工、検査を行なう半導体製
造装置等の薄膜加工装置、検査装置等に用いる超高真空
用精密テーブルに関するものである。

従来の技術 電子ビームやフォーカストイオンビームにより半導体の
薄膜加工、若しくは検査を行なう場合、加工表面の不純
物ガス、成分との反応による有害物生成を防止し、若し
くは検査表面層界面の状態を分析するための分解能を向
上するためには、これら薄膜加−工、検査装置に用いる
精密テーブル自身からの放出ガスの発生が少ない超高真
空環境で使用できるものが必要とされつつある。従来、
この種の超高真空用精密テーブルとしては、第１２図な
いし第１６図に示す構成が知られている。以下、この従
来の超高真空用精密チー・プルについて図面を参照しな
がら説明する。

第１２図ないし第１４図に示すようにベース２０１上に
＠１のテーブル（Ｙ輔デープル）２０２と第２のテーブ
ル（Ｘ輛テーブル）２０３がリニアガイド２０４と２０
５　ｋｍより直交方向に移動可能に支持されている。各
リニアガイド２０４．２０５はベース２０１側にポルト
２０６により固定されたリニアガイド台２０７と、第１
のテーブル２０２．若しくは第２のテ・−プル２０３側
にポルト２０８により固定された移動部２０９と、これ
らリニアガイド台２０７と移動部２０９との間に循環し
得るように介在された多数のポール２１Ｏ（第１５図、
第１６図参照）とより構成され、グリースニップルシミ
１′幀１よりポ・−ル２１０の潤滑のためにシリコング
リースを注入するようになっている。第１と第２のテー
ブル２０２と２０３はそれぞれステッピングモータ２Ｊ
、１と送りねじ２１２およびナーｙ）２１３等からなる
動力伝達手段により移動される。すなわち、各送りねじ
２１２はその先端部がベース２０１上に固定された支持
部材２１４にベアリング２１５により回転可能に支持さ
れ、基部がベース２０１上に固定された支持部材２１６
にベアリング２１７により回転可能に支持されている。

送りねじ２１２の基部に形成されたねじ部に止めナラｌ
−２１８が螺合され、ねじ部に嵌合されたワッシャ２１
９がベアリング２１７の内輪に当接され、ベアリング２
１７の外輪はワッシャ２１９の反対側において支持部材
２１６内の段部により位置規制されている。各送りねじ
２１２の基端にはベローカップリグ２２０により真空槽
（図示省略）外に設置されたステッピングモータ２１１
の出力軸２２１に連結されている。一方、第１のテーブ
ル２０２にはブラケッｌ−２２２が突設され、このブラ
ケット２２２の先端部内側にナツト２１３がポルト２２
３により固定され、このナツト２１３が送りねじ２１２
の中間部に螺合されている。同様に第２のテーブル２０
３に突設されたブラケー２）２２４の先端部内側にナツ
ト２１３が取り付けられ、このナツト２１３が送りねじ
２１２の中間部に螺合されている。作業台２２５は下面
の四隅に柱状の摺動台２２６が突設され、これらの摺動
台２２６により第１と第２のテーブル２０２と２０３と
がそれぞれ挟まれ、各摺動台２２６はベース２０１上に
摺動可能に載せられている。

次に上記従来の動作について説明する。

ステッピングモータ２１１の駆動により送りねじ２１２
を回転させることにより、これに螺合しているす一／）
２１３、ブラケット２２２および第１のテーブル２０２
等をリニアガイド２０４に沿ってＹ軸方向に移動させる
ことができ、これに伴い摺動ｈ２２６を押してこの摺動
台２２６および作業台２２５をＹ軸方向に移動させるこ
とができる。一方、図示していないステッピングモータ
の駆動により送りねじ２１２を回転させることにより、
これに螺合しているナー２）２１３、ブラケット２２４
および第２のテーブル２０３等をリニアガイド２０５に
沿ってＸ軸方向に移動させることができ、これに伴い摺
動台２２６を押してこの摺動台２２６および作業台２２
５をＸ軸方向に移動させることができる。

発明が解決しようとする課題 真空槽内を真空にするためには、真空槽を加熱して脱ガ
スすることが必要である。このとき、各部材に熱歪を生
じるが、上記従来例のようにリニアガイド２０４と２０
５のリニアガイド台２０７紮ベース２０１にポルト２０
６により固定し、移動部２０９を第１、若しくは第２の
チルプル２０２．２０３にポルト２０８により固定し、
各支持部材２１４．２１６をベース２０１に固定してい
ると、送りねじ２１２を回転させることができない、こ
のため、１Ｇ−７Ｔ　。

ｒｒレベルの雰囲気でしか使用することができず、超高
真空環境で使用することができなかった。このような熱
歪による影響を避けるには。

あらかじめ機械的接触部分に大きなりリアランスを設け
ればよいが、これでは精度が大変悪い、また、上記従来
例では、その全部品がステンレス製であり、リニアガイ
ド２０４．２０５は油抜き処理、シリコングリースの使
用を必要とし、ポルト２０６．２０８、ナー、ト２１８
、ワッシャ２０９等の表面処理を施していない。

しかも、ベース２０１上には摺動台２２６を円滑に摺動
させるため、　ＭＯＳ２等を塗布している。

このため、これらの油分等が真空槽内の真空度、真空の
質を悪くし、好ましい真空環境とは言えない、また、こ
の真空環境の悪化を少なくするため、ステッピングモー
タ２１１を真空槽外に設置し、その出力軸２２１と送り
ねじ２１２とをベローカップリング２２０により連結し
ているため、ステッピングモータ２１１の駆動の際、ベ
ローカップリング２２０の変動負荷〒送りねじ２１２の
回転角が変動し、送り精度を一層悪くしていた。

本発明は、上記のような従来技術の課題を解決するもの
であり、各部に熱歪が生じても、この熱歪を自由に吸収
することができ、したがって、超高真空環境において、
大気中と同様に円滑に、しかも、高精度に動作させるこ
とができるようにした超高真空用精密テーブルを提供す
ることを目的とするものである。

課題を解決するための手段　　　　　′本発明は、上記
目的を達成するために、ベースと、このベース上に設け
られる第１のガイドと、この第１のガイドを基準に対し
ばねにより付勢して上記ベースに熱歪を吸収し得るよう
に保持する保持手段と、上記第１のガイドに沿って移動
させる第１のテーブルと、この第１のテーブルを基準に
対しばねにより付勢して上記第１のガイドに熱歪を吸収
し得るように移動可能に支持する移動装置と、上記第１
のテーブル上に上記第１のガイドと直交方向に設けられ
る第２のガイドと、この第２のガイドを基準に対しばね
により付勢して上記第１のテーブルに熱歪を吸収し得る
ように保持する保持手段と、上記第２のガイドに沿って
移動させる第２のテーブルと、この第２のテーブルを上
記第２のガイドに熱歪を吸収し得るようにばねを用いて
移動可能に支持する移動装置と、上記第１と第２のテー
ブルをそれぞれ移動させる第１と第２の駆動装置と、こ
れら第１と第２の駆動装置と第１と第２のテーブルにば
ねを用いて熱歪を吸収し得るように連係された第１と第
２の動力伝達手段とを備えたものである。

作用 本発明は、上記の構成により次のような作用を有する。

すなわち、第１の駆動装置により第１の動力伝達手段を
介し、第１のテーブルおよび第２のテーブルをベース上
のガイドによる第１のテーブルの移動装置の案内により
、ある方向に移動させ、第２の駆動装置により第２の動
力伝達手段を介し、第２のテーブルを第１のテーブル上
の第２のガイドによる第２のテーブルの移動装置の案内
により上記と直交方向に移動させることができる。そし
て、第１のガイドをベースに熱歪を吸収し得るようにば
ねを用いて保持し、第１のテーブルを第１のガイドに熱
歪を吸収し得るようにばねを用いて移動可能に支持し、
第２のガイドを第１のテーブルに熱歪を吸収し得るよう
にばねを用いて保持し、第２のテーブルを第２のガイド
に熱歪を吸収し得るようにばねを用いて移動可能に支持
し、第１と第２の駆動装置と第１と第２のテーブルをそ
れぞればねを用いた動力伝達手段により熱歪を吸収し得
るように連係しているので、真空槽を加熱して脱ガスす
る際に上記各部材が熱歪（熱膨張）を生じてもこれを吸
収することができ、したがって、１０”　Ｔ　ｏ　ｒ　
ｒ台の超高真空環境で動作させることができ、また、冷
却後、各部材を加熱前の状態に自動的に復帰させること
ができる。

実施例 以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明
する。

第１図ないし第１１図は本発明の一実施例における超高
真空用精密テーブルを示し、第１図は全体斜視図、第２
図は回転作業台部分を除去した平面図、第３図は一部を
破断した第１図の■矢視図、第４図は第１図のＩＶ＝Ｉ
Ｖ矢視断面図、第５図は第４図のＶ−Ｖ矢視断面図、第
６図は回転作業台部分の断面図、第７図はポールねじの
ねじ軸の端部支持部の断面図、第８図はポールねじのね
じ軸と螺合するナツト部の取り付は状態の断面図、第９
図はステッピングモータ部の断面図、第１０図はステッ
ピングモータ部ステータ用ケーブルの断面図、第１１図
は原点検出用スイッチの断面図である。

第１図ないし第５図、特に第４図および第５図から明ら
かなようにベース１上の中央部に第１のガイド２が保持
されている。＃′なわち、第１のガイド２の複数箇所（
図示例では４箇所）に形成された穴３と一対の円建台座
Ａ、５の穴６．７に保持ビン８が遊合状態に挿通され、
先端のねじ部８ａがベース１に形成された穴９に挿入さ
れている。ねじ部８ａには複数枚の皿ばね１０が嵌装さ
れ、その外側よりねじ部８ａに止めナツト１１が螺着さ
れ、第１のガイド２がベースｌに固定状態に保持されて
いる。この止めナツト１１は軸と直角方向に割溝１１ａ
が形成され、止めねじｔｉｂが割溝１１ａの外周部を拡
開するように螺入されることによりねじ部８ａに固定さ
れる。第１のガイド２の一方の長辺側の外側部において
、ベース】上の複数箇所に基準ブロック１２がボルト１
３により固定され、この基準ブロック１２の７字状の凹
入部１４と第１のガイド２の長辺（１１端面との間に基
準ビン１５が水平方向に介在されている。第１のガイド
２の他方の仮６辺偏の外側部において、ベース１上に支
持ブロック１６が固定され、この支持ブロック１６には
長辺側に沿って所定間隔毎に抑圧ビン１７が水平方向に
摺動可能に支持されている。各抑圧ビン１７の後方突出
部には圧縮ばね１８が嵌装され、各抑圧ビン１８の後方
突出端のねじ部にナツト１９が螺合され、圧縮ばね１８
の弾性により抑圧ビン１７が第１のガイド２に付勢され
、第１のガイド２が基準ビン１５に付勢されている。第
１のガイド２の一方の短辺側の外側部において、べ・−
ス１上の複数箇所に基準ブロック２０がボルト２１によ
り固定され、この基準ブロック２０の７字状の凹入部２
２と第１のガイド２の短辺側端面との間に基準ビン２３
が水平方向に介在されている。第１のガイド２の他方の
短辺側の外側面には複数箇所に受部材２４が固定され、
第１のガイド２の短辺側端面に対向するようにベースｌ
上に支持ブロック２５がボルト２６により固定され、こ
の支持ブロック２５には各受部材２４と対応するように
押圧ビン２７が水平方向に摺動可能に支持されている。

名抑圧ビン２７の後方において支持ブロック２５に調整
ねじ２８が上ット２９により取り付けられ、各押圧ビン
２７ど調整ねじ２８との間に介在された圧縮ばね３０の
弾性により押圧ビン２７が受部材２４側に付勢されてい
る。受部材２４の円錐状の凹入部３ｉと押圧ビン２７と
の間にはポール３２が介在され、圧縮ばね３０の弾性に
より第１のガイド２が基準ビン２３に付勢されている。

この状態で、常温では保持ビン８が第１のガイド２の穴
３の中央に位行するように設定されている。したがって
、加熱によりベース１、第１のガイド２等に熱歪（熱Ｗ
張）が生じても、これを基準ビン１５．２３を基準とし
て、皿ばね１０、圧縮ばね１８．３０により吸収するこ
とができ、冷却により皿ばね１０、圧縮ばね１８．３０
の反撥弾性により加熱前の原位置に自動的に復帰する。

上記第１のガイド２にはこの第１のガイド２に沿ってＹ
軸方向に移動する第１のテーブル（Ｙ軸テーブル）３３
が熱歪を吸収し得るように移動可使に支持されている。

すなわち、第１のガイド２の両側長辺側の外側において
、サイトガイド３４．３５の複数箇所（図示例では３箇
所）に形成された穴３６に保持ビン３７が遊合状態に挿
通され、保持ビン３７のねじ部３７ａが第１のテーブル
３３に形成された穴３８に挿入され、保持ビン３７のね
じ部３７ａには複数枚の皿ばね３９が嵌装され、その外
側よりねじ部３７ａに上記と同様の止めナラ）４０が螺
着され、サイドガイド３４．３５が第１のテーブル３３
の下面に固定状態に保持されている。

サイドガイド３４．３５と第１のガイド２の対向面には
長手方向に沿って７字状面を有する凹入部４１と４２が
形成され、これら凹入部４１と４２に多数のポール４３
が介在され、これらのポール４３は保持器４４により保
持されている。上記基準ブロック１２側のサイドガイド
３４の外側に位置して第１のテーブル３３の下面の複数
箇所に基準ブロック４５がボルト４６により固定されて
いる。基準ブロック４５の内側の７字状の凹入部４７と
サイドガイド３４の側面との間に基準ビン４８が水平方
向に介在されている。他方のサイドガイド３５の外側面
には長手方向に沿って受部材４９が複数箇所に固定され
ている。第１のテーブル３３におけるサイドガイド３５
例の外端面には支持ブロック５０がボルト５１により固
定されている。支持ブロック５０には受部材４９と対応
するように押圧ビン５２が水平方向に摺動可能に支持さ
れている。各押圧ビン５２の後方において支持ブロック
５０に調整ねじ５３がナツト５４により取り付けられ、
各押圧ビン５２と調整ねじ５３との間に圧縮ばね５５が
介在され、この圧縮ばね５５の弾性により押圧ビン５２
が受部材４９偏に付勢されている。各受部材４９の円錐
状の凹入部５６と押圧ビン５２との間にはポール５７が
介在され、圧縮ばね５５の弾性によりサイドガイド３５
がポール４３を介して第１のガイド２へ、第１のガイド
２がポール４３を介してサイドガイド３４へ、サイドガ
イド３４が基準ビン４８に順次付勢されている。各サイ
ドガイド３４．３５の一方の短辺側の外側部において、
第１のテーブル３３の下面に上記基準ブロック２０と一
直線状に基準ブロック５８がボルト５９により固定され
、この基準ブロック５８の７字状の凹入部６０とサイド
ガイド３４の短辺側端面との間に基準ビン６１が水平方
向に介在されている。各サイドガイド３４．３５の他方
の短辺側の外側面には受部材６２が固定され、各受部材
６２に対向するように第１のテーブル３３の端面に支持
ブロック６３がボルト６４に固定され、この支持ブロッ
ク６３には受部材６２と対応するように押圧ピン６５が
水平方向に摺動可能に支持されている。各押圧ピン６５
の後方において支持ブロック６３に調整ねじ６６がナツ
ト６７により取り付けられ、各押圧ピン６５と調整ねじ
６６との間に介在された圧縮ばね６８の弾性により押圧
ピン６５が受部材６２側に付勢されている。受部材６２
の円錐状の凹入部６９と押圧ピン６５との間にはポール
７０が介在され、圧縮ばね６８の弾性によりサイドガイ
ド３４．３５が基準ビン６１に付勢されている。この状
態で、常温では保持ビン３６がサイドガイド３４．３−
５の六３６の中央に位置するように設定されている。し
たがって、加熱により第１のガイド２、第１のテーブル
３３等に熱歪が生じても、これを基準ビン４８．６１を
基準として１皿ばね３９、圧縮ばね５５．６８により吸
収することができ、冷却により皿ばね３９、圧縮５５．
６８の反撥弾性により加熱前の原位置に自動的に復帰す
る。そして、サイドガイド３４．３５、第１のテーブル
３３等をポール４３を介して第１のガイド２に対しＹ軸
方向に移動させることができる。

第１のテーブル３３−ヒに一対の円柱状の第２のガイド
７１が第１のガイド２と直交方向に保持されている０、
すなわち、第１のテーブル３３上に支持台７２が固定さ
れ、支持台７２の両側部上に各一対の支持ブロック７３
．７４が固定されている。第２のガイド７１の各一端は
支持ブロック７３に基準となる円弧状の面を有する座７
５を介してボルト７６により連結され、第２のガイド７
１の各他端は支持プ１ｆｆツク７４に皿ばね７７、座７
８を介してボｌｌｚ　）　７９により連結されている。

したがって、加熱により第２のガイ１７１等に熱歪が生
じても、これを皿ばね７７により吸収することができ、
冷却により皿ばね７７の反撥弾性により加熱前の原位置
ｖ二自動的に復帰する。

上記第２のガイド７１にはこの第２のガイド７１に沿っ
てＸ軸方向に移動する円板状の第２のテーブル（Ｘ軸テ
ーブル）８０が熱歪を吸収し得るように移動可能に支持
されでいる。すなわち、第２のテーブル８０には中心よ
り放射状位置において、雌ねじ８１が形成され、各雌ね
じ８１に調整用ナツト８２が螺入され、各調整用ナツト
８２の内側でポルト８３により支持台８４が水平位置調
整可能に取り伺けられている。支持台８４の切欠き穴８
５内において、第２のテーブル８０の下面に支持ブロッ
ク８６が位置決めビン８７とポルト８８により固定され
ている。支持台８４の切欠き六８９内において、ｍ２の
テーブル８０の下面に支持ブロック９０がポルト９１に
より固定されている。支持ブロック８６には一方の第２
のガイド７１の方向に沿って２箇所に切欠き９２が形成
され、各切欠き９２内に鼓状のローラ９３が配置され、
その両側の軸が支持台８４にベアリング９４を介して回
転可能に支持され、外側のベアリング９４は支持台８４
に螺入されたチー２ト９５により抜は止めされている。

支持ブロック８６には他方の第２のガイド７１の中間部
上に位置して切欠き９６が形成され、切欠き９６内に円
柱状のローラ９７が配置され、その両側の軸が支持台８
４にベアリング９８を介して回転可能に支持され、外側
のベアリング９８は支持台８４に螺入されたナツト９９
により抜は止めされている。支持ブロック８６の下端部
には支持部材１００の二股状部１００ａが嵌合されビン
１０１により上下方向に揺動可能に支持され、支持部材
１００には揺動部材１０２の中間部の支持部１０３がベ
アリング１０４を介して回転可能に支持されている。、
揺動部材１０２の各先端部にはベアリング１０５がナツ
ト１０６により取り付けられている。支持部１０３には
ばね掛けｌＯ７がナツト１０８により取り付けられ、−
方、支持ブロック９０内にばばね掛け１０９が取り付け
られ、これらばね掛け１０７と１０９に引張ばね１１０
が張設されている。そして。

一方の第２のガイド７１の上下が鼓状のローラ９３とベ
アリング１０５により挟まれ、他方の第２のガイド７１
の上下が円柱状のローラ９７とベアリング１０５により
挟まれ、これらローラ９３．９７とベアリング１０５の
転勤により第２のテーブル８０等がＸ軸方向に移動され
る。したがって、加熱により第２のガイド７１、第２の
テーブル８０、支持ブロック８６等に熱歪が生じても、
鼓状のローラ９３が引張ばね１１０の弾性に抗して上方
へ逃げると共に、円柱状のローラ９７が第２のガイド７
１に対し軸心方向にずれて熱歪を吸収することができ、
冷却により引張ばね１１０の反撥弾性等により加熱前の
原位置に自動的に復帰する。

第２のテーブル８０上には回転作業台１１１が設けられ
ている。すなわち、第６図に示すように第２のテーブル
８０上、にハウジング１１２がポル）ｌ　１３により固
定され、回転作業台１１１の下面中央部に固定された回
転軸１１４がベアリング１１５と１１６により回転可能
に支持されている０回転軸１１４の中間部外周には中空
軸１１７が嵌合され、中空軸１１７の外周にはケイ素鋼
板１１８と磁石１１９からなるローターが溶接により固
定されている０回転軸１１４にはローターの下方におい
て止めナツト１２０が固定され、回転軸１１４の上方の
段部１２１により後退規制された楔１２２の先端部が中
空軸１１７の一端部と回転軸１１４との間に圧入され、
止めナーｙ）１２０により後退規制された楔１２３の先
端部が中空軸１１７の他端部と回転軸１１４との間に圧
入され、両者が固定されている。ハウジングＬ１２の内
側にはローグーの外周においてステーター１２４が固定
されている。したがって、ローターの回転によりこれと
一体の回転軸１１４および回転作業台１１１が回転され
る。

上記第１と第２のテーブル３３と８０はそれぞれステッ
ピングモータ１２５．１２６とボールねじにより移動さ
れる。すなわち、ステッピングモータ１２５は第９図に
示すようにベースｌにハウジング１２７がホット１２８
により固定されている。ハウジング１２７にはボールね
じのねじ軸１２９の端部がベアリング１３０．１３１に
より回転可能に支持されている。ねじ軸１２９の外周に
は中空軸１３２が嵌合され、中空軸１３２の外周にはケ
イ素鋼板１３３と磁石１３４からなるローターが溶接に
より固定されている。ねじ軸１２９にはローターの外方
において止めナツト１３５が固定され、ねじ軸１２９の
内方の段部１３６により後退規制された模１３７の先端
部が中空軸１３２の一端部とねじ軸１２９との間に圧入
され、止めナラ）１３５により後退規制された僕１３ｇ
の先端部が中空軸１３２の他端部とねじ軸１２９との間
に圧入され１両者が固定されている。ハウジング１３８
の内側にはローターの外周においてステーター１３９が
固定されている。ハウジング１２７にはねじ軸１２９の
外方において、プッシャー１４０が摺動可能に支持され
、プッシャー１４０の外方に止めねじ１４１が螺入され
、止めねじ１４１とブツシャ−１４０の間に圧縮ばね１
４２が介在され、圧縮ばね１４２の弾性によりプッシャ
ー１４０がねじ軸１２９側に付勢されている。ねじ軸１
２９の端面とブツシャ−１４０の端面の円錐状部に跨っ
てボール１４３が介在されている。したがって、ステー
タ１３９とローターのギャップが確保され、ローターの
回転によりこれと一体のねじ軸１２９が回転される。ね
じ軸１２９の他端部は第７図から明らかなようにベース
１にポルト１４４により固定された支持ブロック１４５
の内側にベアリング１２９を介して回転可能に支持され
ている。一方、第１のテーブル３３にはブラケット１４
７が取り付けられ、ブラケッ）１４７の穴１４８にはボ
ールねじのナツト１４９と１５０が遊合状態で挿通され
、ナツト１５０にはブラケット１４７とナラ）　１５０
の鍔状部１５１との間で円板１５２が遊嵌されている。

ナラ）１５０の鍔状部１５１と円板１５２とブラケッ）
１４７にはボルト１５３が遊合状態で挿通され、ナツト
１４９の外周に取り付けられたナラ）１５４に螺入され
、ブラケット１４７と円板１５２の間にボール１５５が
介在され、円板１５２と鍔状部１５１との間にボール１
５６が介在され、ナラ）１４９の外周において。

ナツト１５４とブラヶッ）１４７の間に圧縮ばね１５７
が介在されている。上記ねじ軸１２９がナツト１４９．
１５０にボール（Ｔ５！Ｊ示省略）を介して噛合わされ
ている。したがって、ステッピングモータ１２５の駆動
によりねじ軸１２９を回転させることにより、ナツト１
４９．１５０を介して第１のテーブル３３、第２のテー
ブル８０および回転作業台１１１等を第１のガイド２に
沿ってＹ軸方向に移動させることができる。そして、ナ
ツト１４９，１５０を圧縮ばね１５４、ボール１５５，
１５６等を介してブラケット１４７に支持させることに
より。

加熱による各部材の熱歪を吸収することができ、また、
ねじ軸１２９の曲がりが第１のテーブル３３へ影響を及
ぼすのを防止することができる。一方、ステッピングモ
ータ１２６も上記ステッピングモータ１２５と同様に構
成されて支持台７２上に取り付けられ、このステッピン
グモータ１２６の駆動により回転されるねじ軸１２９も
同様に支持台７２上に取り付けられた支持ブロック１４
５にベアリング（図示省略）を介して回転可能に支持さ
れ、このねじ軸１２９が支持台８４より突出するブラヶ
ッ）１４７に同様に支持されたナラ）１４９と１５０に
ボール（図示省略）を介して噛合わされている。したが
って、ステッピングモータ１２６の駆動によりねじ軸１
２９を回転させることにより、ナツト１４９．１５０を
介して支持台８４、第２のテーブル８０および回転作業
台１１１等を第２のガイド２に沿１てＸ軸方向に移動さ
せることができる。

特に第１図、第２図および第１１図から明らかなように
第１のテーブル３３の原点検出用スイッチ１５８がベー
・ス１と、第１のテーブル３３に固定された支持ブロッ
ク５０に設りすられている。ベース１にブラケット１５
９がポルト１６０により固定され、ブラケット１５９の
穴１６１にスリーブ１６２が遊合状態に挿通されている
。スリーブ１６２の内側にセラミックスからなる絶縁体
１６３を介して端子１６４が固定されている。スリーブ
１６２の基部突出部には止めリング１６５が止めねじ１
６６により固定され、スリーブ１６２の先端側の鍔状部
１６７とブラケット１５９との間には圧縮ばね１６８が
介在されている。端子１６４の先端にはベツド１６９が
止めねじ１７０により固定され、端子１６４の基端には
圧着端子１７１を介してケー・プル】７２に接続されて
いる。〜方、支持ブロック５０にブラケット１７３が固
定され。

ブラケー、ト１７３の穴１７４にスリーブ１７５が固定
され、スリーブ１７５の内側に絶縁体１７６を介して端
子１７７が固定されている。端子１７７の先端はスリー
ブ１７５の先方へ突出され、端子１７７の基端には圧着
端子１７８を介してケーブル１７９が接続されている。

したがって、上記のように第１のテーブル３３、支持ブ
ロック５０等がＸ軸方向に移動する際、支持ブロー２り
５０側の端子１７７をベース１側の端子１６４のヘッド
１６９に接触させておくことにより、原点位置を検出す
ることができ、このとき、端子１７７をヘッド１６９に
強く押し当てても圧縮ばねｌＢ９によりその衝撃を吸収
することができるや第１のテーブル３３のＸ軸方向へ移
動を規制するための一対の近接スイッチｉ８０がそれぞ
れベースｌにポル）１８１により固定されたプラク′ッ
ト１８２に支持され、一方、第４図から明らかなように
上記近接スイッチ１８０を動作させる磁石１８３が支持
ブロック５０にポルト１８４により固定されている。し
たがって、上記のように第１のテーブル３３、支持ブロ
ック５０等がＸ軸方向に移動する際、磁石１８３がいず
れかの近接スイッチ１８０を動作させて限界移動位置を
検出することができる。第１図に示すように第２のテー
ブル８０の原点検出用のスイッチ１８５が支持台７２と
支持台８４に上記と同様にブラケット１５９と１７３に
より取り付けられ、また、第１図、第２図に示すように
第２のテーブル８０のＸ軸方向への移動を規制するため
の一対の近接スイッチ１８６がそれぞれ支持台７２に上
記と同様にブラケット１８２により支持され、これらの
近接スイッチ３．８６を動作させる磁石１８７゛が支持
台８４に取り付けられている。したがって、」；記と同
様に原点検出用のスイッチ１８５により第２のテーブル
８０の原点位置を検出し、近接スイッチ１８６により第
２のテーブル８０の限界移動位置を検出することができ
る。第６図に示すように回転作業台１１１の回転位置検
出用の近接スイッチ１８８はハウジング１１２にポル）
１８９により取り付けられたブラケッ）１９０に支持さ
れでいる。一方、回転作業台ｌ１１にブラケット１９１
がポルト１９２により固定され、このブラケット１９１
に近接スイッチ１８８を動作させる磁石１９３がポルト
１９４により固定されている。したがって、磁石１９３
による近接スイッチ１８８の動作により回転作業台１１
１の回転位置を検出することができる。

上記各部材において、部品固定用のポルト、ナツト、ワ
ッシャ、ばね、受部材、ポール、基準ビン、ベアリング
等の強度部材には酸洗、加熱脱ガス処理を行ない、また
は、表面にＡｇでコートしたステンレス材を用い、その
他の主要部材はアルミニウム合金を計＋０２中で加工し
、表面に緻密で硬い酸化膜を形成し、不純物を少なくし
た材料を用いている。したがって、加熱の際に各部材か
らの放出ガスの発生を極めて少なくすることができる。

また、上記第１のテープル３３と第２のテーブル８０を
移動させる各ステッピングモータ１２５．１２６のステ
ータ１３９および回転作業台１１１を回転させるモータ
のステータ１２４に用いるケーブルは第１Ｏ図に示すよ
うに芯線１９５の外周に絶縁被覆１９６が施され、絶縁
被覆１９６の外周がステンレスからなるチューブ１９７
により被覆されている。したがって、加熱の際に放出ガ
スの発生を極めて少なくすることができ、これにより各
ステッピングモータ１２５，１２６を真空槽（図示省略
）内に設置することができる。

次に上記実施例の動作について説明する。

ステッピングモータ１２５の駆動により上記のように第
１のテーブル３３、第２のテーブル８０、回転作業台１
１１等を第１のガイド２に沿ってＹ軸方向に移動させ、
ステッピングモータ１２Ｂの駆動により上記のように第
２のテーブル８０、回転作業台１１１等を第２のガイド
７１に沿ってＸ軸方向に移動させる。また、回転作業台
１１１を上記のようにハウジング１１２に内臓したモー
タの駆動により回転させることにより回転作業台１１１
上で素子に対する薄膜加工、検査等を用いることができ
る。そして、真空槽を加熱し、真空槽内を脱ガスし、超
高真空環境にする際、上記のように第１のガイド２等の
熱歪を基準ピン１４．２３を基準として皿ばね１０、圧
縮ばね３０により吸収し、第１のテーブル３３等の熱歪
を基準ピン４８．６１を基準として皿ばね３９、圧縮ば
ね６８により吸収し、第２のガイド７１等の熱歪を支持
ブロック７３と座７５を基準として皿ばね７７により吸
収し、第２のテーブル８０等の熱歪を鼓状のローラ９３
の案内側の第２のガイド７１を基準として引張ばねｌｌ
Ｏにより吸収することができる。また、各部材を上記の
ように各ばねにより常に押し付けているので、各部材間
の熱伝達を効果的に行なうことができ、温度勾配を小さ
くすることができる。したがって、１Ｏ−１１Ｔｏｒｒ
台の超高真空環境において第１のテーブル３３、第２の
テーブル８０、回転作業台１１１を大気中と同様に円滑
に、しかも、高精度に動作させることができる。また、
各部材を上記のように加熱の際の放出ガスの極めて少な
い材料により形成しているので、真空槽内の好ましい環
境に保つことができる。また、上記のように第１と第２
のテーブル３３と８０を移動させるステッピングモータ
１２５．１２６を真空槽内に設置することができるよう
にしているので、従来のような動力伝達機構の変動をな
くし、送り精度を更に一層向上さ°せることができる。

試験の結果、１３”　Ｔ　ｏ　ｒ　ｒの超高真空環境に
おいて、大気中での動作と同じように動作させることが
でき、各テーブル３３．８０のピッチング、ヨーイング
はいずれもサブミクロン台であった。

発明の効果 以上述べたように本発明によれば、第１の駆動装置によ
り第１の動力伝達手段を介し、第１のテーブルおよび第
２のテーブルをベース上のガイドによる第１のテーブル
の移動装置の案内により一方向に移動させ、第２の駆動
装置により第２の動力伝達手段を介し、第２のテーブル
を第１のテーブル上の第２のガイドによる第２のテーブ
ルの移動装置の案内により上記と直交方向に移動させる
ようにし、第１のガイドをベースに熱歪を吸収し得るよ
うにばねを用いて保持し、第１にテーブルを第１のガイ
ドに熱歪を吸収し得るようにばねを用いて移動可能に支
持し、第２のガイドを第１のテーブルに熱歪を吸収し得
るようにばねを用いて保持し、第２のテーブルを第２の
ガイドに熱歪を吸収し得るようにばねを用いて移動可能
に支持し、第１と第２の駆動装置と第１と第２のテーブ
ルをそれぞればねを用いて熱歪を吸収し得るように連係
しているので、真空槽を加熱して脱ガスする際に上記各
部材が熱歪（熱膨張）を生じてもこれを吸収することが
でき、したがって、１０”　Ｔ　。

ｒｒ台の超高真空環境で円滑に、しかも、高精度に動作
させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第１１図は本発明の一実施例における超高
真空用精密テーブルを示し、第１図は全体斜視図、第２
図は回転作業台部分を除去した平面図、第３図は一部を
破断１７た第１図の■矢視図、第４図は第１図の■−＝
ＩＶ矢視断面図、第５図は第４図のＶ−■矢視断面図、
第６図は回転作業台部分の断面図、第７図はポールねじ
のねじ軸の端部支持部の断面図、第８図はポールねじの
ねじ軸と螺合するナツト部の取巻１付は状態の断面図、
第９図１ｉステワビングモータ部の断面図、第１θ図は
ステー２ピングモータのステータ用ケー・プルの断面図
、第１１図は原点検山川スイッチの断面図、第１２図な
いし第１６図は従来の真空用精密テーブルを示し、第１
２図は全体斜視図、第１３図は第１２図の虐−虐矢視断
面図、第１４図は第１２図の’４７−凄矢視断面図、第
１５図はリニアガイドの横断面図、第１６図はリニアガ
イドの一部破断側面図である。 １・・・ベース、２・・・第１のガイド、８・・・保持
ビン、１０・・・皿ばね、１２・・・基準ブロック、１
５・・・基準ビン、１６・・・支持ブロック、ｊ８・・
・圧縮ばね、２０・・・基準ブロック、ｚ３・・・基準
ビン、２５・・・支持ブロック、３０・・・圧縮ばね、
３３・・・第１のテーブル、３４９．３５・・・サイド
ガイド、３７・・・保持ピン２４５・・・基準ブロック
、４８・・・基準ビン、５０・・・支持ブロック、５５
・・・圧縮ばね、５８・・・基準ノロツク、６見・・・
基準ビン、６８・・・圧縮ばね、７２・・−支持台、７
３．７４支持ブロツク、７７・・・皿ばね、８０・・・
第２のテーブル、８６・・・支持ブロック、９３・・・
ローラ、９７・・・ローラ、１０５・・・ベアリング、
１１０・・・引張ばね、１１１・・・回転作業台、１２
５．１２６・・・ステッピングモータ、１２９・・・ポ
ールねじのねじ軸、１４９．１５０・・・ポールねじの
ナツト、１５８・・・原点検出用スイッチ、１８０・・
・近接スイッチ、１８５・・・原点検出用スイッチ、１
８６・・・近接スイッチ、１８８・・・近接スイッチ。 代理人の氏名　弁理士　中尾敏男　ほか１名第７図　　
　　　　１２９−ねし゛軸 ω　　　　　　　　　　　　　　　■ 塚　　　　　　　　　　　　塚 へ た 、２７１−

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　ベースと、このベース上に設けられる第１のガイドと
   、この第１のガイドを基準に対しばねにより付勢して上
   記ベースに熱歪を吸収し得るように保持する保持手段と
   、上記第１のガイドに沿って移動させる第１のテーブル
   と、この第１のテーブルを基準に対しばねにより付勢し
   て上記第１のガイドに熱歪を吸収し得るように移動可能
   に支持する移動装置と、上記第１のテーブル上に上記第
   １のガイドと直交方向に設けられる第２のガイドと、こ
   の第２のガイドを基準に対しばねにより付勢して上記第
   １のテーブルに熱歪を吸収し得るように保持する保持手
   段と、上記第２のガイドに沿って移動させる第２のテー
   ブルと、この第２のテーブルを上記第２のガイドに熱歪
   を吸収し得るようにばねを用いて移動可能に支持する移
   動装置と、上記第１と第２のテーブルをそれぞれ移動さ
   せる第１と第２の駆動装置と、これら第１と第２の駆動
   装置と第１と第２のテーブルにばねを用いて熱歪を吸収
   し得るように連係された第１と第２の動力伝達手段とを
   備えたことを特徴とする超高真空用精密テーブル。