JPH01275126A - 光ディスク成形用スタンパー洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 この発明は光ディスク成形用スタンパ−洗浄装置に関し
、更に詳しくは光ディスク成形用スタンパ−の脱脂装置
の付帯装置として好適で、且つコンパクト化された光デ
ィスク成形用スタンパ−洗浄装置に関する。

（ロ）従来の技術 スタンパ−１すなわちＬＰディスク、光ディスクなどの
情報記録用ディスクを複製するためのマスター盤は、一
般に次のような工程で製造される。

まずガラス原盤を研磨し、その研磨面に感光性樹脂膜を
塗布し、光学的エツチング処理を施して所望の微細パタ
ーンを刻設する。次いでその微細パターン面に金属薄膜
を設け、更にニッケル電気メツキにより所望の厚さまで
肉盛りした後、元のガラス原盤部分から分離してスタン
パ−とする。

しかしながら、このスタンパ−の表面には、感光性樹脂
膜が残留しており、この膜の除去に、アルカリ・界面活
性剤の混合溶液中で電解脱脂を行う電解脱脂洗浄法、有
機溶媒中で超音波によって洗浄する超音波洗浄法、又は
これらの併用洗浄法か採用されている（特開昭６２−２
１４５３５号公報参照）。

（ハ）、発明が解決しようとする課題 ところで情報記録用ディスクは、従来からのＬＰレコー
ドとは異なり最近では光によって記録情報を取り出す光
ディスクが飛躍的に多方面に使用されるようになってき
た。これらの光ディスクは、情報を記録するための溝幅
が、ＬＰレコードの５０ｍμに対しその１／１００の０
．５ｍμである。

一方上述の各種洗浄法にて洗浄されたディスク成形用ス
タンパ−に残留している微粒子は１〜１０ｍμである。

またその後のスタンパ−の使用（ディスクの成形）によ
って付着する各種塵埃や微粒子もほぼ同様の大きさであ
る。

従って従来のＬＰレコード成形用（又はアナログ用）ス
タンパ−では、情報記録用の溝が上述のごと＜５０ｍμ
程度であるから、製造時の洗浄だけで十分であった。

これに対して光ディスク成形用（又はデジタル用）スタ
ンパ−では、情報記録用の溝が０．５ｍμ程度であるか
ら、１ｍμの微粒子でも、情報記録に致命的な影響があ
る。特に光ディスク成形用スタンパ−は、その情報記録
用の溝が細かく、しかも接近しているので、製造が難し
く、高価であり、１つのスタンパ−で多数の光ディスク
を成形しなければならず、更に長期間の保存を要求され
る。

結局光ディスク成形用スタンパ−は、成形作業中に付着
する塵埃や微粒子、長期間保存による腐食などのために
洗浄を必要とすることになる。

しかしながら、この発明の発明者の知るかぎり、このよ
うな光ディスク成形用スタンパ−に対する桁違いの洗浄
を簡便に行う方法又は装置は知られていない。

一般のスタンパ−の製造工程中で採用されている、上述
の電解脱脂洗浄法又は／及び超音波洗浄法の採用ら考え
られるか、いずれも、洗浄度を従来の１／１００に高め
ること（よ難しい。

またスタンパ−に基づいて光ディスクを成形する作業環
境全体をクリーン化することら考えられるが、これには
、例えば作業室中の０．１ｍμ以上の塵埃を除去する設
備や、使用する水中に分散する同様の大きさの微粒子を
除去する設備が必要となり、これらの設備は大規模にな
らざるを得す実用的ではなかっｔ二。

（ニ）課題を解決するための手段及びその作用この発明
は、一つの枠体内に、流し台及び作業台を組込み、かつ
流し台の上方にはスタンパ−にかけるための純水を供給
する純水供給手段を、作業台の上にはエア濾過器付乾燥
手段を、上記以外の任意の位置にはスタンパ−の洗浄度
を検査するための検査手段をそれぞれ設置し、 更に上記枠体の上部に、枠体外のエアをクリーン化して
枠体内へ供給するためのクリーンエア供給手段を設けた
ことを特徴とするコンパクト化された光ディスク成形用
スタンパ−洗浄装置である。

すなわち、この発明は、 ｉ）枠体自体（装置全体）を、コンパクト化することに
よって通常のクリーンルーム内に配置できるようにし、 １１）枠体の上部に特定のクリーンエア供給手段を設け
て、そのクリーンルームとは１段高いクリーンエア領域
を簡便に形成できるようにし、ｉｉｉ　）そのクリーン
エア作業領域内に純水供給手段、乾燥手段、検査手段を
配置することによって、１段高いクリーンエア下で検査
しながら純水による洗浄と乾燥を行えるようにし、 それらの１）ｉｉ）ｉｉｉ）によって、スタンパ−を簡
便に所定の洗浄度に洗浄できるようにするものである。

この発明に係る光ディスク成形用スタンパ−洗浄装置は
、もちろん単独で使用可能であるが、スタンパ−をアル
カリ溶液中で電解脱脂させる電解脱脂洗浄装置の付帯装
置とすることによって、より高い洗浄度が得られるスタ
ンパ−洗浄装置とすることができる。

以下この発明の各手段の構成を簡単に説明する。

純水供給手段は、水中の０．１ｍμ程度以上の微粒子を
除去して供給できるものであればよく、具体的には脱イ
オン水を半透過膜（限外濾過膜、逆浸透膜など）を介し
てシャワーできる構成が好ましい。

乾燥手段は、純水によって洗浄されたスタンパ−を乾燥
させるための手段であり、具体的には、枠体外又は枠体
内のエアをフィルターを介してクリーン化しく例えば、
０．１ｍμ程度以上の塵埃を除去）、加熱してスタンパ
−に接触可能に通過できる乾燥室が好ましいものとして
挙げられる。

検査手段は、スタンパ−が所定の洗浄度に達したかどう
かを確かめるための手段を意味し、具体的には、光をス
タンパ−に照射できるハロゲンランプ、キセノンランプ
、アルゴンランプなどが好ましく、その反射光を見てゴ
ミか、汚れか、きすの有無を判定する。

クリーンエア供給手段は、枠体の上部に設置され、枠体
外（クリーンルーム）のエアをクリーン化（例えば０．
１ｍμ程度以上の塵埃を除去）して枠体内へ供給するた
めの手段を意味し、具体的には実施例のごとく、ファン
、プレフィルタ及びフィルタを備えたユニットが好まし
いものとして挙げられる。

（ホ）実施例 以下図に示す実施例に基づいてこの発明を詳述する。な
お、これによってこの発明が限定されるものではない。

まず第１図において、光ディスク成形用スタンパ−洗浄
装置ｌは、大きく分けて本装置２と、この本装置とは別
体の付帯装置３とからなる。

本装置２は、第２図において、電解液としてアルカリ脱
脂液４を充填した電解槽５と、ニッケル金属製スタンパ
−８を電解液中に吊下保持できる、スタンパ−８と同一
素材のニッケル金属製洗浄治具（陽極）６と、同じくス
タンパ−８と同一素材のニッケル金属製対向電極（陰極
）７と、電源（図示省略）と、ヒータ８と、撹拌器にと
から主としてなる。

而して付帯装置３は、第１図において、枠体９と、この
枠体内の下部に組み込まれた流し台ＩＯ及び作業台１１
と、枠体９内の上部で、前記流し台１０の上位に設置さ
れた超純水供給用シャワー１２と、同じく枠体９内の上
部で、前記作業台１１の上に設置された乾燥室１３と、
この乾燥室と前記シャワー１２との間に設置されたスタ
ンパ−検査用ハロゲンランプ照射器１４と、枠体９の上
部に設置され、枠体９内にクリーンエアを供給するため
のクリーンエア供給ユニット１５とから主としてなる。

以下付帯装置３の各構成を詳細に説明する。

枠体９は、上部と下部とを分離可能とし、上部が天板１
６と、シャワー１２、乾燥室１３及び照射器Ｉ４を取付
ける後板Ｉ７と、透明合成樹脂製両側板１８．１９とに
よって形成される。下部は上述のとおり並んで一体に組
み込まれた流し台ＩＯと作業台！！そのものである。か
くして枠体９内に前方を開放する空間が形成される。こ
の空間に前記クリーンエア供給ユニット１５からのクリ
ーンエアが供給され、外部［クリーンルーム２０］とは
一段高いクリーンエア領域（クリーンベンチ）が形成さ
れる。

超純水供給用シャワーＩ２は、脱イオン水供給源Ｗと、
供給された脱イオンを加圧下（約１．５気圧）で全量通
過さける限外濾過膜フィルター（酢酸セルロース、ポリ
エーテルスルホン、ポリスルホン、ポリアクリロニトリ
ルなどの合成樹告製中空糸充填体２１と、散水口２２と
からなる。

乾燥室１３は、上に吸入口を下に排出口Ｅを有し、枠体
９内のエアを吸入口からファンＢによってフィルタＦ及
びヒータ（表面素材：テフロン加工したステンレスｔ　
Ｈ）を介して供給し、排出口Ｅから排出させることがで
き、前面の扉りを開放してスタンパ−８を挿入するとク
リーン化され加熱されたエアに接触できる。

スタンパ−検査用ハロゲンランプ照射器１４は、本体２
３と、この本体から照射光を絞って任意の位置に導く導
光体２４とからなる。

クリーンエア供給ユニット１５は主としてファンＢ１と
、プレフィルタＦ１と、フィルタＦ、とからなる。なお
、２５はスタンパ保持用治具である。

次に以上の構成を備えた光ディスク成形用スタンパ−洗
浄装置ｌの使い方を説明する。

ｉ）本装置２ 洗浄対象のスタンパ−５を洗浄治具６に引掛けて電解液
中に吊下し、その洗浄治具（陽極）６と対向Ｎ［ｉ（陰
極）７との間に電源を介して直流電圧を印加する。かく
して電解よって、激しく発生するガスとアルカリ脱脂液
とがもつケン化、浸透、分散、乳化などの化学的、物理
的作用がスタンパ−Ｓに作用しスタンパ−８が効果的に
洗浄される。

なお、アルカリ脱脂液の交換は積算通電時間が所定値に
至ると行われる。

ｉｉ）付帯装置３ 本装置２で脱脂洗浄されたスタンパ−５を電解槽５から
取り出し、流し台１０上でシャワー１２により超純水に
さらす。洗い程度（表面に残留する微粒子または襄埃の
有無）は、照射器■４の導光体２４によって、スタンパ
−５の角度を調整しつつ照射し、その反射光を見て判断
し、不十分であれば再度超純水を当て、十分てあれば乾
燥室１３に挿入してクリーン化され加温（例：４０℃）
されたエアに当て乾燥させる。

かくして所望の洗浄度（残留微粒子又は塵・埃二〇、　
１ｍμ以下）のスタンパ−か得られる。なお、付帯装置
３は、上部と下部に分割でき、それら分割された上・下
部それぞれがクリーンを破ることなくクリーンルームに
搬入・出できるよう構成されているので好都合である。

（へ）発明の効果 この発明によれば、クリーンルームより一段高いクリー
ンエア領域にてスタンパ−を純水洗いでき、その洗い程
度を確かめて乾燥させるように構成しているので、スタ
ンパ−を簡便に所定の洗浄度に洗浄できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係る光ディスク成形用スタンパ−洗
浄装置の一実施例を示す構成説明図、第２図はその本装
置の機能説明図である。 ■・・・・・・光ディスク成形用スタンパ−洗浄装置、
２・・・・・・本装置、　　　３・・・・・・付帯装置
、９・・・・・・枠体、　　　ＩＯ・・・・・・流し台
、１１・・・・・・作業台、 １２・・・・・・超純水供給用シャワー、１３・・・・
・・乾燥室、 １４・・・・・・スタンパ−検査用ハロゲンランプ照Ｊ
ｔ器、＋５・・・・・・クリーンエア供給ユニット。 第　１　図 ｚｌ　２２１０２５ 第２図 １．７１７件の表示 昭和６３軍特許願第１０５６３６号 ２、発明の名称 光ディスク成形用スタンパ−洗ｆＰ装置３、ｈｆｉ正を
する者 事件との関係　　特許出願人 住　所　　大阪府堺市鉄砲町１番地 名　ｆ３ｒ＝　　　　（２９０）ダイセル化学工業株式
会社代表者　児島章部 ・１１代理人〒５３０ 住　所　　大阪市北区西天満５丁目１−３クォーター・
ワンビル６、補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 補正の内容 （１）明細書第３頁第１９〜２０行の「１つの」を「一
つの」に訂正する。 （２）明細書第９頁第１５の「それらの」を「これらの
」に訂正する。 （３）明細書第９頁第１５行の「脱イオンを」を「脱イ
オン水」に訂正する。 （４）明細書第９頁第１８〜１９行の「中空糸充填体」
を「中空糸）充填体」に訂正する。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、一つの枠体内に、流し台及び作業台を組込み、かつ
   流し台の上方にはスタンパーにかけるための純水を供給
   する純水供給手段を、作業台の上にはエア濾過器付乾燥
   手段を、上記以外の任意の位置にはスタンパーの洗浄度
   を検査するための検査手段をそれぞれ設置し、 更に上記枠体の上部に、枠体外のエアをクリーン化して
   枠体内へ供給するためのクリーンエア供給手段を設けた
   ことを特徴とするコンパクト化された光ディスク成形用
   スタンパー洗浄装置。